JP2008166343A - 線状発光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】線状発光装置は、互いに対向する一対の第1及び第2の線状電極と、前記一対の電極間に挟まれて設けられた線状の発光層とを備え、前記一対の第1及び第2の電極は、少なくとも1つが透明電極であって、前記第1又は第2の電極と、前記発光層との間に挟まれて設けられた少なくとも一つの緩衝層とを備え、前記緩衝層を設けたことによって、前記緩衝層を挟持する前記電極と前記発光層との間の電位障壁の大きさが、前記電極と前記発光層とを直接接触させた場合のショットキー障壁の大きさより小さくなる。
【選択図】図1
Description
(1)正孔注入電極として仕事関数の大きい材料を使用する
また、電子注入電極としては仕事関数の小さい材料を使用する。
(2)電極と半導体の界面に、高濃度にドーピングされた層を形成する。(例えば、特許文献1参照。)
(3)電極材料と半導体との合金化反応よりショットキー障壁を小さくする。(例えば、非特許文献1参照。)
前記一対の電極間に挟まれて設けられた線状の発光層と
を備え、
前記一対の第1及び第2の電極は、少なくとも1つが透明電極であって、
前記第1又は第2の電極と、前記発光層との間に挟まれて設けられた少なくとも一つの緩衝層と
を備え、
前記緩衝層を設けたことによって、前記緩衝層を挟持する前記電極と前記発光層との間の電位障壁の大きさが、前記電極と前記発光層とを直接接触させた場合のショットキー障壁の大きさより小さくなることを特徴とする。
電子注入電極である第1の電極と発光層の間に設けられた第1の緩衝層と、
正孔注入電極である第2の電極と発光層の間に設けられた第2の緩衝層と
の2つの緩衝層を備えていてもよい。または、前記緩衝層は、
電子注入電極である第1の電極と発光層の間に設けられた第1の緩衝層と、
正孔注入電極である第2の電極と発光層の間に設けられた第2の緩衝層と
のうち少なくとも一方の緩衝層を備えていてもよい。
前記線状発光装置から出力される線状の光を反射させて面状の光とする導光板と
を備えたことを特徴とする。
<線状発光装置の概略構成>
図1の(a)は、本発明の実施の形態1に係る線状発光装置10の概略的な構成を示す断面図である。図1の(b)は、別例の線状発光装置10aの断面図である。この線状発光装置10は、背面電極(金属電極)4、第2の緩衝層7、発光層3、第1の緩衝層6、透明電極2が順に積層されて構成される。透明電極2と背面電極(金属電極)4とは電源5を介して電気的に接続されている。この場合、負極側に接続された透明電極2は、電子注入電極(第2の電極)として機能し、正極側に接続された背面電極(金属電極)4は、正孔注入電極(第1の電極)として機能する。この線状発光装置10では、発光層3は、n型半導体層3aとp型半導体層3bとが積層された2層型構造を有しており、電子注入電極はn型半導体層側に、正孔注入電極はp型半導体層側に設置される。なお、図1の(a)の線状発光装置10では、それぞれの電極2,4と電源とを接続する端子が互いに異なる短辺側に設けられているが、図1の(b)の線状発光装置10aでは、それぞれの電極2,4と電源とを接続する端子が同じ短辺側に設けられている点で相違する。
なお、図1では、基板を省略して、発光層3を一対の電極2、4で挟む構成について示したが、全体を支持する基板1を設けてもよい。例えば、基板1の上に透明電極2を設け、その上に発光層3、背面電極4を順に積層する構成としてもよい。
基板1は、その上に形成する各層を支持できるもので、且つ、電気絶縁性の高い材料を用いる。また、基板1側から光を取り出す場合には、発光体から発せられる光の波長に対し光透過性を有する材料であることが求められる。このような材料としては、例えば、コーニング1737等のガラス、石英、セラミック等を用いることができる。通常のガラスに含まれるアルカリイオン等が発光素子へ影響しないように、無アルカリガラスや、ガラス表面にイオンバリア層としてアルミナ等をコートしたソーダライムガラスであってもよい。また、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート系、ポリクロロトリフルオロエチレン系とナイロン6の組み合わせやフッ素樹脂系材料、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリアミドなどの樹脂フィルム等を用いることもできる。樹脂フィルムを用いる場合には耐久性、柔軟性、透明性、電気絶縁性、防湿性の優れた材料を用いることが好ましい。なお、上記材料の記載は例示であって、基板1の材料は特にこれらに限定されるものではない。
