JP2008135524A - Multiple patterning wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、母基板の中央部に配線基板領域が縦横に配列され、外周部にダミー領域が配置されてなる多数個取り配線基板に関するものであり、特に、めっき層が被着される導体パターンがダミー領域の外縁部に形成された多数個取り配線基板に関するものである。 The present invention relates to a multi-piece wiring board in which wiring board regions are arranged vertically and horizontally at the center of a mother board and dummy areas are arranged at the outer periphery, and in particular, a conductor pattern to which a plating layer is deposited. Relates to a multi-piece wiring board formed at the outer edge of the dummy region.
従来、例えば半導体素子や圧電素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体等のセラミック材料から成り、主面に電子部品が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、搭載部から絶縁基体の外周部分にかけて形成された配線導体とを備える。この絶縁基体の搭載部に電子部品を搭載するとともに電子部品の電極を配線導体と電気的に接続することにより電子装置が形成される。 Conventionally, for example, a wiring board used for mounting electronic components such as semiconductor elements and piezoelectric elements is made of a ceramic material such as an aluminum oxide sintered body, and has a mounting portion on which the electronic components are mounted on the main surface. And a wiring conductor formed from the mounting portion to the outer peripheral portion of the insulating base. An electronic device is formed by mounting an electronic component on the mounting portion of the insulating base and electrically connecting an electrode of the electronic component to a wiring conductor.
このような配線基板は、一般に、多数個の配線基板の取り扱いを容易とするために、また配線基板および電子装置の製作を効率よく行なうために、1枚の母基板に配線基板となる配線基板領域を多数個配列形成した、いわゆる多数個取り配線基板の形態で配線線基板が製作されている。 Such a wiring board is generally a wiring board that becomes a wiring board on a single mother board in order to facilitate the handling of a large number of wiring boards and to efficiently manufacture the wiring board and the electronic device. A wiring line substrate is manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring substrate in which a large number of regions are arranged.
多数個取り配線基板は、一般に、図6に示すように、主面の中央部に複数の配線基板領域12が縦横に配列されるとともに外周部にダミー領域13が形成された母基板11と、配線基板領域12に形成された電子部品の搭載部12aと、配線基板領域12の搭載部12aから外周部分にかけて形成された、電子部品と電気的に接続される配線導体14とを備えた構造である。このような多数個取り配線基板19が、ダイシング加工等の切断手段で配線基板領域12の境界において切断されることにより、個々の配線基板が製作される。
As shown in FIG. 6, the multi-cavity wiring board generally includes a
なお、ダミー領域13の外縁部には、配線基板領域12の境界の延長線12b上に位置するように位置決め用導体パターン15が形成されている。位置決め用導体パターン15により配線基板領域12の境界の位置を認識し、この位置を基準にして例えばダイシングブレードの位置決めを行なうことにより多数個取り配線基板19の配線基板領域12毎への切断が行なわれる。
A
なお、配線導体14や位置決め用導体パターン15の導体の露出表面には、ニッケルや金等のめっき層が被着される。これらめっき層は、配線導体14や位置決め用導体パターン15の酸化腐蝕を防止するとともに、配線導体14に対する電子部品の接続を容易とし、さらに位置決め用導体パターン15の認識を容易かつ確実なものとするために被着される。
Note that a plating layer of nickel, gold, or the like is deposited on the exposed surfaces of the conductors of the
めっき層を被着させるときに、めっき液中で多数個取り配線基板19を保持するために使用するめっき用の治具は、通常、枠状の本体に、金属等の弾性を有する材料からなる多数のピンが突出するように取り付けられた構造である。図7に示すように、このピン20で母基板11を縦にしてその上下または左右の側面部分を挟み、ピン20の弾性を利用して多数個取り配線基板19を保持する。ピン20の先端部分は、例えば図7に示すように、母基板11を保持しやすくするために「へ」字状等に屈曲または湾曲している。なお、図7は、多数個取り配線基板19の母基板11を治具のピン20で保持した場合の例を示す部分斜視図であり、図6と同じ部位には同じ符号を付している。
しかしながら、従来の多数個取り配線基板19においては、治具の取り扱い時に誤って加わる外力やめっき液中での水圧などに起因して治具のピン20の位置がずれる場合があり、またピン20の先端部分は屈曲したり湾曲したりして母基板11の主面のダミー領域13の外縁部分にかかるようになっている。そのため、位置のずれたピン20が位置決め用導体パターン15に接してこれを覆ってしまい、めっき層が位置決め用導体パターン15に正常に被着しなくなる場合がある。この場合には、位置決め用導体パターン15にいわゆるめっきカケやめっきムラ等の不具合が発生し、位置決め用導体パターン15を安定して容易に認識することが難しくなってしまう。
However, in the conventional
特に、近年、配線基板の小型化に応じて配線基板領域12の平面視した寸法が小さくなり、配線基板領域12の境界間の距離が、例えば2.5mm以下程度に狭くなってきている。そのため、配線基板領域12の境界の延長線12b上に位置する位置決め用導体パターン15も多数が狭い間隔で形成されるようになってきており、わずかなピン20の位置ずれでも位置決め用導体パターン15が隠れてしまうようになってきている。
Particularly, in recent years, the size of the
本発明は、このような問題点に鑑みて完成されたものであり、めっき用の治具のピンの位置がずれたような場合でもダミー領域の外縁部分に形成された位置決め用導体パターンに確実に正常にめっき層を被着させることが可能で、位置決め用導体パターンの認識が容易かつ確実な多数個取り配線基板を提供することを目的とする。 The present invention has been completed in view of such problems, and even if the positions of the pins of the jig for plating are displaced, the positioning conductor pattern formed on the outer edge portion of the dummy region is surely provided. It is an object of the present invention to provide a multi-piece wiring board that can normally deposit a plating layer and that can easily and reliably recognize a positioning conductor pattern.
