JP2008171997A - GaN系半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】Au膜を含む金属多層膜で構成された透明電極におけるAuの拡散を防止するようにしたGaN系半導体発光素子を提供する。
【解決手段】サファイア基板1上に、GaNバッファ層2、n型GaNコンタクト層3、MQW活性層4、p型GaNコンタクト層5が順次積層されており、n型GaNコンタクト層3が露出した面にn側パッド電極8が形成されている。p型GaNコンタクト層5の上面全体に設けられた金属多層膜透明電極6は、例えば、p型GaNコンタクト層5側からNi/Au/Ti/Niで構成される。TiがAuの拡散防止金属層となって、Auの拡散を阻止する。
【選択図】 図1
【解決手段】サファイア基板1上に、GaNバッファ層2、n型GaNコンタクト層3、MQW活性層4、p型GaNコンタクト層5が順次積層されており、n型GaNコンタクト層3が露出した面にn側パッド電極8が形成されている。p型GaNコンタクト層5の上面全体に設けられた金属多層膜透明電極6は、例えば、p型GaNコンタクト層5側からNi/Au/Ti/Niで構成される。TiがAuの拡散防止金属層となって、Auの拡散を阻止する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、透明電極を備えたGaN系半導体発光素子に関する。
例えば、窒化物半導体は、照明、バックライト等用の光源として使われる青色LED、多色化で使用されるLED、LD等に用いられている。バルク単結晶の製造が困難なために、サファイア、SiC等の異種基板の上にMOCVD(有機金属気相成長法)を利用してGaNを成長させることが行われている。サファイア基板は、エピタキシャル成長工程の高温アンモニア雰囲気中の安定性にすぐれているので、成長用基板として特に用いられる。サファイア基板は絶縁性基板であり、サファイア基板上の窒化物半導体は、エピタキシャル成長後にn型窒化ガリウム層を露出するまでドライエッチングし、エッチングされた面にn型コンタクトを形成して、同一面側にp型とn型の二つの電極を設けている。
このようなGaN系半導体発光素子のp電極が形成されるコンタクト層は、GaNを含んだp型GaN系半導体層で構成されている。p型GaN系半導体層の比抵抗は通常数Ωcmと非常に高いので、p型層で層方向(横方向)の十分な電流広がりを得ることができない。電流広がりを大きくするためには膜厚を厚く取ればよいが、比抵抗が数Ωcmのオーダーであると、チップの標準的な大きさは横方向が数100μm程度になるので、これに対応する膜厚は数mmのオーダーが必要となり、全く現実的でない。
そこで、通常、p型GaN系コンタクト層全体をほぼ覆うようなp電極を形成するようにして、横方向全体に電流が流れるようにしている。しかし、p電極側から光を取り出す場合、このままではp電極が光を吸収してしまうので、数nm程度の非常に薄い透明金属電極が用いられる。例えば、特許文献1では、p型GaNコンタクト層とオーミック接触性の良いNi(ニッケル)とAu(金)との金属多層膜が用いられている。
これは、p型GaNコンタクト層上にNiを、Niの上にAu蒸着後、500℃程度の温度で酸素を含む雰囲気中におけるアニール処理によって、ウエハを熱アロイすることによりNiとAuとを合金化し、透光性にしている。
また、上記のGaN系半導体発光素子を保護し、表面リークを防止してフリップチップボンディングが行えるように、n側及びp側のパッド電極上面を除いてチップの表面を絶縁膜で覆った発光素子が提案されている。絶縁膜は透明金属電極上にも設けられるが、光を取り出す必要性があるので、透明性(透光性)がなければならず、通常、SiO2等の酸化膜が用いられる。
特開平2006−114813号公報
上記従来技術のように、p型GaNコンタクト層上にNi/Au透明金属電極を設けてp電極側から光を取り出すようにした場合、以下のような問題が発生する。
同一面側にp電極とn電極の二つの電極を設ける場合においては、エピタキシャル成長後にn型GaN層を露出するまでドライエッチングして、n電極を形成する必要がある。また、p電極とn電極が対向して設けられた発光素子であっても、チップ毎に分離する際にドライエッチングで分離溝を形成しておく必要がある。
