JP2008194607A - 漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ落下することを防止することができ、しかも、少ない液量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置の提供。
【解決手段】テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置に関し、特に、塗布装置に搭載される吐出ユニットから漏出する液材を塗布対象物上に落下させずに、少ない量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置に関する。

液晶パネルへ液晶を滴下する塗布装置としては、テーブル上に基板を載置して、基板に対向する吐出ユニットを相対動して、液晶の滴下を行う塗布装置がしられている（例えば、特許文献１）。塗布装置に用いられる吐出ユニットとしては、計量管内を密接して進退移動するプランジャーを高速に進出移動させて液材を吐出口より飛滴させるプランジャータイプの吐出ユニットが提案されている。

この種の吐出ユニットでは、長期間の使用によって、内部の摺動部品などが互いに摩耗し、部品間に隙間ができて、そこから液材が漏れることがある。
また、長期間の使用によらずとも、メンテナンスなどのために吐出ユニットを分解して再び組み立てる際に、作業者の技量の差により、組み付けた部品同士の接合が上手くいかずに隙間が開いてしまい、そこから液材が漏れることがある。
また、吐出ユニットに液材を供給する配管などを繋ぐ継手類は、適正な締め付けを行わないと、締結部分から液材が漏れることがある。

塗布装置の有する吐出ユニットが、液体材料を塗布する塗布対象物の上にあるとき、漏液が塗布対象物上に滴れると、不良品を生産することになり、時間やコストを無駄にしてしまう。生産工程において、漏液の検知が即座に検知されるプロセスが設けられていない場合には、不良品の生産が長時間継続されることとなり、時間やコストの無駄は更に甚大なものとなるおそれがあり、最悪の場合には品質問題にもつながりかねない。

塗布装置において、漏液を検知する装置としては、特許文献２に開示がなされている。これによると、塗布装置本体から、移動可能な吐出ユニットへ液材を供給する通液配管を配設するため、吐出ユニットの動きに追従できるように、通液配管をケーブル支持案内装置内に収めている。
そして、吐出ユニットの動きに伴う通液配管の劣化により漏液が発生した場合に、その漏液を検知するため、通液配管を収めたケーブル支持案内装置を収納する収納部の底部に漏液センサが設置されている。
特開２００６−１０６１５０号公報 特開２００４−２４３１８６号公報

特許文献２の検知装置は、液材を吐出ユニットへ供給する通液配管から漏出する液材を検知する検知装置であり、吐出ユニットから漏出する液材を直接検知することを目的とする検知装置ではなかった。また、吐出ユニットから漏液が発生した場合には、漏液が塗布対象物上へ滴れることを防ぐ手段はなく、吐出ユニットで発生した漏液を検知する手段もない。

これまで、吐出ユニットから漏出する液材の問題を正面から解決するための取り組みは行われていなかった。しかしながら、吐出ユニットからの漏液は、微量であっても製品の品質に直結するため、塗布装置供給メーカーとしては、真剣に取り組まなくてはならない問題である。

そこで、本発明は、吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ落下することを防止することができ、しかも、少ない液量の漏液をも検知することができる漏液検知機構およびそれを備えた液体材料塗布装置を提供することを目的とする。

発明者は、吐出ユニットの直下に受け皿を設けることで、吐出ユニットからの漏液滴下の問題を解決し、漏液検知装置を設けることで、漏液を自動的に検知することを可能とするという基本思想を想到し、更に種々の工夫を加え、本発明をなした。

すなわち、第１の発明は、テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構である。
第２の発明は、第１の発明において、受け皿の外縁を囲う外縁立上部（９）および開口部を囲う開口部立上部（１１）を有することを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記受け皿は、漏液が流下する最深部を有することを特徴とする。
第４の発明は、第３の発明において、前記受け皿は、最深部につながる斜面を有することを特徴とする。
第５の発明は、第３または４の発明において、前記検知装置は、前記受け皿の最深部に配設されることを特徴とする。
第６の発明は、第３または４の発明において、前記検知装置は、前記受け皿の最深部に連通する流路に配設されることを特徴とする。
第７の発明は、第１ないし６のいずれかの発明において、前記受け皿は、水平面に対して傾斜した状態で取り付けられることを特徴とする。
第８の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記受け皿は、前記吐出ユニットの下端部に直接取り付けられることを特徴とする。
第９の発明は、第１ないし７のいずれかの発明において、前記受け皿は、前記吐出ユニットが取り付けられる接続部材（７）に設けられた取付具により、吐出ユニットの直下に着脱自在に配設されることを特徴とする。
第１０の発明は、第１ないし９のいずれかの発明において、前記受け皿の漏液を受ける面（８）は、撥水性を有することを特徴とする。
第１１の発明は、第１ないし１０のいずれかの発明において、前記検知装置から発せられる検知信号を受信して警報を発する警報装置を備えることを特徴とする。
第１２の発明は、第１ないし１１のいずれかの発明に係る漏液検知機構と、液体材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、ワークを載置するテーブルと、ワークと吐出ユニットを相対移動させる駆動部とを備えることを特徴とする液体材料塗布装置である。
第１３の発明は、第１２の発明において、前記漏液検知機構、前記吐出ユニットが配設され、前記駆動部により移動自在に構成される接続部材（７）および接続部材（７）に設けられた前記漏液検知機構を着脱自在とする取付具を備えることを特徴とする。

