JP2008139838A - 複数の参照光を用いたホログラフィック記憶システム - Google Patents

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Abstract

【課題】改善された選択性をもって、ホログラム記憶媒体に対する読出し及び/又は書込みを行う装置の提案。
【解決手段】複数の参照光(7’’、7’’’)を用いてホログラフィック記憶媒体(18)への読出し及び/又は書込みを行う同軸型の装置(1)に関する。さらに、この装置(1)において使用するための光線発生器(21)及びフィルタ(12)に関する。3つ以上の集束した参照光(7’’、7’’’)と物体光(6)又は復元された物体光(26)との同軸配列を有し、ホログラフィック記憶媒体(18)への読出し及び/又は書込みを行う装置(1)に、集束参照光の焦点を、装置(1)のフーリエ面における物体光(6)の周囲の円上に配列する。光線発生器(21)は、入射した参照光(7)から3つ以上の参照光を生成する。フィルタ(12)は、物体光(6)に低域通過フィルタ処理を施し、かつ3つ以上の参照光の偏光を回転させる。
【選択図】図1

Description

本発明は、ホログラフィック記憶媒体の読出し及び/又は書込みを行う装置に関し、より詳細には、複数の参照光を用いてホログラフィック記憶媒体の読出し及び/又は書込みを行う同軸型の装置に関する。本発明は、さらに、そのような装置に使用するための光線発生器及びフィルタに関する。
ホログラフィック・データ記憶においては、2つの可干渉レーザ光線の重畳により生成された干渉パターンを記録することによって、デジタル・データが格納されるが、ここで、1つめの光線、いわゆる「物体光」は、空間光変調器によって変調され、記録されるべき情報を搬送する。第2の光線は、参照光としての役割を果たす。この干渉パターンは、記憶材料における固有の特性の変化をもたらすが、この変化は、干渉パターンの局所的な強度に依存する。記録されたホログラムの読出しは、記録時と同一の条件を使用して参照光をホログラムに照射することによって行われる。これにより、記録された物体光が復元されることになる。
ホログラフィック・データ記憶の1つの利点は、データ容量が増加することである。従来の光記憶媒体と異なり、情報を格納するために、ホログラフィック記憶媒体の体積が、ほんの数層というものではなく使用される。ホログラフィック・データ記憶のさらなる利点は、例えば、2つの光線間の角度を変えることによって、又は、シフト多重化を使用すること等によって、複数のデータを同一の体積に格納し得る可能性があることである。さらに、データは、単一ビットの格納ではなく、データ・ページとして格納される。一般に、データ・ページは、明暗パターンのマトリックス、すなわち複数ビットをコード化する2次元2進アレイ又は灰色(grey)値のアレイからなる。これによって、記憶密度の増加に加えて、データ転送速度の向上を達成することができる。データ・ページは、空間光変調器(SLM)によって物体光に刻み込まれ、検出器アレイを用いて検出される。
特許文献1は、同軸配列のホログラフィック記憶システムを開示しており、ここでは、複数の参照光が物体光の周囲に配されている。この解決策によれば、物体光及び参照光は、物体面及び像面において、それぞれインカップリングされ(coupled in)及びアウトカップリングされる(coupled out)。この配列は、フーリエ対物レンズの開口が物体部分と参照部分とに分割されるので、いわゆる分割開口配列である。この配列には、円対称であるという利点がある。選択性とさらにホログラム間クロストークとは、ホログラムの面内における全ての方向において同一となっている。しかしながら、フーリエ対物レンズの開口の半分は、参照光に使用される。このことは、分割開口システムの単一ホログラムの容量が、共通開口配列の容量の半分に過ぎないことを意味している。その上、物体光と参照光との全体的なオーバーラップは、フーリエ面においてしか起こらない。このオーバーラップは、ホログラフィック記憶媒体における厚さ100〜200μmの層内の一部だけとなっている。この値は、ホログラムの直径及びフーリエ対物レンズの開口数に依存している。フーリエ面から約200〜400μm隔たった位置からは、オーバーラップが全く存在しない。
