JP2008183766A - インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008183766A JP2008183766A JP2007018066A JP2007018066A JP2008183766A JP 2008183766 A JP2008183766 A JP 2008183766A JP 2007018066 A JP2007018066 A JP 2007018066A JP 2007018066 A JP2007018066 A JP 2007018066A JP 2008183766 A JP2008183766 A JP 2008183766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- element substrate
- recording element
- ink jet
- recording head
- jet recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Abstract
【課題】 印刷画質の低下等の問題を解決し、高画質の、信頼性の高い、小型で、安価なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体吐出基板の巾を一部広くすることで、見かけ上液体吐出基板の巾が広がり、支持部材に対して液体吐出基板が貼り付けられる際の傾き角度を低減する。
【選択図】 図1
【解決手段】 液体吐出基板の巾を一部広くすることで、見かけ上液体吐出基板の巾が広がり、支持部材に対して液体吐出基板が貼り付けられる際の傾き角度を低減する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、インク等の記録液を吐出して記録動作を行う記録装置、この記録装置に適用される記録ヘッド、この記録ヘッドに適用される記録素子基板との配線基板の接続に関するものである。なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことからインクジェット記録装置は、プリンター、ワードプロセッサ、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
このインクジェット記録装置における代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微小な吐出口から微少な液滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものとなっており、一般に、液滴を形成するためのインクジェット記録ノズルと、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。
電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギーを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。さらに電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシューター)と電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシュータ)とがある。
特許文献1(液体吐出記録ヘッド、それを備える記録装置,および、液体吐出記録ヘッドの製造方法、キヤノン)にて複数の記録素子基板が支持部材上に位置決めされ、接着により固定されるインクジェット記録ヘッドが開示されている。また、支持部材は、記録素子基板が駆動時に発する熱を放熱する役目とともに、その配される基板取付け面に対して互いに平行にする役割を果たすと開示されている。
特許文献2(インクジェット記録ヘッド、キヤノン)にて、複数の記録素子ユニットを支持板を介して支持部材の上面に複数の接着樹脂により接着固定するインクジェット記録ヘッドが開示されている。
特許文献3(インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法、キヤノン)にて複数の記録素子基板を第1の支持部材に接着剤により固定するインクジェット記録ヘッドが開示されている。
図2は、上述の文献に基くサイドシュータ方式のインクジェット記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ20を表す図で、(a)はその平面図、(b)はそのB−B‘断面図である。ここでインクジェット記録ヘッドチップ20は、Siウエハーから切り出され、インクを発泡させて吐出させるためのヒーター2と、ヒーター2を駆動する回路(不図示)に電気信号を供給する電極4が設けられた記録素子基板1上に、インク吐出口6と液室6aが設けられたノズル材5が形成されており、また、記録素子基板1には前記液室6aと連通するインク供給口3が空けられている。
さらに、記録素子基板に使用されるSi基板等の半導体基板は、ダイヤモンド粒子等を散りばめた切断ブレードを使用する切断分離装置であるブレードダイサーにより分離切断され、それらの装置は株式会社東京精密や株式会社ディスコ等で販売されている。
