JP2008187151A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置100の半導体基板10には、複数のトランジスタが形成されている。複数のエミッタ電極14a−14dは、半導体基板のトランジスタ群を複数のトランジスタブロックに分割している。ボンディングワイヤ26a−26dは、夫々のエミッタ電極とリード電極20を個別に接続する。各ボンディングワイヤは、コレクタ電極から各エミッタ電極を介してリード電極へ至る夫々の経路の抵抗を所定の値にする抵抗を有する。小さい抵抗のトランジスタを含むトランジスタブロックは大きい抵抗を有するボンディングワイヤで接続される。トランジスタブロックごとに、各トランジスタに電流が分散するので、特定のトランジスタへの電流の集中が抑制できる。
【選択図】図1
Description
パワートランジスタでは、トランジスタをオンしたときに、複数個のトランジスタの各々に均一な大きさの電流が流れることが好ましい。個々のトランジスタの耐量は低いために、特定のトランジスタに過大な電流が流れると、そのトランジスタが破壊する虞があるからである。1個、或いは幾つかのトランジスタが破壊すると、パワートランジスタそのものが破壊する虞がある。
並列に接続されている複数のトランジスタのうちの特定のトランジスタに電流が集中する事象は、その特定のトランジスタのオン抵抗が他のトランジスタのオン抵抗よりも低い場合に生じる。半導体装置の製造誤差によって、複数のトランジスタを同一の半導体基板内に形成しても、トランジスタのオン抵抗がトランジスタ毎にばらつくことが避けられない。
特許文献1の技術では、エミッタ電極と接地点を接続するボンディングワイヤがトランジスタブロック毎に分割されている。このために、各々のトランジスタブロックを流れる電流は、各々のトランジスタブロックのオン抵抗に直接的には反比例せず、コレクタ電極と接地点を接続する回路全体のインピーダンスに反比例することになる。特許文献1の技術では、各々のトランジスタブロックのオン抵抗に、各々のトランジスタブロックのエミッタ電極を接地するボンディングワイヤのインピーダンスを加算したものが、コレクタ電極と接地点を接続する回路全体のインピーダンスとなる。特許文献1の技術では、高周波領域で用いるために、各々のトランジスタブロックのオン抵抗に比して、ボンディングワイヤのインピーダンスが格段に大きくなる。特許文献1の技術では、トランジスタブロック毎に分割されているエミッタ電極毎にボンディングワイヤで接地することによって、各々のトランジスタブロックのオン抵抗によるばらつきの影響を軽減し、各々のトランジスタブロックを流れる電流のばらつきを低減する。
特許文献1の技術では、各々のボンディングワイヤのインピーダンスをZとしたときに、第1トランジスタブロックには1/(R1+Z)の電流が流れ、第2トランジスタブロックには1/(R2+Z)の電流が流れる。ここで、R1、R2はZに比して小さことから、オン抵抗R1、R2がばらついても通電電流のばらつきは小さく抑えられる。
特許文献1の半導体装置は、トランジスタのオン抵抗Rに比して大きな値を持つボンディングワイヤのインピーダンスZを利用すると、通電電流のばらつきを小さく抑えられることを基本原理としており、全部のエミッタ電極を、共通特性を持つボンディングワイヤで接続する。分割されているエミッタ電極によって、用いるボンディングワイヤの種類を変えるというものでないことに留意するべきである。
トランジスタのオン抵抗よりも大きな抵抗を持つボンディングワイヤを利用できないパワートランジスタに対して、各々のトランジスタのオン抵抗の不均一性に抗して通電電流のばらつきを抑制できる技術が必要とされている。
トランジスタはユニポーラであってもバイポーラであってもよい。ユニポーラトランジスタの場合は、各々が「ソース領域とドレイン領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造が半導体基板内に形成されている。バイポーラトランジスタの場合は、各々が「エミッタ領域又はコレクタ領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造が半導体基板内に形成されている。本発明のトランジスタは、ユニポーラであってもバイポーラであってもよいことから、各々が「エミッタ領域とコレクタ領域」又は「ソース領域とドレイン領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造を備えている、といえる。第3複数個のトランジスタ構造が半導体基板内に形成されている。
