JP2008173741A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨ヘッド13は、ウエハ12を面内方向に保持するリテーナリング16と、ウエハ12を研磨パッド11側に押圧するメンブレンシート17と、リテーナリング16及びメンブレンシート17を支持するヘッド本体14とを有する。リテーナリング16は、研磨対象のウエハ12の外径及び厚みよりもそれぞれ大きな内径及び厚みを有し、ヘッド本体14によって研磨パッド11側に押圧されるリング状の固定リテーナリング20と、ウエハ12の厚みとほぼ同じ厚みを有し、固定リテーナリング20の内縁とウエハ12の周縁との間に挟まれて、ウエハ12の周縁を面内方向に保持する遊離リテーナリング21とを備え、メンブレンシート17は、ウエハ12と遊離リテーナリング21とを研磨パッド11側に押圧する。
【選択図】図1
Description
ウエハを研磨する研磨パッドとウエハを保持する研磨ヘッドとを備え、該研磨ヘッドが、ウエハを面内方向に保持するリテーナリングと、ウエハを前記研磨パッド側に押圧するメンブレンシートと、前記リテーナリング及びメンブレンシートを支持するヘッド本体とを有する研磨装置において、
前記リテーナリングは、研磨対象のウエハの外径及び厚みよりもそれぞれ大きな内径及び厚みを有し、前記ヘッド本体によって前記研磨パッド側に押圧されるリング状の第1部材と、ウエハの厚みとほぼ同じ厚みを有し、前記第1部材の内縁とウエハの周縁との間に挟まれて、ウエハの周縁を面内方向に保持する第2部材とを備え、
前記メンブレンシートは、ウエハと前記第2部材とを前記研磨パッド側に押圧する、
ことを特徴とする。
11:研磨パッド
11a:研磨パッドの研磨面
12:ウエハ
12a:ウエハの平坦部
12b:ウエハのエッジ部
12c:平坦部とエッジ部との境界
13:研磨ヘッド
14:ヘッド本体
15:押圧部
16:リテーナリング
17:メンブレンシート
18:閉空間
19:周辺押圧部
20:固定リテーナリング
21:遊離リテーナリング
Claims (5)
- ウエハを研磨する研磨パッドとウエハを保持する研磨ヘッドとを備え、該研磨ヘッドが、ウエハを面内方向に保持するリテーナリングと、ウエハを前記研磨パッド側に押圧するメンブレンシートと、前記リテーナリング及びメンブレンシートを支持するヘッド本体とを有する研磨装置において、
前記リテーナリングは、研磨対象のウエハの外径及び厚みよりもそれぞれ大きな内径及び厚みを有し、前記ヘッド本体によって前記研磨パッド側に押圧されるリング状の第1部材と、ウエハの厚みとほぼ同じ厚みを有し、前記第1部材の内縁とウエハの周縁との間に挟まれて、ウエハの周縁を面内方向に保持する第2部材とを備え、
前記メンブレンシートは、ウエハと前記第2部材とを前記研磨パッド側に押圧する、
ことを特徴とする研磨装置。 - 前記第2部材が前記第1部材とは別体に形成される、請求項1に記載の研磨装置。
- 前記第2部材が、リング状部材として構成される、請求項2に記載の研磨装置。
- 前記第2部材が、それぞれがリング状部材の一部分を構成する複数の部材から構成される、請求項2に記載の研磨装置。
- ウエハの周縁近傍の前記メンブレンシートの部分をウエハ側に押圧する周辺押圧部を更に備える、請求項1〜4の何れか一に記載の研磨装置。
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