特許文献4(切断起点領域形成方法及び加工対象物切断方法、浜松ホトニクス)、特許文献5(レーザ加工方法、浜松ホトニクス)にて、従来ブレードダイサー等を用いて加工対象物を切断分離していたものを、加工対象物の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、加工対象物の切断予定ラインに沿って加工対象物の内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程を備え、切断する箇所に前記改質領域による起点があると加工対象物はその起点から割れるので、比較的小さな力で加工対象物を切断する、加工対象物切断方法及びレーザ加工方法が開示されている。
図5は、特許文献4、特許文献5に開示されているSiウエハー等の加工対象物51に対する切断予定ライン52の一例を示しており、このように、切断予定ライン52が複雑な形状であっても、切断加工が可能となる。すなわち、加工対象物51の切断加工にレーザ光を用いるので、ダイヤモンドカッタを用いたダイシングのように、交差する2つの終端のない直線で構成される形態よりも複雑な、終端のある直線での加工や、曲線での加工等が可能となる。
特開2001−129977号公報
特開平11-138814号公報
特開2002−19119号公報
特登録3408805号公報
特開2002−192370号公報
しかしながら、上述した特許文献1乃至特許文献3におけるインクジェット記録ヘッドには、印字品位を低下させる以下のような可能性がある。
すなわち、特許文献1乃至特許文献3において、支持部材は、記録素子基板が駆動時に発する熱を放熱する役目とともに、その配される基板取付け面に対して互いに平行にする役割を果たすとあるが、下記のような傾きθ0を持つ可能性がある。
すなわち、インクジェット記録装置の価格競争上および多色化等の多機能化のために、インクジェット記録ヘッドのコストを下げる必要があり、Siウエハー(不図示)上の記録素子基板1の取り個数を増やすことが有効で、発明者は、図2(b)に示す記録素子基板1の巾W1が1mm以下にする検討をしてきた。
図3は、複数の記録素子基板を支持部材上に位置決めする主要工程を説明する要部断面図で、(a)は記録素子基板20a、21a、22aを使用した複数のインクジェット記録ヘッドチップ20、21、22を真空吸着する為の貼付ヘッド150で、貼付ヘッドベース151に吸引穴152が各インクジェット記録ヘッドチップ20、21、22毎に独立に設けられている。また、インクジェット記録ヘッドチップ20、21、22のインク吐出口6にごみ等で傷を付けない為の逃げ部153が各インクジェット記録ヘッドチップ20、21、22毎に独立に設けられている。
図3(b)は、貼付ヘッド150でインクジェット記録ヘッドチップ20、21、22をそれぞれのインクジェット記録ヘッドチップに対応する液体供給口9が設けられた支持部材8に貼り付けている途中工程を示すもので、図3(c)は、インクジェット記録ヘッドチップ20、21、22が支持部材8に接着剤7により固定されたインクジェット記録ヘッドユニット200の完成図である。
図3(b)で予め支持部材8に塗布されたインクジェット記録ヘッドチップ20、21、22それぞれに対応する接着剤7に、貼付ヘッド150によりインクジェット記録ヘッドチップ20、21、22を接着剤7の厚さtが10μm以下になるように押圧し、はみ出した接着剤7a、7b等を紫外線で仮硬化させる。ここで接着剤7は、紫外線硬化と熱硬化の併用型のエポキシ接着剤を使用する。次に、貼付ヘッド150が上昇して、インクジェット記録ヘッドユニット200を150℃3時間程度オーブンにて加熱硬化させ、図3(c)に示すようにインクジェット記録ヘッドユニット200が完成する。このとき、はみ出した接着剤7a、7bの量が異なる、或は、例えば図3(b)に示すようにインクジェット記録ヘッドチップ21に用いられる記録素子基板21aの厚みが薄いことによるインクジェット記録ヘッドチップ21aの押圧不足で接着剤7の厚さが厚い等で、図3(c)に示すように接着剤7の硬化収縮量の差によるインクジェット記録ヘッドチップ21aの傾きθ1が生じることがある。この傾きθ1は接着剤7の厚さtは10μm以下に抑えてあるが、2〜3μmのばらつきがあり、例えば記録素子基板1の巾W1が1mmで、その巾内で接着剤7の厚さtが3μm変るとインクはインクジェット記録ヘッドチップ21aの傾きθ1に影響されて例えば紙との距離が2mmであった場合は、着弾位置が6μmずれる。すなわち、解像度が例えば2400dpiの場合のドット間距離10.6μmに対しては半分以上のずれが生じることになり、印刷画質の低下が生じてしまう。
本発明の目的は、上記各問題を解決し、高画質の、信頼性の高い、小型で、安価なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。さらにはその記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置を提供することにある。
前述の従来例の特許文献1乃至特許文献3の記録素子基板1の巾W1を狭くする場合の課題に対して、本発明では、特許文献4のレーザ加工方法を終端のある直線での加工に応用し、液体吐出基板1の巾を一部広くすることで、見かけ上液体吐出基板1の巾が広がり、支持部材8に対して液体吐出基板1が貼り付けられる際の傾き角度を低減するもので、請求項1では前記記録素子基板の短辺方向の幅が長辺方向の少なくとも一端部近傍で変化していることを特徴とする。
また、請求項2では前記記録素子基板の短辺方向の幅が長辺方向の少なくとも一端部で広くなっていることを特徴とする。更に、請求項3では前記長辺方向の端部での記録素子基板短辺方向の幅拡大が記録素子基板幅方向の中心振分けであることを特徴とする。加えて、請求項4では前記記録素子基板の隅部の一部又は全部に面取り状の切り欠きがあることを特徴とする。
