JP2008170161A - 磁歪式トルクセンサ、磁歪式トルクセンサの製造方法および磁歪式トルクセンサに評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】操舵軸21の表面に設けられた磁歪膜3a、3bの歪を電気的に検出することで操舵軸21に加えられたトルクを検出する磁歪式トルクセンサ3であって、磁歪膜を操舵軸の表面から剥離して、昇温脱離ガス分析を行う場合に、磁歪膜の厚さが40μmにして、昇温脱離ガス分析において磁歪膜の分析温度を昇温速度5℃/分で加熱したときに、磁歪膜が150℃に達するときまでに、磁歪膜から加熱によって脱離した水素の重量の、磁歪膜の加熱前の重量に対する比率は3ppm以下であるか、磁歪膜が300℃に達するときまでにその比率は10ppm以下であるか、磁歪膜が400℃に達するときまでにその比率は15ppm以下であるかの少なくとも1つを満たす程度にしか水素が磁歪膜中に含まれていない。
【選択図】図1
Description
3 磁歪式トルクセンサ
3a 第1磁歪膜
3b 第2磁歪膜
21 操舵軸
22 締結部
23 シール
24、25、26、27 軸受け
28 固定部
29 フラット面
31 第1メインコイル
32 第1サブコイル
33 第2メインコイル
34 第2サブコイル
35 変換回路
35a、35b、35c、35d 増幅回路
36 VT3メイン算出部
37 VT3サブ算出部
57 空孔
58 クラスタ
61 熱処理装置
65a、65b 固定冶具
66 トルク付加冶具
67a、67b 高周波コイル
68 通過可能領域
69 許容値
Claims (7)
- 操舵軸の表面に設けられた磁歪膜の歪を電気的に検出することで前記操舵軸に加えられた操舵トルクを検出する磁歪式トルクセンサであって、
前記磁歪膜を前記操舵軸の表面から取り出して、昇温脱離ガス分析を行う場合に、
前記磁歪膜の厚さを40μmにして、前記昇温脱離ガス分析において前記磁歪膜を昇温速度5℃/分で加熱したときに、
前記磁歪膜が150℃に達するときまでに、前記磁歪膜から加熱によって脱離した水素の重量の、前記磁歪膜の加熱前の重量に対する比率は、3ppm以下であるか、
前記磁歪膜が300℃に達するときまでに、前記比率は10ppm以下であるか、
前記磁歪膜が400℃に達するときまでに、前記比率は15ppm以下であるか、の少なくとも1つを満たす程度にしか水素が前記磁歪膜中に含まれていないことを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 操舵軸の表面に設けられた磁歪膜の歪を電気的に検出することで前記操舵軸に加えられた操舵トルクを検出する磁歪式トルクセンサの製造方法であって、
めっきによって前記操舵軸の表面に前記磁歪膜を形成するめっき工程と、
前記磁歪膜を熱処理する熱処理工程とを有し、
前記熱処理工程後の前記磁歪膜を前記操舵軸表面から取り出して、昇温脱離ガス分析を行う場合に、
前記磁歪膜の厚さを40μmにして、前記昇温脱離ガス分析において前記磁歪膜を昇温速度5℃/分で加熱したとすると、
前記磁歪膜が150℃に達するときまでに、前記磁歪膜から加熱によって脱離した水素の重量の、前記磁歪膜の加熱前の重量に対する比率は、3ppm以下であるか、
前記磁歪膜が300℃に達するときまでに、前記比率は10ppm以下であるか、
前記磁歪膜が400℃に達するときまでに、前記比率は15ppm以下であるか、の少なくとも1つを満たす程度に、
前記熱処理工程によって、前記磁歪膜から水素が低減していることを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。 - 前記熱処理工程における、前記磁歪膜の熱処理温度と、前記熱処理温度に維持する熱処理時間とを、設定する熱処理条件設定工程を有し、
前記熱処理条件設定工程では、
前記熱処理温度に応じて、前記程度に前記磁歪膜から水素を低減するのに必要な前記熱処理時間を設定できるか、あるいは、
前記熱処理時間に応じて、前記程度に前記磁歪膜から水素を低減するのに必要な前記熱処理温度を設定できることを特徴とする請求項2に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。 - 前記熱処理工程は、前記熱処理温度が互いに異なる、あるいは、前記熱処理時間が分けられた複数の熱処理により行われることを特徴とする請求項3に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。
- 前記熱処理工程では、前記磁歪膜に磁気異方性を付与するために、前記操舵軸に付与トルクを付与したまま、前記操舵軸の表面に設けられた前記磁歪膜を加熱することを特徴とする請求項3または請求項4に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。
- 前記熱処理工程では、高周波加熱により、前記磁歪膜を熱処理することを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれか1項に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法。
- 操舵軸の表面に設けられた磁歪膜の歪を電気的に検出することで前記操舵軸に加えられた操舵トルクを検出する磁歪式トルクセンサの評価方法であって、
前記磁歪膜を前記操舵軸表面から取り出して、昇温脱離ガス分析を行い、
前記磁歪膜の厚さを40μmにして、前記昇温脱離ガス分析において前記磁歪膜を昇温速度5℃/分で加熱したときに、
前記磁歪膜が150℃に達するときまでに、前記磁歪膜から加熱によって脱離した水素の重量の、前記磁歪膜の加熱前の重量に対する比率は、3ppm以下であるか、
前記磁歪膜が300℃に達するときまでに、前記比率は10ppm以下であるか、
前記磁歪膜が400℃に達するときまでに、前記比率は15ppm以下であるか、の少なくとも1つを満たすか否かの判定によって、
前記磁歪膜の磁気特性の経年変化の大きさを評価することを特徴とする磁歪式トルクセンサの評価方法。
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