JP2008135671A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】
高精度で安定したアライメントが可能なマーク形状を提供する。
【解決手段】
シリコン基板11上にシリコン酸化膜12を形成し、前記シリコン酸化膜を貫通するコンタクトホールと位置合せのためのアライメントマークをエッチングにより形成する工程と、前記コンタクトホールに埋め込み材としての第1の導電膜13を堆積する工程と、前記第1の導電膜を化学機械研磨(CMP)法により前記シリコン酸化膜12が露出するまで平坦化する工程と、配線材としての第2の導電膜14を堆積する工程を有する半導体装置の製造方法において、前記第1の導電膜厚をTa(μm)、前記第2の導電膜厚をTb(μm)、前記アライメントマーク幅をW(μm)とするとき、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)を満たすマーク幅Wでアライメントマークを形成する。
【選択図】図1

Description

本発明は半導体装置の製造方法に関し、特にリソグラフィ工程における位置合せに用いられるアライメントマークを有する半導体装置の製造方法に関する。
半導体装置の製造方法において、シリコン等の基板上に絶縁膜を形成し、前記絶縁膜にコンタクトプラグを形成し、その上に導電膜の配線を形成するプロセスについて従来の方法を、図5を用いて説明する。
まず、図5(a)に示すように、シリコン基板11上に化学気相成長(CVD:Chemical Vapor Deposition)法を用いてシリコン酸化膜(SiO2)等の絶縁膜12を形成し、その上にレジスト21を塗布し、リソグラフィ法によりコンタクトホールパターン31と位置合せに使用するアライメントマークパターン32を同時に形成する。この時、コンタクトホールパターン31は素子パターンを形成する領域51内に直径0.1〜0.3μmで描写される。一方、アライメントマークパターン32は、図6(a)に示す6μmライン35と6μmスペース36からなる12μmピッチのラインアンドスペースパターンや、図6(b)に示す4μmライン35と16μmスペース36からなる20μmピッチのラインアンドスペースパターンなどで構成され、これらアライメントマーク32は通常素子領域外のスクライブ領域52に描写される。
次に、図5(b)に示すように、前記ホトレジスト21をマスクとしてドライエッチング法により絶縁膜12を加工し、コンタクトホール33およびアライメントマーク34を開口する。このときのエッチング条件は、フルオロカーボンガスを使用した反応性イオンエッチングを用い、微細なコンタクトホール33を開口するために最適な条件に設定する。しかし、そのため微細なコンタクトホール33に比べて大面積となるアライメントマーク34では、パターン端部はエッチングされて溝41が形成されるが、中央部にはエッチング残り42が発生する。
次に、図5(c)に示すように、開口したコンタクトホール33にプラグを形成するため、CVD法を用いて導電膜13を成膜する。そして、図5(d)に示すように前記導電膜13を化学機械研磨(CMP:Chemical Mechanical Polishing)法により研磨しコンタクトプラグ35を形成する。この時、同時にアライメントマーク34にも前記導電膜13が成膜され、研磨されるが、エッチング残り42があるために、パターン端部に形成された溝41が導電膜13で埋まってしまい、段差が消滅する。その結果、アライメントマーク34の検出光コントラスト比が低下する。
次に、図5(e)に示すように、配線を形成するための導電膜14をスパッタ法により成膜する。その後、レジストを塗布し、配線形成位置が前記コンタクトプラグ35の位置に整合するようにアライメントマーク34を用いて位置合せを行い、リソグラフィ法により導電膜14上にレジストからなる配線パターンを形成する。アライメントマークの形成方法に関する記載が特許文献1および2に開示されている。
特開2002−359171号公報 特開2003−303763号公報
上記従来方法においては、以下の問題があった。すなわち、上述の微細なコンタクトホール33を形成するエッチング条件で、大面積のアライメントマーク34を同時にエッチングする場合、アライメントマーク34の中央部分にエッチング残り42が発生する。このエッチング残り42が発生したアライメントマーク34上に、前記コンタクトプラグ35を形成するための導電膜13を成膜し、CMP法により導電膜13を研磨すると、アライメントマーク34部分の段差が消滅してしまう。その結果アライメントマーク34の検出光コントラスト比が低下し、位置合わせのアライメント精度が低下する。アライメントマーク精度の低下は、コンタクトプラブ35と導電膜14からなる配線との導通不良をもたらし、半導体装置を構成できなくなる。