本発明の多数個取り配線基板は、母基板の中央部に、電子部品の搭載部を有するとともに前記電子部品と接続される配線導体が形成された多数の配線基板領域が縦横に配列され、外周部に配置されたダミー領域の外縁部に前記配線基板領域の境界の延長線上に位置するように位置決め用導体パターンが形成されており、前記配線導体および位置決め用導体パターンにめっき層が被着される多数個取り配線基板において、前記位置決め用導体パターンは、前記ダミー領域の外縁部に形成された凹状部の底面に形成されていることを特徴とするものである。 The multi-cavity wiring board of the present invention has a plurality of wiring board regions arranged vertically and horizontally having a mounting part for an electronic component and a wiring conductor connected to the electronic component at the center of the mother board. A positioning conductor pattern is formed on an outer edge portion of the dummy area arranged in the section so as to be located on an extension line of the boundary of the wiring board area, and a plating layer is attached to the wiring conductor and the positioning conductor pattern. In the multi-piece wiring board, the positioning conductor pattern is formed on a bottom surface of a concave portion formed on an outer edge portion of the dummy region.
また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記凹状部は、前記ダミー領域の外縁に開放されていることを特徴とするものである。 Further, the multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the concave portion is opened to an outer edge of the dummy region.
また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記凹状部は、前記位置決め用導体パターン毎に形成されていることを特徴とするものである。 Moreover, the multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the concave portion is formed for each of the positioning conductor patterns.
また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記凹状部は、複数の前記位置決め用導体パターン毎に形成されていることを特徴とするものである。 Moreover, the multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the concave portion is formed for each of the plurality of positioning conductor patterns.
また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記凹状部は、前記ダミー領域の外縁部に沿って少なくとも前記母基板の各辺で連続していることを特徴とするものである。 The multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the concave portion is continuous at least on each side of the mother board along an outer edge of the dummy region. .
また、本発明の多数個取り配線基板は、母基板の中央部に、電子部品の搭載部を有するとともに前記電子部品と接続される配線導体が形成された多数の配線基板領域が縦横に配列され、外周部に配置されたダミー領域の外縁部に前記配線基板領域の境界の延長線上に位置するように位置決め用導体パターンが形成されており、前記配線導体および位置決め用導体パターンにめっき層が被着される多数個取り配線基板において、前記ダミー領域に、前記位置決め用導体パターンに隣接して凸状部が形成されていることを特徴とするものである。 The multi-cavity wiring board according to the present invention has a plurality of wiring board regions arranged vertically and horizontally, having a mounting part for an electronic component and a wiring conductor connected to the electronic part at the center of the mother board. The positioning conductor pattern is formed on the outer edge of the dummy area arranged on the outer peripheral portion so as to be located on the extended line of the boundary of the wiring board area, and the plating layer is covered on the wiring conductor and the positioning conductor pattern. In the multi-piece wiring substrate to be attached, a convex portion is formed adjacent to the positioning conductor pattern in the dummy region.
本発明の多数個取り配線基板によれば、位置決め用導体パターンは、ダミー領域の外縁部に形成された凹状部の底面に形成されていることから、めっき用の治具で母基板を保持したときに、治具のピンは母基板の側面から凹状部に隣接する母基板の表面(主面)に接し、この部分で位置決め用導体パターンに接することなく母基板を保持する。そのため、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターンに接して覆うようなことが効果的に防止され、位置決め用導体パターンに正常にめっき層を被着させることができる。 According to the multi-cavity wiring board of the present invention, since the positioning conductor pattern is formed on the bottom surface of the concave portion formed at the outer edge of the dummy region, the mother board is held by the jig for plating. Sometimes, the pins of the jig are in contact with the surface (main surface) of the mother substrate adjacent to the concave portion from the side surface of the mother substrate, and the mother substrate is held without contacting the positioning conductor pattern at this portion. Therefore, it is possible to effectively prevent the plating jig pins from being in contact with and covering the positioning conductor pattern, and the plating layer can be normally deposited on the positioning conductor pattern.
したがって、本発明の多数個取り配線基板によれば、母基板を保持するめっき用の治具のピンの位置がずれたような場合でも、ダミー領域の外縁部に形成された位置決め用導体パターンに正常にめっき層を被着させることが可能であり、どの位置決め用導体パターンにも一様に正常なめっき層が被着された多数個取り配線基板であって、肉眼や画像認識装置等による位置決め用導体パターンの認識が容易かつ確実な多数個取り配線基板を提供することができる。 Therefore, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, the positioning conductor pattern formed on the outer edge of the dummy region can be used even when the pins of the plating jig for holding the mother board are displaced. It is possible to deposit a plating layer normally, and it is a multi-piece wiring board in which a normal plating layer is uniformly applied to any positioning conductor pattern, and positioning by the naked eye, an image recognition device, etc. It is possible to provide a multi-piece wiring board that can easily and reliably recognize a conductor pattern for use.
