KR101471984B1 - 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치 - Google Patents

조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치 Download PDF

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Abstract

조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치가 개시된다. 이송모듈에 의해 일 방향으로 이송되는 검사대상물을 촬영하여 상기 검사대상물의 이상 여부를 검사하는 인라인 카메라 검사 장치에 있어서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치는 상기 검사대상물을 촬영하는 복수 개의 카메라를 포함하는 촬영모듈, 상기 촬영모듈의 주변에 설치되어 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 복수 개의 광원을 포함하는 발광모듈, 상기 촬영모듈 및 상기 발광모듈의 전방에서 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 발광부 및 상기 발광부에서 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 빛의 반사도를 측정하는 수광부를 포함하는 반사도 측정 모듈 및 상기 반사도 측정모듈에서 측정된 반사도에 따라 상기 발광모듈로부터 상기 검사대상물에 조사되는 빛의 조도를 조절하는 제어모듈을 포함한다.

Description

조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치{Carrying Apparatus for Inspection Object Having Light Emitting Module Possible Dimming}
본 발명은 인라인 카메라 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상물의 반사도에 따라 발광모듈의 조도를 조절할 수 있는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는, 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 결함을 검출해 내는 장치이다.
이러한 자동광학검사장치는 검사 대상물을 이동시키며, 광학장비를 이용해 기판의 결함을 검출한다.
한편, 인쇄회로기판은 절연체인 에폭시 수지 또는 베이클라이트 수지로 만든 얇은 기판에 구리박 또는 은박을 붙인 후에, 계속하여 구리박 또는 은박으로 남아 있기를 원하는 회로 배선에는 레지스트를 인쇄한다. 그리고 구리 또는 은을 녹일 수 있는 식각액에 인쇄된 기판을 담그면 레지스트가 묻지 않은 부분은 녹는다. 그 후에 레지스트를 제거하면 구리박 또는 은박이 원하는 형태로 남아 있다.
이와 같이, 인쇄회로기판에 따라 기판에 입혀지는 박판의 종류가 다른데, 박판의 종류에 따라 반사도 또한 상이하다. 즉, 박판의 종류에 따라 같은 조도의 빛을 조사하여 동일한 카메라로 촬영하여도 어떤 인쇄회로기판은 밝게 촬영되는 반면, 어떤 인쇄회로기판은 상대적으로 어둡게 촬영될 수 있다.
광학장비가 기판을 촬영하기 위하여 광학장비의 주변에는 복수 개의 조명을 포함하는 발광모듈이 구비되는데, 종래에는 발광모듈이 기판의 반사도와 무관하게 상기 일정한 조도로 기판을 비추어 반사도가 높은 기판은 상대적으로 밝게 촬영되고, 반사도가 낮은 기판은 상대적으로 어둡게 촬영되어 촬영된 영상이 일정한 밝기를 갖지 못한다.
이에 따라, 결함의 검출에 있어서 정확도가 떨어질 수 있는 문제점이 있다.
선행문헌 1: 공개특허공보 제10-2011-0066778호
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.
본 발명은 검사 대상물의 반사도에 따라 검사 대상물에 조사되는 빛의 세기를 조절하여 균일한 밝기의 이미지를 얻을 수 있는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반사도 측정 모듈이 구비된 인라인 카메라 검사 장치는 이송모듈, 촬영모듈, 발광모듈, 반사도 측정 모듈 및 제어모듈을 포함할 수 있다.
상기 이송모듈은 검사대상물을 일 방향으로 이송할 수 있다.
상기 촬영모듈은 상기 검사대상물을 촬영하는 복수 개의 카메라를 포함할 수 있다.
상기 발광모듈은 상기 촬영모듈의 주변에 설치되어 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 복수 개의 광원을 포함할 수 있다.
상기 반사도 측정 모듈은 상기 촬영모듈 및 상기 발광모듈의 전방에서 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 발광부 및 상기 발광부에서 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 빛의 반사도를 실시간으로 측정하는 수광부를 포함할 수 있다.
상기 제어모듈은 상기 반사도 측정모듈에서 측정된 반사도에 따라 상기 발광모듈로부터 상기 검사대상물에 조사되는 빛의 조도를 조절할 수 있다.
상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 커지면 상기 발광모듈의 조도를 낮추고, 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 작아지면 상기 발광모듈의 조도를 높일 수 있다.
상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도의 구간을 나누어 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 광량이 포함되는 구간에 따라 상기 발광모듈의 조도를 조절할 수 있다.
또는, 상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 상기 반사도를 시계열적으로 평균한 값에 따라 상기 발광모듈의 조도를 조절할 수 있다.
또는, 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 커지면 상기 발광모듈의 높이를 높이고, 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 작아지면 상기 발광모듈의 높이를 낮춤으로써 상기 검사대상물에 조사되는 빛의 조도를 조절할 수 있다.
상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 상기 반사도가 측정된 시점으로부터 상기 반사도 측정 모듈에서 상기 발광모듈까지 상기 검사대상물이 이송되는 시간 후에 상기 발광모듈을 제어할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치에 의하면 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도에 따라 발광모듈의 조도를 조절함으로써 균일한 밝기의 이미지를 얻을 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 사시도;
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 측면도;
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도에 따른 발광모듈의 조도를 나타내는 그래프; 및
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도에 따른 발광모듈의 조도를 나타내는 그래프이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 측면도이다.
이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치에 대하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송 장치는 이송모듈(100), 촬영모듈(200), 발광모듈(300), 반사도 측정 모듈(400) 및 제어모듈(500)을 포함할 수 있다.
이송모듈(100)은 검사대상물(10)을 일방향으로 이송할 수 있다.
촬영모듈(200)은 검사대상물(10)을 촬영하는 복수 개의 카메라를 포함할 수 있다.
복수 개의 카메라는 검사 대상물(10)의 이송 방향을 따라 서로 인접하게 배치되어 검사 대상물(10)의 촬영 이미지를 생성할 수 있다.
이를 위하여, 각각의 카메라는 검사 대상물(10)의 이송 방향과 교차하는 방향을 따라 일렬로 배치되어 검사 대상물(10)의 촬영 이미지를 생성할 수 있다. 여기서, 복수 개의 카메라는 초점 조절이 가능한 카메라일 수 있다. 그리고, 복수 개의 카메라는 모두 동일한 카메라일 수 있다,
또한, 복수 개의 카메라의 촬영 주기는 복수 개의 카메라의 촬영 영역의 넓이와 검사 대상물(10)의 이동 속도를 고려하여 결정될 수 있다.
발광모듈(300)은 촬영모듈(200)의 주변에 설치되어 검사대상물(10)에 빛을 조사하는 복수 개의 광원을 포함할 수 있다. 본 실시예의 도면에서는 발광모듈(300)이 검사대상물(10)의 촬영 영역의 양 측에서 소정의 각도 빛을 조사하는 것을 예로 도시하였다. 그러나, 발광모듈(300)의 위치 및 각도는 도면에 도시된 것에 한정되는 것이 아니며 검사 대상물(10)의 촬영 영역의 사방에서 빛을 조사하도록 배치되거나, 일 방향에서만 빛이 조사되도록 배치될 수도 있다.
반사도 측정 모듈(400)은 발광부(410)와 수광부(420)를 포함할 수 있다.
발광부(410)는 촬영모듈(200) 및 발광모듈(300)의 전방에서 검사대상물(10)에 빛을 조사할 수 있다. 발광부(410)의 광원으로는 엘이디(LED), 적외선 다이오드, 레이저 다이오드, 할로겐 램프 등이 적용될 수 있으며, 본 실시예에서 발광부(410)의 광원은 발광모듈(300)과 동일한 광원일 수 있다.
그리고, 수광부(420)는 발광부(410)에서 조사되어 검사대상물(10)에 의해 반사된 빛의 반사도를 실시간으로 측정할 수 있다. 수광부(420)는 빛의 세기를 측정하는 센서로서, 발광부(410)에서 조사한 빛의 세기에 대한 수광부(420)에서 측정된 빛의 세기로 검사 대상물(10)의 반사도를 측정할 수 있다.
제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도에 따라 발광모듈(300)로부터 검사대상물(10)에 조사되는 빛의 조도를 조절할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도와 이에 따른 발광모듈의 조도를 나타내는 그래프이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에서 제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도가 커지면 발광모듈(300)의 조도를 낮추고, 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도가 작아지면 발광모듈(300)의 조도를 높일 수 있다.
본 실시예에서는, 반사도 측정 모듈(400)에서 샘플링된 반사도 값이 모두 발광모듈(300)의 조도의 조절에 그대로 반영될 수 있다.
균일한 밝기의 이미지를 얻기 위하여 반사도가 높은 검사대상물(10)에는 상대적으로 낮은 조도의 빛을 조사하고, 반사도가 낮은 검사대상물(10)에는 상대적으로 높은 조도의 빛을 조사하며, 이를 시간에 따른 반사도와 조도의 그래프로 나타내면 도 3의 그래프와 같이 서로 상하 대칭적인 양상으로 나타날 수 있다.
반사도 측정 모듈(400)과 발광모듈(300)은 서로 이격되어 있어 검사 대상물(10)이 반사도 측정 모듈(400)에서 발광모듈(300)까지 이동하기 까지 소정의 시간이 소요될 수 있다. 따라서, 제어모듈(500)은 이송모듈(100)의 구동 속도에 기반하여 반사도 측정 모듈(400)에서 발광모듈(300)까지 검사대상물(10)이 이송되는 시간(d)을 산출하고, 반사도 측정 모듈(400)에서 반사도가 측정된 시점으로부터 반사도 측정 모듈(400)에서 발광모듈(300)까지 검사대상물(10)이 이송되는 시간 후에 발광모듈(300)의 조도를 조절할 수 있다.
예를 들면, 반사도 측정 모듈(400)에서 발광모듈(300)까지 검사대상물(10)이 이송되는 시간(d)이 5초가 걸린다고 하면, 반사도 측정 모듈(400)에서 반사도가 측정된 시점으로부터 5초 후에 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도에 따라 발광모듈(300)의 조도를 제어할 수 있다.
인쇄회로기판은 절연체인 에폭시 수지 또는 베이클라이트 수지로 만든 얇은 기판에 구리박 또는 은박을 붙인 후에, 계속하여 구리박 또는 은박으로 남아 있기를 원하는 회로 배선에는 레지스트를 인쇄한다. 그리고 구리 또는 은을 녹일 수 있는 식각액에 인쇄된 기판을 담그면 레지스트가 묻지 않은 부분은 녹는다. 그 후에 레지스트를 제거하면 구리박 또는 은박이 원하는 형태로 남아 있다.
이와 같이, 인쇄회로기판에 따라 기판에 입혀지는 박판의 종류가 다른데, 박판의 종류에 따라 반사도 또한 상이하다. 즉, 박판의 종류에 따라 같은 조도의 빛을 조사하여 동일한 카메라로 촬영하여도 어떤 인쇄회로기판은 밝게 촬영되는 반면, 어떤 인쇄회로기판은 상대적으로 어둡게 촬영될 수 있다.
그러나, 본 실시예와 같이 박판의 종류에 따른 반사도에 따라 발광모듈(300)의 조도를 조절하여 박판의 종류와 무관하게 균일한 밝기의 이미지를 얻을 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치의 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도에 따른 발광모듈의 조도를 나타내는 그래프이다.
이하, 도 4를 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사도 측정 모듈이 구비된 인라인 카메라 검사 장치에 대하여 설명한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 반사도 측정 모듈(400)이 구비된 인라인 카메라 검사 장치는 본 발명의 제 1 실시예와 같이 촬영모듈(200), 발광모듈(300), 반사도 측정 모듈(400) 및 제어모듈(500)을 포함할 수 있다.
본 실시예의 촬영모듈(200), 발광모듈(300), 반사도 측정 모듈(400)은 본 발명의 제 1 실시예와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
다만, 본 실시예의 제어모듈(500)은 도 4에 도시된 바와 같이 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도의 구간을 나누어 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 광량이 포함되는 구간에 따라 발광모듈(300)의 조도를 조절할 수 있다.
예를 들면, 도면에 도시된 바와 같이, 제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도를 네 개의 구간으로 나누고, 발광모듈(300)에서 조사되는 빛의 세기를 네 단계로 조절할 수 있다. 그리고, 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도가 제 2 구간에 속하면, 발광모듈(300)의 조도 또한 제 2 단계로 조절할 수 있다. 여기서, 제 1 구간에서 제 4 구간으로 갈수록 반사도가 높아진다면, 발광모듈(300)의 조도는 이와 반대로 제 1 구간에서 제 4 구간으로 갈수록 낮아질 수 있다.
한편, 도면에는 도시되지 않았지만, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반사도 측정 모듈이 구비된 인라인 카메라 검사 장치는 본 발명의 제 1 실시예와 같이 촬영모듈(200), 발광모듈(300), 반사도 측정 모듈(400) 및 제어모듈(500)을 포함할 수 있다.
본 실시예의 촬영모듈(200), 발광모듈(300), 반사도 측정 모듈(400)은 본 발명의 제 1 실시예와 동일하므로 이에 대한 설명은 생략한다.
다만, 본 실시예의 제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도를 시계열적으로 평균한 값에 따라 발광모듈(300)의 조도를 조절할 수 있다.
예를 들면, 제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 실시간으로 샘플링된 적어도 하나의 반사도 값을 일정한 시간마다 시계열적으로 평균하고, 상기 평균값에 따라 발광모듈(300)의 조도를 제어할 수 있다.
한편, 도면에 도시되지는 않았지만, 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반사도 측정 모듈이 구비된 인라인 카메라 검사 장치의 제어모듈(500)은 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도가 커지면 발광모듈(300)의 높이를 높이고, 반사도 측정 모듈(400)에서 측정된 반사도가 작아지면 발광모듈(300)의 높이를 낮춤으로써 검사대상물(10)에 조사되는 빛의 조도를 조절할 수도 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 인쇄회로기판 100: 이송모듈
200: 촬영모듈 300: 발광모듈
400: 반사도 측정 모듈 410: 발광부
420: 수광부 500: 제어모듈