電極として、光を取り出す側の透明電極2と他方の背面電極4とがある。なお、図1では基板を省略しているが、例えば、基板1の上に背面電極4を設けてもよい。また、これに限られず、例えば、基板1の上に透明電極2を設け、その上に発光層3、背面電極4を順に積層する構成としてもよい。あるいは、透明電極2及び背面電極4の両方を透明電極としてもよい。
次に、発光層3について説明する。発光層3は、n型半導体層3aとp型半導体層3bとが積層された2層型発光層である。
第1の緩衝層6は、電子注入電極である第1の電極2とn型半導体層3aとの間に設けられる。この第1の緩衝層6としては、n型半導体層3aとオーミック接合となるような仕事関数の小さい物質、特に、仕事関数が3.5eV以下の物質を選択することが好ましい。このような場合、図3に示すように、電子注入電極である第1の電極(透明電極)2とn型半導体層3aとの間のショットキー障壁が小さくなり、第1の電極2からの電子の注入が効率よく行われる。この第1の緩衝層6の組成としては、Al、Li、Al−Li、などの中から1種以上からなるものが望ましい。
次に、ZnSを発光層3のそれぞれの半導体層3a、3bの発光体材料として用いる場合の、実施の形態1に係る線状発光装置10の製造方法の一実施例を説明する。なお、前述の他の材料からなる発光層を用いる場合も同様の製造方法が利用可能である。
(1)線状の基板1(図では省略)としてコーニング1737を準備する。
(2)基板1上に、線状の背面電極4を形成する。例えばAlを使用し、膜厚は200nmとする。
(3)背面電極4上に、線状の第2の緩衝層7としてPtをフォトリソグラフィ法などにより堆積する。この厚さは400nmとする。
(4)次に、第2の緩衝層のPt層7上にZnSを気層成長法で堆積する。この時の条件としては、基板温度は600℃とし、ZnSと、Agとを、NH3を含むガス中で厚さ1μm堆積させることで、p型半導体層3bとして線状のp型ZnS層を形成できる。
(5)p型ZnS層3bの上に、ZnSと、Agとを気層成長法で堆積する。この時の条件としては、基板温度は600℃とし、厚さ1μm堆積し、n型半導体層3aとして線状のn型ZnS層を形成できる。
(6)n型ZnS層3aの上に、第一の緩衝層6としてAlをスパッタリング法で厚さ200nm堆積する。
(7)次に、第一の緩衝層のAl層6の上部に、スパッタリング法により線状の透明電極2としてITOを堆積する。膜厚は200nmとする。
(8)続いて、全体を覆う保護層(図では省略)として、例えば窒化シリコン等の透明絶縁体層を形成する。
以上の工程によって、本実施の形態1に係る線状発光装置10を得ることができる。
なお、本実施の形態1においては、第1の緩衝層6及び第2の緩衝層7の両方を備える構成としているが、どちらか一方でもかまわない。また、各層の成膜方法は上記に述べた方法には限定されない。
本実施の形態1に係る線状発光装置は、従来のEL素子を用いた場合のように交流高電圧を印加する必要がなく、直流低電圧で必要十分な発光輝度を得ることができた。
図2の(a)は、本発明の実施の形態1に係る線状発光装置10を用いた面状光源100の構成を示す正面図であり、図2の(b)は、その平面図である。この面状光源100は、実施の形態1に係る線状発光装置10と、線状発光装置10から出力した線状の光を反射して面状の光にする導光板80とを備える。この面状光源100では、図2(a)における導光板80の紙面下側の面によって線状発光装置10から出力する線状の光を反射すると共に、紙面上側の面から面状の光として取り出している。線状発光装置10の長手方向を、面状光源100の面状の光を取り出す発光面と平行にして配置する。また、線状発光装置10の線状の光の出力方向を、面状光源100の面状の光を取り出す発光面と平行にする。導光板80は、面状光源100の面状の光を取り出す発光面と鋭角を成すようにわずかに傾斜させて配置する。
<線状発光装置の概略構成>
実施の形態2に係る線状発光装置について説明する。この線状発光装置の概略構成は実施の形態1と同様、図1に示されるとおりである。本実施の形態2に係る線状発光装置においては、実施の形態1に係る線状発光装置と比較すると、第1の緩衝層6aとして、CaO,BaO、SrOなどのアルカリ金属酸化物を用いることを特徴とする。本発明者は、このアルカリ金属酸化物が電子注入電極である金属の仕事関数を見かけ上引き下げる特性を持っていることを見出し、電子注入電極である第1の電極(透明電極)2と発光層3との間にアルカリ金属酸化物からなる第1の緩衝層6aを挿入したものである。このように第1の緩衝層6aとしてアルカリ金属酸化物を用いることによって、図5のエネルギーバンド図に示すように、第1の電極2と発光層3との間のショットキー障壁を低減させることができる。これによって、発光層への電子の注入効率を高めることができる。
