JP2008191624A - チタンを使用した基板向け残渣除去用組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】
半導体集積回路、液晶パネル、有機ELパネル、プリント基板等、特にチタンおよび/又はチタン合金を含有する配線基板で、ドライエッチング後に残存するレジスト由来の残渣物および/または銅やアルミニウムなど金属由来の残渣物を、チタンおよび/又はチタン合金を腐食することなく除去することが出来る残渣除去用組成物を提供する。
【解決手段】
(1)15重量%〜20重量%の過酸化水素、(2)0.1重量%〜10重量%の四級アンモニウム水酸化物、(3)0.05〜5重量%の無機酸、(4)0.0001重量%〜0.1重量%の過酸化水素の安定剤を含有し、pHが8〜9である残渣除去用組成物を使用する。
【選択図】図1
Description
しかし、上述した処理方法はチタンおよび/又はチタン合金や絶縁膜材料に対する腐食性が大きいか、または残渣除去能力が不足しているため、チタンおよび/又はチタン合金が用いられた半導体集積回路の残渣除去には適用することができない。
1.(1)15重量%〜20重量%の過酸化水素、(2)0.1重量%〜10重量%の四級アンモニウム水酸化物、(3) 0.05重量%〜5重量%の無機酸、(4) 0.0001重量%〜0.1重量%の過酸化水素の安定剤を含有しpHが8〜9である残渣除去用組成物。
2.前記四級アンモニウム水酸化物が水酸化テトラメチルアンモニウムである1項記載の残渣除去用組成物。
3.前記無機酸がリン酸である前項1〜2のいずれか1項記載の残渣除去用組成物。
4.前記過酸化水素の安定剤がホスホン酸系キレート剤である前項1〜3のいずれか1項記載の残渣除去用組成物。
5.チタンおよび/またはチタン合金を含む配線基板を、前項1〜4のいずれか1項記載の残渣除去用組成物で処理することで残渣の除去を行う洗浄方法。
本発明の組成物は酸化剤として過酸化水素を含有する。本発明の組成物の残渣除去性および腐食性は主に過酸化水素の濃度と組成物のpH(水素イオン濃度)により決定される。本発明の組成物中における過酸化水素の濃度は15重量%〜20重量%であることが好ましい。残渣除去用組成物のpHは8〜9であることが好ましい。過酸化水素の濃度が15重量%よりも低いと残渣除去性が著しく低くなり、過酸化水素の濃度が20重量%よりも高いとチタンおよび/又はチタン合金への腐食性が大きくなるため実用に適さない。またpHが8より低くても残渣除去性が著しく低くなり、pHが9よりも高いとチタンや絶縁膜材料への腐食性が大きくなる。そして、過酸化水素の安定性が低下して性能維持が困難となるため実用に適さない。
1. 試片Aの作製
銅およびチタンによる配線層と炭素ドープした酸化ケイ素(SiOC)による絶縁層が積層されたシリコンウェハ基板にレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとしてドライエッチングにより銅、チタン、炭素ドープト酸化ケイ素からなるパターンを形成し、試片Aを得た。試片Aの断面の模式図を図1に示す。
表1に示す組成の残渣除去用組成物を作製し、試片Aを40℃に加温した各組成物に3分間浸漬処理した後、超純水リンスを行い、窒素ガスによりブロー乾燥し、走査型電子顕微鏡(SEM)観察により配線層の腐食の有無、絶縁膜の腐食の有無及び残渣の有無を確認した。
(配線層腐食性)
○:配線層の腐食が全く観察されない
△:配線層の腐食が一部に観察される
×:配線層の腐食が全体に観察される
(絶縁膜腐食性)
○:絶縁膜の腐食が全く観察されない
△:絶縁膜の腐食が一部に観察される
×:絶縁膜の腐食が全体に観察される
(残渣除去性)
○:残渣の残存が全く観察されない
△:残渣の残存が一部に観察される
×:残渣の残存が全体に観察される。
TMAH:水酸化テトラメチルアンモニウム
DTPP:ジエチレントリアミンペンタ(メチレンホスホン酸)
PDTP:1,2-プロピレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)
なお、表1中の組成に示された濃度は全て重量%であり、各実施例において100重量%に達しない残分は全て水である。
表2に示す組成の残渣除去用組成物を作製し、実施例1〜7と同様の条件にて試験片Aを処理し、評価を行った。
なお、表2中の組成に示された濃度は全て重量%であり、各実施例において100重量%に達しない残分は全て水である。
2:炭素ドープした酸化ケイ素
3:レジスト
4:銅
5:チタン
6:ドライエッチング残渣物
Claims (5)
- (1)15重量%〜20重量%の過酸化水素、(2)0.1重量%〜10重量%の四級アンモニウム水酸化物、(3) 0.05重量%〜5重量%の無機酸、(4) 0.0001重量%〜0.1重量%の過酸化水素の安定剤を含有しpHが8〜9である残渣除去用組成物。
- 前記四級アンモニウム水酸化物が水酸化テトラメチルアンモニウムである請求項1記載の残渣除去用組成物。
- 前記無機酸がリン酸である請求項1〜2のいずれか1項記載の残渣除去用組成物。
- 前記過酸化水素の安定剤がホスホン酸系キレート剤である請求項1〜3のいずれか1項記載の残渣除去用組成物。
- チタンおよび/またはチタン合金を含む配線基板を、請求項1〜4のいずれか1項記載の残渣除去用組成物で処理することで残渣の除去を行う洗浄方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009075285A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Fujifilm Corp | 半導体デバイスの剥離液、及び、剥離方法 |
JP2011094100A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Fujifilm Corp | 洗浄組成物、洗浄方法、及び半導体装置の製造方法 |
US8916479B1 (en) | 2013-06-10 | 2014-12-23 | Intermolecular, Inc. | Selective etching of titanium nitride |
US9330937B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-05-03 | Intermolecular, Inc. | Etching of semiconductor structures that include titanium-based layers |
US9663715B2 (en) | 2011-04-21 | 2017-05-30 | Sun Chemical Corporation | Polycrystalline texturing composition and method |
JP2022130361A (ja) * | 2016-10-06 | 2022-09-06 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 半導体基板の残渣を除去するための洗浄用調合物 |
WO2023080235A1 (ja) * | 2021-11-08 | 2023-05-11 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板の製造方法およびレジストの剥離方法、並びにこれらに用いるレジスト剥離前処理液 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05275405A (ja) * | 1991-01-24 | 1993-10-22 | Wako Pure Chem Ind Ltd | 表面処理方法及び処理剤 |
