JP2008159974A - 光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 - Google Patents
光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008159974A JP2008159974A JP2006348989A JP2006348989A JP2008159974A JP 2008159974 A JP2008159974 A JP 2008159974A JP 2006348989 A JP2006348989 A JP 2006348989A JP 2006348989 A JP2006348989 A JP 2006348989A JP 2008159974 A JP2008159974 A JP 2008159974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image sensor
- line image
- photoelectric conversion
- semiconductor substrate
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims abstract description 125
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 42
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 109
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 65
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 57
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 60
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 43
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 43
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 23
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 12
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 230000001364 causal effect Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14632—Wafer-level processed structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14636—Interconnect structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体基板101上には、互いに隙間を空けつつX,Y方向に並んで複数のラインイメージセンサIC110が形成される。ラインイメージセンサIC110の相互間の隙間が、スクライブライン102X,102Yとなる。スクライブライン102Yの形成領域のうち、任意のラインイメージセンサIC110の短辺110Sと、任意のラインイメージセンサIC110に対してX方向に隣接する他のラインイメージセンサIC110の短辺110Sとが向かい合う領域に、ダミー配線120によるパタンーを形成する。プラズマCVD法により原料ガスを生成すると、ダミーイメージセンサIC110上のみならず、ダミー配線120上にも、原料ガスが均一に堆積する。このため、ラインイメージセンサIC110上に、膜厚が均一な保護膜が形成される。
【選択図】 図1
Description
細長い長方形となっている各ラインイメージセンサIC10には、複数個(例えば400個)の光電変換素子11が、長手方向(X方向)に沿い一列に並んだ状態で配置されている。
換言すると、スクライブライン2Xとスクライブライン2Yとが格子状に形成されており、縦横方向(YX方向)に並んだ各ラインイメージセンサIC10は、その周囲が、スクライブライン2X,2Yに囲まれている。
なお、各スクライブライン2X、2Yの幅WX,WYは、それぞれ、例えば50μm〜200μmとなっている。
絶縁分離膜3の表面には、プラズマCVD法により、窒化シリコン(SiN)等による透明な保護膜4が形成されている。即ち、保護膜4は、絶縁分離膜3を間に介して、光電変換素子11の受光面11aを覆う状態で形成されている。
即ち、実線は、各光電変換素子11から出力される電気信号の電圧比を示しており、点線は、各光電変換素子11の上に形成した保護膜4の膜厚比を示している。
図9から分かるように、保護膜4の膜厚が変化することにより、各光電変換素子11から出力される電気信号の電圧値が変化することが理解される。
なお、図9では、保護膜4の膜厚比(膜厚)が増加すると、光電変換素子11から出力される電気信号の値が増加しているが、反射・干渉条件によっては、保護膜4の膜厚比(膜厚)が増加すると、光電変換素子11から出力される電気信号の値が減少することもある。
(1)半導体基板1を成膜室内に設置してプラズマCVD法により保護膜4を成膜する際においては、成膜室内における原料ガス(プラズマ化した原料)の密度は、成膜室内での電界条件が異なることにより変化する。
(2)電気配線12や画素間遮光アルミニウムは、導電材(アルミニウム)であるため、この電気配線12や画素間遮光アルミニウムの配置状態によって、成膜室内の電界条件が変化してしまう。
画素間遮光アルミニウム13は、絶縁分離膜3の表面のうち、ラインイメージセンサIC10が形成されている領域内であって、隣接する光電変換素子11の間の位置に配置されている。
なお、図10では、電気配線12は、図面上には示されないが、電気配線12も存在している。
即ち、長手方向(X方向)に沿い一列に並んだ光電変換素子11のうち端部(短辺10S側)側に位置する光電変換素子11の上に成膜された保護膜4の厚さは、長手方向(X方向)に沿い一列に並んだ光電変換素子11のうち中央部(長辺10Lの中央部分)に位置する光電変換素子11の上に成膜された保護膜4の厚さに比べて厚くなっている、という事実を把握した。
また、半導体基板1上に導電材が存在する部分では、導電材がアンテナと同様な作用を果たすため、成膜室の空間のうち当該部分に近い空間の電界強度が強くなり、導電材が存在する部分の表面に成膜される保護膜4の膜厚が厚くなることを解明した。
しかも、導電材の配置密度や配線密度が高ければ高い程、導電材によるアンテナと同様な作用が強くなり、保護膜4の膜厚が厚くなることを解明した。
一方、導電材の配置密度や配線密度が低かったり、導電材が平面であったりした場合には、導電材によるアンテナと同様な作用が弱くなり、保護膜4の膜厚は、導電材が存在しない場合に比べては厚いが、膜厚の増加が抑えられることを解明した。
しかも、スクライブライン2Yが形成されている部分において成膜が行われないので、スクライブライン2Yに向かって進行してきた原料ガス(プラズマ化した原料)は、ラインイメージセンサIC10の長手方向(X方向)の端部に向かって進み、ラインイメージセンサIC10の長手方向(X方向)の端部において堆積して成膜される。
この結果、ラインイメージセンサIC10の長手方向(X方向)の端部での保護膜4の膜厚が、ラインイメージセンサIC10の長手方向(X方向)の中央部での保護膜4の膜厚に比べて厚くなるということを解明した。
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺とが向かい合う領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜とを有することを特徴とする。