また、本発明の多数個取り配線基板において、凹状部がダミー領域の外縁に開放されている場合には、開放された部分を通って母基板の側面側からも凹状部内にめっき液が容易に出入りすることができる。そのため、凹状部の底面に形成されている位置決め用導体パターンに対するめっき液の循環,供給がより良好に行なわれ、位置決め用導体パターンにめっき液中の金属(イオン)の不足に起因する不具合が生じることが効果的に防止される。したがって、この場合には、より確実に位置決め用導体パターンに正常にめっき層を被着させることができる。 Further, in the multi-cavity wiring board of the present invention, when the concave portion is open to the outer edge of the dummy region, the plating solution can be easily passed into the concave portion from the side surface side of the mother board through the open portion. You can go in and out. Therefore, the plating solution is circulated and supplied more favorably to the positioning conductor pattern formed on the bottom surface of the concave portion, and the positioning conductor pattern has a defect due to lack of metal (ion) in the plating solution. Is effectively prevented. Therefore, in this case, the plating layer can be normally deposited on the positioning conductor pattern more reliably.
また、本発明の多数個取り配線基板において、凹状部が位置決め用導体パターン毎に形成されている場合には、例えば個々の位置決め用導体パターンに対応してダミー領域の外縁部に窪みが形成されているような場合には、位置決め用導体パターン毎にめっき用の治具のピンの接触を効果的に防止するような形状,寸法で凹状部を形成することができる。したがって、この場合には、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターンを覆うことがより効果的に防止され、めっき層をより確実に個々の位置決め用導体パターンに正常に被着させることができる。 In addition, in the multi-cavity wiring board of the present invention, when the concave portion is formed for each positioning conductor pattern, for example, a depression is formed in the outer edge portion of the dummy region corresponding to each positioning conductor pattern. In such a case, it is possible to form a concave portion with a shape and size that effectively prevents the contact of the pins of the jig for plating for each positioning conductor pattern. Therefore, in this case, the pins of the jig for plating can be more effectively prevented from covering the positioning conductor pattern, and the plating layer can be normally deposited on the individual positioning conductor patterns more reliably. it can.
また、本発明の多数個取り配線基板において、凹状部が複数の位置決め用導体パターン毎に形成されている場合には、複数の位置決め用導体パターン毎にピンの接触を効果的に防止するような形状,寸法で凹状部を形成することができる。また、凹状部の内側の空間を、位置決め用導体パターン毎に凹状部を形成した場合に比べて大きくして、めっき液の出入りを良好に行なわせることができる。また、凹状部を形成するための工数を低減することができる。 Further, in the multi-cavity wiring board of the present invention, when the concave portion is formed for each of the plurality of positioning conductor patterns, the pin contact is effectively prevented for each of the plurality of positioning conductor patterns. A concave portion can be formed by shape and size. Further, the space inside the concave portion can be made larger than the case where the concave portion is formed for each positioning conductor pattern, so that the plating solution can be made in and out well. Moreover, the man-hour for forming a recessed part can be reduced.
したがって、この場合には、めっき層をより確実に位置決め用導体パターンに正常に被着させることができるとともに、生産性のよい多数個取り配線基板を提供することができる。 Therefore, in this case, the plating layer can be normally deposited on the positioning conductor pattern more reliably and a multi-product wiring board with high productivity can be provided.
また、本発明の多数個取り配線基板において、凹状部がダミー領域の外縁部に沿って少なくとも母基板の各辺で連続している場合には、例えば四角枠状のダミー領域の外縁に辺の全長にわたって凹状部である段差が形成されているような場合には、母基板の中央部側で段差に隣接するダミー領域の表面(主面)にめっき用の治具のピンが接するようにすることにより、位置決め用導体パターンにピンが接して覆うことは効果的に防止される。また、凹状部は母基板の各辺の長さ方向にわたって連続しているため、その内側の空間をさらに広く確保することができる。 Further, in the multi-cavity wiring board of the present invention, when the concave portion is continuous at least on each side of the mother board along the outer edge portion of the dummy area, for example, When a step which is a concave portion is formed over the entire length, the pin of the jig for plating is in contact with the surface (main surface) of the dummy region adjacent to the step on the center side of the mother substrate. This effectively prevents the pin from contacting and covering the positioning conductor pattern. Further, since the concave portion is continuous over the length direction of each side of the mother board, the inner space can be further secured.
また、この場合には、例えば四角板状の母基板の各辺で一括して凹状部を形成することができるので、凹状部を形成するための工数をさらに少なく抑えることができる。そのため、多数個取り配線基板のより良好な生産性を確保することができる。 Further, in this case, for example, the concave portions can be formed collectively on each side of the square-plate-shaped mother substrate, so that the number of steps for forming the concave portions can be further reduced. Therefore, better productivity of the multi-piece wiring board can be ensured.
したがって、この場合には、めっき層をより確実に位置決め用導体パターンに正常に被着させることができるとともに、生産性のよい多数個取り配線基板を提供することができる。 Therefore, in this case, the plating layer can be normally deposited on the positioning conductor pattern more reliably and a multi-product wiring board with high productivity can be provided.