特許文献2においては、3つの共焦点配列フーリエ面を有する12f反射型同軸ホログラフィック記憶配列が示されている。この配列においては、物体光及び参照光は、第1及び第3のフーリエ面において、それぞれインカップリングされ(coupled in)及びアウトカップリングされる(coupled out)。参照光は、これらの面において小さな点である。より正確には、参照光は、エアリー(Airy)・パターンに似た回折パターンを形成する。物体光及び参照光が物体面及び像面において開口の同じ領域を占有しているので、この配列は、いわゆる共通開口配列である。これらの光線は、対物レンズの開口全体を占有している。開示された配列においては、シフト多重化、参照走査多重化、位相コード化多重化、又はこれらの多重化方法の組合せが使用可能となっている。参照光は、一対(複数の対)の半円錐状光線である。この半円錐状参照光の対の先端は、物体光のフーリエ面において、直径に沿った2本の線を形成している。
理論的には、無限ホログラムにおいて、シフト選択性曲線は、sinc(x)のような関数である。例えば、非特許文献1を参照されたい。いわゆるブラッグ距離(Bragg distance)においては、シフト・ホログラムの回折効率はゼロとなる。特許文献2において、2本の線に沿った参照光の先端間の距離は、このブラッグ距離に対応している。多重化ホログラム間のホログラム間クロストークは、ブラッグ距離においては、理論的に無視できる程度である。無限直径ホログラムを仮定すると、シフト多重化に対しては、選択性の方向及び非選択性の方向がある。再び、非特許文献1の論文を参照されたい。選択性の方向は、参照光の先端によって形成された線の方向である。ホログラムの面内において選択性の方向に直交する、いわゆる非選択性の方向においては、シフト距離は無限大である。しかし、現実の記憶システムにおいては、ホログラムの体積は有限である。実際、ホログラムの体積のオーダーは、約(0.4〜0.6)×(0.4〜0.6)×(0.2〜0.6)mmである。詳細な研究によって、無限ホログラムのシフト選択性曲線と有限ホログラムのシフト選択性曲線との間に大きな相違があることが明らかになっている。有限体積ホログラムの場合においては、ブラッグ距離が存在しない。非特許文献2を参照されたい。有限体積ホログラムを使用すると、選択性の大きさのオーダーは、両方向でほぼ同じである。例えば、非特許文献3を参照されたい。選択性が両方向に存在しているので、2次元多重化が可能となる。
欧州特許第1624451号明細書 国際公開第2006/003077号パンフレット G.Barbastathis他、「Shift Multiplexing with spherical reference waves」、Appl.Opt.35、2403〜2417頁 Z.Karpati他、「Shift Selectivity Calculation for Finite Volume Holograms with Half−Cone Reference Beams」、Jap.J.Appl.Phys.、Vol.45(2006)、1288〜1289頁 Z.Karpati他、「Selectivity and tolerance calculations with half−cone reference beam in volume holographic storage」、J.Mod.Opt.、Vol.53(2006)、2067〜2088頁
ここで問題となるのは、非選択性の方向においてホログラム間クロストークが過度に大きいことである。このことによって、非選択性の方向において達成可能な多重化ホログラムの数が制限され、結果として、ホログラム記憶媒体の総容量が制限される。本発明の目的は、改善された選択性をもって、ホログラフィック記憶媒体に対する読出し及び/又は書込みを行う装置を提案することである。
