JP6114102B2 - Multi-wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、個片の配線基板となる複数の配線基板領域が母基板に配列されてなる多数個取り配線基板に関するものである。   The present invention relates to a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board regions to be individual wiring boards are arranged on a mother board.

従来、電子部品搭載用等に用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体またはガラスセラミック焼結体等のセラミック焼結体(セラミックス)からなる四角形板状の絶縁基板と、絶縁基板の上面の電子部品が搭載される部位から絶縁基板の下面等にかけて設けられた配線導体とを有している。   Conventionally, wiring boards used for mounting electronic components and the like are rectangular plate-shaped insulating substrates made of a ceramic sintered body (ceramics) such as an aluminum oxide sintered body or a glass ceramic sintered body, and an upper surface of the insulating substrate. And a wiring conductor provided from the portion where the electronic component is mounted to the lower surface of the insulating substrate.

このような配線基板は、一般に、1枚の広面積の母基板から複数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。多数個取り配線基板は、例えば、平板状の母基板に配線基板となる複数の配線基板領域が縦横の並びに配列形成された構造を有している。このような多数個取り配線基板は、配線基板領域の境界に設けられた分割溝に沿って母基板が破断されることによって、個片の配線基板に分割される。   Such a wiring board is generally manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which a plurality of wiring boards are obtained simultaneously from a single large-area mother board. The multi-cavity wiring board has, for example, a structure in which a plurality of wiring board regions serving as wiring boards are arranged vertically and horizontally on a flat mother board. Such a multi-piece wiring board is divided into individual wiring boards by breaking the mother board along the dividing grooves provided at the boundary of the wiring board region.

多数個取り配線基板は、一般に、配線導体となる金属ペーストが印刷された複数のセラミックグリーンシートが積層されてなる積層体が焼成されることによって製作されている。分割溝は、積層体または焼成後の母基板の主面に、配線基板領域の境界に沿った切り込み等の機械的な加工で形成される。   The multi-cavity wiring board is generally manufactured by firing a laminated body in which a plurality of ceramic green sheets on which a metal paste serving as a wiring conductor is printed are laminated. The division grooves are formed on the main surface of the laminated body or the fired mother board by mechanical processing such as cutting along the boundary of the wiring board region.

特開2003−273274号公報JP2003-273274A

しかしながら、上記従来の多数個取り配線基板においては、個片の配線基板に分割する(破断させる)際に、それぞれの配線基板領域のうち分割溝に隣接した縁領域において、表層部に欠け等の機械的な破壊が発生しやすいという問題点があった。これは、母基板の破断に伴う応力が配線基板領域の表層部の縁領域に集中しやすく、この応力で欠け等が発生しやすいためであると考えられる。   However, in the conventional multi-cavity wiring board, when the wiring board is divided (broken) into individual wiring boards, the surface layer portion of the wiring board area is adjacent to the dividing groove. There was a problem that mechanical destruction was likely to occur. This is presumably because stress accompanying breakage of the mother board tends to concentrate on the edge region of the surface layer portion of the wiring board region, and chipping or the like is likely to occur due to this stress.

本発明の一つの態様の多数個取り配線基板は、セラミックスから成る表層部と、該表層部よりも内側の内層部と、前記表層部の、電子部品搭載用基板またはコイル部品として用いられる配線基板となる複数の配線基板領域のそれぞれの縁領域に前記複数の配線基板領域の境界から離間して設けられた金属ダミーパターンと、前記複数の配線基板領域の前記
金属ダミーパターンが設けられた主面である上面とは反対側の面において前記複数の配線基板領域のそれぞれに設けられた外部端子と、前記複数の配線基板領域の境界に沿って前記下面の前記外部端子間に設けられたスクライブラインおよびこれと互いに重なり合うように前記上面に設けられたスクライブラインとを備えており、隣り合う前記配線基板領域に設けられた前記金属ダミーパターン同士の距離が、隣り合う前記配線基板領域に設けられた前記外部端子同士の距離よりも大きい。
A multi-piece wiring board according to one aspect of the present invention includes a surface layer portion made of ceramics, an inner layer portion inside the surface layer portion, and a wiring substrate used as an electronic component mounting substrate or a coil component of the surface layer portion. a plurality of respective metal dummy pattern provided in the edge region spaced apart from the boundary of the plurality of wiring substrate regions, the main surface of the metallic dummy pattern of the plurality of wiring substrate regions are provided in the circuit board area to be scribes the upper surface is provided between the external terminals provided on each of the plurality of wiring substrate regions on the lower surface of the opposite side, the external terminals of the lower surface along the boundary of the plurality of wiring substrate regions and a line and which the scribe lines provided in the upper surface to overlap each other, wherein provided on the wiring substrate region adjacent metal dummy Distance turn each other greater than the distance of the external terminals to each other provided on the wiring board adjacent areas.