以下、ZnSを発光層3のそれぞれの半導体層3a、3bの発光体材料として用いる場合の、実施の形態2に係る線状発光装置の製造方法の一実施例を説明する。なお、前述の他の材料からなる発光層についても同様の製造方法が利用可能である。
(1)基板1としてコーニング1737を準備する。
(2)基板1上に、線状の背面電極4を形成する。例えばAlを使用し、膜厚は200nmとする。
(3)背面電極4上に、ZnSを気層成長法で線状に堆積する。この時の条件として、基板温度は600℃とし、ZnSと、Agとを、NH3を含むガス中で厚さ1μm堆積させることで、p型半導体層3bとして線状のp型ZnS層を形成できる。
(4)次に、p型ZnS層3bの上に、ZnSと、Agとを気層成長法で線状に堆積する。この時の条件としては、基板温度は600℃とし、厚さ1μm堆積し、n型半導体層3aとしてn型ZnS層を形成できる。
(5)次に、n型ZnS層3aの上に第1の緩衝層としてCaO層をスパッタリング法で線状に厚さ2nm堆積する。
(6)さらに第1の緩衝層のCaO層6aの上部に、スパッタリング法により透明電極2としてITOを線状に厚さ200nm堆積する。
(7)続いて、全体を覆う保護層(図では省略)として、例えば窒化シリコン等の透明絶縁体層を形成する。
以上の工程によって、本実施の形態2に係る線状発光装置を得ることができる。
なお本実施の形態2においては、第1の緩衝層6aのみを備える構成としているが、第1の緩衝層6aだけでなく第2の緩衝層7の両方を備える構成でもかまわない。また、各層の成膜方法は上記に述べた方法には限定されない。
<線状発光装置の概略構成>
実施の形態3に係る線状発光装置について説明する。線状発光装置の概略構成は実施の形態1と同様に、図1に示されるとおりである。本実施の形態3に係る線状発光装置は、実施の形態1に係る線状発光装置と比較すると、第1の緩衝層6bとして、酸素、フッ素など電気陰性度が約3以上と大きい物質で構成されていることを特徴とする。この電気陰性度が3以上の物質は、n型半導体層3aと第1の緩衝層6bの界面で電気双極子を形成する。この電気双極子の効果で、図6のエネルギーバンド図に示すように、透明電極2側のバンドが持ち上がりn型半導体層3aとのショットキー障壁の高さが低減する。なお、この第1の緩衝層6bは、膜厚を厚くする必要は無く、1〜数原子層の厚みで十分である。
以下、ZnSを発光層3のそれぞれの半導体層3a、3bの発光体材料として用いる場合の、実施の形態3に係る線状発光装置の製造方法の一実施例を説明する。なお、前述の他の材料からなる発光層についても同様の製造方法が利用可能である。
(1)線状の基板1としてコーニング1737を準備する。
(2)基板1上に、線状の背面電極4を形成する。例えばAlを使用し、膜厚は200nmとする。
(3)背面電極4上にZnSを気層成長法で堆積する。この時の条件としては、基板温度は600℃とし、ZnSと、Agとを、NH3を含むガス中で厚さ1μm堆積させることで、p型半導体層3bとして線状のp型ZnS層を形成できる。
(4)次に、p型ZnS層3bの上に、ZnSと、Agを気層成長法で堆積する。このときの条件としては、基板温度は600℃とし、厚さ1μm堆積し、n型半導体層3aとして線状のn型ZnS層を形成できる。
(5)次に、サンプルを高真空チャンバー中に保持し、CH3Fガスを導入し、その後、UV照射することで、第1の緩衝層6bとして一原子層程度のフッ素で表面を被覆する。
(6)この第1の緩衝層6bであるフッ素の上部に、スパッタリング法により透明電極2として線状のITOを厚さ200nm堆積する。
(7)続いて、全体を覆う保護層(図では省略)として、例えば窒化シリコン等の透明絶縁体層を形成する。
以上の工程によって、本実施の形態3に係る線状発光装置を得ることができる。
なお本実施の形態3においては、第1の緩衝層6bのみを備える構成としているが、第1の緩衝層6bだけでなく第2の緩衝層7の両方を備える構成でもかまわない。また、各層の成膜方法は上記に述べた方法には限定されない。
本実施の形態に係る線状発光装置は、発光層と電極間のショットキー障壁が減少することで、低電圧で必要十分な発光輝度を得ることができる。
<線状発光装置の概略構成>
図8は、本発明の実施の形態4に係る線状発光装置20の長手方向について発光面に垂直な方向から見た断面図である。この線状発光装置20は、線状光源として機能するものである。この線状発光装置20は、基板1と、透明電極2と、発光層3と、金属電極4とからなり、発光層3は、複数の絶縁体25によって、長手方向について各領域33a〜33gに電気的に区切られていることを特徴とする。なお、ここでは背面電極4として金属電極を用いている。また、この線状発光装置20では、透明電極2と金属電極4との間に電源5によって電圧を印加し、発光層3を発光させ、基板1側から光を外部に取り出す。この線状発光装置20では、発光層3を長手方向に沿って電気的に複数の領域に区切ることにより、透明電極2から発光層3の区切られた各領域33a〜33gを介して金属電極4へ至る複数の電気的経路のそれぞれについて電気抵抗値をほぼ同一にすることによって、長手方向についての輝度を均一にすることができる。