また、本発明の多数個取り配線基板は、ダミー領域に、位置決め用導体パターンに隣接して凸状部が形成されていることから、めっき用の治具で母基板を保持したときに、めっき用の治具のピンは母基板の側面から位置決め用導体パターンに隣接する凸状部の端面にかけて接し、この部分で位置決め用導体パターンに接することなく母基板を保持することとなる。そのため、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターンに接して覆うようなことが効果的に防止され、位置決め用導体パターンに正常にめっき層を被着させることができる。 Further, since the multi-cavity wiring board of the present invention has a convex portion formed adjacent to the positioning conductor pattern in the dummy area, the plating is performed when the mother board is held by a plating jig. The pins of the jig for contact are in contact with the end surface of the convex portion adjacent to the positioning conductor pattern from the side surface of the mother substrate, and the mother substrate is held without contacting the positioning conductor pattern at this portion. Therefore, it is possible to effectively prevent the plating jig pins from being in contact with and covering the positioning conductor pattern, and the plating layer can be normally deposited on the positioning conductor pattern.
したがって、本発明の多数個取り配線基板によれば、母基板を保持するめっき用の治具のピンの位置がずれたような場合でも、ダミー領域の外縁部に形成された位置決め用導体パターンに正常にめっき層を被着させることが可能であり、肉眼や画像認識装置等による位置決め用導体パターンの認識が容易かつ確実な多数個取り配線基板を提供することができる。 Therefore, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, the positioning conductor pattern formed on the outer edge of the dummy region can be used even when the pins of the plating jig for holding the mother board are displaced. A plating layer can be normally deposited, and a multi-piece wiring board can be provided in which the positioning conductor pattern is easily and reliably recognized by the naked eye or an image recognition device.
本発明の多数個取り配線基板について、凹状部が形成されているもの(構成A)および凸状部が形成されているもの(構成B)を、それぞれ添付図面を参照しつつ説明する。 The multi-cavity wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, in which a concave portion is formed (Configuration A) and a convex portion is formed (Configuration B).
(構成A)
図1(a)は本発明の多数個取り配線基板(構成A)の実施の形態の一例を示す平面図であり、図1(b)は(a)の側面図であり、(c)は(a)の変形例を示す要部拡大平面図である。図1において1は母基板、2は配線基板領域、3はダミー領域、4は位置決め用導体パターン、5は配線導体である。母基板1の中央部に多数の配線基板領域2が縦横に配列されるとともに外周部にダミー領域3が形成され、ダミー領域の外縁部に位置決め用導体パターン4が形成されることにより、多数個取り配線基板9Aが基本的に構成されている。
(Configuration A)
FIG. 1A is a plan view showing an example of an embodiment of a multi-piece wiring board (configuration A) of the present invention, FIG. 1B is a side view of FIG. 1A, and FIG. It is a principal part enlarged plan view which shows the modification of (a). In FIG. 1, 1 is a mother board, 2 is a wiring board area, 3 is a dummy area, 4 is a conductor pattern for positioning, and 5 is a wiring conductor. A large number of
母基板1は、酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス)や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,ガラスセラミック焼結体等のセラミック材料や、樹脂材料、樹脂とガラスやセラミック粉末との複合材料等の絶縁材料から成る。
The
母基板1は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、酸化アルミニウム,酸化ケイ素等の原料粉末を、樹脂バインダ,溶剤とともにシート状に成形してセラミックグリーンシートを複数枚作製し、これらのセラミックグリーンシートに打ち抜き加工や積層,加圧等の所定の加工を施した後、約1300〜1600℃程度の温度で焼成することにより作製される。