本発明によれば、この目的は、3つ以上の集束参照光と物体光又は復元された物体光との同軸配列を有する、ホログラフィック記憶媒体に対する読出し及び/又は書込みを行う装置によって達成される。ここで、集束参照光の焦点は、この装置のフーリエ面において、物体光の周囲に、例えば円上又は楕円上に配置されている。
ホログラム間クロストークは、2を超える数の参照光を利用することによって、両方向において同等にされる。参照光の先端は、フーリエ面において、物体光の周囲の円上又は楕円上に配列される。円の場合、シフト距離は、X及びY方向において同一であるが、楕円の場合、両方向において異なっている。少なくとも3つの参照光が、フーリエ・フィルタの開口の周囲に均等に分布した状態で使用される。幾何光学的観点から見ると、この面における参照光は、単一スポットであり、より正確には、中心に非常に大きなピーク強度を有する回折パターンである。参照光の先端、すなわち強度のピークは、フィルタの周囲の円又は楕円に沿って整列している。この円又は楕円は、フーリエ・フィルタの開口に中心を持ち、フーリエ・フィルタの直径よりも数10μm大きな直径を有している。この比較的大きな直径によって、光学システム、例えば12f光学システムにおいて、参照光及び物体光をインカップリングし(couple in)、及びアウトカップリングする(couple out)ことが可能になる。本発明による解決策は、特許文献2に開示された解決策の改善である。特許文献2においては、参照光の対が、一つの線に沿って配列される。本発明によれば、参照光は、フーリエ面において、物体光の周囲の円上に配列される。この配列によって、2次元多重化が可能となる。ここで、少なくとも4つの参照光が、この円に沿って等分に分布した状態で生成される。このようにして、互いに直交する多重化方向において、ホログラム間クロストークの同様の均等化が実現される。
有利な点として、光線発生器は、入射参照光から3つ以上の参照光を生成する。光線発生器は、回折素子、例えばコンピュータ生成ホログラム、又は大きな厚さを有する多重化ホログラムであることが好ましい。これによって、3つ以上の参照光が、複雑な光学部品を必要とせずに非常に効率良く生成可能となる。
透過型ホログラフィック記憶媒体の場合、光線発生器は円錐状の参照光を生成する。しかしながら、反射型ホログラフィック記憶媒体の場合、有利な点として、光線発生器は半円錐状の参照光を生成する。このようにして、読出し時における物体光の位相共役復元が回避される。同時に、物体光と参照光とのオーバーラップが改善され、これにより、多重化ホログラムの記号誤り率(SER)が減少する。
有利な点として、フィルタは、フーリエ面に設置されており、物体光用の低域通過フィルタとしての、さらには3つ以上の参照光用の偏光回転素子としての役割を果たす。この目的のために、フィルタは、物体光を低域通過フィルタ処理するための中心開口と参照光用の孔とを有する光線遮断体と、物体光用の中心開口を有しており3つ以上の参照光の偏光方向を回転させるためのリング型半波長板とを備えている。このようなフィルタによって、物体光及び参照光を光学システム中に容易に結合させることができる。同時に、このフィルタによって、回折光線発生器によって生成されたゼロ次参照光を遮断することができる。当然に、低域通過フィルタ及び偏光回転素子の機能は、2つの別個の素子によっても実施可能である。
より適切に理解するために、本発明は、これより、図を参照しながら以下の説明においてより詳細に説明される。本発明は、この例示的な実施形態に限定されるものではなく、さらに、具体的に述べられた特徴は、本発明の範囲から逸脱することなく便宜的に組み合わせることができ、及び/又は修正することができることが理解される。