本発明の実施の形態4に係る線状発光装置20は、発光層3を複数の絶縁体25によって長手方向に沿って各領域33a〜33gに電気的に区切るという構成上の特徴部分を有している。本発明者は、実施の形態1に係る線状発光装置における以下のような問題点を見出すことによって、その問題点を解決すべく、上記の新たな特徴に思い至ったものである。
そこで、以下に、本発明者が見出した実施の形態1に係る線状発光装置における問題点を説明し、次いで、本発明の特徴部分によって上記問題点がどのように解決されるかについて説明する。
まず、本発明者は、実施の形態1に係る線状発光装置を線状光源とする場合の輝度不均一性の問題点を見出した。すなわち、発光層3の電気抵抗が低いため、発光時に比較的大きい電流が流れるが、比較的大きい抵抗値を有する透明電極2において電圧降下が発生し、発光層3の各部分を通過する各経路の電流値が、透明電極2における電源からの接続点である端子から長手方向に沿って次第に小さくなるため輝度の均一性が低くなるという問題が生じる。
絶縁体25は、発光層3内部に形成され、発光層3を領域33a〜33gに電気的に区切るものである。絶縁体25の材料としては例えば、SiO2やAl2O3などの酸化物絶縁体やプラスチック樹脂など絶縁体材料であれば用いることができるが、特に限定されるものではない。
a)発光層3を所定の方法で形成する。
b)形成した発光層3について、フォトリソグラフィ法等を用いて、後に絶縁体25を形成する部分についてエッチングする。
c)エッチングされた凹部に、絶縁体25として、例えばSiO2を埋め込む場合にはスパッタ法を用いて埋め込み、絶縁体25として樹脂を埋め込む場合には塗布法を用いて埋め込む。
d)その後、発光層3の上部の絶縁体をエッチングや研磨にて除去する。
以上の各工程によって絶縁体25を発光層3内に配置することができる。
次いで、発光層3内における複数の絶縁体25の配置について説明する。絶縁体25の間隔は各経路の電気抵抗によって定められる。これは電源5から透明電極2上に設けられた電源5からの接続点である端子、透明電極2および発光層3を通過して金属電極4までの経路における電気抵抗値が、絶縁体25によって区切られた発光層3の各領域33a〜33gのそれぞれを通過する各経路についてほぼ等しくなるように決定される。すなわち線状発光装置20内において、透明電極2上に設けられた端子に近い程、言い換えると透明電極2を通過する距離が短い程、絶縁体25の間隔を狭くすることで発光層3内の電気抵抗を高くする。一方、透明電極2上に設けられた端子から遠い程、言い換えると透明電極2を通過する距離が長い程、絶縁体25の間隔を広くすることで発光層3内の電気抵抗を低くする。なお、接続端子側に近い場所では透明電極2の通過距離が短いため透明電極2の電気抵抗は低く、接続端子側に遠い場所では透明電極2の通過距離が長いため透明電極2の電気抵抗が高い。そこで、これら絶縁体25の間隔と透明導電膜2の通過距離によって決定される電気抵抗の合計値がそれぞれ発光層3の区切られる各領域33a〜33gを通る各経路についてほぼ等しくなるように絶縁体25の間隔は決定される。
図11は、実施の形態5に係る線状発光装置20bの構成を示す概略断面図である。この線状発光装置20bは、実施の形態4及び5に係る線状発光装置と比較すると、発光層3の膜厚を長手方向について変化させている点で相違する。すなわち、この線状発光装置20bは、発光層3の膜厚を長手方向について連続的に一次関数的に変化させることによって、透明電極2に設けられた端子から透明電極2、発光層3の各部分および、金属電極4を介して金属電極4に設けられた端子に至る各経路の電気抵抗をほぼ同一にすることができる。これは、透明電極2の端子から長手方向に沿って近い程、発光層3の膜厚を厚くすることにより、発光層3の電気抵抗を大きくすることにより実現される。一方、端子から遠い程、発光層3の膜厚を薄くして発光層3の電気抵抗を小さくしている。これによって、この線状発光装置20bでは、長手方向の輝度の均一性を向上させることができる。
次に、図12を用いて、この線状発光装置20bの発光層3の形成方法について説明する。発光層3の形成方法としてはスパッタ法や蒸着法を用いることができる。上述のように、基板1の移動速度を変化させることで発光層3の膜厚を長手方向について連続的に変化させることができる。発光層3の長手方向についての膜厚の変化量は、透明電極2の接続端子からの距離に応じて変化させる。すなわち、透明電極2の接続端子から透明電極2および発光層3を通過して金属電極4までの各経路の電気抵抗値がほぼ等しくなるように設定することが好ましい。具体的には、透明電極2の接続端子側の発光層3の膜厚は厚く、接続端子と反対側の発光層3の膜厚は薄く設定される。これにより線状発光装置20bの各経路において発光層3を流れる電流を等しくすることが可能となり、線状発光装置20bの発光輝度の均一性が向上する。