If the
母基板1は、例えば平面視で四角形状であり、中央部に多数の配線基板領域2が縦横に配列されている。配線基板領域2は、それぞれが電子部品を搭載するための配線基板となる領域であり、上面の中央部に平面視で長方形状等の搭載部2aを有している。
The
搭載部2aに搭載される電子部品(図示せず)は、IC,LSI等の半導体集積回路素子、LD(半導体レーザ),LED(発光ダイオード),PD(フォトダイオード)等の光半導体素子、水晶振動子,弾性表面波素子等の圧電素子、圧力センサ素子や加速度センサ素子等のセンサ素子、容量素子、インダクタ、抵抗器その他の種々の電子部品である。この電子部品は、例えば金−錫ろう材等のろう材や、ガラス,樹脂等からなる接合材(図示せず)を介して搭載部2aに接合される。
Electronic components (not shown) mounted on the mounting
なお、搭載部2aは、搭載する電子部品の個数や形状,寸法,機能等に応じて、正方形状や楕円形状等の形状で設けたり、配線基板領域2の上面や下面に複数設けたりするようにしてもよく、異なる形状のものを複数設けるようにしてもよい。また、配線基板領域2に凹部(図示せず)を形成し、その凹部の底面に搭載部2aを設けるようにしてもよい。
It should be noted that the mounting
また、配線基板領域2には、搭載部に搭載される電子部品と接続される配線導体4が形成されている。配線導体4は、例えば一端が搭載部2aに露出するとともに他端が配線基板領域2の下面側に露出しており、電子部品を外部の電気回路に接続するための導電路として機能する。例えば、配線導体4の一端側と電子部品の電極(図示せず)とをボンディングワイヤやはんだ,導電性接着剤等の接続材(図示せず)を介して接続するとともに、配線導体4の他端側を外部の電気回路と電気的に接続することにより、電子部品の電極と外部の電気回路とが配線導体4を介して電気的に接続される。
In the
配線導体4は、タングステンやモリブデン,マンガン,銅,銀,パラジウム等の金属材料により形成されている。このような配線導体4は、例えば、タングステンからなる場合であれば、タングステンの粉末に有機溶剤やバインダ等を添加して作製した金属ペーストを、母基板1となるセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等の手段で所定パターンに印刷することにより形成することができる。
The
また、母基板1の外周部には、縦横に配列された配線基板領域2を囲むようにダミー領域3が配置されている。ダミー領域3は、多数個取り配線基板9Aの取り扱いを容易とすること等のために形成されている。ダミー領域3が母基板1の外周部に配置されていることにより、例えば配列の最外周に位置する配線基板領域2が保護され、搬送等の取り扱いの際に配線基板領域2にクラック等の機械的な破壊が生じることが抑制される。
A
また、ダミー領域3の外縁部には、配線基板領域2の境界の延長線2b上に位置するように位置決め用導体パターン5が形成されている。位置決め用導体パターン5は、ダミー領域3の外縁部(つまり母基板1の外縁部)において配線基板領域2の境界の位置を検知するためのものである。この位置決め用導体パターン5を画像認識装置で認識し、その位置に合わせてダイシングブレードを移動させることにより、ダイシング加工時の位置決めが行なわれる。
In addition, a
位置決め用導体パターン5は、例えば図1(a)に示すように、延長線2bの方向に伸びる線状(細長い長方形状)等の、配線基板領域2の境界の位置を明確に検知できる形状で形成する。位置決め用導体パターン5は、線状のパターンに限らず、三角形状や菱形,台形状,楕円形状等であってもよく、延長線2bの位置を検知し得る形状であれば、他の形状で形成してもよい。また、一対の四角形状等の導体パターン(図示せず)が延長線2bを挟んで形成されていて、この一対の導体パターンの間が延長線2bの位置であるというようなものでもよい。
For example, as shown in FIG. 1A, the
位置決め用導体パターン5は、配線導体4と同様の材料を用い、同様の方法により形成することができる。例えば、タングステンのメタライズ層で位置決め用導体パターン5を形成する場合であれば、配線導体4を形成するのと同様の金属ペーストを、母基板1となるセラミックグリーンシートの所定位置(具体的な位置については後述する。)にスクリーン印刷法等の手段で印刷することにより形成することができる。
The
なお、配線基板領域2および配線基板領域2の境界の母基板1(セラミックグリーンシート)内での位置は、例えば母基板1の外縁を基準にして特定することができる。セラミックグリーンシートの外縁を基準にして、配線導体4や位置決め用導体パターン5となるパターンが形成された印刷用の版面をセットし、それらのパターンとなるように金属ペーストの印刷を行なうことにより、配線導体4および位置決め用導体パターン5を母基板1の所定位置に形成することができる。
Note that the position of the boundary between the
このような多数個取り配線基板9Aについて、母基板1の向かい合う辺にあって対をなす一対の位置決め用導体パターン5を例えば画像認識装置で認識するとともに、その一対の位置決め用導体パターン5の位置をそれぞれ起点および終点としてダイシング加工装置の回転刃(ダイシングブレード)を移動させて母基板1を切断していくことにより、配線基板領域2の境界に沿って母基板1が切断され、個片の配線基板(図示せず)が作製される。
For such a
この個片の配線基板の搭載部2aにそれぞれ電子部品を搭載するとともに、電子部品の電極を配線導体4とボンディングワイヤ等を介して接続し、必要に応じて搭載部2aを蓋体や樹脂材料等の封止材(図示せず)で封止することにより、半導体装置や発振器,センサ装置,撮像装置,発光装置等の種々の電子装置が作製される。作製された電子装置は、コンピュータや携帯電話,デジタルカメラ,スキャナ,圧力センサ等の電子機器に部品として使用される。
The electronic components are mounted on the mounting
このような多数個取り配線基板9Aは、個片に分割される前に、配線導体4の表面に、配線導体4の酸化腐食を防止するとともに、配線導体4に対するはんだの濡れ性やボンディングワイヤのボンディング性を高くするために、ニッケルや金,パラジウム,銅,銀,白金等のめっき層(図示せず)が被着される。
Such a