本発明による同軸反射型ホログラフィック記憶システム1の簡略化された構成を図1に示す。簡略化のため、同図において一体化サーボ機構は省略されている。この実施形態においては、ホログラフィック記憶システムは12fシステムである。レーザ2によって放射されたレーザ光線3は、任意の光線拡張器4によって拡張され、偏光光線スプリッタ(PBS)の立方体5によって、物体光6と参照光7に分割される。半波長板27が、光線拡張器4とPBS立方体5との間に配置されている。レーザ2は、直線偏光を有するレーザ光線3を放射する。半波長板27を回転させることによって、レーザ光線3の偏光方向を、任意の方向に回転させることができる。PBS立方体5は、レーザ光線3を2つの直交する偏光を有する(P及びS偏光を有する)レーザ光線6、7に分割する。半波長板27の回転によって、P偏光光線とS偏光光線との光線強度比、言い換えると、物体ビームと参照ビームの強度比を制御することができる。読出し出力の回折効率を最適なものとするために、記録時の強度比を最適化することが望ましい。物体光6は、第2のPBS立方体8によって反射型SLM9に向けられる。物体光6は、SLM9で反射した後、第2のPBS立方体8を通過し、第3のPBS立方体10によって参照光7と結合させられる。参照光7は、ミラー20によって第3のPBS立方体10の方に向けられる。参照光の光路には、半波長板22と、光線発生器21、例えば回折型光線発生器とが存在する。光線発生器21は、複数の参照光7’’、7’’’を発生させる。この光線発生器の機能は、図2及び図4を参照して、以下でより詳細に説明される。前に示したように、物体光6及び参照光7’’、7’’’は、第3のPBS立方体10によって主同軸配列に結合させられる。このPBS立方体10の後に、第1の長焦点距離対物レンズ11が存在する。この場合、長焦点距離とは、過大な収差を伴うことなくレンズと焦点との間に追加の光学部品が配置可能となるのに十分な長さを、焦点距離が有することを意味する。長焦点距離対物レンズは、製作が簡単であって必要となる光学素子が少ないという利点を有する。その上、長焦点距離対物レンズのフーリエ面の直径は大きく、このことによって製作公差が緩和されるので、フーリエ面内に設置されるフィルタの製作が簡単になる。この第1の対物レンズ11は、SLM9がフーリエ変換されたものを、第1の対物レンズ11の後部焦点面に生成する。この第1の対物レンズの後部焦点面は、SLMのフーリエ面である。第1の対物レンズ11は、また、複数の参照光7’’、7’’’をフーリエ面に集束させる。このフーリエ面には、インカップリングフィルタ(in−coupling filter)が設置している。このインカップリングフィルタは、図6を参照して以下で説明される。インカップリングフィルタ12は、物体光6に対して低域通過フィルタ処理を行い、かつ参照光7’’、7’’’の偏光を回転させるように設計されている。物体光6と参照光7’’、7’’’は、インカップリングフィルタ12を通過した後、第4のPBS立方体13を通過する。PBS立方体13の後にある第2の長焦点距離対物レンズ14は、中間物体面15上に、SLM像を再変換する。高NA、例えばNA≧0.6のフーリエ対物レンズ16は、ホログラフィック記憶媒体18のミラー層19上にSLM像を変換する。書込み時においては、物体光6は、ホログラフィック記憶媒体18内で、直接参照光7’’、7’’’、及びミラー層19によって反射された参照光7’’、7’’’と干渉する。読出し時においては、復元された物体光26は、高NAフーリエ対物レンズ16によって、中間像面15上に再変換される。4分の1波長板17が、高NAフーリエ対物レンズ16とホログラフィック記憶媒体18との間に設置されている。これらの光線は、この4分の1波長板17を2度通過するので、復元物体光26の偏光方向は、元の物体光6の偏光方向に対して直角となる。復元物体光26は、第2の長焦点距離対物レンズ14によって再びフーリエ変換される。偏光が回転する結果、PBS立方体13は、復元物体光26を、12fシステムの第3のフーリエ面に設置されているアウトカップリングフィルタ(out−coupling filter)23上に向けて反射する。アウトカップリングフィルタ23は参照光7’’、7’’’を遮断するので、復元物体光26の像だけが、第3の長焦点距離対物レンズ24によって検出器アレイ25上に形成される。図1において、対物レンズ24の焦点距離は、対物レンズ11及び14の焦点距離とは異なっている。この光学配列は、いわゆる無限焦点システムである。