なお、本実施の形態5においても実施の形態1と同様に、金属電極4側に基板を有してもよい。
図13は、実施の形態6に係る線状発光装置20cの構成を示す概略断面図である。本発明の実施の形態6に係る線状発光装置20cは、発光層3と金属電極4との間に電気抵抗調整層26を設けていることを特徴とする。この電気抵抗調整層26は、透明電極2に設けられた端子から長手方向に沿って遠くなるに従って厚み方向の抵抗値が小さくなる、具体的には、電気抵抗調整層26の膜厚は、透明電極2に設けられた端子から長手方向に沿って遠くなるに従い膜厚を一次関数的に連続的に小さくしている。この電気抵抗調整層26によって、長手方向について発光層3の電流密度を一定にすることができ、長手方向について輝度を均一にすることができる。すなわち、電気抵抗調整層26を設けることによって、透明電極2の端部に設けた端子からの長手方向の長さによらず、透明電極2に設けられた端子から透明電極2、発光層3及び金属電極4を介して金属電極4に設けられた端子に至る各経路の電気抵抗を等しくすることができる。この電気抵抗調整層26は、材料の比抵抗が金属電極4よりも高くなければならず、発光層材料や透明電極材料の比抵抗に近いことが好ましい。
2 透明電極
3 発光層
3a n型半導体層
3b p型半導体層
33a、33b、33c、33d、33e、33f、33g 領域
4 背面電極
5 直流電源
6、6a、6b 第1の緩衝層
7 第2の緩衝層
10、10a 線状発光装置
20、20a、20b、20c 線状発光装置
25 絶縁体
26 抵抗調整層
41 蒸着源
42 マスク
43 蒸気
50 発光素子
51 基板
52 透明電極
53 発光層
53a n型半導体層
53b p型半導体層
54 背面電極
55 直流電源
80 導光板
100 面状光源
Claims (17)
- 互いに対向する一対の第1及び第2の線状電極と、
前記一対の電極間に挟まれて設けられた線状の発光層と
を備え、
前記一対の第1及び第2の電極は、少なくとも1つが透明電極であって、
前記第1又は第2の電極と、前記発光層との間に挟まれて設けられた少なくとも一つの緩衝層と
を備え、
前記緩衝層を設けたことによって、前記緩衝層を挟持する前記電極と前記発光層との間の電位障壁の大きさが、前記電極と前記発光層とを直接接触させた場合のショットキー障壁の大きさより小さくなることを特徴とする線状発光装置。 - 前記発光層は、長手方向に沿って前記第1及び第2の電極間の電気抵抗値が変化することを特徴とする請求項1に記載の線状発光装置。
- 前記発光層は、前記一対の電極との間にわたって設けられた複数の絶縁体によって複数の領域に区切られていることを特徴とする請求項1又は2に記載の線状発光装置。
- 前記発光層は、長手方向に沿って膜厚が変化することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 前記第1又は第2の電極の少なくとも一方の電極と、前記発光層との間に挟まれて設けられ、長手方向に沿って電気抵抗値が変化する電気抵抗調整層をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 前記電気抵抗調整層は、長手方向に沿って膜厚が変化することを特徴とする請求項5に記載の線状発光装置。
- 前記透明電極は、長手方向の両端のうち一方の端部に電源と接続する端子が設けられていることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 前記第1及び第2の電極の間に直流電圧を印加して発光させるものであって、前記第1又は第2の電極のいずれか一方の電極が電子注入電極として機能し、他方の電極が正孔注入電極として機能し、
前記緩衝層は、
前記電子注入電極と前記発光層との間に設けられた第1の緩衝層と、
前記正孔注入電極と前記発光層との間に設けられた第2の緩衝層と
の2つの緩衝層を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の線状発光装置。 - 前記第1及び第2の電極の間に直流電圧を印加して発光させるものであって、前記第1又は第2の電極のいずれか一方の電極が電子注入電極として機能し、他方の電極が正孔注入電極として機能し、
前記緩衝層は、
前記電子注入電極と前記発光層との間に設けられた第1の緩衝層と、
前記正孔注入電極と前記発光層との間に設けられた第2の緩衝層と
