JP2008211965A - 圧電体素子、インクジェットヘッドおよびインクジェット式記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズルに連通する開口部が設けられた圧力室部材と、開口部を覆うように圧力室部材上に設けられた振動板と、この振動板上に設けられた下電極と、この下電極上に設けられた圧電体5と、この圧電体5上にあって、開口部1と対向する領域の内側に設けられた上電極6と、圧電体5上にあって、上電極6から延伸され上電極6よりも幅が狭いリード電極7とを備え、圧電体5は、開口部の縁部2aに沿って所定の領域に設けられた溝部12と、この溝部12以外の領域であって、開口部の縁部2aに沿って設けられた圧電体素子として実質的に機能しない非能動領域(圧電体非能動部11)を備え、リード電極7を圧電体非能動部11に配置する。
【選択図】図1
Description
また、本発明の圧電体素子を備えるインクジェット式記録装置は、高性能で信頼性が向上したものとなる。
以下、本発明の実施の形態1を図面に基づいて詳細に説明する。
2 圧力室
2a 開口部の縁部
2b 周壁
3 振動板
4 下電極
5 圧電体
6 上電極
7 リード電極
7a リード電極接続点
7b 端部
8 パッド部
9 圧電体能動部
10 振動拘束部
11 圧電体非能動部
12 溝部
12a 端部
13 穴
14 絶縁体層
15 振動抑制部
16 穴
17 異方導電性フィルム(ACF)
20 絶縁体
27 インクジェット式記録装置
28 インクジェットヘッド
29 記録媒体
30 キャリッジ軸
31 キャリッジ(移動手段)
32 ローラ(移動手段)
60 残存する圧電体部
101 圧力室孔
102 圧力室
102a 周壁
102b 区画壁
103 上電極(個別電極)
105 共通液室
106 供給口
107 インク流路
108 ノズル
109 接着剤
110 圧電体(層状の圧電体)
111 振動板
112 下電極(共通電極)
113 中間層
114 接着剤
115 絶縁体層
120 基板
121 密着層
130 Si基板
A 圧力室部材
B 圧電体素子部
C インク流路部材
D ノズル板
Claims (26)
- ノズルに連通する開口部が設けられた圧力室部材と、
前記開口部を覆うように、前記圧力室部材上に設けられた振動板と、
この振動板上に設けられた下電極と、
この下電極上に設けられた圧電体と、
この圧電体上にあって、前記開口部と対向する領域の内側に設けられた上電極と、
前記圧電体上にあって、前記上電極から延伸され前記上電極よりも幅が狭いリード電極と、
を備え、
前記圧電体は、
前記開口部の縁部に沿って所定の領域に設けられた溝部と、
この溝部以外の領域であって、前記開口部の縁部に沿って設けられた、圧電体素子として実質的に機能しない非能動領域を備え、
前記リード電極は、前記非能動領域に配置されている圧電体素子。 - ノズルに連通する開口部が設けられた圧力室部材と、
前記開口部を覆うように、前記圧力室部材上に設けられた振動板と、
この振動板上に設けられた下電極と、
この下電極上に設けられた圧電体と、
この圧電体上にあって、前記開口部と対向する領域の内側に設けられた上電極と、
前記圧電体上にあって、前記上電極から延伸され前記開口部の縁部を跨ぐ、前記上電極よりも幅が狭いリード電極と、
を備え、
前記リード電極が前記開口部の縁部を跨ぐ領域の近傍を除き、前記圧電体には前記開口部の縁部に沿う領域に溝部が設けられ、
この溝部の前記リード電極に面する側の端部を、前記リード電極側が凸となる曲線形状とした圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記溝部は、
前記開口部の縁部とオーバーラップする領域に、少なくとも前記下電極の表面まで到達する深さで設けられている圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記開口部の縁部の形状を、略楕円形状とした圧電体素子。 - 請求項2記載の圧電体素子であって、
前記溝部の前記リード電極に面する側の端部を、前記溝部よりも幅の広い略円形状とした圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記上電極から延伸されて配置されたリード電極の側方に、圧電体を除去した凹部を設けた圧電体素子。 - 請求項6記載の圧電体素子であって、
前記溝部と前記凹部と連通させた圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記開口部と対向する領域の外側において、
前記上電極と前記圧電体の間、または前記圧電体と前記下電極の間のいずれかに、
絶縁体層を備える圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記溝部の端部と前記上電極から延伸されたリード電極の間に、
前記開口部の縁部を跨ぐように振動抑制部を設けた圧電体素子。 - 請求項9記載の圧電体素子であって、
前記振動抑制部を、前記圧電体よりヤング率の高い材料で構成した圧電体素子。 - 請求項9記載の圧電体素子であって、
前記振動抑制部を、前記上電極と同じ材料で構成した圧電体素子。 - 請求項9記載の圧電体素子であって、
前記振動抑制部を、水分を透過しない金属、無機材料、もしくは、吸水率0.1%以下の防湿性材料で構成した圧電体素子。 - 請求項9記載の圧電体素子であって、
前記振動抑制部を、気相成膜法により形成した圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記リード電極が引き出される方向における、前記上電極の端部と前記開口部の縁部までの水平距離をNとし、
前記リード電極が引き出される方向と反対の方向における、前記上電極の端部と前記開口部の端部までの水平距離をMとするとき、
N>M
の関係を満たす圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記圧電体の厚みをtとし、
前記圧電体の上に設けられたリード電極と前記溝部までの最端距離をW、
とするとき、
W>2t
の関係を満たす圧電体素子。 - 請求項15記載の圧電体素子であって、
前記縁部を跨ぐ前記リード電極の幅をwとするとき、
更に
(2W+w)≧3t
の関係を満たす圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記上電極から延伸された前記リード電極の端部に表面実装用のパッド部が形成され、
前記パッド部の側方に、前記圧電体を除去した凹部が形成されている圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子を備えるインクジェットヘッド。
- 請求項18記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる移動手段と、
を備えるインクジェット式記録装置。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記振動板と前記下電極とを兼ねる導電性部材を備え、
前記溝部は、
前記開口部の縁部とオーバーラップする領域に、前記導電性部材の表面まで到達する深さで設けられている圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記振動板が圧縮応力になるように形成した圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
前記振動板と前記下電極と前記圧電体と前記上電極からなる積層体の内部応力の総和が圧縮応力になるように形成した圧電体素子。 - 請求項2に記載の圧電体素子であって、
前記溝部の断面形状を上電極側の開口部が広く、下電極側に向かって狭くなる略台形状に構成した圧電体素子。 - 請求項1または2に記載の圧電体素子であって、
少なくとも前記上電極の縁部と前記圧電体との段差部を覆う絶縁体を形成した圧電体素子。 - 請求項24に記載の圧電体素子であって、
前記絶縁体を前記圧電体層よりヤング率の低い材料で構成した圧電体素子。 - 請求項24に記載の圧電体素子であって、
前記絶縁体を水分を透過しない無機材料、もしくは、吸水率0.1%以下の防湿性材料で構成した圧電体素子。
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