本発明によれば、吐出ユニットからの漏液が塗布対象物上へ滴れることを直接的に防止することができる。
また、漏液が微量であっても精度良く検知することでき、しかも吐出ユニットが移動する位置に関係なく、吐出ユニットからの漏液を検知することができる。

本発明を実施するための最良の形態の漏液検知機構は、一般的な液体材料塗布装置に取付可能である。以下では、液体材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニット２と、吐出口をワークの塗布対象面に平行に移動させる駆動部５とを備える液体材料塗布装置１に取り付けた場合の例を説明する。
最良の形態の漏液検知機構は、外縁立上部９、吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部１０、および開口部を囲う開口部立上部１１を有する受け皿３と、受け皿３に配設された漏液検知装置４とから構成される。

吐出ユニット２から漏出する液材を受ける受け皿３は、皿状の板であり、液材を受ける面８に垂直に、周囲を囲む外縁立上部９が設けられている。この外縁立上部９により受け皿３外への液材の流出を防いでいる。また、開口部１０に設けられた開口部立上部１１も、同様に液材の流出を防ぐものである。受け皿３を、最深部１７に向かう斜面により構成する場合（例えば、図７の場合）には、外縁立上部９は必須の構成ではない。しかし、受け皿３を取り付けるための取付具用のネジ孔等の配設個所としたり、受け皿３の曲げやたわみに対する補強の役割をさせるなど、設計上の理由から、外縁立上部９を備えた方が好ましい場合もある。

受け皿３は、漏液の流出防止の観点から、吐出ユニット２の直下に配設されるのが好ましい。受け皿３は、種々の態様で取り付けることができるが、例えば、吐出ユニット２に直接配設してもよいし、吐出ユニット２と駆動部５を接続する接続部材７に配設してもよい。接続部材７と受け皿３は、取付具により着脱自在に構成される。この取付具は、受け皿３と接続部材７の一部をネジ部材等で固定する態様のもの（図２参照）、および受け皿３の下面を保持する態様のもの（図９参照）を含む広義の意味の取付具である。この際大切なのは、吐出ユニット２と一体的に受け皿３が移動可能に構成することである。一体となって移動することにより、吐出ユニット２の移動位置に関係なく、漏液が塗布対象物上へ滴れることを防止することができる。

また、受け皿３は、液材を受ける面８が水平面に対して傾斜するよう取り付けられるのが好ましい。傾斜していることで、液材が最も低い箇所である最深部１７へ流下して集まるようになるからである。最深部１７は、液材を受ける面８自体を斜面とし、その斜面の下方に最深部１７が位置するよう受け皿３自体の形状を成形してもよい。
受け皿３は、液材を受ける面８が水平面に対して傾斜するよう取り付けること、或いは、液材を受ける面８自体を斜面とすることに加えて、液材を受ける面８に撥水性を持たせることで、さらに液材が流下して流れ易くなるようにすることができる。
撥水性を持たせるためには、撥水性を有する材料で受け皿３自体を製作したり、撥水性を有する材料で液材を受ける面８を覆ったりすることで実現できる。撥水性を有する材料としては、フッ素系樹脂やシリコン系樹脂などがあるが、これら材料の種類は、塗布する液材に対する耐性などを考慮に入れて選択される設計事項であるので、上記材料の種類に限定するものではない。