ここで、請求項5では前記記録素子基板を貫通し、前記吐出口及び前記液路と連通するインク供給口を有することを特徴とする。また、請求項6では前記ノズル材は、前記記録素子基板の外周部近傍、及び電極取出し部を除いて前記記録素子基板を覆っていることを特徴とする。さらに、請求項7では、前記記録素子基板の電極取出し部は、前記記録素子基板の長辺方向の一端部に設けられていることを特徴とする
そして、請求項8では、前記記録素子基板の外周部の切断分離を、前記記録素子基板の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記記録素子基板の切断予定ラインに沿って前記記録素子基板の内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程を備えるレーザ加工を施したことを特徴とする。
そして、請求項8では、前記記録素子基板の外周部の切断分離を、前記記録素子基板の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記記録素子基板の切断予定ラインに沿って前記記録素子基板の内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程を備えるレーザ加工を施したことを特徴とする。
さらに、請求項9では本発明の記録装置は、上述の記録ヘッドが搭載されていることを特徴とする。
上記のように構成された本発明においては、記録素子基板の組立精度(平行度)に優れ、かつ端子配置自由度の高く、画像品位の優れた、信頼性の高い、小型で、安価なインクジェット記録ヘッドを提供可能である。
(実施例1)
以下に、本発明の実施例について、図を用いて説明する。
以下に、本発明の実施例について、図を用いて説明する。
図1は、本発明のインクジェット記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドユニット300の説明図で、図1(a)はSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図、図1(b)はインクジェット記録ヘッドユニット300の平面図、図1(c)は図1(b)におけるA−A‘断面について表す要部断面模式図である。
図1(a)および図1(b)において、本発明のインクジェット記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ30、31、32の記録素子基板30a、31a、32aは、記録素子基板30aを例にとると、長辺方向の端部での短辺方向の幅W2が前記従来例での課題で説明した図2(b)に示す記録素子基板1の巾W1の2倍に拡大し、記録素子基板幅方向の中心振分けのT字型になっている。これにより、図3(c)に示したインクジェット記録ヘッドチップ21aの傾きθ1は半分に抑えることが可能で、着弾位置のずれは3μmに低減される。
SiウエハーからT字型の記録素子基板を切りだす為には、図1(a)の様に切断予定ライン10は従来のブレードダイシングで行っていた交差する2つの終端のない直線で構成される形態ではなく、終端のある直線での加工が必要で、記録素子基板30a他の切断予定ライン10の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記切断予定ライン10に沿って前記記録素子基板30a他の切断予定ライン10の内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程を備えるレーザ加工を施したのち、ダイシングテープをエキスパンドして前記記録素子基板30a他を引き離す力を加えることで、切断分離が可能である。
また、記録素子基板30a、31a、32aの短辺方向の幅W2の部分は図3(a)に示した貼付ヘッド150での真空吸着する為の吸引穴152の位置も広げることや、数を増やすことが可能な為、貼付時の保持も確実となり、更に好都合である。尚、真空吸着する為の吸引穴152と記録素子基板30a、31a、32aの短辺方向の幅W2の部分を確実に密着させる為には、幅W2の部分にもノズル材5を設ける必要がある。
本実施例では、短辺方向の幅W2を拡大した長辺方向の一端部に外部取出し電極4を集中させたため、外部取出し用の配線基板(不図示)の面積を小さくすることが可能で、更に低コストなインクジェット記録ヘッドが提供できる。また、外部取出し電極4の数は従来例の図2(a)の巾一定の長方形のものと同一である為、Siウエハー上の記録素子基板30a、31a、32aの取り個数は変らず、インクジェット記録に最小限必要な巾W1で決る為、コストアップの要因はなく、コストダウンのために取り個数を増やすことは可能である。
但し、長辺方向の一端部に外部取出し電極4を集中させる場合、外部取出し電極4から最も遠いヒーターを駆動する回路への配線抵抗が増加してしまう為、金メッキ配線等の配線抵抗低減対策が必要である。
なお、本実施例の場合、インクジェット記録ヘッドチップ30、31、32の配列ピッチP1が図3の従来例よりも拡がっているが、図1(a)のSiウエハー上での記録素子基板の配置のように互い違いにすることで対応可能である。
(実施例2)
以下に、本発明の第2の実施例について、図4(a)を用いて説明する。
以下に、本発明の第2の実施例について、図4(a)を用いて説明する。
