JP2008156683A - 窒化物含有ターゲット材 - Google Patents
窒化物含有ターゲット材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008156683A JP2008156683A JP2006345141A JP2006345141A JP2008156683A JP 2008156683 A JP2008156683 A JP 2008156683A JP 2006345141 A JP2006345141 A JP 2006345141A JP 2006345141 A JP2006345141 A JP 2006345141A JP 2008156683 A JP2008156683 A JP 2008156683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- target
- nitride
- target material
- droplets
- si3n4
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Abstract
【解決手段】 本願発明は、SiとM成分、但し、M成分は周期律表4a、5a、6a族金属、B、Sから選択される1種以上の元素を有するターゲット材において、該ターゲット材は、SiとM成分及びSiの窒化物を有していることを特徴とする窒化物含有ターゲット材である。
【選択図】なし
Description
また、本願発明の窒化物含有ターゲット材は、Siの窒化物の含有量がモル%で、5%以上、30%以下であることが好ましい。更に、窒化物含有ターゲット材は、Siの窒化物の含有量をM、Siの含有量をNとしたとき、M/N値が、0.3≦M/N≦3.0、であることが好ましい。
本願発明の窒化物含有ターゲット材における酸素含有量は、質量%で、0.7%以下が好ましい。0.7%を超えて多く含有すると、ターゲット材の機械的強度が劣るだけでなく、放電時に発生する酸素イオンがターゲット表面を酸化させるため、電気的な絶縁材を形成する。その結果、放電が不安定になり、ターゲットの異常溶解部が形成しやすくなる。
TiSi等のSiを含むターゲット材を製造する場合、ホットプレス方式を用い、TiやCrよりも低融点金属であるSiが、他の金属元素を結びつけるバインダーの役割をする。例えば、TiSi系合金の場合、Ti相、TiSi2相、TiSi相、Ti5Si4相、Ti5Si3相などを始めとする金属間化合物の他にSi単独相の組織が生成する。このSi単独相ではアークスポットが停滞してしまい、1μmを超えるような巨大なドロップレットが生じる。このドロップレットが多量に発生してしまうと、形成される硬質皮膜の機能を低下させる原因となることから、Si単独相の低減を図る必要がある。そのためホットプレス法による粉末冶金法では、減圧中のArを含む雰囲気でSiを融解させない1200℃以下での作製することが好ましい。より好ましくは、1000℃〜1200℃の範囲はゆっくりと昇温させて作製することによって実現できる。更に好ましくは800℃を超えた所から、150℃/時間程度の昇温速度でゆっくりと作製するとよい。焼結時の温度が1200℃を超えるとSi単独相が溶解し始め、Siがバインダーとしての働きをしなくなる。また、Siの窒化物の脱窒現象が発生する。この他、Siの炭化物や酸化物などを含有させると、ターゲットの電気抵抗が高くなり、放電が困難となる欠点を有する。本願発明のターゲット材は、粉末冶金法によるホットプレス法だけでなく、HIP法でも作製可能である。HIP法を適用する場合は、Arを含む雰囲気で、100MPa〜300MPaの範囲で加圧を行うことが好ましい。また、Siの窒化物と併せて炭窒化物が存在してもよい。即ち、ターゲット中のSi窒化物は、Si窒化物粒子を炭化処理したSi炭窒化物、Si炭化物を窒化処理したSi炭窒化物が存在してもよい。
本願発明のターゲットを使用した場合、得られる硬質皮膜の硬度、密度、靭性等の機械的強度が高まるため、耐欠損性、耐摩耗性が要求される用途への被覆に用いることが効果的である。更に、ドリル、エンドミルまたは微小部品のように、使用したい部分にドロップレットの付着が少なくする様な用途に好適である。以下、本願発明を実施例に基づいて説明する。
粉末冶金法にて、AIP用ターゲットを作製した。作製にあたっては、耐摩耗、耐熱特性が優れた硬質皮膜を得るために、Siと、周期律表4a、5a、6a族金属、B、Sから選択される1種以上の原料粉末、及びSi3N4とを密閉容器としてボールミルを用いて、Ar雰囲気にて4時間混合した。Sを含有させる場合は、S単独の粉末を取り扱うことは難しいので、硫化物を使用した。粉末の混合性を考慮し、組成の偏りや、機械的強度の低下を回避する為、99.999%以上のAl2O3ボールを使用した。混合した粉末をグラファイト製の金型に所定量装入し、ホットプレス機を用いて焼結を行った。焼結時にSiが溶解するのを回避するため、焼結温度は、1100〜1200℃に設定した。また、減圧下での焼結では、焼結装置内に残留する微量酸素によるターゲット中への酸素取り込みの影響を避けるために、Ar雰囲気での焼結を行った。プレス荷重は50MPa〜200MPaの範囲に設定した。焼結時間は、1〜3時間の間で行った。焼結後完成したターゲットは、抗折力試験片とAIP装置に適した形状に加工を行った。上記条件にて、ターゲットを作製した。
次に、得られた皮膜について、1mm四方中に含まれる粒径が0.5μm以上のドロップレット量を測定した。表1に示すように、本発明例のドロップレット量は、従来例と比較して、著しく減少していた。特に、ターゲット中のSi3N4含有量が多くなるほど、ドロップレット数が減少する傾向にあった。これは、ターゲット中にSi3N4を含有させることで、ドロップレットの発生源になりやすいSi単独相が減少し、アークスポットの集中を回避できたためと考えられる。TiSi系ターゲットにSi3N4を含有させた本発明例1〜5では、ドロップレット量は、最も少ない量で9000個/mm2であった。従来例26は26000個/mm2であり、60%以上もドロップレット量が減少した。この傾向は、本発明例6〜10、11〜15、16〜20、21〜25のTiSiV系、TiSiNbS系、ZrSiW系のターゲットについても同様であった。
実施例1で作製したターゲット材を使用して被覆したミーリング用インサートを、以下の試験条件で切削を行い、硬質皮膜の耐摩耗性を評価した。評価方法は、切削長さ1m時に発生する硬質皮膜の剥離や破壊の有無を、光学顕微鏡を用いて切刃逃げ面部を50倍に拡大して観察し、摩耗幅を測定した。更に切削を継続し、300μm以上のチッピンク゛を含む欠損が発生した時点を工具寿命とし、その時点までの切削加工距離(m)を比較することによって性能を評価した。
(試験条件)
工具 :特殊正面フライス
インサート形状:SDE53タイプ特殊形状
切削方法 :センターカット方式
被削材形状 :幅125mm×長さ300mm
被削材 :プレス金型用鋼SKD11、29HRC
軸方向切込み量:1.0mm
切削速度 :130m/分
1刃当たりの送り量:0.5mm/刃
切削油 :なし
Claims (3)
- SiとM成分、但し、M成分は周期律表4a、5a、6a族金属、B、Sから選択される1種以上の元素を有するターゲット材において、該ターゲット材は、SiとM成分、及びSiの窒化物を有していることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
- 請求項1に記載の窒化物含有ターゲット材において、該Siの窒化物の含有量はモル%で、5%以上、30%以下であることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
- 請求項1、2に記載の窒化物含有ターゲット材において、該Siの窒化物の含有量をM、該Siの含有量をNとしたとき、M/N値が、0.3≦M/N≦3.0、であることを特徴とする窒化物含有ターゲット材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006345141A JP4846557B2 (ja) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 窒化物含有ターゲット材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006345141A JP4846557B2 (ja) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 窒化物含有ターゲット材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008156683A true JP2008156683A (ja) | 2008-07-10 |