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺とが向かい合う領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜とを有し、
しかも、前記ダミー配線は、ダミー配線の分布密度が均一となるようなパターンに形成されると共に、前記ダミー配線の相互間の間隔は、前記ラインイメージセンサICに形成される電気配線の相互間の間隔のうち最も短い間隔と等しくなっていることを特徴とする。
半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
前記スクライブラインのうち、長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間の中央部の領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜とを有し、
しかも、前記ダミー配線は、ダミー配線の分布密度が均一となるようなパターンに形成されると共に、前記ダミー配線の相互間の間隔は、前記ラインイメージセンサICに形成される電気配線の相互間の間隔のうち最も短い間隔と等しくなっていることを特徴とする。
前記の光電変換装置を製造する製造方法であって、
半導体基板の表面に、ラインイメージセンサICの受光部となる光電変換素子を形成し、
前記光電変換素子が形成された前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の表面に導電材膜を堆積し、堆積した導電材膜をエッチングすることにより、電気配線と、光電変換素子の間に位置する画素間遮光導電材と、任意のラインイメージセンサICの短辺とそれに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間に位置するダミー配線を形成し、
前記電気配線,前記画素間遮光導電材及び前記ダミー配線が形成された前記絶縁膜の表面に、プラズマCVD法により保護膜を形成することを特徴とする。
前記の光電変換装置を、スクライブラインに沿って切断して個々の独立したラインイメージセンサICを製造する製造方法であって、
半導体基板の表面に、ラインイメージセンサICの受光部となる光電変換素子を形成し、
前記光電変換素子が形成された前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の表面に導電材膜を堆積し、堆積した導電材膜をエッチングすることにより、電気配線と、光電変換素子の間に位置する画素間遮光導電材と、任意のラインイメージセンサICの短辺とそれに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間に位置するダミー配線を形成し、
前記電気配線,前記画素間遮光導電材及び前記ダミー配線が形成された前記絶縁膜の表面に、プラズマCVD法により保護膜を形成して光電変換装置を形成し、
前記光電変換装置をスクライブラインに沿って切断して個々の独立したラインイメージセンサを製造することを特徴とする。
このため、プラズマCVD法により保護膜を形成すると、保護膜は、ラインイメージセンサICの上のみならず、ダミー配線の上にも形成される。このため、プラズマ化した原料ガスのうち、ダミー配線に向かって進行したものは、ダミー配線の上で堆積して成膜され、ラインイメージセンサIC側に流れていくことはない。この結果、ラインイメージセンサICの上に形成された保護膜の膜厚は、長手方向のどの部分であっても均一化する。
このように、ラインイメージセンサIC上の保護膜の膜厚が均一化するため、長手方向のどの部分であっても、保護膜による反射・干渉条件が等しくなり、ラインイメージセンサICに備えられた複数の光電変換素子から出力される電気信号の値のバラツキを抑えることができる。
細長い長方形となっている各ラインイメージセンサIC110には、複数個(例えば400個)の光電変換素子111が、長手方向(X方向)に沿い一列に並んだ状態で配置されている。
換言すると、スクライブライン102Xとスクライブライン102Yとが格子状に形成されており、縦横方向(YX方向)に並んだ各ラインイメージセンサIC110は、その周囲が、スクライブライン102X,102Yに囲まれている。
なお、各スクライブライン102X、102Yの幅WX,WYは、それぞれ、例えば50μm〜200μmとなっている。
絶縁分離膜103の表面には、プラズマCVD法により、窒化シリコン(SiN)等による透明な保護膜104が形成されている。即ち、保護膜104は、絶縁分離膜103を間に介して、光電変換素子111の受光面111aを覆う状態で形成されている。
なお、ダミー配線120により形成するパターンは、ダミー配線(導電材)120の分布密度が均一になるものであれば、他のパターンとすることもできる。
つまり、半導体イメージセンサIC110を製造する半導体製造装置により、電気配線112とダミー配線120を形成する。このとき、ダミー配線120の相互間の間隔が、半導体製造装置の能力により決まる、最も短い配線相互間の間隔となるように、ダミー配線120を形成している。
具体的には、現状では、ダミー配線120の相互間の間隔を0.5μm〜1μmとしている。
つまり、ダミー配線120は、任意のラインイメージセンサIC110の長手方向(X方向)の端部近傍と、これに隣接する(横方向(X方向)に隣接する)他のラインイメージセンサIC110の長手方向(X方向)の端部近傍には形成されていない。
この結果、ラインイメージセンサIC110の長手方向(X方向)のどの部分においても、保護膜104の膜厚が均一になるのである。
このようにして製造された、各ラインイメージセンサIC110に形成された保護膜104の膜厚は、長手方向(X方向)のどの部分においても均一になる。
即ち、実線は、各光電変換素子111から出力される電気信号の電圧比を示しており、点線は、各光電変換素子111の上に形成した保護膜104の膜厚比を示している。
図4から分かるように、保護膜104の膜厚は、ラインイメージセンサIC110の長手方向に関して略均一であり、各光電変換素子111から出力される電気信号の電圧値が略均一であることが理解される。
なお、図4では、保護膜104の膜厚比(膜厚)が増加すると、光電変換素子111から出力される電気信号の値が増加しているが、反射・干渉条件によっては、保護膜104の膜厚比(膜厚)が増加すると、光電変換素子111から出力される電気信号の値が減少することもある。
遮光用アルミニウムは、ラインイメージセンサICのほぼ全域に形成され、光電変換素子111の受光面111aの真上にある部分など一部のみ開口されている。
この実施例3の製造方法により、実施例1に示す光電変換装置を製造することができる。
次に、ゲート酸化膜を形成し、ポリシリコンをCVDにより堆積し、エッチングにより前記CMOSトランジスタのゲートを形成する。
次に、前記CMOSトランジスタのドレイン領域及びソース領域となるN型領域及びP型領域をイオン注入で形成する。
なお、酸化膜103a及び中間絶縁膜103bにより、絶縁分離膜103が形成される。
また、Nウエル、Pウエル、及び、画素(Pixel)を構成するN型領域のイオン注入は、素子分離層の形成前に実施してもよい。
この実施例4の製造方法により、実施例2の光電変換装置を製造することができる。
分割のためにダイシングをすると、ダミー配線120も同時に切断される。そして、個々の独立したラインイメージセンサICが製造される。
102X,102Y スクライブライン
103 絶縁分離膜
104 保護膜
110 ラインイメージセンサIC
111 光電変換素子
111a 受光面
112 電気配線
113 画素間遮光アルミニウム
120 ダミー配線