本発明の一つの態様の多数個取り配線基板によれば、表層部の縁領域に金属ダミーパターンを有することから、縁領域における表層部の欠け等の機械的な破壊が効果的に抑制される。これは、縁領域に応力が生じたときに、その応力が、セラミックスから成る表層部よりも弾性率が小さい金属ダミーパターンの変形等によって緩和されることによると考えられる。また、隣り合う配線基板領域に設けられた金属ダミーパターン同士の距離が、隣り合う配線基板領域に設けられた外部端子同士の距離よりも大きいことから、スクライブラインの位置が多少、隣り合う金属ダミーパターン同士の中間の位置から一方の金属ダミーパターンの方にずれたとしても、スクライブラインが金属ダミーパターンと重なるような可能性が低くなる。したがって、金属ダミーパターンによる、母基板分割時の応力緩和の効果をより確実に得ることができる。
According to the multi-cavity wiring board of one aspect of the present invention, since the metal dummy pattern is provided in the edge region of the surface layer portion, mechanical destruction such as chipping of the surface layer portion in the edge region is effectively suppressed. . This is considered to be due to the fact that when stress is generated in the edge region, the stress is relaxed by deformation of a metal dummy pattern having a smaller elastic modulus than the surface layer portion made of ceramics. Further, since the distance between the metal dummy patterns provided in the adjacent wiring board regions is larger than the distance between the external terminals provided in the adjacent wiring board regions, the positions of the scribe lines are somewhat adjacent to each other. Even if the position is shifted from the middle position between the patterns toward one metal dummy pattern, the possibility that the scribe line overlaps the metal dummy pattern is reduced. Therefore, the effect of stress relaxation at the time of dividing the mother board by the metal dummy pattern can be obtained more reliably.

(a)は本発明の実施形態の多数個取り配線基板における要部を示す上面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the principal part in the multi-piece wiring board of embodiment of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). 図1に要部を示す多数個取り配線基板の全体の一例を模式的に示す上面図である。It is a top view which shows typically an example of the whole multi-piece wiring board which shows the principal part in FIG. 図1に示す多数個取り配線基板の第1の変形例における要部を示す上面図である。It is a top view which shows the principal part in the 1st modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. (a)は図1に示す多数個取り配線基板の第2の変形例における要部を示す上面図であり、(b)はその下面図である。(A) is a top view which shows the principal part in the 2nd modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, (b) is the bottom view. 図1に示す多数個取り配線基板の第3の変形例における要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part in the 3rd modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG.

本発明の多数個取り配線基板について、添付の図面を参照して説明する。   A multi-piece wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1(a)は、本発明の実施形態の多数個取り配線基板における要部を示す上面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A線における断面図である。また、図2は、 図1に要部を示す多数個取り配線基板の全体の一例を模式的に示す上面図である。なお、図2においては、見やすくするために、後述する配線導体等の細部を省略している。   FIG. 1A is a top view showing a main part of a multi-cavity wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. FIG. 2 is a top view schematically showing an example of the whole multi-piece wiring board whose main part is shown in FIG. In FIG. 2, details such as a wiring conductor described later are omitted for the sake of clarity.