本発明の目的は、素子内にコンタクトホールを、スクライブ領域内にアライメントマーク用の開口を形成し、その後コンタクトプラグを形成し、配線パターンを形成するため前記コンタクトプラグに位置合せを行う工程において、高精度で安定したアライメントが可能なマーク形状を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板上に絶縁膜を堆積する工程と、前記絶縁膜にエッチング処理を行うことにより前記絶縁膜を貫通するコンタクトホールと位置合せのためのアライメントマークを同時に形成する工程と、次いで、第1の導電膜を堆積することにより前記コンタクトホール内を埋め込む工程と、前記第1の導電膜を化学機械研磨により前記絶縁膜が露出するまで平坦化する工程と、配線材としての第2の導電膜を堆積する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記アライメントマークの短辺の幅W(μm)は、前記第1の導電膜の膜厚をTa(μm)、前記第2の導電膜厚をTb(μm)とするとき、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)の関係を満たすことを特徴とする。また、このアライメントマークは、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)の関係を満たす短辺の幅Wで画定された矩形を一単位として、これらの集合体で一つのアライメントマークを形成したものでも良い。
また、前記エッチング工程で用いるエッチングガスとして、フルオロカーボンと不活性ガス、及び酸素ガスからなる混合ガスを用いることを特徴としている。
前記混合ガスによる絶縁膜のエッチングでは、ラジカルとシリコンとの化学反応による揮発性物質の生成作用と、イオン衝突によるエッチング作用と、ラジカルの気相化学反応による不揮発性生成物によるレジスト表面やSiO2膜表面の保護膜生成作用により異方性エッチングが進行する。そのため、開口径が0.1〜0.3μmと小さいコンタクトホールをエッチングする条件に設定した場合、4〜6μmと大きな開口を有するアライメントマークの底部ではラジカルがホールの底に到達する入射角がコンタクトホール底部に比べ十分に大きくなり、ラジカルの供給が過剰となって不揮発性の保護膜を過剰に生成し、エッチング残りが発生する。これを回避するためには、保護膜が過剰に生成されないように、アライメントマーク内へのラジカルの供給を抑制するようにすえればよい。すなわち、アライメントマークの短辺の幅をコンタクトホール径に近づけるようにすればよい。 本発明では、コンタクトプラグを形成する第1の導電膜厚をTa(μm)、配線を形成する第2の導電膜厚をTb(μm)、アライメントマークの短辺の幅をW(μm)とするとき、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)の関係を満たすアライメントマークの短辺の幅Wで形成されるアライメントマークとしているのでラジカルの過剰な供給を防止して、エッチング残りを抑えることが可能になる。
また、アライメントマーク部にはコンタクトプラグを形成する第1の導電膜と配線材として使用する第2の導電膜が形成される。そのため、アライメントマークを使用する第2の導電膜上にレジストを塗布し、リソグラフィ法により配線パターンを形成するときには、第1の導電膜厚をTa(μm)、前記第2の導電膜厚をTb(μm)とした場合、アライメントマーク部の側壁にTa×2+Tb×2(μm)の膜厚の導電膜が形成されている。そのためアライメントマークの短辺の幅WがTa×2+Tb×2(μm)以下であるとき、アライメントマーク部は第1の導電膜と第2の導電膜に埋め込まれ段差がなくなり、アライメントマークの検出ができなくなる。本発明では(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)の関係を満たすアライメントマークの短辺の幅Wで形成されるアライメントマークとしているので、アライメントマークが埋め込まれて段差が消滅する問題が回避できる。
本発明は、微細なコンタクトホールに最適なエッチング条件下でも、高コントラスト比を実現するアライメントマークを形成するアライメントマーク形状を提案するものであり、コンタクトホールと位置合せのためのアライメントマークとを、同一工程で同時に形成することができる製造方法を提供し、従来と同一のプロセスで高い製造品質を実現する効果を得ることができる。
以下、本発明における実施形態について、図1〜図4を用いて説明する。
図1は本実施形態における半導体装置の製造工程を示す断面図、図2は図1の各工程に対するアライメントマークの上面図、図3は矩形の集合体で形成されたアライメントマークの平面図、図4はアライメントマークと半導体装置の露光装置より得られたアライメントマークの光信号波形の一例を示す図である。