JP2000031133A (ja) * | 1998-04-08 | 2000-01-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ペロブスカイト型酸化物のエッチング方法 |
JP2000147794A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | フォトレジスト剥離液 |
JP2001308052A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-02 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 半導体基板の洗浄方法 |
JP2003005383A (ja) * | 2000-11-30 | 2003-01-08 | Tosoh Corp | レジスト剥離剤 |
JP2003146946A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-21 | Tosoh Corp | 第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液の製造方法 |
JP2003228180A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 銅配線基板向け洗浄液およびこれを使用したレジスト剥離方法 |
JP2003330205A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-19 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | レジスト剥離液 |
JP2004004775A (ja) * | 2002-04-26 | 2004-01-08 | Kao Corp | レジスト用剥離剤組成物 |
-
2007
- 2007-02-08 JP JP2007028962A patent/JP4835455B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05275405A (ja) * | 1991-01-24 | 1993-10-22 | Wako Pure Chem Ind Ltd | 表面処理方法及び処理剤 |
JP2000031133A (ja) * | 1998-04-08 | 2000-01-28 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ペロブスカイト型酸化物のエッチング方法 |
JP2000147794A (ja) * | 1998-11-12 | 2000-05-26 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | フォトレジスト剥離液 |
JP2001308052A (ja) * | 2000-04-27 | 2001-11-02 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 半導体基板の洗浄方法 |
JP2003005383A (ja) * | 2000-11-30 | 2003-01-08 | Tosoh Corp | レジスト剥離剤 |
JP2003146946A (ja) * | 2001-11-07 | 2003-05-21 | Tosoh Corp | 第四級アンモニウム塩の過酸化水素化物溶液の製造方法 |
JP2003228180A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-15 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 銅配線基板向け洗浄液およびこれを使用したレジスト剥離方法 |
JP2004004775A (ja) * | 2002-04-26 | 2004-01-08 | Kao Corp | レジスト用剥離剤組成物 |
JP2003330205A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-19 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | レジスト剥離液 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009075285A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Fujifilm Corp | 半導体デバイスの剥離液、及び、剥離方法 |
JP2011094100A (ja) * | 2009-09-30 | 2011-05-12 | Fujifilm Corp | 洗浄組成物、洗浄方法、及び半導体装置の製造方法 |
US9068153B2 (en) | 2009-09-30 | 2015-06-30 | Fujifilm Corporation | Cleaning composition, cleaning process, and process for producing semiconductor device |
US9726978B2 (en) | 2009-09-30 | 2017-08-08 | Fujifilm Corporation | Cleaning composition, cleaning process, and process for producing semiconductor device |
US9663715B2 (en) | 2011-04-21 | 2017-05-30 | Sun Chemical Corporation | Polycrystalline texturing composition and method |
US8916479B1 (en) | 2013-06-10 | 2014-12-23 | Intermolecular, Inc. | Selective etching of titanium nitride |
US9330937B2 (en) | 2013-11-13 | 2016-05-03 | Intermolecular, Inc. | Etching of semiconductor structures that include titanium-based layers |
JP2022130361A (ja) * | 2016-10-06 | 2022-09-06 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 半導体基板の残渣を除去するための洗浄用調合物 |
JP7400013B2 (ja) | 2016-10-06 | 2023-12-18 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 半導体基板の残渣を除去するための洗浄用調合物 |
WO2023080235A1 (ja) * | 2021-11-08 | 2023-05-11 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板の製造方法およびレジストの剥離方法、並びにこれらに用いるレジスト剥離前処理液 |
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