図4(a)は、本発明の第2の実施例の記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ100のSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図で、前述の実施例でT字型の記録素子基板を用いていたのに加え、巾狭部の隅とT字型の根元に面取り100a、及び100bを設けたものである。これにより、インクジェット記録ヘッドチップの貼付工程でのインクジェット記録ヘッドチップの取扱い時の隅部の欠け(チッピング)や、接着剤押圧貼付時のT字型の根元の亀裂発生の恐れが低減できる。尚、本実施例では、T字型の隅部には面取りを設けていないが、切断予定ライン110の内部に、多光子吸収による改質領域を形成する工程を備えるレーザ加工を施したのち、ダイシングテープをエキスパンドしてインクジェット記録ヘッドチップ100他を引き離す力を加えることで、切断分離が可能であるため、T字型の隅部にも面取りを設けても構わない。但し、T字型の隅部の面取りで記録ヘッドユニット100側に残らない部分はダイシングテープに残ることになるため、ごみ等の管理が必要となる。
(実施例3)
以下に、本発明の第3の実施例について、図4(b)を用いて説明する。図4(b)は、本発明の第3の実施例の記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ101のSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図で、前述の実施例でT字型の記録素子基板を用いていたのに対し、L字型の記録素子基板を用いているものである。前述のT字型の実施例では、上下方向の切断予定ライン10、110が全て終端があるものであり、レーザ光を照射して多光子吸収による改質領域を形成する際の、正確な照射の為の入り切り制御による速度低下が生じていた。
以下に、本発明の第3の実施例について、図4(b)を用いて説明する。図4(b)は、本発明の第3の実施例の記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ101のSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図で、前述の実施例でT字型の記録素子基板を用いていたのに対し、L字型の記録素子基板を用いているものである。前述のT字型の実施例では、上下方向の切断予定ライン10、110が全て終端があるものであり、レーザ光を照射して多光子吸収による改質領域を形成する際の、正確な照射の為の入り切り制御による速度低下が生じていた。
本実施例では上下方向の切断予定ライン111の半分は終端がないものであり、レーザー加工の速度向上が可能になっている。
更に、本実施例に使用するL字型のインクジェット記録ヘッドチップ101のL字部のノズル材5Lは、インク吐出口6と液室6aが設けられた ノズル材5と分離されて形成されている。これは、前述の従来例の説明でも述べたように、ノズル材5の形成工程においては、最終工程で除去後に前記液室6aとなるパターニングされた型材(不図示)の有無によりノズル材5の厚さがばらつくのを防止するために、ダミーの型材を形成し、最終工程で除去したもので、これにより、L字部のノズル材5Lの厚さがノズル材5とほぼ等しく出来、インクジェット記録ヘッドチップ101の貼付後の傾きを抑えることが可能で、着弾位置のずれが低減され可能である。
本実施例でも、実施例1同様、短辺方向の幅W2を拡大した長辺方向の一端部に外部取出し電極4を集中させたため、外部取出し用の配線基板(不図示)の面積を小さくすることが可能で、更に低コストなインクジェット記録ヘッドが提供できる。また、外部取出し電極4の数も実施例1同様であり、コストアップの要因はなく、コストダウンのために取り個数を増やすことは可能である。
更に、本実施例の場合も実施例1同様、外部取出し電極4を一方向に集中して配列させた場合、インクジェット記録ヘッドチップ101の配列ピッチが図3の従来例よりも拡がるが、図4(b)のSiウエハー上での記録素子基板の配置のように互い違いにすることで対応可能である。尚、図4(b)ではインク供給口3の位置が隣のインクジェット記録ヘッドチップとずれているが、配列ピッチを最小にする場合は合せた方が効率的であることは言うまでもない。
(実施例4)
以下に、本発明の第4の実施例について、図4(c)を用いて説明する。図4(c)は、本発明の第4の実施例の記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ102のSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図で、前述の実施例では記録素子基板の一端部のみ巾を変化させていたのに対し、両端部の巾を変化させていた記録素子基板を用いているものである。
以下に、本発明の第4の実施例について、図4(c)を用いて説明する。図4(c)は、本発明の第4の実施例の記録ヘッドに使用されるインクジェット記録ヘッドチップ102のSiウエハー上での記録素子基板の要部レイアウト図で、前述の実施例では記録素子基板の一端部のみ巾を変化させていたのに対し、両端部の巾を変化させていた記録素子基板を用いているものである。
前述の実施例の一端部のみ巾を変化させていたものでは、インクジェット記録ヘッドチップの配列ピッチや方向に制限があったが、本実施例の場合は、自由な配列が可能である。
また、外部取出し電極4を一方向に集中していないため、金メッキ配線等の配線抵抗低減対策が必要ではなくなり、構造的にも従来の巾一定の長方形の記録素子基板とほぼ同等であるため、安価なインクジェット記録ヘッドが提供できる。