上記のような、ドライエッチングを用いる工程が発生する場合、ドライエッチング時のマスクを透明金属電極で代用する試みが行われているが、従来技術のように、Ni/Au透明金属電極であると、ドライエッチングのプラズマが透明金属電極下のp型GaNコンタクト層や活性層に損傷を与え、最悪の場合は発光しなくなる。したがって、透明金属電極上にマスクを形成して、ドライエッチングを行った後、マスクを除去しなければならず、作業時間とコストが増大していた。
一方、前述のようにn側及びp側のパッド電極上面を除いてチップの表面を透明の絶縁膜で覆った場合は、絶縁膜形成後、透明金属電極上に形成されている絶縁膜が剥離しやすいという問題も発生していた。
これらの問題は、透明金属電極が従来のようにNi/Auの金属多層膜であると、Auが拡散の容易な金属であり、どんな材料とであっても、比較的低い温度(500℃以下)で非常に速く拡散してしまうという性質をもつために発生する。
最初のドライエッチングの際にマスクとして代用できない問題は、Ni/Auの金属多層膜をアニール処理によって透明化すると、Auの一部が拡散してNiと共晶化し、Au膜の薄くなった部分からプラズマ粒子が通過して、コンタクト層や活性層に損傷を与えるためである。
また、2番目の透明絶縁膜が剥がれやすいという問題は、絶縁膜を形成する場合には、温度400℃の雰囲気中でプラズマCVD等を用いて作製されるために、透明金属電極Ni/AuのAuが絶縁膜に拡散してSiO2と共晶化してしまい、SiO2が剥離しやすくなるためである。
そこで、Auを使用せず、Ni/Alの金属多層膜による透明金属電極を用いることも考えられるが、透明度を上げるためには、Alの割合を増やさなければならない。しかし、Al(アルミニウム)の割合が増加すると、透明金属電極自身の抵抗値が増加して、発光強度が低下するという問題があった。また、Ni/Au透明金属電極にしても、リーク電流が多く、発光強度が低下するという問題があった。
本発明は、上述した課題を解決するために創案されたものであり、Au膜を含む金属多層膜で構成された透明電極におけるAuの拡散を防止するとともに発光強度を向上させるようにしたGaN系半導体発光素子を提供することを目的としている。
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、p型GaN系半導体層の表面に透明電極が形成されているGaN系半導体発光素子であって、前記透明電極はp型GaN系半導体層と接触する側からNi膜、Au膜、Au拡散防止金属膜の順で積層された金属多層膜を少なくとも含むように構成されていることを特徴とするGaN系半導体発光素子である。
また、請求項2記載の発明では、前記Au拡散防止金属膜は、Ti又はPtで構成されていることを特徴とする請求項1記載のGaN系半導体発光素子である。
また、請求項3記載の発明では、前記透明電極はAu拡散防止金属膜のp型GaN系半導体層とは反対側に、Ni膜、Mo膜、Cu膜、W膜のいずれか1つが少なくとも形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載のGaN系半導体発光素子である。
また、請求項4記載の発明では、前記透明電極はAu拡散防止金属膜のp型GaN系半導体層とは反対側に、Al膜又はAl膜とNi膜が順に積層された多層膜又はAl膜とNi膜とAl膜とが順に積層された多層膜のいずれか1つが形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載のGaN系半導体発光素子である。
透明電極を構成している金属多層膜において、p型GaN系半導体層と接触する層についてはNi膜を用いて、オーミック接触を取ることができるようにし、Ni膜の上層には化学的安定性が高く、酸化雰囲気に強いAu膜を用いて電極のコアとし、さらにAu膜の直上には、透明電極を作製する場合や透明電極上に絶縁膜を形成する場合等、高温処理が行われるときに、Au膜の直下に形成されているNi膜や上層の絶縁膜にAuが拡散して共晶化しないように、Au拡散防止金属膜を設けているので、AuがAu拡散防止膜に固定化されて他の構成物への拡散を防止することができる。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。図1(a)は本発明の第1のGaN系半導体発光素子の断面構造の一例を示し、図1(b)は金属多層膜透明電極6の詳細構成を示す。ここで、GaN系半導体とは、窒素を含む六方晶化合物半導体の中でも良く知られたIII−V族窒化物半導体であり、4元混晶系のAlxGayInzN(x+y+z=1、0≦x≦1、0≦y≦1、0≦z≦1)で表される。
