JP2008147116A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 26
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 26
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Plasma Technology (AREA)
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Abstract
【解決手段】放電管21内にプロセスガスを導入し、この放電管の上流側から下流側に向かって流れるプロセスガスにマイクロ波導波管23を介してマイクロ波を照射し、放電管内にプラズマを発生させる。放電管の内壁21aとプラズマ発生領域Pとの間に、局所的に圧力が高いガス流からなる層Gが形成されるように、プラズマ発生領域Pにプロセスガスを供給する。
【選択図】図2
Description
21 放電管
21a 内壁
23 マイクロ波導波間
6 内挿部材
61 外壁
P プラズマ発生領域
Claims (7)
- 放電管内にプロセスガスを導入し、この放電管の上流側から下流側に向かって流れるプロセスガスにマイクロ波導波管を介してマイクロ波を照射し、放電管内にプラズマを発生させるようにしたプラズマ処理装置において、前記放電管の内壁とプラズマ発生領域との間に、局所的に圧力が高いガス流からなる層が形成されるように、プラズマ発生領域にプロセスガスを供給することを特徴とするプラズマ処理装置。
- 前記放電管の内壁及びプラズマ発生領域の間を流れるガス流が分子流ではないことを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマ発生領域へのプロセスガスの供給を、放電管の上流側からプラズマ発生領域の近傍まで延出するように放電間内に挿設された内挿部材の外壁と、放電管の内壁との間に形成された間隙を介して行うことを特徴とする請求項1または請求項2記載のプラズマ処理装置。
- 前記内挿部材を、プラズマからの輻射熱によって劣化しない材料から構成したことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記内挿部材と放電管とを同心に配置したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記放電管に対する前記内挿部材の位置を変更する位置変更手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記放電管に、その外周面からの冷却を可能とする冷却手段を設けたことを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006335549A JP4999441B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | プラズマ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006335549A JP4999441B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008147116A true JP2008147116A (ja) | 2008-06-26 |
JP4999441B2 JP4999441B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=39607037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006335549A Active JP4999441B2 (ja) | 2006-12-13 | 2006-12-13 | プラズマ処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4999441B2 (ja) |
Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
WO2024043104A1 (ja) * | 2022-08-23 | 2024-02-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理を行う装置、及びプラズマ処理を行う方法 |
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- 2006-12-13 JP JP2006335549A patent/JP4999441B2/ja active Active
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