検知装置４は、光学式センサ等の検知手段であり、吐出ユニット２および受け皿３と共に移動するよう、受け皿３に設置する。受け皿３の液材を受ける面８内の、液材が流下して集まる最も低い箇所に設置する。面８自体を成形し、凹部からなる最深部１７を設ける態様においては、その凹部に検知装置４が取り付けられることとなる。その際、取り付けおよび取外しが容易に行えるように設置することで、受け皿３や検知装置４に付着した液材の拭き取りを適時行うことを可能とするのが好ましい。
また、液材が流下して集まる箇所１７に設置するので、漏液が少ない場合であっても漏液があったことを検知することができる。
吐出ユニット２から漏出した液材を検知した場合、検知装置４から発せられる検知信号を受信し、警報を発して作業者へ知らせたり、吐出ユニット２の吐出動作を停止したりするよう構成してもよい。

吐出ユニット２としては、プランジャータイプの吐出ユニットが例示されるが、吐出ユニットの種類はこれに限定されない。例えば、先端に吐出口であるノズルが接続されたシリンジ内の液体材料に、調圧されたエアを所望時間だけ印加するエア式の吐出ユニットを用いてもよい。
検知装置４は、光学式センサに限定されず、液体材料を検知できるものであれば、他の検知装置を用いてもよい。例えば、ロードセルを利用して流下してきた液材の重さを検知してもよい。また、カメラを利用して流下してきた液材の画像を捕えて検知してもよい。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明は何ら実施例により限定されるものではない。

図１は、実施例１に関わる漏液検知機構を有する塗布装置の概略斜視図である。
図１に開示される塗布装置には、三つの吐出ユニット２が駆動部５へ取り付けられており、そのそれぞれに受け皿３と検知装置４を設けている。それぞれの吐出ユニット２に各一つずつの受け皿３と検知装置４を設けることにより、何れの吐出ユニット２で液材の漏出が生じたのかを検出することが可能である。吐出ユニット２の取り付け数は、塗布対象物であるワーク６の大きさや塗布方法などにより決まる設計事項であり、三つに限らず二つ以下としてもよいし、逆に四つ以上としてもよい。なお、当然のことであるが、吐出ユニット２を複数設ける場合には、全ての吐出ユニット２に漏洩検知機構を設けることが好ましい。

塗布装置１は、駆動部５を備えており、吐出口を有する吐出ユニット２を、ワーク６の塗布対象面に平行な面内を移動させる（すなわち、相対移動させる）ことができる。受け皿３は、吐出ユニット２と駆動部５とを接続する接続部材７に設置されており、受け皿３に検知装置４が設置されているので、吐出ユニット２と受け皿３および検知装置４は一体となって移動する。ワーク６は、吐出ユニット２の下方の吐出口に平行な面（テーブル）に載置される。そして、ワーク６に対して、駆動部５により吐出ユニット２を所望の軌跡に沿って移動させながら、吐出口より液材を吐出し、液材をワーク６へ塗布する。

本実施例では、吐出ユニット２として、計量管内を密接して進退移動するプランジャーを高速に進出移動させて液材を吐出口より飛滴させるプランジャータイプの吐出装置を用いる。
図２に吐出ユニット２、受け皿３および検知装置４の要部を透過した拡大斜視図を、図３に受け皿３の拡大斜視図を示す。
受け皿３の形状は、図３に示すように、吐出ユニット２の底面の面積とほぼ同じ大きさの矩形の板で、外縁部に、液材を受ける面８に垂直に、周囲を囲むように外縁立上部９を設ける。この外縁立上部９により受け皿３外への液材の流出を防ぐ。吐出口であるノズルの真下にあたる部分は、開口部１０を設けている。開口部１０の縁にも開口部立上部１１を設けて、液材吐出用の開口部１０より受け皿３外への液材の流出を防いでいる。

図２および図４に示すように、受け皿３は、ネジ部材２１により接続部材７に固設され、吐出ユニット２の直下へ配設される。この際、受け皿３は、吐出ユニット２との間に所定の間隙を開けて設置される。この間隙は液材を流れやすくするために開いているものである。ただし、液材の流れる状態によっては、受け皿３の液材を受ける面８の一部が吐出ユニット２の底面に接するように受け皿３を設置してもよい。
また、受け皿３は吐出ユニット２と独立して、駆動部５の移動可能な接続部材７に取り付けられている。従って、受け皿３を設置した状態のまま、吐出ユニット２のみ取り付けおよび取外しができる。