実施形態の多数個取り配線基板は、母基板1に複数の配線基板領域2が配列されてなる。母基板1にはセラミックスから成る表層部1aが含まれている。また、表層部1aについて、複数の配線基板領域2のそれぞれの縁領域2aに金属ダミーパターン3が設けられている。図1(a)において、配線基板領域2のうち2点鎖線よりも外側の領域が縁領域2aである。母基板1に複数の配線基板領域2が縦横の並びに配列されて多数個取り配線基板が基本的に形成されている。多数個取り配線基板が配線基板領域2毎に分割されて個片の配線基板が製作される。金属ダミーパターン3の詳細については後述する。   In the multi-cavity wiring board of the embodiment, a plurality of wiring board regions 2 are arranged on a mother board 1. The mother board 1 includes a surface layer portion 1a made of ceramics. Moreover, the metal dummy pattern 3 is provided in each edge area | region 2a of the some wiring board area | region 2 about the surface layer part 1a. In FIG. 1A, a region outside the two-dot chain line in the wiring board region 2 is an edge region 2a. A plurality of wiring board regions 2 are arranged on the mother board 1 vertically and horizontally, so that a multi-piece wiring board is basically formed. A multi-piece wiring board is divided into the wiring board regions 2 to produce individual wiring boards. Details of the metal dummy pattern 3 will be described later.

配線基板領域2は、個片の配線基板(図示せず)となる領域である。配線基板領域2は、例えば平面視において四角形状である。個片の配線基板は、例えば電子部品搭載用基板またはコイル部品等として用いられる。例えば配線基板が電子部品搭載用基板として用いられる場合であれば、配線基板領域2の上面の中央部等が、電子部品が搭載される搭載部(符号なし)となっている。   The wiring board area 2 is an area to be an individual wiring board (not shown). The wiring board region 2 has, for example, a rectangular shape in plan view. The individual wiring board is used as, for example, an electronic component mounting substrate or a coil component. For example, when the wiring board is used as an electronic component mounting board, the central portion of the upper surface of the wiring board region 2 is a mounting portion (no reference numeral) on which the electronic component is mounted.

配線基板(配線基板領域2)に搭載される電子部品(図示せず)としては、ICおよびLSI等の半導体集積回路素子、LED(発光ダイオード)、PD(フォトダイオード)およびCCD(電荷結合素子)等の光半導体素子、弾性表面波素子および水晶振動子等の圧電素子、容量素子、抵抗器、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン(いわゆるMEMS素子)等の種々の電子部品が挙げられる。   Electronic components (not shown) mounted on the wiring board (wiring board region 2) include semiconductor integrated circuit elements such as IC and LSI, LED (light emitting diode), PD (photodiode), and CCD (charge coupled device). Various optical semiconductor elements such as piezoelectric semiconductor elements such as surface acoustic wave elements and crystal oscillators, capacitive elements, resistors, and micromachines (so-called MEMS elements) in which a minute electromechanical mechanism is formed on the surface of a semiconductor substrate Electronic parts are mentioned.

なお、個片の配線基板は、電子部品搭載用以外の用途に用いられるものであってもよい。このような用途としては、例えばコイル部品等の独立した電子部品としての用途が挙げられる。   Note that the individual wiring board may be used for applications other than those for mounting electronic components. As such an application, for example, an application as an independent electronic component such as a coil component can be cited.

配線基板領域2には、電子部品の搭載部から母基板1の下面にかけて配線導体4が設けられている。母基板1は、これを厚み方向に貫通する貫通孔7を有している。配線導体4の一部が、この貫通孔7の内側面に設けられ、この内側面を経て、搭載部から母基板の下面に至っている。   In the wiring board region 2, a wiring conductor 4 is provided from the electronic component mounting portion to the lower surface of the mother board 1. The mother board 1 has a through hole 7 that passes through the mother board 1 in the thickness direction. A part of the wiring conductor 4 is provided on the inner side surface of the through hole 7 and reaches the lower surface of the mother board from the mounting portion through the inner side surface.

配線導体4は、例えば搭載部に搭載される電子部品(図示せず)と電気的に接続され、これを外部の電気回路(図示せず)に電気的に接続するための導電路として機能する。な
お、配線導体4のうち搭載部に位置する部分は電子部品の電極と接続される接続パッドとなっている。配線導体4は、表層部1aの厚み方向の少なくとも一部を貫通する貫通導体(いわゆるビア導体)を含んでいてもよい。
The wiring conductor 4 is electrically connected to an electronic component (not shown) mounted on the mounting portion, for example, and functions as a conductive path for electrically connecting it to an external electric circuit (not shown). . In addition, the part located in a mounting part among the wiring conductors 4 becomes a connection pad connected to the electrode of an electronic component. The wiring conductor 4 may include a through conductor (so-called via conductor) that penetrates at least a part of the surface layer portion 1a in the thickness direction.