したがって、GaN系半導体は、窒化ガリウム(GaN)等の2元混晶であってもよく、窒化ガリウムアルミニウム(AlGaN)または窒化アルミニウムインジウム(InGaN)等の3元混晶、及び窒化アルミニウムガリウムインジウム(AlGaInN)等の4元混晶であってもよい。これらの材料を基板上に付着させて、発光素子として使用可能な積層半導体構造を製造する。
図1(a)では、サファイア基板1の上に、GaNバッファ層2、n型GaNコンタクト層3、MQW活性層4、p型GaNコンタクト層5が順次積層されており、p型GaNコンタクト層5から一部領域がメサエッチングされて、n型GaNコンタクト層3が露出した面にn側パッド電極8が形成されている。一方、p型GaNコンタクト層5の上面全体に金属多層膜透明電極6が形成されており、金属多層膜透明電極6の上にp側パッド電極7が設けられている。
MQW活性層4は、多重量子井戸構造(Multi Quantum Well)を有する活性層であり、井戸層(ウェル層)を、井戸層よりもバンドギャップの大きな障壁層(バリア層)でサンドイッチ状に挟んだ量子井戸構造を多重化したものとなっている。この量子井戸構造は、多重化せずに1つとしても良く、この場合は、単一量子井戸構造(SQW:Single Quantum Well)となる。
金属多層膜透明電極6は、図1(b)に示すように、例えば、6a、6b、6c、6dと4層の金属層から構成されている。ここで、6aはNi(ニッケル)膜、6bはAu(金)膜、6cはAu膜6bの拡散を防止するためのAu拡散防止金属膜であり、6dは例えばNi膜で構成される。Au拡散防止金属膜6cは、Au膜6bの直上に設けられており、Ti(チタン)又はPt(白金)で構成される。TiやPtは、融点がAuよりも高く、Auと共晶化しやすい金属であり、AuがAu膜6b直下のNi膜6aに流動化するのを防ぐことができる。また、6dはNi膜の代わりにMo(モリブテン)膜、Cu(銅)膜、W(タングステン)膜のいずれかを用いても良い。
ところで、上述したように、n側パッド電極8を作製するためには、p型GaNコンタクト層5〜n型GaNコンタクト層3の途中に至るまでメサエッチングを行わなければならず、このメサエッチングにはプラズマ等を用いたドライエッチングが使用される。ドライエッチング時には、通常、サファイア基板1上にGaNバッファ層2〜p型GaNコンタクト層5までを積層し、金属多層膜透明電極6を設ける領域にマスクを形成し、メサエッチングを行ってから、マスクをリフトオフし、その後金属多層膜透明電極6を積層するようにしている。しかし、本発明のように、金属多層膜透明電極6をNi膜6a、Au膜6b、Au拡散防止金属膜6c、Ni膜6dとした場合には、これを上記メサエッチング時のマスクに流用することができる。
図1の第1のGaN系半導体発光素子の製造方法を以下に説明する。製造方法としては、主としてMOCVD法(有機金属気相成長法)を用いる。MOCVD装置内に、サファイア基板1を搬送し、サファイア基板1上に、例えば、GaNバッファ層2を膜厚0.01μm以下で、600〜700℃の低温で成長させる。その後、1000℃以上に基板温度を上げて、n型GaNコンタクト層3を膜厚3〜5μmで積層し、700℃程度に温度を下げて、MQW活性層4を井戸層をInGaN、バリア層をGaNで交互に数周期積層し膜厚0.1μmで、次に基板温度を1000℃以上に上げて、p型GaNコンタクト層5を膜厚0.1〜0.3μmで積層する。
次に、p型GaNコンタクト層5上の金属多層膜透明電極6を形成する所定の領域を除いてレジストを形成する。この状態で、Ni/Au/Ti/Niの金属多層膜とし、これらの膜厚は、例えば、各々4nm/8nm/1nm/4nmとなるように蒸着により積層する。その後、レジストをリフトオフし、酸素を含む雰囲気中で500℃程度の温度でアニール処理を行う。このアニール処理により、上記金属多層膜が透明化される。
その後、形成した金属多層膜透明電極6をマスクの代わりにして、p型GaNコンタクト層5からn型GaNコンタクト層3が露出するまで一部領域をドライエッチングする。このドライエッチングは、プラズマ電力150W、バイアス電力50Wとし、塩素ガス50cc/分、SiCl4ガス5cc/分の流量で、圧力0.6Paで行った。この条件のドライエッチングを4分間程行い、最大0.6μmまでのGaN系半導体を除去した。