Claims (5)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺とが向かい合う領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜と、を有することを特徴とする光電変換装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺とが向かい合う領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜とを有し、
しかも、前記ダミー配線は、ダミー配線の分布密度が均一となるようなパターンに形成されると共に、前記ダミー配線の相互間の間隔は、前記ラインイメージセンサICに形成される電気配線の相互間の間隔のうち最も短い間隔と等しくなっていることを特徴とする光電変換装置。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の表面に、互いに隙間を空けて形成された長方形の複数のラインイメージセンサICと、
隣接するラインイメージセンサICの前記隙間に形成されたスクライブラインと、
前記スクライブラインのうち、長方形の前記ラインイメージセンサICの短辺に沿い形成されたスクライブラインの形成領域であって、任意のラインイメージセンサICの短辺と、それに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間の中央部の領域に形成された導電材からなるダミー配線と、
前記ダミー配線を含めて前記半導体基板の表面を覆う状態で、プラズマCVD法により形成された保護膜とを有し、
しかも、前記ダミー配線は、ダミー配線の分布密度が均一となるようなパターンに形成されると共に、前記ダミー配線の相互間の間隔は、前記ラインイメージセンサICに形成される電気配線の相互間の間隔のうち最も短い間隔と等しくなっていることを特徴とする光電変換装置。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の光電変換装置を製造する製造方法であって、
半導体基板の表面に、ラインイメージセンサICの受光部となる光電変換素子を形成し、
前記光電変換素子が形成された前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の表面に導電材膜を堆積し、堆積した導電材膜をエッチングすることにより、電気配線と、光電変換素子の間に位置する画素間遮光導電材と、任意のラインイメージセンサICの短辺とそれに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間に位置するダミー配線を形成し、
前記電気配線,前記画素間遮光導電材及び前記ダミー配線が形成された前記絶縁膜の表面に、プラズマCVD法により保護膜を形成することを特徴とする光電変換装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項3の何れか一項に記載の光電変換装置を、スクライブラインに沿って切断して個々の独立したラインイメージセンサICを製造する製造方法であって、
半導体基板の表面に、ラインイメージセンサICの受光部となる光電変換素子を形成し、
前記光電変換素子が形成された前記半導体基板の表面に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜の表面に導電材膜を堆積し、堆積した導電材膜をエッチングすることにより、電気配線と、光電変換素子の間に位置する画素間遮光導電材と、任意のラインイメージセンサICの短辺とそれに隣接する他のラインイメージセンサICの短辺との間に位置するダミー配線を形成し、
前記電気配線,前記画素間遮光導電材及び前記ダミー配線が形成された前記絶縁膜の表面に、プラズマCVD法により保護膜を形成して光電変換装置を形成し、
前記光電変換装置をスクライブラインに沿って切断して個々の独立したラインイメージセンサを製造することを特徴とするラインイメージセンサICの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348989A JP5101876B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 |
US11/963,560 US7816749B2 (en) | 2006-12-26 | 2007-12-21 | Photoelectric conversion device and method of producing the same, and method of producing line image sensor IC |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006348989A JP5101876B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008159974A true JP2008159974A (ja) | 2008-07-10 |
JP5101876B2 JP5101876B2 (ja) | 2012-12-19 |
Family
ID=39660536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006348989A Active JP5101876B2 (ja) | 2006-12-26 | 2006-12-26 | 光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7816749B2 (ja) |
JP (1) | JP5101876B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219077A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-30 | Sharp Corp | 半導体ウエハ基板および電子素子モジュール、電子情報機器 |
US9136403B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with wirings of differing young's modulus and method for fabricating the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4935838B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2012-05-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法、電子機器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091553A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Canon Inc | 半導体基板、密着型イメージセンサ、及び半導体チップの製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06260625A (ja) | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Seiko Instr Inc | イメージセンサ装置及び製造方法 |
JP3638778B2 (ja) * | 1997-03-31 | 2005-04-13 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2002158278A (ja) * | 2000-11-20 | 2002-05-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置およびその製造方法ならびに設計方法 |