それぞれの配線基板領域2の母基板1の下面には、外部の電気回路と電気的に接続される外部端子6が設けられていてもよい。外部端子6は、配線導体4のうち母基板1の下面に設けられた部分から成るものであってもよい。   External terminals 6 that are electrically connected to an external electric circuit may be provided on the lower surface of the mother board 1 in each wiring board region 2. The external terminal 6 may be composed of a portion of the wiring conductor 4 provided on the lower surface of the mother board 1.

電子部品と配線導体4との電気的な接続は、例えば、配線導体4のうち搭載部に設けられている部位に電子部品の電極(図示せず)を対向させて、はんだ等の導電性接続材(図示せず)を介して配線導体4と電極とを接合することにより行なうことができる。   The electrical connection between the electronic component and the wiring conductor 4 is performed by, for example, electrically connecting an electrode (not shown) of the electronic component to a portion of the wiring conductor 4 that is provided in the mounting portion, such as solder. This can be done by joining the wiring conductor 4 and the electrode through a material (not shown).

配線導体4は、電子部品と外部の電気回路とを電気的に接続する導電路としての機能に限らず、コイル等の機能を有する部分を含むものであってもよい。   The wiring conductor 4 is not limited to a function as a conductive path that electrically connects an electronic component and an external electric circuit, and may include a portion having a function such as a coil.

配線導体4および外部端子6は、例えば、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、白金または金等の金属材料、またはこれらの金属材料を主成分とする合金材料により形成されている。   The wiring conductor 4 and the external terminal 6 are made of, for example, a metal material such as tungsten, molybdenum, manganese, copper, silver, palladium, platinum, or gold, or an alloy material containing these metal materials as a main component.

実施形態の多数個取り配線基板において、母基板1は、セラミックスからなる表層部1aを有している。表層部1aは、母基板1のうち母基板1の主面および主面に近い部分(浅い部分)である。表層部1aは、例えば、多数個取り配線基板および個片の配線基板として必要な配線導体4を設けるための絶縁性のベース部として機能している。   In the multi-cavity wiring board of the embodiment, the mother board 1 has a surface layer portion 1a made of ceramics. The surface layer portion 1 a is a main surface of the mother substrate 1 and a portion close to the main surface (a shallow portion) of the mother substrate 1. The surface layer portion 1a functions as, for example, an insulating base portion for providing a wiring conductor 4 necessary as a multi-piece wiring board and a piece wiring board.

表層部1aは、例えば、酸化アルミニウム質焼結体,ガラスセラミック焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体またはムライト質焼結体等のセラミックスによって形成されている。   The surface layer portion 1a is made of ceramic such as an aluminum oxide sintered body, a glass ceramic sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a mullite sintered body. Is formed.

また、母基板1のうち表層部1aよりも内側の部分は内層部1bである。内層部1bは、表層部1aと同様のセラミックスから成るものであってもよいし、表層部1aとは異なる材料から成るものであってもよい。   Further, the inner portion of the mother board 1 relative to the surface layer portion 1a is an inner layer portion 1b. The inner layer portion 1b may be made of the same ceramic as the surface layer portion 1a, or may be made of a material different from that of the surface layer portion 1a.

例えば、セラミックスからなる表層部1aとは異なる材料からなる内層部1bの例として、フェライト材料からなる内層部1bが挙げられる。内層部1bがフェライト材料から成る場合には、配線基板領域2における透磁率が高められる。そのため、例えば配線導体4がコイルとしての機能を含むときに、その機能を高めることができる。   For example, as an example of the inner layer portion 1b made of a material different from the surface layer portion 1a made of ceramic, an inner layer portion 1b made of a ferrite material can be cited. When the inner layer portion 1b is made of a ferrite material, the magnetic permeability in the wiring board region 2 is increased. Therefore, for example, when the wiring conductor 4 includes a function as a coil, the function can be enhanced.