のうち少なくとも一方の緩衝層を備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の線状発光装置。 - 前記第1の緩衝層は、仕事関数が3.5eV以下の物質を含んでいることを特徴とする請求項8又は9に記載の線状発光装置。
- 前記第2の緩衝層は、仕事関数が5.0eV以上の物質を含んでいることを特徴とする請求項8又は9に記載の線状発光装置。
- 前記第1の緩衝層は、アルカリ金属酸化物を含んでいることを特徴とする請求項8又は9に記載の線状発光装置。
- 前記第1の緩衝層は、電気陰性度が3以上の物質で構成されていることを特徴とする請求項8又は9に記載の線状発光装置。
- 前記発光層は、n型半導体層とp型半導体層とが積層された2層型発光層であることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 前記発光層は、n型半導体層とp型半導体層と、その間に挟まれた無ドープの半導体層とで構成された3層型発光層であることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 前記第1及び第2の電極に対向し、且つ、前記発光層からの発光の取出し方向の前方に色変換層をさらに備えることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の線状発光装置。
- 請求項1から16のいずれか一項に記載の線状発光装置と、
前記線状発光装置から出力される線状の光を反射させて面状の光とする導光板と
を備えたことを特徴とする面状光源。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012127746A1 (ja) * | 2011-03-23 | 2012-09-27 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
WO2013001891A1 (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-03 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2013515367A (ja) * | 2009-12-21 | 2013-05-02 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 輝度が均一なオプトエレクトロニクス装置 |
JP2016119315A (ja) * | 2011-03-18 | 2016-06-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置および発光装置の作製方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS575288A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-12 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Electroluminescent device |
JPH11260560A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-24 | Denso Corp | El素子 |
JP2000173771A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-23 | Sharp Corp | ライン光源及びその製造方法 |
JP2000340366A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Tdk Corp | 発光ダイオード |
JP2001043977A (ja) * | 1999-05-27 | 2001-02-16 | Tdk Corp | 発光ダイオード |
JP2002280181A (ja) * | 2001-03-22 | 2002-09-27 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2002325162A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像読取装置の光源と画像読取装置 |
JP2004288567A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Seiko Instruments Inc | 照明装置および液晶表示装置 |