その後、蒸着又はスパッタにより、p側パッド電極7を、Al/Niであれば膜厚200nm/30nm、Ti/Auであれば膜厚20nm/200nm、Ti/Alであれば膜厚10nm/200nm、Pd/Auであれば膜厚10nm/200nmとして、これらのいずれかの金属多層膜で作製する。また、蒸着又はスパッタにより、n側パッド電極8を、Ti/Alであれば膜厚10nm/200nm、Al/Niであれば膜厚200nm/30nm等として、これらのいずれかの金属多層膜で作製する。
各半導体層の製造については、例えば、GaN層を作製する場合は、キャリアガスの水素又は窒素とともに、Ga原子の原料ガスであるトリメチルガリウム(TMGa)、および、窒素原子の原料ガスであるアンモニア(NH3)を用いた。n型GaNとする場合には、n型のドーパントガスとしてのシラン(SiH4)等、p型GaNとする場合には、p型のドーパントガスとしてのCP2Mg(シクロペンタジエチルマグネシウム)等を上記反応ガスに加える。AlGaN層を作製する場合は、TMGa、NH3にトリメチルアルミニウム(TMA)を加える。
このようにして各半導体層の成分に対応する反応ガス、n型、p型にする場合のドーパントガスを供給して、最適な成長温度に変化させて順次結晶成長させることにより、所定の組成で、所定の導電型の半導体層を、必要な厚さに形成した。不純物のドーピング濃度は、それぞれの原料ガスの流量によって制御した。
図4は、金属多層膜透明電極6をNi膜6a、Au膜6b、Ti膜6c、Ni膜6dと構成し、これらの各層の膜厚ついて、Ni膜6aを4nm、Au膜6bを8nm、Ti膜6cを1nm、Ni膜6dを4nmで構成した場合の表面状態を示す。一方、この金属多層膜透明電極6をメサエッチングのマスクとして用いた場合、上述した条件のプラズマによるドライエッチング後の金属多層膜透明電極6の表面状態を示すのが図5である。ドライエッチング後であっても、表面荒れの状態は生じていない。
ドライエッチングの影響が、金属多層膜透明電極の表面状態だけではなく、実際にGaN系半導体発光素子の光出力−電流特性に及ぼす影響を比較したのが、図2である。図2は、図1の第1のGaN系半導体発光素子において金属多層膜透明電極6を上述のように、Ni膜6a、Au膜6b、Ti膜6c、Ni膜6dで構成し、上述したドライエッチングのマスクとして用いた場合の光出力−電流特性をX、金属多層膜透明電極6を従来のNi/Auで構成し、ドライエッチングのマスクとして用いた場合の光出力−電流特性をYで示す。
本発明における金属多層膜透明電極を用いたXでは、電流の増加とともに発光出力も比例して増大しているが、従来の金属多層膜透明電極を用いたYでは発光が見られない。従来構造のNi/Auの透明電極では、ドライエッチングの際のプラズマ粒子が透明電極で防ぎきれずに、p型GaN系コンタクト層や活性層にまでダメージが浸透してしまい、素子が発光しなくなったためである。
これは、前述したように、Auが拡散しやすい金属であり、どんな材料とであっても、比較的低い温度(500℃以下)で非常に速く拡散してしまうという性質をもつためである。Ni/Auの金属多層膜を透明化するアニール処理において、Au膜6bの一部のAuが拡散してAlと共晶化し、Au膜6bの密度が薄くなった部分からプラズマ粒子が通過して、エピタキシャル層にダメージを与える。一方、Au膜6bの膜厚を厚くすると、プラズマ粒子のダメージを抑制することができるが、電極の透明度がなくなってしまうという問題がある。
しかし、第1のGaN系半導体発光素子の金属多層膜透明電極6の構成とすることで、Ni膜への拡散を防いで、金属多層膜透明電極6をドライエッチングの際のマスクとして代用でき、Au膜6bの膜厚を厚くする必要がないので、透明度も確保できる。
図3は、発光特性を示すもので、本発明における金属多層膜透明電極6を用いた場合をX、金属多層膜透明電極を従来構成のNi/Auとし、透明電極上にはマスクを形成してメサエッチングを行い、ドライエッチングによるGaN系半導体層へのダメージがない状態にした場合をYとして表示した。このように、本発明における金属多層膜透明電極6を用いたXの方が、全体の膜厚が厚くなったにもかかわらず、電圧−電流特性が非常に良くなっており、閾値電流は、従来構成のYの方が非常に高い。これは、Xの方がリーク電流が少なくなって、発光強度も向上したことを示している。なお、上記の効果は、Ni膜6dの代わりにMo膜、Cu膜、W膜のいずれかを用いても同様の効果が得られる。