このようなフェライト材料の例は、ZnFe、MnFe、FeFe、CoFe、NiFe、BaFe、SrFeまたはCuFeである。 Examples of such ferrite materials are ZnFe 2 O 4 , MnFe 2 O 4 , FeFe 2 O 4 , CoFe 2 O 4 , NiFe 2 O 4 , BaFe 2 O 4 , SrFe 2 O 4 or CuFe 2 O 4 . .

多数個取り配線基板の個片の配線基板領域2への分割は、例えば配線基板領域2の境界に沿って母基板1の主面にスクライブライン5を設け、このスクライブライン5に沿って母基板1を破断させることによって行なわれる。スクライブライン5は、例えば母基板1の主面を、配線基板領域2の境界に沿ってスクライバーで切り欠くことによって形成することができる。スクライバーは、例えばガラスセラミックス等の硬度が高いセラミックスから成る表層部1aを深さ方向に切り欠くことができる程度の硬度を有する刃を用いて作製されている。   For dividing a multi-piece wiring board into individual wiring board areas 2, for example, a scribe line 5 is provided on the main surface of the mother board 1 along the boundary of the wiring board area 2, and the mother board is formed along the scribe line 5. This is done by breaking 1. The scribe line 5 can be formed, for example, by cutting out the main surface of the mother board 1 along the boundary of the wiring board region 2 with a scriber. The scriber is manufactured by using a blade having such a hardness that the surface layer portion 1a made of ceramics having high hardness such as glass ceramics can be cut out in the depth direction.

母基板1は、例えば表層部1aがガラスセラミックス焼結体からなり、内層部1bがフ
ェライト材料から成る場合であれば、次のようにして製作することができる。
For example, if the surface layer portion 1a is made of a glass ceramic sintered body and the inner layer portion 1b is made of a ferrite material, the mother substrate 1 can be manufactured as follows.

まず、酸化アルミニウムを主成分とし、酸化ケイ素や酸化マグネシウム、酸化カルシウム等の粉末を添加した原料粉末を、有機溶剤、バインダと混練するとともに、ドクターブレード法やリップコータ法等の成形方法でシート状に成形してセラミックグリーンシートを作製する。次に、フェライト材料を原料粉末とし、同様に有機溶剤およびバインダ等とともにシート状に成形してフェライトグリーンシートを作製する。その後、セラミックグリーンシート、フェライトグリーンシートおよびセラミックグリーンシートの順に上下に積層し、この積層体を約850〜1000℃程度の焼成温度で焼成することによって母基板1を
製作することができる。
First, a raw material powder containing aluminum oxide as a main component and added with powders such as silicon oxide, magnesium oxide, and calcium oxide is kneaded with an organic solvent and a binder, and formed into a sheet by a molding method such as a doctor blade method or a lip coater method. Molding to produce a ceramic green sheet. Next, a ferrite material is used as a raw material powder, and is similarly molded into a sheet shape together with an organic solvent, a binder, and the like to produce a ferrite green sheet. Then, the mother substrate 1 can be manufactured by laminating the ceramic green sheet, the ferrite green sheet, and the ceramic green sheet in order, and firing the laminated body at a firing temperature of about 850 to 1000 ° C.

配線導体4および外部端子6は、例えば、銀から成る場合であれば、タングステンの粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して作製した金属ペーストを、母基板1の表層部1aとなるセラミックグリーンシートの印刷し、上記積層体と同時焼成することによって形成することができる。   If the wiring conductor 4 and the external terminal 6 are made of, for example, silver, a metal paste prepared by kneading tungsten powder together with an organic solvent and a binder is used for the ceramic green sheet that becomes the surface layer portion 1a of the mother board 1. It can be formed by printing and co-firing with the laminate.

金属ダミーパターン3は、スクライブライン5に沿って母基板1を分割するときに、配線基板領域2の縁領域において欠け等の機械的な破壊が生じることを抑制するためのものである。これは、このような金属ダミーパターン3が設けられていることによって、母基板1の分割(破断)時に縁領域2aに生じる応力が緩和されることによると考えられる。   The metal dummy pattern 3 is for suppressing mechanical breakage such as chipping in the edge region of the wiring substrate region 2 when the mother substrate 1 is divided along the scribe line 5. This is considered to be because the stress generated in the edge region 2a when the mother substrate 1 is divided (ruptured) is relieved by providing the metal dummy pattern 3 as described above.