受け皿３は、接続部材７に配設された状態で、液材を受ける面８が水平面に対し傾斜をもつ。傾斜のつけ方には様々な方法が考えられるが、図４および図５に、液材を受ける面８は平面を保ったまま、受け皿３自身を傾けて固定する場合の例を示す。具体的には、まず、手前側が下になるように傾けた後（図４）、そのままの状態でさらに左が低くなるように傾けて固定する（図５）。そうすると左手前が受け皿の中で最も低い位置となり、左手前に集まるように漏出した液材が流下する。なお、液材を受ける面８に傾斜がつくよう成形してもよい。

検知装置４は、傾斜して取り付けられた受け皿３の中で、最も低い位置である左手前の最深部１７に設置する。検知装置４は取り付けおよび取外しが簡単に行える設置方法とする。取り付けおよび取外しを簡単にすることにより、流下してきて受け皿３上に残っている液材や検知装置４に付着した液材を確実に拭き取ることができ、拭き残しによる誤作動を防止することができる。
検知装置４としては、本実施例では漏液検知用の光学式センサを用いている。この種の漏液検知センサは、透光性のケース内部に、検出面に向けて光を照射する投光部と、検出面からの反射光を受光する受光部を備えており、検出面が液材に浸ると、受光部へ入射する光の量が変化し、それにより漏液を検知する。漏液検知センサは、検出面が受け皿３の液材を受ける面８にほぼ接するように対向して設置され、センサ設置位置１７まで液材が流下してくるかを監視する。

また、検知装置４には、同じ光学式の反射型光電センサを用いてもよい。反射型光電センサでは、センサから出て検知対象物から反射してくる光を受光して、その受光量の変化により対象物を検知する。反射型光電センサは、その投受光面が受け皿３の液材を受ける面８に向かい合うようにある程度の間隙をもって設置され、センサ設置位置１７まで液材が流下してくるかを監視する。

《検知動作》
検知装置４にて漏液を検知した際の動作を以下に説明する。
吐出ユニット２の内部部品の磨耗、組み付けミス及び継手の不適正な締め付けなどにより、吐出ユニット２本体や、吐出ユニット２へ液材を供給する配管の繋がる継手部分からの液材の漏れが発生した場合を想定する。漏れ出た液材は、吐出ユニット２から直下に設置された受け皿３の上へと滴れる。滴れた液材は、受け皿３の傾斜により、最も低い位置である検知装置４が設置されている最深部１７に流下していく。液材が検知装置４の位置に流下してくると、検知装置４が液材を検知し、検知したことを知らせる信号を発する。この信号を警報装置（図示せず）が受け取ると、警報を発して作業者へ知らせる。知らせる方法としては、音を鳴らしたり、表示灯（図示せず）を点灯または点滅したり、操作パネル（図示せず）などに文字を表示したりする。これら警報は単独で用いてもよく、組み合わせて用いてもよい。
また、警報を発報すると同時に、吐出ユニット２からの液材の吐出を自動的に停止するようにしてもよい。警報を解除するには、吐出ユニット２の漏液原因を取り除き、受け皿３に付着している液材を拭き取る。また、検知装置４に液材が付着している場合には併せて拭き取る。このとき、検知装置４を受け皿３より外すと、受け皿３および検知装置４ともに確実に拭き取りが可能である。

本実施例では、吐出ユニット２に受け皿３を直接取り付ける態様を説明する。
図６のように支持台１５に吐出ユニット２を配設し、塗布装置１とは別の場所でセッティングを行う必要がある場合、また、同様の支持台１５に設置して、机上などで吐出ユニット２を単独で用いる場合は、受け皿３を吐出ユニット２の底面に直接取り付ける態様が有用である。いずれの態様でも実施例１の場合と同様に、受け皿３と吐出ユニット２との間に所定の間隙を設けて配設してもよいし、受け皿３の液材を受ける面８の一部が吐出ユニット２の底面に接するように受け皿３を配設してもよい。
受け皿３の取付は、四つの固定具１６により、吐出ユニット２の底面と外縁立上部９または液材を受ける面８を接続することにより行われる。固定具１６は、公知の汎用固定具を用いることができる。
本実施例の漏液検知機構のように、吐出ユニット２の底面に受け皿３を直接取付可能に構成することで、塗布装置１に搭載する前の吐出ユニット２への単独作業が可能となる。これにより、事前の準備をすることで、塗布装置１に吐出ユニット２を取り付けてから作業を行わずに済み、試験や準備などに掛かる時間を節約することができる。

