JP2008174804A - 基板保持台及びこれを用いた成膜方法、成膜装置 - Google Patents
基板保持台及びこれを用いた成膜方法、成膜装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ガラス基板2表面に薄膜を成膜するに際してガラス基板2を起立状態に保持する基板保持台7において、所定のクリアランスを有してガラス基板2の幅方向の位置決めをする左側支持部22と右側支持部23を備え、これら左側支持部22と右側支持部23にはガラス基板2が倒れないようにする爪部22a,23aがそれぞれガラス基板2の左右端部に重なるように設けられると共に、左側支持部22と右側支持部23のうち、ガラス基板2が片寄せされる左側支持部22が有する爪部22aの長さが、右側支持部23が有する爪部23aの長さよりも短く設定する。
【選択図】図3
Description
2 ガラス基板
3 真空容器
4 スパッタ電極
5 ターゲット
6 マスク
6a 開口部
7 基板保持台
7a 外枠部
7b 基板支持ピン
7c 架け橋部
8 マスク取付板
9 搬送台
10 搬送ローラ
20 上側支持部
21 下側支持部
22 左側支持部
22a 左側爪部
23 右側支持部
23a 右側爪部
C クリアランス
L 爪部長さ
W 基板引っ掛かり幅
M 爪部間距離
Claims (7)
- 基板表面に薄膜を成膜するに際して基板を起立状態に保持する基板保持台であって、所定のクリアランスを有して前記基板の幅方向の位置決めをする左側支持部と右側支持部を備え、これら左側支持部と右側支持部には前記基板が倒れないようにする爪部がそれぞれ前記基板の左右端部に重なるように設けられると共に、前記左側支持部と右側支持部のうち、前記基板が片寄せされる一方の支持部が有する爪部の長さが、他方の支持部が有する爪部の長さよりも短いこと特徴とする基板保持台。
- 前記基板を片寄せした際の、前記左側支持部の爪部が前記基板の左端部と重なる幅と、前記右側支持部の爪部が前記基板の右端部と重なる幅がほぼ同じであることを特徴とする基板保持台。
- 基板表面に薄膜を成膜するに際して基板を起立状態に保持する基板保持台を用いた成膜方法であって、前記基板保持台は所定のクリアランスを有して前記基板の幅方向の位置決めをする左側支持部と右側支持部を備え、これら左側支持部と右側支持部には前記基板が倒れないようにする爪部がそれぞれ前記基板の左右端部に重なるように設けられると共に、前記左側支持部と右側支持部のうち一方の支持部が有する爪部の長さが、他方の支持部が有する爪部の長さよりも短く形成され、成膜時に前記基板は前記爪部長さが短い支持部に片寄せされていることを特徴とする成膜方法。
- 前記基板を片寄せした際の、前記左側支持部の爪部が前記基板の左端部と重なる幅と、前記右側支持部の爪部が前記基板の右端部と重なる幅がほぼ同じであることを特徴とする請求項3に記載の成膜方法。
- 前記基板保持台を搬送する際のスピードを変化させることで前記基板の片寄せを行うことを特徴とする請求項3又は4に記載の成膜方法。
- 前記基板の片寄せ方向が前記基板保持台の搬送する方向と同じであることを特徴とする請求項5に記載の成膜方法。
- 請求項1又は2に記載の基板保持台を用いて処理を行う成膜装置。
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