無限焦点システムにおいては、拡大像又は縮小像は、異なる焦点距離を有する対物レンズ11、14、24を使用して実現することができる。この場合、拡大像は、対物レンズ11及び14の焦点距離を適切に選ぶことによってSLM9と中間物体面15との間に実現することができ、また、対物レンズ14及び24の焦点距離を適切に選ぶことによって中間像面(これは、中間物体面15に対応する)と検出器25との間に実現することも可能である。必要とされる拡大像は、SLM9の大きさ、検出器25の大きさ、及び所望のオーバーサンプリングに依存する。オーバーサンプリングは、幾つの検出器ピクセルが1つのSLMピクセルに対して割り当てられるかを示す。
反射型SLM9の他の態様として、透過型SLMが使用可能である。この場合、第2のPBS立方体8はミラーに置き換えられる。透過型SLMは、このミラーと第3のPBS立方体10との間に設置されることが好ましい。
図2は、参照光発生器21及び生成された参照光7’’、7’’’を示す。反射型ホログラフィック記憶媒体18の場合、有利なことに、参照光7は複数の半円錐状の参照光7’、7’’、7’’’に分割される。この分割は、例えば、参照光発生器21として回折素子を用いることによって達成される。回折素子は、円形平面波を照射されて、適切な方向に半円錐状の参照光7’’、7’’’を生成する。図2においては、3次元の半円錐が、半円状の断面で表されている。右側半円錐7’’と左側半円錐7’’’とが存在する。また、回折効率の低いゼロ次参照光7’が存在する。この参照光7’は、光学システムの他の部分で遮断される必要があり、例示の実施形態では、この遮断がインカップリングフィルタ12及びPBS立方体13によって達成されている。回折素子は、有利なことに、コンピュータ生成ホログラム又は大きな厚さを有する多重化ホログラムである。透過型ホログラフィック記憶媒体18の場合、光線発生器21は、有利なことに、円錐状参照光を生成する。
図3及び図4は、第1の対物レンズ11のフーリエ面においてインカップリングフィルタ12によってフィルタ処理が行われた直後の物体光6及び参照光7’’、7’’’の配列を示す。図3は、4つの参照光7’’、7’’’の場合を示すが、図4は、8つの参照光7’’、7’’’の場合を示している。物体光6は、この面において、フーリエ変換され、さらに低域通過フィルタ処理を施される。参照光7’’、7’’’は、物体光6の周囲の直径Dの円上に配列されている。図1に例示した実施形態においては、ゼロ次参照光7’は、インカップリングフィルタ12によって直接遮断されずに、物体光6と同じ領域内に位置付けされている。
図5に示すように、直接半円錐参照光7’’、7’’’は、ホログラフィック記憶媒体18のミラー層19で反射した後、反射半円錐参照光7’’、7’’’と共に、相補半円錐、すなわち本質的に完全な円錐を形成する。このことは、これらの光線が、共に、フーリエ面の近傍において本質的に円形断面を有していることを意味する。
図6は、12f光学システムの第1のフーリエ面に設置されたインカップリングフィルタ12の断面図を示す。このフィルタ12は、物体光6及びゼロ次参照光7’用の直径Dを有する中心開口122と、参照光7’’、7’’’用の直径dを有する孔121とを有する光線遮断体120、例えば薄い黒色金属板又は反射若しくは吸収層を有する透明基板を含んでいる。リング型半波長板123が、光線遮断体120の上に配列されている。このリング型半波長板123は、直径Dの中心開口124を有している。物体光6及びゼロ次参照光7’は、変化することなくこの中心開口124を通過し、さらに、光線遮断体120の中心開口122をも通過する。中心開口122は、物体光6のより高次のフーリエ成分を遮断するので、物体光6に対して低域通過フィルタとして作用する。残りの参照光7’’、7’’’は、半波長板123を通過するが、この半波長板123は、これら参照光7’’、7’’’の偏光方向を回転させる。第1のフーリエ面の前において、物体光6の偏光方向と参照光7’、7’’、7’’’の偏光方向とは直交している。