(実施例5)
また、本発明のインクジェット記録ヘッドが搭載されている記録装置についても、以上述べたインクジェット記録ヘッドと同様、本発明によりインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の貼付時の傾き抑制が可能であり、それによりインクジェット記録に最小限必要な巾W1の記録素子基板を使用したものであっても確実に着弾位置のずれの抑制が行えるため、高画質の、信頼性の高い、安価なインクジェット記録装置が提供できる。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドが搭載されている記録装置についても、以上述べたインクジェット記録ヘッドと同様、本発明によりインクジェット記録ヘッドの記録素子基板の貼付時の傾き抑制が可能であり、それによりインクジェット記録に最小限必要な巾W1の記録素子基板を使用したものであっても確実に着弾位置のずれの抑制が行えるため、高画質の、信頼性の高い、安価なインクジェット記録装置が提供できる。
1、30a、31a、32a 記録素子基板
2 ヒーター
3 インク供給口
4 電極
5 ノズル材
6 インク吐出口
6a 液室
7、7a、7b 接着剤
8 支持部材
9 液体供給口
10、110〜112 切断予定ライン
11 底面
13 表面
20〜22、30〜32、100〜102 インクジェット記録ヘッドチップ
30a 切断面
34 Siウエハー
36 溝
51 加工対象物
52 切断予定ライン
150 貼付ヘッド
151 貼付ヘッドベース
152 吸引穴
153 逃げ部
200、300 インクジェット記録ヘッドユニット
t 接着剤厚
W1、W2 チップ巾
θ1 傾き
2 ヒーター
3 インク供給口
4 電極
5 ノズル材
6 インク吐出口
6a 液室
7、7a、7b 接着剤
8 支持部材
9 液体供給口
10、110〜112 切断予定ライン
11 底面
13 表面
20〜22、30〜32、100〜102 インクジェット記録ヘッドチップ
30a 切断面
34 Siウエハー
36 溝
51 加工対象物
52 切断予定ライン
150 貼付ヘッド
151 貼付ヘッドベース
152 吸引穴
153 逃げ部
200、300 インクジェット記録ヘッドユニット
t 接着剤厚
W1、W2 チップ巾
θ1 傾き
Claims (9)
- インク吐出圧力発生素子が形成された記録素子基板と、前記基板上に設けられインクを吐出するための吐出口を有するノズル材とを備え、前記基板と前記ノズル材間に液路を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記記録素子基板の長辺方向の切断ラインが、少なくとも一端部近傍で変化していることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 前記記録素子基板の短辺方向の幅が長辺方向の少なくとも一端部で広くなっていることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記長辺方向の端部での記録素子基板短辺方向の幅が記録素子基板幅方向の中心振分けで拡がっていることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記記録素子基板の隅部の一部又は全部に面取り状の切り欠きがあることを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記記録素子基板を貫通し、前記吐出口及び前記液路と連通するインク供給口を有することを特徴とする請求項1記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記ノズル材は、前記記録素子基板の外周部近傍、及び電極取出し部を除いて前記記録素子基板を覆っていることを特徴とする請求項1ないし請求項5記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記記録素子基板の電極取出し部は、前記記録素子基板の長辺方向の一端部に設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項6記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記記録素子基板の外周部の切断分離を、前記記録素子基板の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記記録素子基板の切断予定ラインに沿って前記記録素子基板の内部に多光子吸収による改質領域を形成する工程を備えるレーザ加工を施したことを特徴とする請求項1ないし請求項7記載のインクジェット記録ヘッド。
- 前記請求項1から8に記載のインクジェット記録ヘッドが搭載されていることを特徴とするインクジェット記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007018066A JP2008183766A (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007018066A JP2008183766A (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008183766A true JP2008183766A (ja) | 2008-08-14 |