本発明の半導体装置では、主電極の一方が、全部のトランジスタ構造に対して共通である。共通の主電極は、ユニポーラトランジスタのソース電極であってもよいし、ユニポーラトランジスタのドレイン電極であってもよいし、バイポーラトランジスタのエミッタ電極であってもよいし、バイポーラトランジスタのコレクタ電極であってもよい。
本発明の半導体装置では、主電極の他方が、トランジスタブロックに対応して分割されている。分割電極は、共通電極と対を成す電極であり、共通電極がユニポーラトランジスタのソース電極であればドレイン電極が分割されており、共通電極がユニポーラトランジスタのドレイン電極であればソース電極が分割されており、共通電極がバイポーラトランジスタのエミッタ電極であればコレクタ電極が分割されており、共通電極がバイポーラトランジスタのコレクタ電極であればエミッタ電極が分割されている。各々の分割電極は、対応するトランジスタブロック内のトランジスタ構造に共通に接続されている。
上記から、本発明の半導体装置は、第3複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の一方に共通的に接続されている共通電極と、トランジスタブロック内の第1複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の他方に共通的に接続されているとともに、トランジスタブロック毎に分割されている分割電極を備えていると表現することができる。
本発明の半導体装置は、共通リード電極と、第2複数個の分割電極と共通リード電極を接続する第2複数本のボンディングワイヤを備えている。本発明の半導体装置では、共通電極と分割電極間のオン抵抗の高いトランジスタブロックには抵抗値の低いボンディングワイヤが利用されており、共通電極と分割電極間のオン抵抗の低いトランジスタブロックには抵抗値の高いボンディングワイヤが利用されている。なお、ここでいうボンディングワイヤは、単純なボンディングワイヤであってもよいし、抵抗素子が挿入されているボンディングワイヤであってもよい。
本発明の半導体装置では、共通電極と分割電極間のオン抵抗の高いトランジスタブロックには抵抗値の低いボンディングワイヤが利用されており、共通電極と分割電極間のオン抵抗の低いトランジスタブロックには抵抗値の高いボンディングワイヤが利用されていることから、各々のトランジスタブロックを流れる電流の大きさを決める実質的な抵抗は、全部のトランジスタブロックに対して均一化され、特定のトランジスタブロックに電流が集中的に流れることを効果的に抑制することができる。
共通電極と分割電極間のオン抵抗にボンディングワイヤの抵抗値を加算した合計抵抗値が、各々のトランジスタブロックを流れる電流の大きさを決める実質的な抵抗となる。ボンディングワイヤの抵抗値を調整することによって、オン抵抗のトランジスタブロック間のばらつきよりも合計抵抗値のトランジスタブロック間のばらつきの方が小さいという関係が得られていれば、トランジスタブロックを流れる電流の大きさがトランジスタブロック毎にばらつくことを効果的に抑制することができる。
その製造方法は、半導体基板内に、各々が「エミッタ領域とコレクタ領域」又は「ソース領域とドレイン領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造を形成する工程と、第3複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の一方に共通的に接続されている共通電極を形成する工程と、トランジスタブロック内の第1複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の他方に共通的に接続されているとともに、トランジスタブロック毎に分割されている分割電極を形成する工程と、共通リード電極を形成する工程と、共通電極と分割電極間のオン抵抗をトランジスタブロック毎に計測する工程と、前記オン抵抗が高いトランジスタブロックには抵抗値の低いボンディングワイヤで共通リード電極と分割電極を接続し、前記オン抵抗が低いトランジスタブロックには抵抗値の高いボンディングワイヤで共通リード電極と分割電極を接続する工程を備えている。