最初に、図1(a)に示したように、シリコン基板11上に形成したシリコン酸化膜12上にレジスト21を形成し、コンタクトホールパターン31とアライメントマークパターン32aおよび32bを同時に形成した。シリコン酸化膜はテトラエトキシシラン(Si(OC2H5)4)を原料ガスとする周知のCVD法により、厚さ1μmとなるように形成した。また、レジスト21は470nmの厚さで形成し、リソグラフィ法により素子形成領域51内にホール径W1が0.2μmのコンタクトホールパターン31と、スクライブ領域52に短辺の幅Wが1μmのアライメントマークパターン32aおよび32bを形成した。図2(a)は図1(a)のアライメントマーク部分を抜き出した上面図を示している。レジスト21に短辺の幅Wで形成されたアライメントマークパターン32aおよび32b内にシリコン酸化膜12の表面が露出している。
次に、図1(b)に示したように、レジストパターン21をマスクとしてシリコン酸化膜12をエッチングし、コンタクトホール33、アライメントマーク34を形成した。その後、マクスとして用いたレジスト21を除去した。シリコン酸化膜のエッチングには、エッチングガスとしてオクタフロロシクロブタン(C4F8)、アルゴン(Ar)、酸素(O2)の混合ガスを用いた。レジストの除去には酸素プラズマアッシング法を用いた。ここでは、アライメントマークパターン32a、32bの短辺が、従来方法に比べて十分に狭い1μm幅で形成されているため、アライメントマーク34内にはエッチング残りが発生していない。図2(b)の上面図ではシリコン酸化膜12に形成されたアライメントマーク34内にシリコン基板11の表面が露出している。
次に、図1(c)に示したように、コンタクトホール33が完全に埋まるように第1の導電膜13を形成した。第1の導電膜13にはタングステンを用い、6弗化タングステン(WF6)を原料とする周知のCVD法により形成した。厚さTaは、0.25μmとした。コンタクトホールの直径W1は、0.2μmなので完全に埋め込むことができる。一方、アライメントマーク34の短辺の幅Wは1μmなのでアライメントマーク34の側壁に厚さ0.25μmのタングステンからなる第1の導電膜13形成されるが、全体が埋まることはない。アライメントマーク34の中央には幅0.5μmのスリット(凹部)が残存する。図2(C)の上面図では第1の導電膜13が全面に形成され、アライメントマーク34の四方の側壁に厚さTa(0.25μm)で形成されている。その結果、短辺の幅Wのアライメントマーク内に、(W−2×Ta)=0.5μmの幅のスリットが形成される。
次に、図1(d)に示したように、CMP法によりシリコン酸化膜12面が露出するまで、第1の導電膜13を研磨してコンタクトブラグ35を形成した。アライメントマーク34の側面および底面には厚さ0.25μmの第1の導電膜13が残存する。図2(d)の上面図ではシリコン酸化膜12で囲まれたアライメントマーク34の内面に第1の導電膜13が露出している。
次に、図1(e)に示したように、厚さTbが0.1μmのタングステンからなる第2の導電膜14を全面形成した。前工程の段階でアライメントマーク内に残存していた幅0.5μmのスリットは、第2の導電膜14を形成することにより幅W12が0.3μmのスリットに狭くなる。図2(e)の上面図ではアライメントマーク34の四方の側面に形成された厚さ0.25μmの第1の導電膜13のさらに内側の四方に厚さ0.1μmの第2の導電膜14が形成される。その結果、最終的に幅W12が、W−2×(Ta+Tb)=0.3μmのスリットを残存させることができる。この最終的に残存する0.3μmのスリットを、第2の導電膜を配線として形成する場合のアライメントマークとして用いる。
上記のように、本実施例ではアライメントマークとして急峻な段差を有する0.3μmのスリットを用いることができるので、従来技術でアライメントマークが導電膜で埋まってしまい、段差が消滅することにより正確なアライメントマークが困難にする問題を回避することができる。
次にリソグラフィ法に使用する露光装置における位置合せのためのアライメントマーク検出波形について図3を用いて説明する。
図3(a)は絶縁膜に幅W12のコンタクトスリット36を形成したアライメントマークの集合体を配置した上面図である。
図3(b)は、図3(a)のAの部分、アライメントマークの集合体の拡大図で、幅W12のスリットマーク37が複数配置されている。
次に、露光装置より得られたアライメントマークの光学像信号波形を図4を用いて説明する。
図4(a)は、図3(b)のスリットの向きを変えて表した図である。
図4(b)〜(e)は、図4(a)におけるためには、スリットマーク幅をそれぞれ4μm、2μm、1μm、0.3μmにて形成したときの露光装置によるアライメントマーク波形を示したものである。