JP2005294415A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Hoya Corp | 正孔注入電極及び半導体素子 |
-
2006
- 2006-12-27 JP JP2006351200A patent/JP4974667B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS575288A (en) * | 1980-06-13 | 1982-01-12 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Electroluminescent device |
JPH11260560A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-24 | Denso Corp | El素子 |
JP2000173771A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-23 | Sharp Corp | ライン光源及びその製造方法 |
JP2000340366A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Tdk Corp | 発光ダイオード |
JP2001043977A (ja) * | 1999-05-27 | 2001-02-16 | Tdk Corp | 発光ダイオード |
JP2002325162A (ja) * | 2001-02-22 | 2002-11-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像読取装置の光源と画像読取装置 |
JP2002280181A (ja) * | 2001-03-22 | 2002-09-27 | Canon Inc | 発光素子 |
JP2004288567A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-14 | Seiko Instruments Inc | 照明装置および液晶表示装置 |
JP2005294415A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Hoya Corp | 正孔注入電極及び半導体素子 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013515367A (ja) * | 2009-12-21 | 2013-05-02 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 輝度が均一なオプトエレクトロニクス装置 |
JP2016119315A (ja) * | 2011-03-18 | 2016-06-30 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置および発光装置の作製方法 |
WO2012127746A1 (ja) * | 2011-03-23 | 2012-09-27 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JP2012204019A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Panasonic Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US9166196B2 (en) | 2011-03-23 | 2015-10-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Organic electroluminescence device |
WO2013001891A1 (ja) * | 2011-06-28 | 2013-01-03 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
JPWO2013001891A1 (ja) * | 2011-06-28 | 2015-02-23 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
US9006769B2 (en) | 2011-06-28 | 2015-04-14 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Organic electroluminescence element |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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