本発明の製造方法では、各々のトランジスタブロックのオン抵抗を計測する。また、計測した抵抗に応じた抵抗値を有するボンディングワイヤで、そのトランジスタブロックの分割電極と共通リード電極を接続する。具体的には、計測したオン抵抗が小さいほど大きい抵抗値を有するボンディングワイヤで接続する。そうすることによって、各々のトランジスタブロックに流れる電流の大きさを均一化することができる。
半導体基板10内には、第3図を参照して後記するように、12個のIGBT(バイポーラトランジスタ)が形成されている。半導体基板10の上面には、4個のエミッタ電極14a、14b、14c、14d、及び、ゲートパッド16が形成されている。また、半導体基板10の下面にはコレクタ電極34(図2参照)が形成されている。第3図を参照して後記するように、エミッタ電極14aは12個のIGBTのうちの3個のエミッタ領域に導通しており、エミッタ電極14bは他の3個のエミッタ領域に導通しており、エミッタ電極14cはさらに他の3個のエミッタ領域に導通しており、エミッタ電極14dは残りの3個のエミッタ領域に導通している。図1の半導体装置は、12個のIGBTが、各々が3個のIGBTを備えている4個のトランジスタブロックに分割されている。
図示を省略しているが、夫々のリード電極20、22、及び24は、半導体装置100のパッケージ外部まで伸びており、半導体基板10に形成された夫々の電極を半導体装置100の外部の電子部品と接続する機能を果す。即ち、4個のエミッタ電極14a−14dに接続されている第1リード電極20は、半導体装置100のエミッタ端子に相当し、ゲートパッド16に接続されている第2リード電極22は、半導体装置100のゲート端子に相当し、コレクタ電極34に接続されている第3リード電極24は、半導体装置100のコレクタ端子に相当する。
半導体基板10には、図2の上側から低濃度p型のボディ層28、低濃度n型のドリフト層30、及び、p型のコレクタ層32が形成されている。コレクタ層32の下面にコレクタ電極34が形成されている。
ボディ層28の表面には、ボディ層28を貫通してドリフト層30に達する複数のトレンチ36a−36fが形成されており、各トレンチの壁面は絶縁膜で被覆されており、その内部にはゲート電極が充填されている。夫々のゲート電極は、図1に示すゲートパッド16に接続されている。
ボディ層28の表面でトレンチ36aの両側に高濃度n型のエミッタ領域38aが形成されている。同様に、各トレンチ36b−36fの両側に、夫々エミッタ領域38b−38fが形成されている。
図2には図示を省略しているが、エミッタ電極14c、14dに対応する部分の断面も図2と同様の構造を有している。エミッタ電極14cによって、3個のトランジスタが並列に接続されたトランジスタブロック(図3に示すトランジスタブロック40c)が形成され、エミッタ電極14dによって、3個のトランジスタが並列に接続されたトランジスタブロック(図3に示すトランジスタブロック40d)が形成されている。つまり、半導体基板10は、12個のトランジスタを有している。12個のトランジスタは、各々が3個のIGBTを備えている4個のトランジスタブロックに分割されている。
夫々のエミッタ電極14a−14dは、ボンディングワイヤ26a−26dによって第1リード電極20に個別に接続されている。夫々のボンディングワイヤは抵抗を有するので、図3ではボンディングワイヤ26a−26dを抵抗の記号で表している。
第3リード電極24は、コレクタ電極34に接続されているため、図3の回路図においては、第3リード電極24は、コレクタ電極34に等しい。コレクタ電極34は、12個のトランジスタに共通的に接続されている。
エミッタ端子とコレクタ端子の間に印加される電圧と、オン時に半導体装置100に流れる電流の設計値から、エミッタ端子とコレクタ端子間の抵抗が算出できる。前記した所定値は、算出した抵をトランジスタブロックの数で除した値である。