また、位置決め用導体パターン5も、その表面に、配線導体4に被着されるのと同様のめっき層(図示せず)が被着される。位置決め用導体パターン5に被着されるめっき層は、位置決め用導体パターン5の酸化腐蝕を防止するとともに、位置決め用導体パターン5の肉眼や画像認識装置等による認識を容易かつ確実なものとするためのものである。
The
タングステンのメタライズ層等により形成されている位置決め用導体パターン5は、くすんだ色調で金属光沢が弱い傾向があるため肉眼や画像認識装置等による認識が難しい場合が多い。これに対し、位置決め用導体パターン5の表面にめっき層を被着させておくと、めっき層の金属光沢により位置決め用導体パターン5を容易に認識できるようになる。
The
配線導体4や位置決め用導体パターン5に被着されるめっき層は、酸化腐蝕の防止や、ボンディング性の向上,認識性の向上等の効果を得る上で、少なくとも最表面に露出するめっき層が金めっき層であることが好ましい。例えば、配線導体4および位置決め用導体パターン5がタングステンやモリブデン等のメタライズ層からなる場合であれば、メタライズ層上に順次被着されたニッケルめっき層および金めっき層によりめっき層を構成することが好ましい。メタライズ層および金めっき層の両方に対して密着性の良いニッケルめっき層により金めっき層が配線導体4および位置決め用導体パターン5の表面に強固に被着され、金めっき層により前述した酸化腐蝕の防止等の効果を十分に得ることができる。
The plating layer deposited on the
めっき層は、例えば、めっき用の電流を配線導体4や位置決め用導体パターン5に供給する必要がなく、そのような電流供給用の導体が不要であるために配線基板領域2内での配線導体4の引き回し等が容易な無電解めっき法により被着される。無電解めっき法によるめっき層の被着は、前述したようなめっき用の治具のピン(図示せず)で母基板1を側面から挟んで保持し、この治具とともに母基板1をニッケルや金等の無電解めっき液中に浸漬することにより行なう。
For example, the plating layer does not need to supply a current for plating to the
多数個取り配線基板9Aにおいて、位置決め用導体パターン5は、ダミー領域3の外縁部に形成された凹状部3aの底面に形成されている。そのため、めっき用の治具のピンで母基板1を保持したときに、治具のピンは母基板1の側面から凹状部3aに隣接する母基板1の表面(主面)に接し、この部分で位置決め用導体パターン5に接することなく母基板1を保持する。そのため、治具のピンが位置決め用導体パターン5に接して覆うようなことが効果的に防止され、位置決め用導体パターン5に正常にめっき層を被着させることができる。
In the multi-cavity wiring board 9 </ b> A, the
したがって、多数個取り配線基板9Aによれば、母基板1を保持するめっき用の治具のピンの位置がずれたような場合でも、ダミー領域3の外縁部に形成された位置決め用導体パターン5に正常にめっき層を被着させることが可能であり、位置決め用導体パターン5の肉眼や画像認識装置等による認識が容易かつ確実な多数個取り配線基板9Aを提供することができる。
Therefore, according to the
また、このような多数個取り配線基板9Aにおいて、図1(a)および(b)に示したように凹状部3aがダミー領域3の外縁に開放されている場合には、開放された部分を通って母基板1の側面側からも凹状部3a内にめっき液が容易に出入りすることができる。そのため、凹状部3aの底面に形成されている位置決め用導体パターン5に対するめっき液の循環,供給がより良好に行なわれ、位置決め用導体パターン5に、めっき液中のニッケルや金等の金属(イオン)の不足に起因する不具合(いわゆるヤケ,焦げ等)が生じることが効果的に防止される。したがって、この場合には、より確実に位置決め用導体パターン5に正常にめっき層を被着させることができる。したがって、凹状部3aは、ダミー領域3の外縁に開放されていることが好ましい。
Further, in such a
このような凹状部3aは、例えば、母基板1となる複数枚のセラミックグリーンシートのうち最上層に積層されるものの外縁部に凹状部3aの形状に応じた打ち抜き加工を金型等を用いて施しておくことにより形成することができる。最上層のセラミックグリーンシートの打ち抜かれた部分により凹状部3aの内側面が形成され、その下側に積層されるセラミックグリーンシートの上面により凹状部3aの底面が形成される。また、凹状部3aを形成するための打ち抜き加工は、積層されるセラミックグリーンシートのうちの最上層のみに限らず、その下の層のセラミックグリーンシートにも、積層したときに上下に連なるように形成してもよい。この打ち抜いた層数により凹状部3aの深さを調節して、めっき用の治具のピンと位置決め用導体パターン5との接触をより有効に防止することもできる。
Such a
なお、凹状部3aは、必ずしもダミー領域3の外縁に開放されている必要はなく、例えば図1(c)に示すように、ダミー領域3の外縁において閉じたものでもよい。この場合には、めっき液の凹状部3a内への出入りを促進するために、例えば図1(c)に示した平面視で三角形状のもののように、一部で幅が広いような形状であることが好ましい。なお、図1(c)は、図1(a)および(b)に示した多数個取り配線基板9Aの変形の一例であり、図1(a)および(b)と同様の部位には同様の符号を付している。
The
また、本発明の構成Aの多数個取り配線基板9Aにおいて、凹状部3aが位置決め用導体パターン5毎に形成されている場合には、例えば図1に示すように個々の位置決め用導体パターン5に対応してダミー領域3の外縁部に凹状部3aとしての窪みが形成されているような場合には、次のような効果がある。
Further, in the
すなわち、この場合には、位置決め用導体パターン5毎に、例えば図1に凹状部3aとして示した窪みのように、めっき用の治具のピンの接触を効果的に防止するような形状,寸法で凹状部3aを形成することができる。したがって、この場合には、ピンが位置決め用導体パターン5を覆うことはより効果的に防止され、めっき層をより確実に位置決め用導体パターン5に正常に被着させることができる。
That is, in this case, each
なお、位置決め用導体パターン5は、前述したように母基板1となるセラミックグリーンシートの所定位置に金属ペーストを印刷して形成するものであり、凹状部3aを形成したときには、この金属ペーストは、前述した凹状部3aの底面を形成するセラミックグリーンシートの表面(上面)に印刷する。この場合の位置決め用導体パターン5となる金属ペーストの印刷位置も、例えば前述した方法のようにセラミックグリーンシートの外縁を基準にして特定することができる。