Family
ID=39727110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007018066A Withdrawn JP2008183766A (ja) | 2007-01-29 | 2007-01-29 | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008183766A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106956512A (zh) * | 2016-01-08 | 2017-07-18 | 佳能株式会社 | 液体喷射头和液体喷射装置 |
-
2007
- 2007-01-29 JP JP2007018066A patent/JP2008183766A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106956512A (zh) * | 2016-01-08 | 2017-07-18 | 佳能株式会社 | 液体喷射头和液体喷射装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2597447B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US10029466B2 (en) | Ink-jet recording head, recording element substrate, method for manufacturing ink-jet recording head, and method for manufacturing recording element substrate | |
EP0376514A2 (en) | Method of fabricating large array semiconductor devices | |
JP5762200B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 | |
JP2007111957A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに液滴吐出装置 | |
JP2008183766A (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録装置 | |
JP2009160822A (ja) | インクジェットヘッド、インクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2007076226A (ja) | 液滴吐出ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2011167846A (ja) | インクジェットヘッドおよびその製造方法 | |
JP5658983B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007301803A (ja) | 液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
JP2009274266A (ja) | 半導体チップ及び、インクジェット記録ヘッド | |
JP2005138390A (ja) | 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び液体吐出ヘッドの吐出調整方法 | |
KR101179320B1 (ko) | 잉크젯 헤드의 제조 방법 | |
JP2007196431A (ja) | 液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2008093880A (ja) | 積層基板の分割方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法 | |
JP2007111902A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
JP2004237528A (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2006312271A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP5879288B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 | |
KR100207717B1 (ko) | 잉크젯 프린트 헤드 및 그 헤드를 이용한 카트리지 | |
JP2006256232A (ja) | 液滴吐出ヘッドおよびその製造方法並びに記録装置、積層基板の分割方法及び、積層体 | |
JP2015107579A (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP2005169837A (ja) | インクジェット記録ヘッド、及びインクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
JP2010221696A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100406 |