JP2008159286A - プローブ評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ジャストフォーカス状態で撮影した画像とデフォーカス状態で撮影した画像を画像データとしてコンピュータに入力し(ステップ1)、入力データサイズと出力データサイズから相関窓画像のサイズを自動で決定して相関窓を作成し(ステップ2,3)、相関窓と参照領域の相互相関演算を行い(ステップ6)、参照領域をずらしながらこの演算を繰り返す(ステップ7〜10)ことで相互相関行列を得ることで(ステップ11)プローブ画像を得る。
【選択図】 図3
Description
h(x,y)=∬f(u, v)g(x−u,y−v)dudv 式(1)
これをフーリエ空間で書けば
H(X,Y)=F(X,Y)G(X,Y) 式(2)
ここで、H(X,Y)=∫h(x,y)exp(−2・ixX)exp(−2・iyY)dxdyであり、F,Gについても対応する量をフーリエ変換したものである。
式(2)は、ジャストフォーカス像についての量とアンダーまたはオーバーフォーカス像(デフォーカス像)についての量のいずれに対しても成立し、各々下付き添字0、下付き添字1を用いて表現すると、H0=FG0, H1=FG1、となる。アンダーまたはオーバーフォーカス時のプローブの強度情報は試料の情報をキャンセルするため、これを割り算すると
G1=G0(H1/H0) 式(3)
となる。
i(x,y)=∬h0(u,v) h1(u+x,v+y)dudv 式(4)
式(4)は、フーリエ空間をでは、
I(X,Y)=H0 *(X,Y)H1(X,Y)
= F*G0 *FG1
= F*FG0 *G1
となる。ここで、試料が広い空間周波数帯にわたりランダムな構造を持つ場合には、F*F≒1が成立し(ランダムな構造を持つデータ集合の自己相関関数をデルタ関数で近似)、上のF*FG0 *G1は、以下のようになる。
= G0 *G1 式(5)
ここで、g0がデルタ関数であるとみなし、式(5)をフーリエ逆変換して実空間の関数に直すと、相互相関は
i(x,y) = g1(x,y) 式(6)
となり、式(6)の左辺は、デフォーカス条件におけるプローブ強度分布g1(x,y)と考えてよいことがわかる。
n = N-m+1 (式7)
で与えられる関係があり、元画像サイズNが一定のとき、nを大きくするとmが小さくなり相関演算に使用する画素数が減るため、計算精度が低下するからである。上の説明では、n 、N、mの関係を分布データの一辺サイズ(画素数)で説明したが、分布データの面積(各分布データに含まれる全画素数)で考えても、関係式がn = N-mとなるだけで事情は同様である。経験的には、シミュレーション等で予め見積もられたデフォーカス状態におけるプローブ径の情報を用いて、当該プローブ径の2倍程度の画素数になるようなサイズが選択される。結果画像のサイズが決定したら、デフォーカス画像の中心付近から一辺mの正方形領域を切り出し、相関窓とする。デフォーカス画像の中心位置は、検出器14からの信号出力の時刻情報と荷電粒子線の走査信号周期の情報とを用いて算出することができる。上で説明した相関窓の決定アルゴリズムとデフォーカス画像におけるプローブ径の情報は情報処理装置4内に格納されており、図4のステップ2,3の処理時にプロセッサ19により実行される。
Claims (9)
- 収差補正された収束荷電粒子線を試料に照射して、発生する二次粒子を検出して二次粒子信号として出力する荷電粒子線鏡筒を備えた荷電粒子線装置において、
前記二次粒子信号を信号処理して前記二次粒子に対応する画素信号の二次元分布データを形成する二次元分布データ形成手段と、
ジャストフォーカス状態での当該二次元分布データとデフォーカス状態での二次元分布データとの相互相関演算により、デフォーカス状態における前記収束荷電粒子線の輝度分布を算出するプローブ形状抽出手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子装置。 - 収差補正された収束荷電粒子線を試料に照射して、発生する二次粒子を検出して二次粒子信号として出力する荷電粒子線鏡筒と、該二次粒子信号を処理して当該収束荷電粒子線の照射領域に関する情報を取得する情報処理装置とを備えた荷電粒子線装置において、
当該情報処理装置は、
前記二次粒子信号を信号処理して前記二次粒子に対応する画素信号の二次元分布データを形成し、
更に、ジャストフォーカス状態での当該二次元分布データとデフォーカス状態での二次元分布データとの相互相関演算を実行して、該デフォーカス状態における前記収束荷電粒子線の輝度分布を算出することを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
算出された前記デフォーカス状態でのプローブ形状の情報を情報処理して、該デフォーカス状態において前記収束荷電粒子線に含まれる収差の種類と量を計算する収差評価手段を備えたことを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記情報処理装置は、前記デフォーカス状態でのプローブ形状の情報を用いて、該デフォーカス状態において前記収束荷電粒子線に含まれる収差の種類と量を計算する収差評価演算を実行することを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線鏡筒は、前記収差を補正するための収差補正器と、当該収差補正器を駆動するための制御電源とを備え、
更に、前記計算された収差の種類と量を用いて該制御電源から制御収差補正器への印加電圧または印加電流を計算する補正量算出手段を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記荷電粒子線鏡筒は、前記収差を補正するための収差補正器と、当該収差補正器を駆動するための制御電源とを備え、
更に、前記情報処理装置は、前記計算された収差の種類と量を用いて該制御電源から制御収差補正器への印加電圧または印加電流を計算する演算処理を実行することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置において、
前記二次元分布データとして、金、白金パラジウムのいずれかの粒子が、シリコン、カーボン、グラファイトのいずれかの下地上に蒸着またはスパッタリングにより付着された標準試料を用いて検出された二次粒子の二次元分布データを用いることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の荷電粒子線装置において、
前記相互相関演算において、ジャストフォーカス状態またはデフォーカス状態いずれかの前記二次元分布データに対して相関窓が設定されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
所定の標準試料に対して得られた、デフォーカス状態における前記輝度分布内の画素数と当該画素の位置情報が格納される記憶手段を備え、
前記相関窓の大きさが、当該輝度分布に含まれる全ての画素が、前記相互相関演算の結果に含まれるように設定されることを特徴とする荷電粒子線装置。
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