その相違に抗して、「トランジスタブロック40aのオン抵抗+ボンディングワイヤ26aの抵抗値」=「トランジスタブロック40bのオン抵抗+ボンディングワイヤ26bの抵抗値」=「トランジスタブロック40cのオン抵抗+ボンディングワイヤ26cの抵抗値」=「トランジスタブロック40dのオン抵抗+ボンディングワイヤ26dの抵抗値」の関係を得るためには、ボンディングワイヤ26aの抵抗値と、ボンディングワイヤ26bの抵抗値と、ボンディングワイヤ26cの抵抗値と、ボンディングワイヤ26dの抵抗値の各々が、適値に選択されていなければならない。
(1)半導体装置100の設計値から、半導体装置100のエミッタ端子とコレクタ端子の間に印加する電圧Vdesと、半導体装置100がオンした場合にエミッタ端子とコレクタ端子に流れる電流(コレクタ電流)Idesが決められる。
(2)電圧Vdesで電流Idesが流れるという設計条件から、半導体装置100のエミッタ端子とコレクタ端子の間の抵抗Rdesが求まる。4個のトランジスタブロックの夫々に均等に電流が流れるためには、コレクタ電極34から各エミッタ電極14a〜14dを介して第1リード電極20へ至る夫々の経路の抵抗が、Rdes/4であればよい。抵抗Rdes/4が、前述した所定値に相当する。
(3)各トランジスタブロックのオン抵抗Rblockを計測する。トランジスタブロックのオン抵抗の計測方法については後述する。
(4)各ボンディングワイヤの抵抗Rbwは、Rbw=Rdes/4−Rblockで求められる。
上記の過程を経て決定された抵抗を有するボンディングワイヤで、各エミッタ電極14a〜14dと第1リード電極20を個別に接続することによって、コレクタ電極34(第3リード電極24)から各エミッタ電極14a〜14dを介して第1リード電極20へ至る夫々の経路の抵抗をRdes/4に揃えることができる。これにより、半導体装置100にコレクタ電流Idesが流れるときに、各トランジスタブロックに均等に、電流Ides/4が流れる。
この場合、いずれかのトランジスタブロックに他のトランジスタよりも小さいオン抵抗を有するトランジスタが含まれている場合でも、各トランジスタブロックには均等に電流Ides/4が流れる。
複数のトランジスタが単純に並列に接続されている半導体装置では、他のトランジスタのオン抵抗よりも小さいオン抵抗を有するトランジスタが存在する場合、オン抵抗の小さいトランジスタに設計値よりも大きい電流が流れ、他のトランジスタには設計値よりも小さい電流が流れる。他のトランジスタに流れる電流が設計値より小さくなった分が、オン抵抗の小さいトランジスタに集中する。なお、各トランジスタに流れる電流の設計値は、全てのトランジスタが同じ大きさのオン抵抗を有すると仮定した場合に各トランジスタに流れる電流の大きさである。換言すれば、各トランジスタに流れる電流の設計値は、上記のコレクタ電流Idesをトランジスタの総数で除した値である。
本実施例の半導体装置では、各トランジスタブロックに流れる電流は均一となる。従って、オン抵抗の小さいトランジスタを含まないトランジスタブロックにおいては、各トランジスタに設計値通りの電流が流れる。
他方、オン抵抗の小さいトランジスタを含むトランジスタブロックでは、設計通りのオン抵抗を有するトランジスタには設計値よりも小さい電流が流れる。その一方でオン抵抗の小さいトランジスタには設計値よりも大きい電流が流れる。しかしながら、このトランジスタブロックには、抵抗値の大きいボンディングワイヤが接続されており、一個あたりのトランジスタを流れる平均電流は他のブロックよりも減少している。オン抵抗の小さいトランジスタに集中して電流が流れたとしても、その電流は、単純に並列接続した場合に流れる電流値よりも小さい。多数のトランジスタが単純に並列に接続する場合に比して、複数個のブロックに分割するとともにオン抵抗のばらつきをボンディングワイヤの抵抗値によって補償することによって、他のトランジスタよりも小さい抵抗を有するトランジスタへの電流の集中を低減できる。
この工程では、図2に示す断面構造を有しており、複数のトランジスタ構造が形成された半導体基板を製造する。半導体基板は、一般に良く知られた製造方法で製造することができるので詳細な説明は省略する。但し、図2に示す通り、エミッタ電極は、複数個に分割されて形成される。分割されたエミッタ電極も、従来の半導体基板の製造方法で形成することができる。