実施例３では、受け皿３の変形例を説明する。実施例１では、受け皿３の有する面８を平面とし、受け皿３自体を、傾斜して取り付けることにより最深部１７ができるようにした。本実施例では、受け皿３を取り付け時に傾斜させて固定しなくとも、受け皿３自身が傾斜を持つように予め成形している。すなわち、液材を受ける面８は、水平面と平行とはならない形状に成形されており、その最も低い位置が最深部１７を構成する。図７および図８を参照しながら、具体例を以下に説明する。

《変形例１》
変形例１は、略中央部に最深部１７を設けた受け皿の構成例である。図７に示すように、四つの面８を、斜面の形状とし、鉛直下向きにしたときに最深部１７が錐体の頂点を構成するようにし、図中の矢印側に液材が集まるようにしている。中央の錐体の頂点にあたる部分１７は、検知装置４の検出面とほぼ同じ面積の水平面とするのが好ましい。この中央平面部が最深部１７となり、受け皿３上に滴れた液材は斜面８を流下して最深部１７に集まる。よって、ここに検知装置４を設置することで、漏液の量が少ない場合でも、確実な検知を行うことが可能である。外縁部には、図３と同様に外縁立上部９が設けられており、受け皿３外への液材の流出を防いでいる。図７では外縁が矩形で四つの斜面８を持つ四角錐状をしているが、外縁が円形の円錐状に構成していてもよい。また、最深部１７は中央部に位置していなくともよい。

《変形例２》
変形例２は、最深部１７を手前側に設けた受け皿の構成例である。図８に示すように、面８を四角形とその四角形の一辺を下底とする台形を組み合わせた五角形の形状とし、これを斜面の形状とすることで、矢印側に液材が集まるようにしている。この受け皿３上に滴れた液材は、台形部の幅が狭い方へ向かって流下していく。そして、流下していくに従い、幅が狭まっていくので、最深部１７では液材の深さが増すこととなる。よって、ここに検知装置４を設置することで、漏液の量が少ない場合でも、確実な検知を行うことが可能である。液材の集まってくる部分の幅は、検知装置４の幅とほぼ同じ幅であることが好ましい。外縁部には、受け皿３外への液材の流出を防ぐため、図３と同様の外縁立上部９が設けられている。

本実施例の受け皿３は、吐出ユニット２を設置した状態のまま受け皿３のみ取り付けおよび取外しができるように構成される。
図９は、本実施例の受け皿３を取り外した状態を示している。吐出ユニット２を取り付ける吐出ユニット取付板２０に、受け皿３を着脱可能な取付具である保持具１８を設け、その保持具１８上に受け皿３を設置する。
保持具１８は、受け皿３との固定を緩めた際、受け皿３が落下しないよう下から受け皿３を支えるような形状としている。保持具１８は受け皿３を支える面がＵ字形をしており、Ｕ字形の保持具開口１９に吐出用開口部１０が位置するよう構成されている。吐出ユニット２は、ＸＹ方向に相対移動されながら液体材料の吐出を行うため、受け皿３がズレないよう保持具１８により保持する必要がある。本実施例では、受け皿３と保持具１８を、図示しないネジ部材により固定するよう構成した。なお、実施例２のように支持台１５に取り付けられる構成においては、受け皿３の底部に保持具１８の保持具開口１９と嵌合する凸部を設け、嵌合のみで保持してもよい。
本実施例では、受け皿３のみを取り付けおよび取外し可能としたことで、吐出ユニット２に妨げられることなく容易に受け皿３の清掃やメンテナンス作業を行うことができる。
吐出ユニット取付板２０は、実施例１における接続板７であってもよい。また、実施例２のように、支持台１５に取り付けられる吐出ユニット取付板２０であってもよい。

