JP2008201670A - 非酸化物セラミックス焼結体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】密閉可能なチャンバと、チャンバ内に設けられ、ヒータを備えた加熱室と、チャンバに接続される第1の排気管と、それに接続される第1の真空ポンプと、加熱室に直接接続される第2の排気管と、それに接続される、排ガス中のバインダ成分を捕集する捕集装置と第2の真空ポンプとを有する焼成炉である。また、この焼成炉を用いて、脱脂工程と焼結工程とを連続に行う非酸化物セラミックス焼結体の製造方法である。
【選択図】図1
Description
12 加熱室
14 ヒータ
16 架台
18 圧力機構
18a 上ラム
18b 下ラム
20 真空排気管
21 電磁開閉弁
22 メカニカルブースターポンプ
24 ロータリーポンプ
31、31a 脱脂用排気管
32 コールドトラップ
34 チラー
36 オイルミストトラップ
38 排ガス燃焼装置
40 モールド
50 マスフローコントローラ
52 調節計
54 圧力センサー
Claims (3)
- 密閉可能なチャンバと、チャンバ内に設けられ、ヒータを備えた加熱室と、チャンバ又は加熱室に接続される第1の排気管と、第1の排気管に接続される第1の真空ポンプと、加熱室に直接接続される第2の排気管と、第2の排気管に接続され、排ガス中のバインダ成分を捕集する捕集装置と、捕集装置を介して第2の排気管に接続される第2の真空ポンプと、チャンバ又は加熱室に接続され、チャンバ内に不活性ガスを供給するガス供給管と、チャンバ内の圧力をモニターする圧力計と、チャンバ内の圧力に応じて、チャンバ内への前記不活性ガスの供給量を調整するガス流量制御装置と、加熱室と捕集装置との間の前記第2の排気管を加熱する加熱手段と、捕集装置と前記第2の真空ポンプとを介して第2の排気管に接続され、排ガス中の有機成分を燃焼する燃焼装置と、加熱室内に載置される被焼結材を一軸方向に加圧する加圧機構とを有する焼成炉のチャンバ内にバインダを含む非酸化物セラミックス成形体を導入し、チャンバ内を減圧する、減圧工程と、
チャンバ内に不活性ガスを導入し、不活性ガス雰囲気の減圧条件下で、非酸化物セラミックス成形体をバインダの熱分解に必要な温度に加熱する、脱脂工程と、
不活性ガス雰囲気の減圧条件下で、脱脂後の非酸化物セラミックス成形体を焼結に必要な焼成温度にまで加熱する、昇温工程と、
不活性ガス雰囲気の大気圧より高い加圧条件下で、前記非酸化物セラミックスを前記焼成温度で焼成する、焼結工程と
を有し、脱脂工程と焼結工程を同一チャンバ内で連続して行うことを特徴とする非酸化物セラミックス焼結体の製造方法。 - 脱脂工程後にチャンバ内圧力を大気圧より高くして焼成温度まで昇温し、チャンバ内圧力が大気圧より高い状態で焼成することを特徴とする請求項1に記載の非酸化物セラミックス焼結体の製造方法。
- 脱脂工程後もチャンバ内圧力を減圧状態とし、減圧下で焼成温度まで昇温し、焼成温度に到達後チャンバ内圧力を大気圧より高くして焼成することを特徴とする請求項2に記載の非酸化物セラミックス焼結体の製造方法。
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