リング型半波長板123は、回折された参照光7’’、7’’’の偏光方向を回転させるが、一方で、低エネルギーのゼロ次参照光7’は、その偏光方向を維持する。光線遮断体120の中心開口122の周囲となる直径Dのリング上に、回折参照光7’’、7’’’用の孔121が配列されている。従って、第1のフーリエ面にあるフィルタ12は、ゼロ次参照光7’だけではなく回折参照光7’’、7’’’をも透過し、さらには低域通過フィルタ処理された物体光6をも透過させる。ゼロ次参照光7’の偏光方向は、リング型半波長板123のために、他の光線6、7’’、7’’’の偏光方向に対して直角となっている。従って、フィルタ12の後にあるPBS立方体13は、低域通過フィルタ処理を施された物体光6及び回折参照光7’’、7’’’を透過させるが、ゼロ次参照光7’を光学システムから外に向けて反射する。図6において、中心開口122は円形であり、光学的構成のレンズの円形開口に丁度適合する。しかしながら、開口122は、例えば参照光7’’、7’’’の先端が楕円上に配列されている場合、楕円形であってもよい。さらに、この開口は、正方形又は長方形ピクセルを有するSLM9の回折像により良く適合する正方形又は長方形であってもよい。参照光7’’、7’’’用の孔121は、切換え可能な開口であってもよい。このことは、特殊な多重化方法にとっては有利となる。参照光発生器21がM×N個の参照光7’’、7’’’を生成し、かつM個の開口のみが記録時に同時に開いているとき、N個の異なるホログラムが、M個の参照光のN個の異なる配列をもって、記憶材料の同一体積中に記録可能となる。
図7は、4つの参照光7’’、7’’’の場合における、インカップリングフィルタ12の光線遮断体120の上面図を示す。参照光7’’、7’’’用の孔121は、直径Dの円上に配列されている。中心開口122の直径は、Dである。直径の差(D−D)は、約40〜100μmである。参照光7’’、7’’’用の孔121の直径dは、約10〜100μmである。当然、参照光7’’、7’’’の数は、4つ又は8つの参照光7’’、7’’’に限定されるものではない。同様に、より多数の参照光又はリング型の参照光でさえも使用することが可能である。しかしながら、参照光7’’、7’’’において部分的に重畳し、このことがノイズ格子(noise grating)の記録をもたらす。4つ又は8つの参照光7’’、7’’’を使用することは、ホログラム間クロストークの均等化とノイズ格子の妨害効果との間の妥協点となっている。
図8は、リング型半波長波長板123の上面図を示す。中心開口124の直径はDであり、Dは、(D−d)>D>Dの関係を満たしている。
アウトカップリングフィルタ23の断面図が、図9に示されている。アウトカップリングフィルタ23は、12fシステムの第3のフーリエ面に設置されている。アウトカップリングフィルタ23は、直径Dの中心開口231を有する光線遮断体230である。
図10は、図1の構成の変更態様を示す。この変更された構成においては、参照光発生器21は、ミラー型光線発生器である。結果的に、半波長板22は、4分の1波長板28に取り換えられている。この構成は、2つのPBS立方体及びミラーがもはや必要ではないので、光学システムがより簡略化されるという利点を有する。
本発明による同軸反射型ホログラフィック記憶システムの簡略化された構成を示す図である。 参照光発生器及び生成された参照光を示す図である。 フーリエ面近傍におけるフィルタ処理後の物体光及び4つの半円錐状参照光を示す図である。 フーリエ面近傍におけるフィルタ処理後の物体光及び8つの半円錐状参照光を示す図である。 フーリエ面近傍における物体光及び8つの結合二重半円錐状参照光を示す図である。 リング形半波長板を有するインカップリングフィルタを示す断面図である。 4つの参照光の場合におけるインカップリングフィルタを示す上面図である。 リング形半波長板を示す上面図である。 アウトカップリングフィルタを示す断面図である。 図1の構成の変更態様を示す図である。
符号の説明
1 同軸反射型ホログラフィック記憶システム
2 レーザ
3 レーザ光線
4 光線拡張器
5 偏光光線スプリッタ(PBS)
6 物体光