すなわち、金属ダミーパターン3の弾性率がセラミックスから成る表層部1aの弾性率よりも小さいため、縁領域2aに生じる応力が、金属ダミーパターンの変形等によって緩和されることにより、表層部1aにおける欠け等が抑制されると考えられる。   That is, since the elastic modulus of the metal dummy pattern 3 is smaller than the elastic modulus of the surface layer portion 1a made of ceramics, the stress generated in the edge region 2a is alleviated by deformation of the metal dummy pattern, etc. Etc. are considered to be suppressed.

金属ダミーパターン3は、上記配線導体4とは電気的に独立している。すなわち、金属ダミーパターン3は、配線基板領域2(個片の配線基板)に搭載される電子部品および外部の電気回路等の電気回路に対して電気的に独立したものとなっている。これにより、個片の配線基板としての電気特性等に金属ダミーパターン3が影響を及ぼす可能性が低減されている。   The metal dummy pattern 3 is electrically independent from the wiring conductor 4. That is, the metal dummy pattern 3 is electrically independent of an electronic circuit mounted on the wiring board region 2 (individual wiring board) and an electric circuit such as an external electric circuit. As a result, the possibility that the metal dummy pattern 3 affects the electrical characteristics and the like of the individual wiring board is reduced.

金属ダミーパターン3は、例えば、配線導体4および外部端子6等の他の導体部分(メタライズ層等)と同様の材料を用い、同様の方法で形成することができる。また、金属ダミーパターン3は、配線導体4および外部端子と異なる金属材料から成るものであっても構わない。例えば、配線導体4が銀からなるときに、金属ダミーパターン3が銀から成るものであってもよいし、銀にパラジウムなどの金属やガラスなどの無機粉末が分散して成る混合材からなるものであっても構わない。   The metal dummy pattern 3 can be formed by the same method using the same material as that of other conductor portions (metalized layer or the like) such as the wiring conductor 4 and the external terminal 6, for example. The metal dummy pattern 3 may be made of a metal material different from that of the wiring conductor 4 and the external terminal. For example, when the wiring conductor 4 is made of silver, the metal dummy pattern 3 may be made of silver, or made of a mixed material in which a metal such as palladium or an inorganic powder such as glass is dispersed in silver. It does not matter.

金属ダミーパターン3は、応力緩和の上では、スクライブライン5に隣接している配線基板領域2の縁に近いほど好ましい。言い換えれば、金属ダミーパターン3は、縁領域2aのうち外周部分に位置している方が好ましい。金属ダミーパターン3は、縁領域2aに存在している部分を含んでいれば、例えば図1に示す例にように、その一部が縁領域2aから内側に(搭載部の方向に)はみ出ていても構わない。   The metal dummy pattern 3 is preferably closer to the edge of the wiring board region 2 adjacent to the scribe line 5 in terms of stress relaxation. In other words, the metal dummy pattern 3 is preferably located at the outer peripheral portion of the edge region 2a. If the metal dummy pattern 3 includes a portion existing in the edge region 2a, a part of the metal dummy pattern 3 protrudes inward (in the direction of the mounting portion) from the edge region 2a, for example, as shown in FIG. It doesn't matter.

金属ダミーパターン3は、応力緩和の上では、母基板1のうち欠け等が発生しやすい表面に近いほど好ましい。言い換えれば、金属ダミーパターン3は、表層部1aのうち上側に位置している方が好ましい。   In terms of stress relaxation, the metal dummy pattern 3 is preferably closer to the surface of the mother substrate 1 where chipping or the like is likely to occur. In other words, the metal dummy pattern 3 is preferably located on the upper side of the surface layer portion 1a.

金属ダミーパターン3の厚みは、応力緩和の上では厚いほど好ましい。ただし、金属ダミーパターン3が厚くなり過ぎると、金属ダミーパターン3と配線導体4との間で電気絶
縁性等の特性が低くなる可能性がある。金属ダミーパターン3の厚みは、例えば表層部1aの厚みの1/3〜1/2程度に設定すればよい。
The thickness of the metal dummy pattern 3 is preferably as thick as possible for stress relaxation. However, if the metal dummy pattern 3 becomes too thick, there is a possibility that characteristics such as electrical insulation between the metal dummy pattern 3 and the wiring conductor 4 are lowered. The thickness of the metal dummy pattern 3 may be set to about 1/3 to 1/2 of the thickness of the surface layer portion 1a, for example.

なお、母基板1が、上記のようにセラミックスから成る層とフェライト材料から成る層とが、フェライトからなる層が厚み方向の中央に位置して積層されたものであれば、セラミックスから成る層が表層部1aに相当する。また、母基板1に含まれている全部の層が同様のセラミックスから成る層である場合には、母基板1の主面(上下面)から母基板1の厚みの約15%程度までの深さの部分が表層部に相当する。   In addition, if the mother substrate 1 is formed by laminating a layer made of ceramic and a layer made of a ferrite material as described above, and a layer made of ferrite is laminated at the center in the thickness direction, the layer made of ceramic is It corresponds to the surface layer part 1a. Further, when all the layers included in the mother substrate 1 are layers made of the same ceramic, the depth from the main surface (upper and lower surfaces) of the mother substrate 1 to about 15% of the thickness of the mother substrate 1 is obtained. This portion corresponds to the surface layer portion.

また、金属ダミーパターン3は、複数の配線基板領域2のそれぞれの角領域に設けられている場合には、母基板1の分割時の欠けをより効果的に抑制することができる。これは、母基板1の分割時の応力が、四角形状の配線基板領域2の角領域に集中しやすいことによる。このような応力が集中しやすい部分に、応力緩和に適した金属ダミーパターン3が存在していることにより、応力がより効果的に緩和され、配線基板領域2の縁領域2aにおける欠けがより効果的に抑制される。   Further, when the metal dummy pattern 3 is provided in each corner area of the plurality of wiring board areas 2, chipping at the time of dividing the mother board 1 can be more effectively suppressed. This is because the stress at the time of dividing the mother board 1 tends to concentrate on the corner area of the rectangular wiring board area 2. Since the metal dummy pattern 3 suitable for stress relaxation exists in such a portion where stress is likely to concentrate, the stress is more effectively relaxed, and the chipping in the edge region 2a of the wiring board region 2 is more effective. Is suppressed.

また、この場合に、角領域のみに金属パターン3が設けられている(辺領域には金属パターン3が設けられていない)と、金属ダミーパターン3が設けられた範囲がより小さく抑えられる。そのため、配線導体4を設けるスペースの確保等がより容易であり、個片の配線基板の小型化等の点でも有利である。また、経済性の点でも有利である。   In this case, if the metal pattern 3 is provided only in the corner area (the metal pattern 3 is not provided in the side area), the range in which the metal dummy pattern 3 is provided can be further reduced. For this reason, it is easier to secure a space for providing the wiring conductor 4 and the like, which is advantageous in terms of downsizing the individual wiring board. It is also advantageous in terms of economy.

ただし、金属ダミーパターン3は、例えば応力の緩和を優先して、配線基板領域2の辺領域にも設けられていてもかまわず、縁領域2aの全周にわたって設けられていても構わない。   However, the metal dummy pattern 3 may be provided in the side region of the wiring board region 2 with priority given to stress relaxation, for example, or may be provided over the entire periphery of the edge region 2a.

図3は、図1に示す多数個取り配線基板の第1の変形例における要部を示す上面図である。図3において図1と同様の部位には同様の符号を付している。   FIG. 3 is a top view showing a main part in a first modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. In FIG. 3, the same parts as those in FIG.