この工程では、エミッタ電極によって分割されたトランジスタブロック毎に抵抗を計測する。具体的にはオン抵抗を直接計測するのではなく、カットオフ電圧(或いはオン電圧)をトランジスタブロック毎に計測し、計測したカットオフ電圧(或いはオン電圧)の時のトランジスタブロックのコレクタとエミッタ間の電圧と電流の値からオン抵抗を算出する。カットオフ電圧は、コレクタとエミッタの間に一定の電圧を印加した状態で、所定の値のコレクタ電流が流れるときのゲート電圧である。オン電圧は、一定のゲート電圧を印加した状態で、所定の値のコレクタ電流が流れるときのコレクタとエミッタの間の電圧である。カットオフ電圧(或いはオン電圧)の計測は、従来は半導体装置全体の性能確認のために実施することはあったが、トランジスタブロックごとに実施することはなかった。カットオフ電圧(或いはオン電圧)を計測することによって、トランジスタブロック毎のコレクタ電極とエミッタ電極の間の電圧と電流の関係が特定できる。その関係からトランジスタブロックのオン抵抗を求めることができる。
トランジスタブロックごとのカットオフ電圧(或いはオン電圧)は、各エミッタ電極14a−14dとコレクタ電極34に計測用のプローブを当てることで容易に計測できる。
図1に示すように、半導体基板10をフレーム12に固定し、エミッタ電極14a−14dと第1リード電極20を夫々個別にボンディングワイヤで接続する。ワイヤボンディングの方法そのものは、既知の方法と同様である。但し、本実施例の場合、夫々のエミッタ電極14a−14dと第1リード電極20を接続するボンディングワイヤは、夫々独自の抵抗を有している。ボンディングワイヤの抵抗は前述した通りに決定される。
以上の工程によって、抵抗の小さいトランジスタへの電流の集中を抑制する半導体装置を製造することができる。
半導体基板の構造は、図2の構造でなくともよい。半導体基板の一方の表面側に、コレクタ領域とエミッタ領域とゲート電極が形成されているタイプの半導体基板であってもよい。あるいは、ソース領域とドレイン領域を有するユニポーラタイプの半導体装置であってもよい。この場合も、表裏両面に主電極を持つ縦型であってもよいし、一方の面に一対の主電極を持つ横型のものであってもよい。
ブロックに分割する電極は、エミッタ電極に限られない。コレクタ電極、ソース電極、あるいはドレイン電極を、複数個の電極に分割してもよい。
各トランジスタブロックは、ほぼ等しい数のトランジスタを有する単位に分割されていればよく、厳密に同一数でなくてもよい。全体として1000個以上のトランジスタを有する場合、ブロック内のトランジスタ数がほぼ同数であれば、厳密に同一数でなくても本発明をそのまま適用することができる。
なお、各トランジスタブロックが大きく異なる個数のトランジスタから構成されていてもよい。下記の式、すなわち、(ブロックのオン抵抗+ボンディングワイヤの抵抗値)×ブロック内のトランジスタ数が、全部のブロックについて均質化されていれば、各トランジスタを流れる電流の大きさは均質化される。
ボンディングワイヤの抵抗は、トランジスタブロックのオン抵抗がその設計上のオン抵抗よりも小さい場合に、そのトランジスタブロックに流れる電流が設計上の電流値よりも小さくなる値に設定する。トランジスタブロックのオン抵抗がその設計上の抵抗よりも小さい場合は、そのトランジスタブロックに、トランジスタの設計上のオン抵抗よりも小さいオン抵抗を有するトランジスタが含まれる場合に生じる。そのようなトランジスタブロックには、本来流すべき設定上の電流値よりも小さい電流が流れるように、ボンディングワイヤの抵抗値を設定する。その結果、小さい抵抗を有するトランジスタへの電流の集中を抑制できる。他方、他のトランジスタブロックには設計上の電流値よりも大きい電流が流れることになる。他のトランジスタブロックに流れる電流は、設計値通りのオン抵抗を有する多数のトランジスタに均等に分散される。半導体装置全体としては、設計値通りの電流を流すことができるとともに、小さいオン抵抗を有するトランジスタへの電流の集中を抑制することができる。
なお、トランジスタブロックの設計上の抵抗は、そのトランジスタブロックに含まれるトランジスタの設計上のオン抵抗から決められる。設計上の抵抗がrであるn個のトランジスタから構成されるトランジスタブロックの設計上のオン抵抗はr/nとなる。
また、トランジスタブロックの設計上の電流値は、そのトランジスタブロックに含まれるトランジスタの設計上の電流値から決められる。設計上の電流値がiであるn個のトランジスタから構成されるトランジスタブロックの設計上の電流値はn×iとなる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
12:フレーム
14a、14b、14c、14d:エミッタ電極
18:ボンディングワイヤ
20:第1リード電極
22:第2リード電極
24:第3リード電極
26a、26b、26c、26d:ボンディングワイヤ
28:ボディ層
30:ドリフト層30
32:コレクタ層
34:コレクタ電極
40:トランジスタブロック
100:半導体装置
Claims (5)
- 各々が第1複数個のトランジスタを備えている第2複数個のトランジスタブロックを備えており、第1複数個と第2複数個の積に等しい第3複数個のトランジスタを備えている半導体装置であり、
半導体基板内に形成されており、各々が「エミッタ領域とコレクタ領域」又は「ソース領域とドレイン領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造と、
第3複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の一方に共通的に接続されている共通電極と、
トランジスタブロック内の第1複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の他方に共通的に接続されているとともに、トランジスタブロック毎に分割されている分割電極と、
共通リード電極と、
第2複数個の分割電極と共通リード電極を接続する第2複数本のボンディングワイヤを備えており、
共通電極と分割電極間のオン抵抗の高いトランジスタブロックには抵抗値の低いボンディングワイヤが利用されており、共通電極と分割電極間のオン抵抗の低いトランジスタブロックには抵抗値の高いボンディングワイヤが利用されていることを特徴とする半導体装置。 - 共通電極と分割電極間のオン抵抗のトランジスタブロック間のばらつきよりも、共通電極と分割電極間のオン抵抗にボンディングワイヤの抵抗値を加算した合計抵抗値のトランジスタブロック間のばらつきの方が小さいことを特徴とする請求項1の半導体装置。
- 各々が第1複数個のトランジスタを備えている第2複数個のトランジスタブロックを備えており、第1複数個と第2複数個の積に等しい第3複数個のトランジスタを備えている半導体装置の製造方法であり、
半導体基板内に、各々が「エミッタ領域とコレクタ領域」又は「ソース領域とドレイン領域」を有している第3複数個のトランジスタ構造を形成する工程と、
第3複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の一方に共通的に接続されている共通電極を形成する工程と、
トランジスタブロック内の第1複数個のトランジスタ構造の「エミッタ領域又はソース領域」と「コレクタ領域又はドレイン領域」の他方に共通的に接続されているとともに、トランジスタブロック毎に分割されている分割電極を形成する工程と、
共通リード電極を形成する工程と、
共通電極と分割電極間のオン抵抗をトランジスタブロック毎に計測する工程と、
前記オン抵抗が高いトランジスタブロックには抵抗値の低いボンディングワイヤで共通リード電極と分割電極を接続し、前記オン抵抗が低いトランジスタブロックには抵抗値の高いボンディングワイヤで共通リード電極と分割電極を接続する工程、
を備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - トランジスタブロック毎に計測されたオン抵抗を所定抵抗値から減じて抵抗差を求める工程と、
抵抗値を異にする複数種類のボンディングワイヤの中から、前記工程で求められた抵抗差に最も近い抵抗値を有するボンディングワイヤを選択する工程、
をさらに備えている請求項3の製造方法。 - トランジスタブロック毎に計測されたオン抵抗を所定抵抗値から減じて抵抗差を求める工程と、
前記工程で求められた抵抗差にほぼ等しい抵抗値をもたらすボンディングワイヤの太さと長さと本数のうちの少なくとも一種を選択する工程、
をさらに備えている請求項3の製造方法。
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