図6は、本発明の第2のGaN系半導体発光素子の断面構造の一例を示し、基本的に図1の構成に絶縁膜9を形成した構造となっている。図1と同じ符号を付している部分は、同じ構成を示す。p側パッド電極7の上にはp側ボンディング用電極が、n側パッド電極8上にはn側ボンディング用電極が形成されている。また、金属多層膜透明電極61は図7のように最大6層の金属層で構成されている。MQW活性層4で発生した光は、金属多層膜透明電極61を透過して、p電極側から取り出されるので、絶縁膜9は、透明性のあるものでなくてはならない。したがって、可視光領域でも透光性のある酸化絶縁膜が用いられ、例えば、SiONやSiO2等が挙げられる。
絶縁膜9にAuが拡散して絶縁膜9が剥離しやすくなるのを防ぐために、金属多層膜透明電極61は、p型GaNコンタクト層5側から、Ni膜61a、Au膜61b、Au拡散防止金属膜61c、Al膜61d、Ni膜61e、Al膜61fで構成される。これらの膜厚は、例えば、Ni膜61aが4nm、Au膜61bが8nm、Au拡散防止金属膜61cが1nm、Al膜61dが4nm、Ni膜61eが1.5nm、Al膜61fが16nmで形成される。また、第1のGaN系半導体発光素子と同様、Au拡散防止金属膜61cにはTi(チタン)又はPt(白金)が用いられる。なお、後述するように、金属多層膜透明電極61は5層又は4層としても良く、少なくともNi、Au、Au拡散防止金属(Ti又はPt)、Alが各1層使用されていることが望ましい。
図6の第2のGaN系半導体発光素子の製造方法については、図1のGaN系半導体発光素子の製造方法と同様に、サファイア基板1上にp型GaNコンタクト層5までの各半導体層を結晶成長させて金属多層膜透明電極61を形成した後、p型GaNコンタクト層5からn型GaNコンタクト層3が露出するまで一部領域をドライエッチングし、p側パッド電極7、n側パッド電極8を形成する。p側パッド電極7及びn側パッド電極8は、ともに例えば、Al/Niの金属多層膜とし、これらの膜厚は、300nm/500nmとした。
その後、p側パッド電極7及びn側パッド電極8のボンディング用電極とのコンタクト領域を除いて絶縁膜9としてSiO2を例えば5μm程度の厚みで素子表面や側面に形成する。SiO2の形成は、プラズマCVDにより形成し、SiH4を10sccm、N2Oを50sccm、温度400℃、400Wで70分程行った。
次に、蒸着又はスパッタにより、p側パッド電極7上にp側ボンディング用電極10を、n側パッド電極8上にn側ボンディング電極11を形成する。p側ボンディング用電極10及びn側ボンディング用電極11ともに、例えば、Ti/Al/Ni/Ti/Auの金属多層膜構成とし、各膜厚は、例えば50nm/300nm/50nm/50nm/700nmで形成する。
図10は、第2のGaN系半導体発光素子の表面状態を示すものであり、金属多層膜透明電極61の層構造を図7の6層ではなく、61fを減らして5層とし、その構成をNi(61a)/Au(61b)/Ti(61c)/Al(61d)/Ni(61e)とした。これらの膜厚は、3nm/8nm/1nm/4nm/1.5nmとした。また、絶縁膜9もSiONとSiO2の2層構造に形成した。
一方、図11は、従来構造の金属多層膜透明電極Ni/Auを用いたGaN系半導体発光素子表面の状態を示し、その膜厚は4nm/8nmとした。また絶縁膜は、図10と同様、SiONとSiO2の2層構造で構成した。図10、11(a)でやや白ぽく長方形状で表されている部分が、絶縁膜であり、その前後に見えるのがp電極とn電極である。図10では、特に、表面的には問題がないが、図11(a)では、絶縁膜の一部が渦巻き形状で白く光っているのがわかる。図11(b)は、図11(a)で白く光っている部分を拡大したものであり、はっきりと、渦巻き状の縞が現われているのがわかる。これは、絶縁膜が剥離して、光の干渉が発生したことを示す。
以上のように、従来構造の金属多層膜透明電極Ni/Auでは、その上に形成された絶縁膜が剥離するという現象が発生するが、本発明の金属多層膜透明電極では、光の干渉縞が発生しておらず、絶縁膜の剥離が生じなかった。これは、従来構造では、絶縁膜9を形成する場合に、上記のように400℃程度の温度で長時間かけて作製するものであるから、金属多層膜透明電極中のAuが流動化して絶縁膜9中に拡散してしまうためである。