7、7’’、7’’’ 参照光
8 第2のPBS
9 空間光変調器(SLM)
10 第3のPBS
11 第1の長焦点距離対物レンズ
12 インカップリングフィルタ
13 第4のPBS
14 第2の長焦点距離対物レンズ
15 中間物体面
16 高NAフーリエ対物レンズ
17 4分の1波長板
18 ホログラフィック記憶媒体
19 ミラー層
20 ミラー
21 光線(参照光)発生器
22 半波長板
23 アウトカップリングフィルタ
24 第3の長焦点距離対物レンズ
25 検出器アレイ
26 復元物体光
27 半波長板
28 4分の1波長板
120 光線遮断体
121 参照光用の孔
122、124 中心開口
123 リング型半波長板
230 光線遮断体

Claims (11)

  1. ホログラフィック記憶媒体(18)に対して読出し及び/又は書込みを行う装置(1)であって、3つ以上の集束した参照光(7’’、7’’’)と物体光(6)又は復元された物体光(26)との同軸配列を有し、該集束した参照光(7’’、7’’’)の焦点が、該装置(1)のフーリエ面における該物体光(6)の周囲の円上に配列されていることを特徴とする装置(1)。
  2. 入射した参照光(7)から前記3つ以上の参照光(7’’、7’’’)を生成するための光線発生器(21)を備えていることを特徴とする請求項1に記載の装置(1)。
  3. 前記光線発生器(21)が、回折素子であることを特徴とする請求項2に記載の装置(1)。
  4. 前記ホログラフィック記憶媒体(18)が、反射型の媒体であり、前記光線発生器(21)が、半円錐状の参照光(7’’、7’’’)を生成することを特徴とする請求項2又は3に記載の装置(1)。
  5. 前記ホログラフィック記憶媒体(18)が、透過型の媒体であり、前記光線発生器(21)が、円錐状の参照光(7’’、7’’’)を生成することを特徴とする請求項2又は3に記載の装置(1)。
  6. 前記物体光(6)に低域通過フィルタ処理を施し、さらに前記3つ以上の参照光(7’’、7’’’)の偏光方向を回転させるための、フーリエ面に設置されたフィルタ(12)を備えていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の装置(1)。
  7. 前記フィルタ(12)が、
    前記物体光(6)に低域通過フィルタ処理を施すための中心開口(122)と前記参照光(7’’、7’’’)用の孔(121)とを有する光線遮断体(120)と、
    前記3つ以上の参照光(7’’、7’’’)の偏光方向を回転させるための、前記物体光(6)用の中心開口(124)を有するリング型の半波長板(123)と
    を備えていることを特徴とする請求項6に記載の装置(1)。
  8. 入射した光線(7)から3つ以上の光線(7’’、7’’’)を生成するための光線発生器(21)であって、該光線発生器(21)は、中心光線(7’)の周囲の円上に配列された3つ以上の光線(7’’、7’’’)を生成するように構成されていることを特徴とする光線発生器(21)。
  9. 前記光線発生器(21)が、3つ以上の円錐状又は半円錐状の光線(7’’、7’’’)を生成するための回折素子であることを特徴とする請求項8に記載の光線発生器(21)。
  10. 中心光線(6)及び該中心光線(6)の周囲の円上に配列された3つ以上の光線(7’’、7’’’)用のフィルタ(12)であって、該中心光線(6)に対して低域通過フィルタであり、かつ該3つ以上の光線(7’’、7’’’)に対して偏光回転素子であることを特徴とするフィルタ(12)。
  11. 第3の直径(D)を有する中心開口(122)と、該中心開口(122)の周囲の第1の直径(D)を有する円の上に配列された孔(121)とを有する光線遮断体(120)と、
    前記第3の直径(D)よりも大きい第2の直径(D)の中心開口(124)を有するリング型の半波長板(123)と
    を備えていることを特徴とする請求項10に記載のフィルタ(12)。
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