US6833622B1 (en) * | 2003-02-27 | 2004-12-21 | Cypress Semiconductor Corp. | Semiconductor topography having an inactive region formed from a dummy structure pattern |
US7701034B2 (en) * | 2005-01-21 | 2010-04-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Dummy patterns in integrated circuit fabrication |
US8258629B2 (en) * | 2008-04-02 | 2012-09-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Curing low-k dielectrics for improving mechanical strength |
JP2010074106A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Nec Electronics Corp | 半導体チップ、半導体ウェーハおよびそのダイシング方法 |
-
2006
- 2006-12-26 JP JP2006348989A patent/JP5101876B2/ja active Active
-
2007
- 2007-12-21 US US11/963,560 patent/US7816749B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000091553A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Canon Inc | 半導体基板、密着型イメージセンサ、及び半導体チップの製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219077A (ja) * | 2009-03-12 | 2010-09-30 | Sharp Corp | 半導体ウエハ基板および電子素子モジュール、電子情報機器 |
US9136403B2 (en) | 2012-04-27 | 2015-09-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device with wirings of differing young's modulus and method for fabricating the same |
KR101592231B1 (ko) | 2012-04-27 | 2016-02-05 | 캐논 가부시끼가이샤 | 반도체장치 및 반도체장치의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090273050A1 (en) | 2009-11-05 |
JP5101876B2 (ja) | 2012-12-19 |
US7816749B2 (en) | 2010-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9842878B2 (en) | Semiconductor device and a manufacturing method thereof | |
TWI429067B (zh) | 固態成像元件 | |
JP6132525B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US7233037B2 (en) | Solid state imaging device and method of manufacturing the same | |
CN102468246B (zh) | 半导体元件及其制作方法 | |
JP2009194119A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
KR20080033090A (ko) | 고체 촬상 소자 및 그 제조방법 | |
US8852987B2 (en) | Method of manufacturing image pickup device | |
CN110854144A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
US20190088695A1 (en) | Bonding pad architecture using capacitive deep trench isolation (cdti) structures for electrical connection | |
JP2017135222A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
CN100454565C (zh) | 半导体器件及制造半导体器件的方法 | |
JP5101876B2 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法並びにラインイメージセンサicの製造方法 | |
US10529766B2 (en) | Camera and solid-state image sensor that includes a wiring structure with an electrically conductive pattern having plural primary and auxiliary lines arranged on a semiconductor substrate | |
JP2020181953A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2000349143A (ja) | 半導体装置 | |
KR20060107511A (ko) | 고체 촬상 소자 및 그 제조 방법 | |
JP6362482B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US20120139070A1 (en) | Manufacturing method of semiconductor device and semiconductor device | |
JP2009010140A (ja) | 半導体ウェハ | |
US20120052615A1 (en) | Method and structure for reducing dark current in a cmos image sensor | |
JP2010118661A (ja) | イメージセンサー及び前記イメージセンサーの製造方法 | |
US20140004700A1 (en) | Manufacturing method for a semiconductor apparatus | |
US8258595B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing the same | |
US11587888B2 (en) | Moisture seal for photonic devices |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090826 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091117 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120927 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151005 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5101876 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |