KR20130056473A - 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법 - Google Patents

광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법 Download PDF

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KR20130056473A
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윤영근
박일성
박재현
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동우 화인켐 주식회사
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Abstract

광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치는, 피검사물에 일정한 밝기로 광을 조사하는 제1 조명부; 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 피검사물에 제1 조명부와 동일 밝기로 광을 조사할 수 있도록 설치된 제2 조명부; 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 조명 제어부; 제1 조명부 및 제2 조명부가 비추는 피검사물의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득하는 촬영부; 및 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 제1 이미지를 제2 이미지로 대체하는 영상 처리부를 포함한다.

Description

광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CORRECTION OF VIBRATION NOISE USING OPTICAL INSPECTION SYSTEM}
본 발명의 실시예는 광학 검사 기술에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있는 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법에 관한 것이다.
광학 검사 시스템은 예를 들어, 인쇄회로기판, 편광 필름, 광학 필름, 위상차 필름, 이형 필름 등의 각종 시트상 제품의 외관을 카메라로 촬영하고, 촬영된 영상에 근거하여 해당 제품에 결함, 먼지, 이물질, 및 얼룩 등의 불량이 있는지 여부를 검출하는 시스템을 말한다.
시트상 제품들은 일반적으로 롤 투 롤(Roll-to-Roll) 공정을 통해 이동하게 되는데, 이때 모터의 주기적인 진동 또는 외부 충격에 의한 불규칙한 진동이 발생할 수 있다. 이 경우, 진동 노이즈로 인해 광학 검사 시스템에서 오검이 발생하게 된다.
예를 들어, 편광 필름의 경우, 제조 과정에서 염료의 불균일한 염착이나 접착 불량 등으로 인해 편광 필름의 연신 방향으로 줄무늬 얼룩이 발생하기도 하는데, 얼룩이 발생한 편광 필름을 광학 카메라로 촬영하면, 촬영된 영상에서 얼룩이 발생한 부분에 밝기의 단차가 발생하게 된다.
그런데, 검사 과정에서 진동 노이즈가 발생하는 경우에도 촬영된 영상에 밝기의 단차가 발생하게 된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 편광 필름의 이동 중 진동 노이즈가 발생하면, 촬영된 영상 중 진동 노이즈가 발생한 부분에서 밝기의 단차가 나타나는 것을 볼 수 있다. 여기서, M/D 방향은 편광 필름의 이동 방향을 나타낸다. 이 경우, 밝기의 단차가 얼룩에 의해 발생한 것인지 아니면 진동 노이즈에 의해 발생한 것인지 판단하기가 어려워 오검이 발생하게 된다. 따라서, 검사 과정 중 진동 노이즈가 발생하였을 때, 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있는 방안이 요구된다.
본 발명의 실시예는 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있는 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
1. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치는, 피검사물에 일정한 밝기로 광을 조사하는 제1 조명부; 위 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 위 피검사물에 위 제1 조명부와 동일 밝기로 광을 조사할 수 있도록 설치된 제2 조명부; 위 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 조명 제어부; 위 제1 조명부 및 제2 조명부가 비추는 위 피검사물의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득하는 촬영부; 및 위 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 위 제1 이미지를 위 제2 이미지로 대체하는 영상 처리부를 포함한다.
2. 1에서, 위 영상 처리부는, 위 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭이 기설정된 결함폭을 초과하는 조건 및 위 제1 이미지에 나타난 결함의 결함 길이가 기설정된 결함 길이 미만인 조건 중 적어도 하나의 조건을 만족하는 경우, 위 피검사물에 위 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단한다.
3. 1에서, 위 촬영부는, 위 제1 조명부가 비추는 위 피검사물의 제1 이미지를 획득하는 제1 촬영부; 및 위 제2 조명부가 비추는 위 피검사물의 제2 이미지를 획득하는 제2 촬영부를 포함한다.
4. 1에서, 위 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치는, 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 측정하는 조도 측정부를 더 포함한다.
5. 위 조명 제어부는, 위 조도 측정부의 조도값 측정 결과, 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값이 초기 조도값과 차이가 나는 경우, 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 상기 초기 조도값으로 유지시킨다.
6. 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법은, 조명 제어부가 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 단계; 촬영부가 위 제1 조명부 및 제2 조명부가 비추는 피검사물의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득하는 단계; 및 위 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우, 영상 처리부가 위 제1 이미지를 위 제2 이미지로 대체하는 단계를 포함하며, 위 제2 조명부는 위 진동 노이즈가 발생된 경우, 위 피검사물에 위 제1 조명부와 동일 밝기로 광을 조사할 수 있도록 설치된다.
7. 6에서, 위 제1 이미지를 위 제2 이미지로 대체하는 단계는, 위 영상 처리부가 위 피검사물에 진동 노이즈가 발생하였는지 여부를 판단하는 단계를 포함하며, 위 영상 처리부는, 위 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭이 기설정된 결함폭을 초과하는 조건 및 위 제1 이미지에 나타난 결함의 결함 길이가 기설정된 결함 길이 미만인 조건 중 적어도 하나의 조건을 만족하는 경우, 위 피검사물에 위 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단한다.
8. 6에서, 위 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 단계 이후에, 조도 측정부가 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 측정하는 단계; 및 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 측정된 조도값이 초기 조도값과 차이가 나는 경우, 위 조명 제어부가 위 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 상기 초기 조도값으로 유지시키는 단계를 더 포함한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 검사 과정 중 진동 노이즈가 발생한 경우, 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 나타난 피검사물의 제1 이미지 대신 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 나타나지 않은 피검사물의 제2 이미지로 대체하여 검사를 수행함으로써, 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있게 된다. 그로 인해, 광학 검사 시스템의 신뢰성 및 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 영상 처리부가 진동 노이즈의 발생 여부를 판단하는 상태를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법을 나타낸 순서도.
이하, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치 및 방법의 구체적인 실시예를 설명하기로 한다. 그러나 이는 예시적 실시예에 불과하며 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명과 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
본 발명의 기술적 사상은 청구범위에 의해 결정되며, 이하 실시예는 진보적인 본 발명의 기술적 사상을 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에게 효율적으로 설명하기 위한 일 수단일 뿐이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치의 개략적인 구성을 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 진동 노이즈 보정 장치(100)는 제1 조명부(102), 제2 조명부(104), 조명 제어부(106), 촬영부(108), 영상 처리부(110), 및 조도 측정부(112)를 포함한다.
제1 조명부(102)는 조명 제어부(106)에 의해 온(ON) 또는 오프(OFF) 동작이 제어 된다. 여기서, 제1 조명부(102)에 의한 조명을 통해 촬영부(108)가 획득한 영상을 제1 이미지라 한다.
제2 조명부(104)는 조명 제어부(106)에 의해 온(ON) 또는 오프(OFF) 동작이 제어 된다. 이때, 제2 조명부(104)는 제1 조명부(102)와 교대로 온(ON) 또는 오프(OFF)된다. 즉, 제2 조명부(104)는 제1 조명부(102)가 온(ON) 되면 오프(OFF) 되고, 제1 조명부(102)가 오프(OFF) 되면 온(ON) 된다.
여기서, 제2 조명부(104)에 의한 조명을 통해 촬영부(108)가 획득한 영상을 제2 이미지라 한다. 이때, 제2 조명부(104)는 진동 노이즈가 발생한 경우, 제2 이미지의 밝기 레벨이 제1 이미지의 밝기 레벨과 동일하게 되는 위치 및 각도로 미리 조절되어 설치된다.
구체적으로, 정상 상태에서 제1 조명부(102)에 의해 조명이 비춰지는 지점을 제1 검사 지점이라고 하고, 진동 노이즈가 발생한 상태에서 제2 조명부(104)에 의해 조명이 비춰지는 지점을 제2 검사 지점이라고 하면, 제2 검사 지점에서 촬영부(108)에 의해 획득한 제2 이미지의 밝기 레벨이 제1 검사 지점에서 촬영부(108)에 의해 획득한 제1 이미지의 밝기 레벨과 동일하게 되도록 제2 조명부(104)의 위치 및 각도를 미리 조절하여 설치한다. 다시 말하면, 제2 조명부(104)는 진동 노이즈가 발생한 경우, 시트상 제품(150)에 제1 조명부(102)와 동일한 밝기로 광을 조사할 수 있도록 미리 조절되어 설치된다.
제1 검사 지점과 제2 검사 지점은 예를 들어, 수 ㎛의 차이 밖에 나지 않지만, 동일한 조명을 통해 제1 검사 지점과 제2 검사 지점에서 획득한 영상에는 밝기의 단차가 발생하여, 해당 밝기의 단차가 시트상 제품(150)의 결함에 의한 것인지 아니면 진동 노이즈에 의한 것인지 구별하기가 어렵게 된다.
이에 본 발명의 실시예에서는, 제2 검사 지점에서 획득한 제2 이미지의 밝기 레벨이 제1 검사 지점에서 획득한 제1 이미지의 밝기 레벨과 동일하게 되도록 제2 조명부(104)의 위치 및 각도를 미리 조절함으로써, 시트상 제품(150)의 결함 검사 과정 중 진동 노이즈가 발생하더라도 촬영부(108)가 정상 상태와 동일한 밝기 레벨의 제2 이미지를 획득할 수 있게 된다. 이 경우, 제2 이미지에는 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 발생하지 않으며, 시트상 제품(150)의 결함에 의한 밝기 단차만 나타나므로, 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있게 된다. 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.
조명 제어부(106)는 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)의 온(ON) 또는 오프(OFF) 동작을 제어한다. 이때, 조명 제어부(106)는 일정 속도(예를 들어, 초당 40 Hz)로 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)를 교대로 온(ON) 또는 오프(OFF) 시킨다. 즉, 조명 제어부(106)는 일정 속도로 제1 조명부(102)를 온(ON) 및 제2 조명부(104)를 오프(OFF)시킨 후, 제1 조명부(102)를 오프(OFF) 및 제2 조명부(104)를 온(ON) 시키는 작업을 반복 수행한다.
또한, 조명 제어부(106)는 조도 측정부(112)의 측정 결과에 따라, 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)의 파워를 조절하여 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값이 일정하게 되도록 유지한다.
촬영부(108)는 컨베이어 등과 같은 이동 수단을 통해 이동하는 시트상 제품(150)을 촬영한다. 이때, 촬영부(108)는 제1 조명부(102)의 조명에 의한 제1 이미지 및 제2 조명부(104)의 조명에 의한 제2 이미지를 교대로 연속해서 획득하게 된다. 여기서, 시트상 제품(150)의 결함 검사 과정 중 진동 노이즈가 발생한 경우, 제1 이미지에는 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 나타나게 되지만, 제2 이미지에는 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 나타나지 않게 된다.
영상 처리부(110)는 제1 이미지를 통해 진동 노이즈 발생 여부를 판단할 수 있다. 이때, 영상 처리부(110)는 진동 노이즈 발생 상태에 따라 제1 이미지 또는 제2 이미지를 검사용 영상으로 사용한다.
예를 들어, 영상 처리부(110)는 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 이미지에 나타난 결함(151)의 결함폭(dx)이 기설정된 결함폭(k1)을 초과하는지 여부를 확인하여 진동 노이즈의 발생 여부를 판단할 수 있다. 일반적으로, 진동 노이즈에 의해 제1 이미지에 나타나는 결함(즉, 밝기 단차)은 실제 시트상 제품의 얼룩에 의한 결함 보다 제1 이미지의 폭 방향으로 길게 나타나게 된다. 따라서, 영상 처리부(110)는 제1 이미지에 나타난 결함(151)의 결함폭(dx)이 기설정된 결함폭(k1)을 초과하면 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단한다.
영상 처리부(110)는 진동 노이즈의 발생 여부를 좀더 정확히 판별하기 위해, 제1 이미지에 나타난 결함(151)의 결함 길이(dy)가 기설정된 결함 길이(k2) 보다 짧은지 여부를 추가로 확인할 수 있다. 일반적으로, 진동 노이즈에 의해 제1 이미지에 나타나는 결함(즉, 밝기 단차)은 실제 시트상 제품의 얼룩에 의한 결함 보다 제1 이미지의 길이 방향으로 짧게 나타나게 된다. 따라서, 영상 처리부(110)는 제1 이미지에 나타난 결함(151)의 결함 길이(dy)가 기설정된 결함 길이(k2) 보다 짧은 경우, 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단한다.
여기서는, 1) 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭(dx) ＞ 기설정된 결함폭(k1) 및 2) 제1 이미지에 나타난 결함의 결함 길이(dy) ＜ 기설정된 결함 길이(k2)의 두 조건을 만족하는 경우, 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 1) 조건 및 2) 조건 중 적어도 하나를 만족하는 경우에 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단할 수도 있다.
영상 처리부(110)는 진동 노이즈가 발생한 경우, 제1 이미지를 제2 이미지로 대체하여 검사용 영상으로 사용할 수 있다. 여기서, 제2 조명부(104)의 위치 및 각도가 미리 조절되어 있기 때문에, 제2 이미지의 밝기 레벨은 제1 이미지의 밝기 레벨과 동일하게 된다. 이와 같이, 진동 노이즈가 발생하였을 때 제1 이미지를 제2 이미지로 대체하면, 진동 노이즈에 의한 밝기 단차는 나타나지 않고 시트상 제품(150)의 결함에 의한 밝기 단차만 나타나는 검사용 영상을 얻을 수 있게 된다.
예를 들어, 컨베이어 벨트를 구동시키는 모터에 의해 진동 노이즈가 주기적으로 발생하는 경우, 영상 처리부(110)는 진동 노이즈의 발생 주기에 따라 제1 이미지와 제2 이미지를 주기적으로 연결하여 검사용 영상으로 사용할 수 있다. 그리고, 진동 노이즈가 비주기적으로 발생하는 경우, 영상 처리부(110)는 제1 이미지를 기본 영상으로 하고, 진동 노이즈가 발생한 부분에서 제2 이미지로 대체하여 검사용 영상으로 사용할 수 있다.
여기서, 조명 제어부(106)가 예를 들어, 초당 40 Hz의 빠른 속도로 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)를 교대로 온(ON) 또는 오프(OFF) 시키기 때문에, 제1 이미지와 제2 이미지는 연속적으로 촬영되며, 일정 시점에 촬영된 제1 이미지와 제2 이미지는 거의 차이가 없게 된다. 따라서, 진동 노이즈가 발생한 부분에 제1 이미지 대신 제2 이미지를 대체하여 검사용 영상으로 사용하여도 무방하다.
한편, 여기서는 촬영부(108)가 제1 이미지와 제2 이미지를 모두 획득하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제1 촬영부가 제1 조명부(102)에 의한 조명을 통해 제1 이미지를 획득하고, 제2 촬영부가 제2 조명부(104)에 의한 조명을 통해 제2 이미지를 획득하도록 구현할 수도 있다.
또한, 여기서는 영상 처리부(110)가 제1 이미지를 통해 진동 노이즈가 발생하였는지 여부를 판단하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 별도의 구성을 통해 진동 노이즈의 발생 여부를 판단할 수도 있다. 예를 들어, 별도의 진동 센서를 통해 진동 노이즈의 발생 여부를 판단할 수도 있다.
조도 측정부(112)는 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값을 측정하여 조명 제어부(106)로 전달한다. 이는 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값을 동일하게 유지시키기 위한 것으로, 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값이 초기 조도값과 차이가 나는 경우, 조명 제어부(106)는 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 파워를 조절하여 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값이 초기 조도값을 유지하도록 한다.
제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)는 외부 조작 또는 해당 램프의 수명 등의 문제로 초기 조도값을 벗어날 수 있다. 따라서, 조도 측정부(112)로 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값을 실시간으로 측정함으로써, 제1 조명부(102)와 제2 조명부(104)의 조도값을 일정하게 유지시켜 준다.
표 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치에서 진동 발생 여부에 따른 검사 지점, 조명 상태, 및 검사용 영상을 나타낸 표이다.
구 분 검사 지점 조명 상태 검사용 영상
정상 상태 제1 검사 지점 제1 조명부 ON
제2 조명부 OFF		 제1 이미지
진동 노이즈 상태 제2 검사 지점 제1 조명부 OFF
제2 조명부 ON		 제2 이미지
표 1을 참조하면, 정상 상태에서는 제1 검사 지점에서 제1 조명부(102)에 의한 조명을 통해 획득한 제1 이미지가 검사용 영상으로 사용되고, 진동 노이즈 상태에서는 제2 검사 지점에서 제2 조명부(104)에 의한 조명을 통해 획득한 제2 이미지가 검사용 영상으로 사용되는 것을 볼 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 제1 조명부(102)를 설치한 후, 진동 노이즈가 발생하였을 때 시트상 제품(150)에 제1 조명부(102)와 동일한 밝기로 광을 조사하도록 제2 조명부(104)를 설치한다(S 101).
다음으로, 조명 제어부(106)가 일정 속도로 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)를 교대로 온(ON) 또는 오프(OFF) 시킨다(S 103).
다음으로, 촬영부(108)가 제1 조명부(102) 및 제2 조명부(104)가 비추는 시트상 제품(150)의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득한다(S 105).
다음으로, 영상 처리부(110)가 제1 이미지를 통해 진동 노이즈의 발생 여부를 판단한다(S 107). 제1 이미지에서 진동 노이즈에 의한 밝기 단차는 시트상 제품(150)의 실제 결함에 의한 밝기 단차와는 다른 패턴을 가지고 나타나므로, 진동 노이즈의 발생 여부를 판단할 수 있게 된다. 예를 들어, 영상 처리부(110)는 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭 및 결함 길이를 통해 진동 노이즈의 발생 여부를 판단할 수 있다.
단계 S 107의 판단 결과, 진동 노이즈가 발생한 경우, 영상 처리부(110)가 제1 이미지를 제2 이미지로 대체하여 검사용 영상으로 사용한다(S 109).
단계 S 107의 판단 결과, 진동 노이즈가 발생하지 않은 경우, 영상 처리부(110)는 제1 이미지를 검사용 영상으로 사용한다(S 111).
본 발명의 실시예에 의하면, 검사 과정 중 진동 노이즈가 발생한 경우, 진동 노이즈에 의한 밝기 단차가 나타난 제1 이미지 대신 제2 이미지를 사용하여 검사를 수행함으로써, 진동 노이즈에 의한 오검을 방지할 수 있게 된다. 그로 인해, 광학 검사 시스템의 신뢰성 및 정확성을 향상시킬 수 있게 된다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
102 : 제1 조명부 104 : 제2 조명부
106 : 조명 제어부 108 : 촬영부
110 : 영상 처리부 112 : 조도 측정부

Claims (8)

  1. 피검사물에 일정한 밝기로 광을 조사하는 제1 조명부;
    상기 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 상기 피검사물에 상기 제1 조명부와 동일 밝기로 광을 조사할 수 있도록 설치된 제2 조명부;
    상기 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 조명 제어부;
    상기 제1 조명부 및 제2 조명부가 비추는 상기 피검사물의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득하는 촬영부; 및
    상기 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우 상기 제1 이미지를 상기 제2 이미지로 대체하는 영상 처리부를 포함하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 영상 처리부는,
    상기 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭이 기설정된 결함폭을 초과하는 조건 및 상기 제1 이미지에 나타난 결함의 결함 길이가 기설정된 결함 길이 미만인 조건 중 적어도 하나의 조건을 만족하는 경우, 상기 피검사물에 상기 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 촬영부는,
    상기 제1 조명부가 비추는 상기 피검사물의 제1 이미지를 획득하는 제1 촬영부; 및
    상기 제2 조명부가 비추는 상기 피검사물의 제2 이미지를 획득하는 제2 촬영부를 포함하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치는,
    상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 측정하는 조도 측정부를 더 포함하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 조명 제어부는,
    상기 조도 측정부의 조도값 측정 결과, 상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값이 초기 조도값과 차이가 나는 경우, 상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 상기 초기 조도값으로 유지시키는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 장치.
  6. 조명 제어부가 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 단계;
    촬영부가 상기 제1 조명부 및 제2 조명부가 비추는 피검사물의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득하는 단계; 및
    상기 피검사물에 진동 노이즈가 발생된 경우, 영상 처리부가 상기 제1 이미지를 상기 제2 이미지로 대체하는 단계를 포함하며,
    상기 제2 조명부는 상기 진동 노이즈가 발생된 경우, 상기 피검사물에 상기 제1 조명부와 동일 밝기로 광을 조사할 수 있도록 설치되는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 이미지를 상기 제2 이미지로 대체하는 단계는,
    상기 영상 처리부가 상기 피검사물에 진동 노이즈가 발생하였는지 여부를 판단하는 단계를 포함하며,
    상기 영상 처리부는, 상기 제1 이미지에 나타난 결함의 결함폭이 기설정된 결함폭을 초과하는 조건 및 상기 제1 이미지에 나타난 결함의 결함 길이가 기설정된 결함 길이 미만인 조건 중 적어도 하나의 조건을 만족하는 경우, 상기 피검사물에 상기 진동 노이즈가 발생한 것으로 판단하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 조명부 및 제2 조명부를 일정 속도로 교대로 온(ON)/오프(OFF)시키는 단계 이후에,
    조도 측정부가 상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 측정하는 단계; 및
    상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 측정된 조도값이 초기 조도값과 차이가 나는 경우, 상기 조명 제어부가 상기 제1 조명부 및 제2 조명부의 조도값을 상기 초기 조도값으로 유지시키는 단계를 더 포함하는, 광학 검사 시스템용 진동 노이즈 보정 방법.


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