本実施例では、接続部材７に検知装置４を設ける態様を説明する。
図１０に示すように、受け皿３は、ネジ部材２１により接続部材７に固設され、吐出ユニット２の直下に配設される。また、受け皿３は、接続部材７に配設された状態で、液材を受ける面８が水平面に対し傾斜を持つ。図１０では、右奥が最も低い位置である最深部１７となり、漏出した液材は右奥へ集まるように流下する（矢印１２）。そして、受け皿３の最深部１７である右奥部は、接続部材７に設けられた検知装置４へ繋がる流路２３と略同じ幅の開口部を外縁立上部９の一部に設けている。
検知装置４は、接続部材７に設けられた流路２３に、検知面が受け皿３側へ向くように嵌設される。流路２３の受け皿３とは反対側の面は、図示しないシール部材により密封をして液材の流出を防いでいる。また、受け皿３の最深部１７と接続部材７の流路２３との接続部分も同様に、シール部材により密封をして液材の流出を防いでいる。
吐出ユニット２より漏出した液材は、受け皿３上に滴下し、右奥の最深部１７へ集まる。最深部１７には、接続部材７に設けられた流路２３へ通じる開口部があり、当該開口部から液材は流路２３を経て検知装置４まで達するようになっている。
本実施例では、接続部材７に検知装置４を設けたことにより、受け皿３の大きさを検知装置４が配設される分だけ小さくすることができ、省スペース化を図ることができる。また、吐出ユニット２への作業時に、検知装置４に誤って触れてしまうことも防ぐことが可能となる。

実施例１に関わる漏液検知機構を有する塗布装置の概略斜視図である。 実施例１に関わる吐出ユニットの要部を透過した拡大斜視図である。 実施例１に関わる受け皿部分の拡大斜視図である。 実施例１に関わる吐出ユニットの側面図である。 実施例１に関わる吐出ユニットの正面図である。 実施例２に関わる吐出ユニットの概略斜視図である。 実施例３に関わる受け皿の変形例１を示す概略斜視図である。 実施例３に関わる受け皿の変形例２を示す概略斜視図である。 実施例４に関わる吐出ユニットの拡大斜視図である。 実施例５に関わる吐出ユニットの要部を透過した拡大斜視図である。

符号の説明

１ 塗布装置
２ 吐出ユニット
３ 受け皿
４ 検知装置（センサ）
５ 駆動部
６ 塗布対象物
７ 接続部材
８ 液材を受ける面（斜面）
９ 外縁立上部（受け皿外縁部）
１０ 吐出用開口部
１１ 開口部立上部
１２ 液材の流下する向き
１３ 手前側への傾斜
１４ 左側への傾斜
１５ 支持台
１６ 固定具
１７ 最深部
１８ 保持具
１９ 保持具開口
２０ 吐出ユニット取付板
２１ ネジ部材
２２ ネジ孔
２３ 流路

Claims (13)

1. テーブル上に載置されたワークと、ワークと対向する吐出ユニットを相対移動させて液体材料を塗布する塗布装置に取付可能な漏液検知機構であって、
   前記吐出ユニットの吐出口の対向位置に設けられた開口部を有する受け皿と、受け皿に溜まった漏液を検知する漏液検知装置とから構成され、吐出ユニットの直下に配設される漏液検知機構。
2. 受け皿の外縁を囲う外縁立上部（９）および開口部を囲う開口部立上部（１１）を有することを特徴とする請求項１の漏液検知機構。
3. 前記受け皿は、漏液が流下する最深部を有することを特徴とする請求項１または２の漏液検知機構。
4. 前記受け皿は、最深部につながる斜面を有することを特徴とする請求項３の漏液検知機構。
5. 前記検知装置は、前記受け皿の最深部に配設されることを特徴とする請求項３または４の漏液検知機構。
6. 前記検知装置は、前記受け皿の最深部に連通する流路に配設されることを特徴とする請求項３または４の漏液検知機構。
7. 前記受け皿は、水平面に対して傾斜した状態で取り付けられることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかの漏液検知機構。
8. 前記受け皿は、前記吐出ユニットの下端部に直接取り付けられることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかの漏液検知機構。
9. 前記受け皿は、前記吐出ユニットが取り付けられる接続部材（７）に設けられた取付具により、吐出ユニットの直下に着脱自在に配設されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかの漏液検知機構。
10. 前記受け皿の漏液を受ける面（８）は、撥水性を有することを特徴とする請求項１ないし９のいずれかの漏液検知機構。
11. 前記検知装置から発せられる検知信号を受信して警報を発する警報装置を備えることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかの漏液検知機構。
12. 請求項１ないし１１のいずれかの漏液検知機構と、液体材料を吐出する吐出口を有する吐出ユニットと、ワークを載置するテーブルと、ワークと吐出ユニットを相対移動させる駆動部とを備えることを特徴とする液体材料塗布装置。
13. 前記漏液検知機構、前記吐出ユニットが配設され、前記駆動部により移動自在に構成される接続部材（７）および接続部材（７）に設けられた前記漏液検知機構を着脱自在とする取付具を備えることを特徴とする請求項１２の液体材料塗布装置。