JP4846557B2 JP4846557B2 (ja) | 2011-12-28 |
Family
ID=39657927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006345141A Active JP4846557B2 (ja) | 2006-12-22 | 2006-12-22 | 窒化物含有ターゲット材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4846557B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014501843A (ja) * | 2010-10-22 | 2014-01-23 | バルター アクチェンゲゼルシャフト | アークプロセス用ターゲット |
JP2017101291A (ja) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆層を有する耐熱合金製工具および加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002212708A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-07-31 | Hitachi Metals Ltd | Ti−Si合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法 |
JP2004158048A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-06-03 | Nikko Materials Co Ltd | スパッタリングターゲット及び光記録媒体 |
-
2006
- 2006-12-22 JP JP2006345141A patent/JP4846557B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002212708A (ja) * | 2000-11-16 | 2002-07-31 | Hitachi Metals Ltd | Ti−Si合金系ターゲット材およびその製造方法ならびに皮膜コーティング方法 |
JP2004158048A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-06-03 | Nikko Materials Co Ltd | スパッタリングターゲット及び光記録媒体 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014501843A (ja) * | 2010-10-22 | 2014-01-23 | バルター アクチェンゲゼルシャフト | アークプロセス用ターゲット |
US9334558B2 (en) | 2010-10-22 | 2016-05-10 | Walter Ag | Target for arc processes |
JP2017101291A (ja) * | 2015-12-02 | 2017-06-08 | 日本アイ・ティ・エフ株式会社 | 被覆層を有する耐熱合金製工具および加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4846557B2 (ja) | 2011-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4846519B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット材 | |
JP5301531B2 (ja) | パーティクルの発生の少ないスパッタリングターゲット | |
JP2016107396A (ja) | 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP6421934B2 (ja) | 耐異常損傷性と耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具 | |
JP2009263717A (ja) | 硬質皮膜および硬質皮膜形成用ターゲット | |
JP6459391B2 (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP2008031517A (ja) | 被覆部材 | |
EP3369842B1 (en) | Sputtering target and method for producing sputtering target | |
KR20170044668A (ko) | 평면 베어링 또는 평면 베어링의 일부, 이를 제조하는 방법, 및 구리-크롬-지르코늄의 평면 베어링 재료로서의 용도 | |
WO2015076220A1 (ja) | 硬質皮膜および硬質皮膜形成用ターゲット | |
JP4846557B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット材 | |
JP6102617B2 (ja) | 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具 | |
JP4761556B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット材 | |
JP6213269B2 (ja) | 高硬度鋼の切削加工ですぐれた耐チッピング性を長期に亘って発揮する表面被覆切削工具 | |
JP2008179853A (ja) | ホウ化物含有ターゲット材 | |
US10569339B2 (en) | Surface-coated cutting tool | |
JP2003080412A (ja) | 高速穴あけ加工で先端切刃面がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製ミニチュアドリル | |
JP2008155335A (ja) | 切削工具 | |
JP4846563B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット材 | |
JP7293787B2 (ja) | TaWSiターゲットおよびその製造方法 | |
JP4846556B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット材 | |
JP2012076156A (ja) | 超硬合金およびその製造方法 | |
JP2019118995A (ja) | 表面被覆切削工具 | |
WO2016117681A1 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP5120698B2 (ja) | 窒化物含有ターゲット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091014 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110802 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111004 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141021 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4846557 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |