JP2008208404A - 薄膜、及びその薄膜製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の種類の原料ガスを減圧下において反応させ、その反応物からなる薄膜を減圧系に配置された基材上に形成する薄膜製造方法において、第1の原料ガス導入口4から窒素含有ガス、及び水素が、原料ガス混合手段によって混合された後、系内に保持され、かつ加熱された金属体3の近傍に供給されること、及び当該減圧系に第2の原料ガス導入口5からシラン系ガスが導入される等の薄膜製造方法、及びその製造方法から得られる薄膜を提案する。
【選択図】図1
Description
耐熱温度が比較的低いプラスチックフィルムであっても適用できる点で有用な方法である(特許文献1、2等)。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記第1の原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第1原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記第1の原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第1原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記第1の原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第1原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記第1の原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第1原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
2:隔壁板
3:金属体
4、25a、25b、45a、45b、55a、55b、65a、65b
:第1の原料ガス導入口
5:第2の原料ガス導入口
6:第3の原料ガス導入口
7:排気口
8:薄膜を形成したフィルム
9:ロール
10:供給ロール
11:巻き取りロール
12:仕切り部材
21、41、51:原料ガス混合装置
22、42、62:原料ガス混合部
23、33、43、53:原料ガス排出部
24、34、44、54:細孔
1A:第1室
1B:第2室
8a:フィルム
C2:邪魔板
G1、G91:水素ガス、及びアンモニアガス等の窒素含有ガス
G2、G82、G92:酸素ガス
G3、G93:シラン系ガス
G81:水素ガス、アンモニアガス等の窒素含有ガス、及びシラン系ガス
J4:結合部
T1、T2:接線
Claims (9)
- 複数の種類の原料ガスを減圧下において反応させ、その反応物からなる薄膜を減圧系に配置された基材上に形成する薄膜製造方法において、第1の原料ガス導入口から窒素含有ガス、及び水素が、以下の何れか一の原料ガス混合手段によって混合された後、系内に保持され、かつ加熱された金属体の近傍に供給されること、及び当該減圧系に第2の原料ガス導入口からシラン系ガスが導入されることを特徴とする薄膜製造方法。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記第1の原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第1原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。 - 複数の種類の原料ガスを減圧下において反応させ、その反応物からなる薄膜を減圧系に配置された基材上に形成する薄膜製造方法において、第1の原料ガス導入口から窒素含有ガス、及び水素が以下の何れか一の原料ガス混合手段によって混合された後、系内に保持され、かつ加熱された金属体の近傍に供給されること、及び当該減圧系に第2の原料ガス導入口からシラン系ガス、及び酸素ガスが導入されることを特徴とする薄膜製造方法。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第一の原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。 - 複数の種類の原料ガスを減圧下において反応させ、その反応物からなる薄膜を減圧系に配置された基材上に形成する薄膜製造方法において、第1の原料ガス導入口から窒素含有ガス、及び水素が以下の何れか一の原料ガス混合手段によって混合された後、系内に保持され、かつ加熱された金属体の近傍に供給されること、及び当該減圧系に第2の原料ガス導入口からシラン系ガスが導入されること、第3の原料ガス導入口から酸素ガスが導入されることを特徴とする薄膜製造方法。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第一の原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。 - 複数の種類の原料ガスを減圧下において反応させ、その反応物からなる薄膜を減圧系に配置された基材上に形成する薄膜製造方法において、第1の原料ガス導入口から窒素含有ガス、及び水素、及びシラン系ガスが以下の何れか一の原料ガス混合手段によって混合された後、系内に保持され、かつ加熱された金属体の近傍に供給されること、及び当該減圧系に第2の原料ガス導入口から酸素ガスが導入されることを特徴とする薄膜製造方法。
(a)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記第1の原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部に、前記原料ガス混合部を経た前記第1の原料ガス導入口から導入された第1原料ガスが通過可能な多数の細孔から構成されている原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。
(b)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、前記原料ガス混合部に前記原料ガス導入口が設けられ、前記原料ガス排出部の横断面積が、前記原料ガス混合部の結合部から斬増している原料ガス混合装置により第1原料ガスを混合する手段。
(c)原料ガス混合部、及び原料ガス排出部からなり、原料ガス混合部が底面を有する筒状体であって、前記原料ガス混合部の壁面に第1の原料ガスの相異なるガスが前記壁面に沿って流転、混合しながら一方向に運ばれるように前記原料ガスの進行方向に傾斜させた前記第1の原料ガス導入口を有し、前記原料ガス排出部が前記原料ガス混合部を経た第一の原料ガスが排出されるように設けられた原料ガス混合装置により、第1原料ガスを混合する手段。 - 前記減圧系に隘路、又は隔壁板によって連通部を有するように第1室と第2室が形成され、前記第1室に加熱された金属体、前記第1ガス混合手段によって混合された第1原料ガスの混合ガスの排出口が、第2室に減圧のための排気口、第2の原料ガス導入口があることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の薄膜製造方法。
- 前記減圧系に隘路、又は隔壁板によって連通部を有するように第1室と第2室が形成され、前記第1室に加熱された金属体、前記第1ガス混合手段によって混合された第1原料ガスの混合ガスの排出口が、第2室に減圧のための排気口、第2の原料ガス導入口、更に第3の原料ガス導入口があることを特徴とする請求項4に記載の薄膜製造方法。
- 前記第2室に基材表面を前処理する表面改質装置、及び/又は基材表面を後処理する表面改質装置を設けた請求項5、又は6に記載の薄膜製造方法。
- 前記シラン系ガスがSiH4であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の薄膜製造方法。
- 請求項1乃至8のいずれかの製造方法により得られ得るSiN、及び/又はSiONから形成されている薄膜。
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