Claims (6)

  1. 일 방향으로 검사대상물을 이송하는 이송모듈;
    상기 검사대상물을 촬영하는 복수 개의 카메라를 포함하는 촬영모듈;
    상기 촬영모듈의 주변에 설치되어 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 복수 개의 광원을 포함하는 발광모듈;
    상기 촬영모듈 및 상기 발광모듈의 전방에서 상기 검사대상물에 빛을 조사하는 발광부 및 상기 발광부에서 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 빛의 반사도를 실시간으로 측정하는 수광부를 포함하는 반사도 측정 모듈; 및
    상기 반사도 측정모듈에서 측정된 반사도에 따라 상기 발광모듈로부터 상기 검사대상물에 조사되는 빛의 조도를 조절하는 제어모듈;을 포함하며,
    상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 커지면 상기 발광모듈의 조도를 낮추고, 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 작아지면 상기 발광모듈의 조도를 높이고,
    상기 제어모듈은 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도의 구간을 나누어 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 광량이 포함되는 구간에 따라 상기 발광모듈의 조도를 조절하는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 제어모듈은,
    상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 상기 반사도를 시계열적으로 평균한 값에 따라 상기 발광모듈의 조도를 조절하는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제어모듈은,
    상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 커지면 상기 발광모듈의 높이를 높이고, 상기 반사도 측정 모듈에서 측정된 반사도가 작아지면 상기 발광모듈의 높이를 낮춤으로써 상기 검사대상물에 조사되는 빛의 조도를 조절하는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치.
  6. 제 1항, 제 4항 및 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어모듈은,
    상기 반사도 측정 모듈에서 상기 반사도가 측정된 시점으로부터 상기 반사도 측정 모듈에서 상기 발광모듈까지 상기 검사대상물이 이송되는 시간 후에 상기 발광모듈을 제어하는 조도 조절이 가능한 발광모듈이 구비되는 검사대상물 이송장치.
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WO2017104954A1 (ko) * 2015-12-16 2017-06-22 (주)쎄미시스코 방출광 검출모듈 및 이를 이용한 관리시스템

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JP2002098588A (ja) 2000-09-25 2002-04-05 Matsushita Electric Works Ltd 照度センサ、および照明制御システム

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