The
また、本発明の構成Aの多数個取り配線基板9Aにおいて、図2に示すように、例えば複数の位置決め用導体パターン5が底面に形成されている長方形状の切り欠きのように、凹状部3aが複数の位置決め用導体パターン5毎に形成されている場合には、次のような効果がある。なお、図2(a)は、本発明の多数個取り配線基板(構成A)の実施の形態の他の例を示す平面図であり、図2(b)は(a)の側面図である。
Further, in the
すなわち、複数の位置決め用導体パターン5毎にめっき用の治具のピンの接触を効果的に防止するような形状,寸法で凹状部3aを形成することができる。また、凹状部3aの内側の空間を、位置決め用導体パターン5毎に凹状部3aを形成した場合に比べて大きくして、めっき液の出入りを良好に行なわせることができる。また、凹状部3aを形成するための工数を低減することができる。
That is, the
したがって、この場合には、めっき層をより確実に位置決め用導体パターン5に正常に被着させることができるとともに、生産性のよい多数個取り配線基板9Aを提供することができる。
Therefore, in this case, the plating layer can be properly deposited on the
このような、複数の位置決め用導体パターン5毎に形成されている凹状部3aは、例えば、母基板1となるセラミックグリーンシートのうち最上層(または最上層から下側に複数の層)となるものの外縁に、複数の延長線2bに跨るような打ち抜き加工を施しておくことにより形成することができる。
Such a
底面に複数の位置決め用導体パターン5が形成される凹状部3aは、凹状部3a毎に、母基板1の外辺方向の幅が異なっていたり、底面に形成される位置決め用導体パターン5の個数が異なっていたりしてもよい。例えば、四角形状の母基板1のうちめっき用の治具のピンがかかりやすい位置(例えば、辺の長さを3等分または4等分した位置等)で凹状部3aの母基板1の辺に沿った方向の幅を狭くしておいて、隣り合う凹状部3aの間に位置する母基板1(ダミー領域3)の主面でピンを遮り、位置決め用導体パターン5にピンが接することをより有効に防止するようにしてもよい。
The
なお、複数の位置決め用導体パターン5毎に形成された凹状部3aについても、それらがダミー領域3の外縁に開放されている場合には、前述した、位置決め用導体パターン5毎に形成された凹状部3a(窪み等)が外縁に開放された場合と同様の効果を得ることができる。
In addition, the
また、本発明の構成Aの多数個取り配線基板9Aにおいて、凹状部3aがダミー領域3の外縁部に沿って少なくとも母基板1の各辺で連続している場合には、例えば図3に示すように、四角枠状のダミー領域3の外縁に辺の全長にわたって凹状部3aである段差が形成されているような場合には、次のような効果を得ることができる。なお、図3(a)は、本発明の多数個取り配線基板(構成A)の実施の形態の他の例を示す平面図であり、図3(b)は(a)の側面図である。
Further, in the
すなわち、凹状部3aがダミー領域3の外縁部に沿って少なくとも母基板1の各辺で連続している多数個取り配線基板9Aにおいて、母基板1の中央部側で凹状部3aに隣接するダミー領域3の表面(段差の内端側の主面)にめっき用の治具のピンが接することにより、位置決め用導体パターン5にピンが接して覆うことは効果的に防止される。また、凹状部3aは母基板1の各辺にわたって連続しているため、その内側の空間をさらに広く確保することができる。
That is, in the
また、この場合には、例えば四角板状の母基板1の各辺で一括して凹状部3aを形成することができるので、凹状部3aを形成するための工数をさらに少なく抑えることができる。そのため、多数個取り配線基板1の生産性をより良好に確保することができる。
Further, in this case, for example, the
したがって、この場合には、めっき層をより確実に位置決め用導体パターン5に正常に被着させることができるとともに、生産性のよい多数個取り配線基板9Aを提供することができる。
Therefore, in this case, the plating layer can be properly deposited on the
このような、母基板1の辺で連続する凹状部3aは、例えば、母基板1となるセラミックグリーンシートのうち最上層(または最上層から下側に複数の層)となるものの外形寸法を、機械的な切断加工等の加工手段で他の層の外形寸法よりも小さく(相似形等に)しておいて、母基板1となるセラミックグリーンシートの上面の外周に段差が形成されるように積層することによって形成することができる。
The
なお、母基板1の辺で連続する凹状部3aは、母基板1の全周にわたって形成されていなくてもよい。例えばこのような凹状部3aは、位置決め用導体パターン5が形成されている辺にのみ形成し、位置決め用導体5が形成されていない辺や角部分では形成しないようにして、打ち抜き加工等の工数を低減するようにしてもよい。
In addition, the recessed
(構成B)
図4(a)は本発明の多数個取り配線基板(構成B)の実施の形態の一例を示す平面図であり、図4(b)は(a)の側面図である。この構成Bにおいて、多数個取り配線基板9Bは、基本的な構造は構成Aの多数個取り配線基板9Aと同様であり、図4において図1と同様の部位には同様の符号を付している。すなわち、母基板1の中央部に多数の配線基板領域2が縦横に配列されるとともに外周部にダミー領域3が形成され、ダミー領域3の外縁部に位置決め用導体パターン5が形成されることにより、多数個取り配線基板9Bが基本的に構成されている。
(Configuration B)
FIG. 4A is a plan view showing an example of an embodiment of the multi-piece wiring board (configuration B) of the present invention, and FIG. 4B is a side view of FIG. In the configuration B, the
この多数個取り配線基板9Bは、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターン5に接触するのを防止する手段として、多数個取り配線基板9Aでは母基板1の主面よりも奥まった位置にある凹状部3aの底面に位置決め用導体パターン5が形成されていたのに対し、母基板1の主面よりも突出した凸状部3bを位置決め用導体パターン5に隣接させて形成した点のみが異なる。
