JP2008145345A - チップ間隔の測定装置とその測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持手段Aで移動可能に保持した測定対象物(切断によってチップ状に個片化されたウエハW)をカメラB1で撮影し、その撮影した画像からそれぞれのチップCの間隔を測定する際に、照射手段Eから測定対象物のウエハWに対して照射された光の反射光が前記カメラB1で撮影されないように、制御手段Dが前記保持手段Aを移動制御するものとする。
【選択図】図1
Description
13 接着シート
A 保持手段
A1 エキスパンド装置(エキスパンド手段)
B 画像処理手段
B1 カメラ(撮影手段)
C チップ
F 制御手段
E 照射手段
G チップ間隔
M 測定装置
W ウエハ(板状部材)
Claims (5)
- リングフレームの内側に接着シートを介して支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔を測定する測定装置であって、
前記測定装置は、
前記測定対象物を移動可能に保持する保持手段と、
前記測定対象物に光を照射する照射手段と、
前記測定対象物を撮影する撮影手段を含み、その画像から前記チップ間隔を測定する画像処理手段と、
前記保持手段の移動を制御する制御手段とからなり、
前記制御手段は前記照射手段の光の反射光が前記撮影手段によって撮影されないように前記保持手段を移動制御すること
を特徴とするチップ間隔の測定装置。 - 前記測定装置は、前記接着シートを引き伸ばすことによって前記各チップ間隔を拡張するエキスパンド手段を有すること
を特徴とする請求項1に記載のチップ間隔の測定装置。 - 前記制御手段は、照射手段の光の反射光が撮影手段で撮影されたと判断した場合に前記保持手段を移動制御すること
を特徴とする請求項1又は2のいずれかに記載のチップ間隔の測定装置。 - 前記画像処理手段は、撮影した画像から各チップの近接しあう各辺部を認識してチップ間隔を測定すること
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のチップ間隔の測定装置。 - リングフレームの内側に接着シートを介して支持され、切断によってチップ状に個片化された板状部材を測定対象物とし、その各チップ間隔を測定する測定方法であって、
前記測定方法は、
保持手段によって前記測定対象物を移動可能に保持し、その測定対象物に光を照射した状態で、当該測定対象物を撮影し、この画像から前記チップ間隔を測定する際に、前記光の反射光が撮影されないように前記保持手段を移動制御すること
を特徴とするチップ間隔の測定方法。
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