また、金属多層膜透明電極61上の絶縁膜9が剥離しないという効果だけではなく、以下のような効果も生じる。図9は、図6の構成を用いて、本発明の金属多層膜透明電極61の構造をNi/Au/Ti/Al/Niの5層構造にしたものをZ3で、Ni/Au/Ti/Al/Ni/Alと6層構造にしたものをZ4で示す。これらの膜厚は、Z3が3nm/8nm/1nm/4nm/1.5nm/16nm、Z4が3nm/8nm/1nm/4nm/1.5nmである。一方、従来構造の金属多層膜透明電極としてNi(4nm)/Au(8nm)で構成したものをZ2で示し、Ni(4nm)/Au(8nm)/Al(16nm)で構成したものをZ3で示す。
本発明による金属多層膜透明電極を示すZ4、Z3の方が従来構造Z1又はZ2よりも膜厚は厚くなって光の透過率が減少しているにもかかわらず、発光強度が向上していることがわかる。特に、Z4は6層構造にかかるもので、膜厚がもっとも厚く光の透過率も最も低いはずであるが、輝度が増大しており、顕著な発光強度の改善が見られる。
この理由を示すのが、図8である。Z1、Z2、Z3、Z4は、図9のZ1、Z2、Z3、Z4にかかる金属多層膜透明電極に対応している。図8の横軸は電圧(Vf)、縦軸は電流(If)を示し、Vfの単位はボルト(V)、Ifの単位は10−6アンペア(A)を示す。この電流−電圧特性を測定する構成として、p型GaN層上に従来構造又は本発明の金属多層膜透明電極を形成し、この金属多層膜透明電極上に所定間隔を開けて、測定用の+側の正電極と−側の負電極を配置し、前記正電極と負電極との間に電流を流して、電流−電圧特性、すなわち金属多層膜透明電極の抵抗値を測定した。なお、前記の正電極と負電極ともに、Al/Niの金属多層膜で構成した。
図8からもわかるように、従来構造の金属多層膜透明電極を用いたZ1、Z2では、金属多層膜透明電極の抵抗値が大きく、一定の電流を得るには、高い電圧をかけなければならない。しかし、本発明の金属多層膜透明電極61を用いたZ3、Z4では、金属多層膜透明電極の抵抗値が非常に小さくなり、わずかの電圧で、大きな電流が流れていることがわかる。以上のように、本発明の金属多層膜透明電極は、その上に形成した絶縁膜の剥離を防止することができるだけでなく、透明電極の抵抗値も減少させることができ、発光強度を向上させることができる。
1 サファイア基板
2 GaNバッファ層
3 n型GaNコンタクト層
4 MQW活性層
5 p型GaNコンタクト層
6 金属多層膜透明電極
7 p側パッド電極
8 n側パッド電極
9 絶縁膜
10 p側ボンディング電極
11 n側ボンディング電極
61 金属多層膜透明電極
6a、61a Ni膜
6b、61b Au膜
6c、61c Au拡散防止金属膜
61d Al膜
61e Ni膜
61f Al膜
2 GaNバッファ層
3 n型GaNコンタクト層
4 MQW活性層
5 p型GaNコンタクト層
6 金属多層膜透明電極
7 p側パッド電極
8 n側パッド電極
9 絶縁膜
10 p側ボンディング電極
11 n側ボンディング電極
61 金属多層膜透明電極
6a、61a Ni膜
6b、61b Au膜
6c、61c Au拡散防止金属膜
61d Al膜
61e Ni膜
61f Al膜
Claims (4)
- p型GaN系半導体層の表面に透明電極が形成されているGaN系半導体発光素子であって、
前記透明電極はp型GaN系半導体層と接触する側からNi膜、Au膜、Au拡散防止金属膜の順で積層された金属多層膜を少なくとも含むように構成されていることを特徴とするGaN系半導体発光素子。 - 前記Au拡散防止金属膜は、Ti又はPtで構成されていることを特徴とする請求項1記載のGaN系半導体発光素子。
- 前記透明電極はAu拡散防止金属膜のp型GaN系半導体層とは反対側に、Ni膜、Mo膜、Cu膜、W膜のいずれか1つが形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載のGaN系半導体発光素子。
- 前記透明電極はAu拡散防止金属膜のp型GaN系半導体層とは反対側に、Al膜又はAl膜とNi膜が順に積層された金属多層膜又はAl膜とNi膜とAl膜とが順に積層された金属多層膜のいずれか1つが形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載のGaN系半導体発光素子。
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