The
以下、この異なる点である凸状部3bについて説明し、その他の、多数個取り配線基板9Aと同様の部位についての説明は省略する。
Hereinafter, the
多数個取り配線基板9Bは、ダミー領域3に、位置決め用導体パターン5に隣接して凸状部3bが形成されている。このような凸状部3bが形成されていることから、めっき用の治具のピンで母基板1を保持したときに、治具のピンは母基板1の側面から位置決め用導体パターン5に隣接する凸状部3bの端面にかけて接し、この部分で母基板1を保持する。そのため、治具のピンが位置決め用導体パターン5に接して覆うようなことが効果的に防止され、位置決め用導体パターン5に正常にめっき層を被着させることができる。
The multi-cavity wiring board 9 </ b> B has a
したがって、本発明の多数個取り配線基板9Bによれば、母基板1を保持するめっき用の治具のピンの位置がずれたような場合でも、ダミー領域3の外縁部に形成された位置決め用導体パターン5に正常にめっき層を被着させることが可能であり、位置決め用導体パターン5の肉眼や画像認識装置等による認識が容易かつ確実な多数個取り配線基板9Bを提供することができる。
Therefore, according to the
なお、凸状部3bを有する多数個取り配線基板9Bの場合には、位置決め用導体パターン5は、母基板1(ダミー領域3)の主面に形成される。つまり多数個取り配線基板9Aの位置決め用導体パターン5とは異なり、母基板1となるセラミックグリーンシートのうち最上層に積層されるものの表面の外縁部に、位置決め用導体パターン5となる金属ペーストを印刷すればよい。
In the case of the
凸状部3bは、例えば酸化アルミニウム質焼結体(アルミナセラミックス)や窒化アルミニウム質焼結体,ムライト質焼結体,ガラスセラミック焼結体等のセラミック材料や、樹脂材料、樹脂とガラスやセラミック粉末との複合材料等の、母基板1と同様の絶縁材料により形成することができる。
The
凸状部3bは、例えば酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、セラミックグリーンシートを作製するのと同様の原料粉末を、樹脂バインダ,溶剤とともに混練してセラミックペーストを作製し、このセラミックペーストを、母基板1となるセラミックグリーンシートに印刷された金属ペースト(位置決め用導体パターン5となるもの)に隣接させて印刷,塗布することにより形成することができる。
If the
また、凸状部3bは、母基板1を形成するのと同様のセラミックグリーンシートを所定の凸状部3bの形状に成形し、この成形したシートを母基板1となるセラミックグリーンシートの最上面に積層するとともに加圧して密着させることにより形成することもできる。また、凸状部3bは、母基板1の主面に、セラミック材料や樹脂材料,複合材料等の絶縁材料を、ガラスや樹脂等を介して接合することにより形成してもよい。
The
凸状部3bは、図4に示すような、位置決め用導体パターン5を挟む一対の長方形状のものには限定されず、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターン5に接するのを防止できるようにピンを遮ることができるものであればよい。
The
このような凸状部3bの例を図5に示す。図5(a)〜(c)は、それぞれ多数個取り配線基板9Bの実施の形態の他の例を示す要部拡大平面図であり、図5において図1および図4と同じ部位には同じ符号を付している。
An example of such a
図5(a)および(b)は、凸状部3bを柱状、ここでは円柱状に形成した場合の例を示す。凸状部3bが柱状の場合には、セラミックペーストを、治具等を用いて母基板1となるセラミックグリーンシートの表面に塗布することによって容易に形成することができる。また、完全な柱状に形成せずに、母基板1側で平面視したときの寸法が大きくなるような形状(円錐台状や四角錐台状等)でもよい。また、凸状部3bが柱状等の場合には、セラミックペーストの量が少なくてすむので、焼成時の収縮に伴う応力が小さいことから、この応力により母基板1に変形を生じさせるようなことがない。
5A and 5B show an example in which the
図5(c)は、位置決め用導体パターン5を除くダミー領域の表面に広い面積で凸状部3bを形成した場合の例を示す。この場合には、例えば、所定の形状に打ち抜き加工した広い面積の凸状部用セラミックグリーンシートを母基板1となるセラミックグリーンシートに積層することにより凸状部3bが形成され、母基板1の生産性を良好に確保することができる。
FIG. 5C shows an example in which the
なお、このように位置決め用導体パターン5を除くダミー領域3の表面に広い面積で凸状部3bを形成する場合には、凸状部用セラミックグリーンシートの焼成時の収縮により母基板1に反り等の変形が生じる可能性がある。そのため、この場合には、母基板1(セラミックグリーンシートの積層体)の下面側にも、凸状部用セラミックグリーンシートと同様のダミーのグリーンシート(図示せず)を積層して、母基板1の上下両面間で焼成時の応力を相殺させるようにすることが好ましい。
When the
なお、凸状部3bは、めっき用の治具のピンを確実に遮るために、少なくとも位置決め用導体パターン5を挟む両側に位置していることが好ましく、また、ダミー領域3の外縁に近い位置に形成されているほど好ましい。
The
また、凸状部3bの高さは、めっき用の治具のピンが位置決め用導体パターン5に接するのを防止する上では高いほど好ましい。ただし、凸状部3bは、高くなりすぎるとダイシング加工等で母基板1を切断するときの妨げになる可能性がある。したがって、凸状部3bは、例えば母基板1との同時焼成により形成される酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、1mm以下の高さに抑えることが好ましい。
Further, the height of the
1・・・・・母基板
2・・・・・配線基板領域
2a・・・・搭載部
2b・・・・延長線
3・・・・・ダミー領域
3a・・・・凹状部
3b・・・・凸状部
4・・・・・配線導体
5・・・・・位置決め用導体パターン
9A・・・・多数個取り配線基板
9B・・・・多数個取り配線基板
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