図4(b)、(c)では1つのスリットマークに対してピークを2箇所持つダブルエッジの波形になっており、そのダブルエッジのコントラストはスリット幅4μmと2μmで異なっている。これに対し図4(d)、(e)に示すスリット幅1μm、0.3μm幅では露光装置のもつアライメントセンサーの解像限度を超え、1つのスリットマークに対し1つのピークをもつシングルエッジの波形であり、かつ安定した大きなコントラストを有しているのでアライメントマークに好ましい。高精度なアライメントを達成する(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)を満たすことが必要であるとわかる。
本発明において、図1(a)及び図2(a)におけるアライメントマーク幅Wは1μmで形成されており、さらに図1(e)及び図2(b)の工程においてスリットマーク幅W12はW12=W−(Ta+Tb)×2で表され、W12=1−(0.25+0.1)×2=0.3μmになり、スリットマーク波形は図4(e)と同等の波形が得られる。よって、アライメントマーク幅を(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)に設定して、アライメントマーク部のエッチング残りをなくし、マーク段差がなくなりアライメントが不可能になることを回避し、さらに、高精度なアライメントを達成する。
本発明の実施形態における半導体装置の製造工程を示す断面図。 本発明の実施形態における半導体装置の製造工程を示すアライメントマークの上面図。 マーク幅Wの矩形の集合体で形成されたアライメントマーク図。 半導体装置の露光装置より得られたアライメントマークの信号波形の一例を示す図。 従来の方法による半導体装置の製造工程を示す断面図。 従来のアライメントマークを示す概略図。
符号の説明
11 シリコン基板
12 シリコン酸化膜
13 埋め込み材用タングステン膜
14 配線材用タングステン膜
21 レジスト膜
31、42 コンタクトホール
32、35 アライメントマーク
34 ホール
37
41 エッチング残り
51 素子部領域
52 スクライブ領域
W1 コンタクトホール径
W アライメントマーク幅
W12 アライメントマーク幅
Ta 埋め込み材用タングステン膜厚
Tb 配線材用タングステン膜厚

Claims (5)

  1. 半導体基板上に絶縁膜を堆積する工程と、前記絶縁膜にエッチング処理を行うことにより前記絶縁膜を貫通するコンタクトホールと位置合せのためのアライメントマークを同時に形成する工程と、第1の導電膜を堆積することにより前記コンタクトホール内を埋め込む工程と、前記第1の導電膜を化学機械研磨により前記絶縁膜が露出するまで平坦化する工程と、配線材としての第2の導電膜を堆積する工程を有する半導体装置の製造方法であって、前記アライメントマークの短辺の幅W(μm)は、前記第1の導電膜の膜厚をTa(μm)、前記第2の導電膜厚をTb(μm)とするとき、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)の関係を満たすことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 前記第1の導電膜厚をTa(μm)、前記第2の導電膜厚をTb(μm)、アライメントマークを構成する矩形パターンの短辺の幅をW(μm)とするとき、(Ta+Tb)×2<W≦((Ta+Tb)×2+1)を満たす短辺の幅Wにより画定された矩形の集合体で形成されたアライメントマークを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  3. 前記エッチング工程で用いるエッチングガスとして、フルオロカーボンと不活性ガス、及び酸素ガスからなる混合ガスを用いることを特徴とする請求項1乃至2記載の半導体装置の製造方法。
  4. 前記第1の導電膜として、タングステン(W)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)及びこれらの少なくとも1つを含有する合金のうち、いずれかが含まれる材料を用いることを特徴とする請求項1乃至3記載の半導体装置の製造方法。
  5. 前記第2の導電膜としてタングステン(W)、シリコン(Si)、チタン(Ti)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)及びこれらの少なくとも1つを含有する合金のうち、いずれかが含まれる材料を用いることを特徴とする請求項1乃至4記載の半導体装置の製造方法。
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