図3に示す例において、金属ダミーパターン3は、複数の配線基板領域2の境界(スクライブライン5の位置)から離間している。このような場合には、スクライブライン5を形成する際に、金属ダミーパターン3がスクライバーに付着する可能性が低減される。そのため、例えば金属ダミーパターン3の金属成分がスクライバーの刃に粘りついて、スクライバーによるスクライブライン5の形成が妨げられるというような不具合が生じる可能性が低減されている。   In the example shown in FIG. 3, the metal dummy pattern 3 is separated from the boundaries (positions of the scribe lines 5) of the plurality of wiring board regions 2. In such a case, when forming the scribe line 5, possibility that the metal dummy pattern 3 will adhere to a scriber will be reduced. Therefore, for example, the possibility that the metal component of the metal dummy pattern 3 sticks to the blade of the scriber and the formation of the scribe line 5 by the scriber is hindered is reduced.

このような、配線基板領域2の境界から離間した金属ダミーパターン3は、金属ダミーパターン3となる金属ペーストの印刷用パターン(スクリーン印刷用の版面等)を、そのパターンに応じたパターンとすることによって形成することができる。   In such a metal dummy pattern 3 that is separated from the boundary of the wiring board region 2, a metal paste printing pattern (screen printing plate or the like) that becomes the metal dummy pattern 3 is a pattern corresponding to the pattern. Can be formed.

この場合、配線基板領域2の境界からの金属ダミーパターン3の離間距離は、スクライブラインの形成に用いるスクライバーの刃の幅等に応じて適宜設定すればよい。ただし、配線基板領域2の境界からの金属ダミーパターン3の離間距離が大きくなり過ぎると、金属ダミーパターン3による応力緩和の効果が低下する可能性がある。そのため、配線基板領域2の境界からの金属ダミーパターン3の離間距離は、例えば、スクライバーの刃の幅に対して約2〜3倍程度に設定する。   In this case, the distance of the metal dummy pattern 3 from the boundary of the wiring board region 2 may be appropriately set according to the width of the scriber blade used for forming the scribe line. However, if the separation distance of the metal dummy pattern 3 from the boundary of the wiring board region 2 becomes too large, the effect of stress relaxation by the metal dummy pattern 3 may be reduced. Therefore, the separation distance of the metal dummy pattern 3 from the boundary of the wiring board region 2 is set to about 2 to 3 times the width of the scriber blade, for example.

図4(a)は図1に示す多数個取り配線基板の第2の変形例における要部を示す上面図であり、図4(b)は図4(a)の下面図である。図4において図1と同様の部位には同様の符号を付している。   FIG. 4A is a top view showing the main part of the second modification of the multi-piece wiring board shown in FIG. 1, and FIG. 4B is a bottom view of FIG. 4, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

図4に示す例において多数個取り配線基板は、前述したように、複数の配線基板領域2の金属ダミーパターン3が設けられた主面(例えば上面)とは反対側の主面(例えば下面)において複数の配線基板領域2のそれぞれに設けられた外部端子6をさらに有している。外部端子6は、前述したように、銀等から成り、個片の配線基板を外部の電気回路に電気的に接続する機能を有している。   In the example shown in FIG. 4, as described above, the multi-piece wiring board has a main surface (for example, a lower surface) opposite to the main surface (for example, the upper surface) on which the metal dummy patterns 3 of the plurality of wiring substrate regions 2 are provided. 1 further includes external terminals 6 provided in each of the plurality of wiring board regions 2. As described above, the external terminal 6 is made of silver or the like, and has a function of electrically connecting the individual wiring board to an external electric circuit.

このような外部端子6が設けられていれば、この外部端子6が金属ダミーパターン3と同様の作用効果を生じる。すなわち、配線基板領域2の境界(スクライブライン5)に沿って母基板1が分割されるときに、その分割に伴う応力が、母基板1の下面側の表層部1aにおいて配線基板領域2の縁領域2aに生じたとしても、その応力が外部端子6によって緩和される。この場合には、母基板1の下面側の表層部1aにおいて配線基板領域2の縁領域2aに金属ダミーパターン3を設ける必要はなく、多数個取り配線基板としての生産性および経済性等が向上し得る。   If such an external terminal 6 is provided, this external terminal 6 produces the same effect as the metal dummy pattern 3. That is, when the mother board 1 is divided along the boundary (scribe line 5) of the wiring board region 2, the stress accompanying the division is caused by the edge of the wiring board area 2 in the surface layer portion 1a on the lower surface side of the mother board 1. Even if it occurs in the region 2 a, the stress is relieved by the external terminal 6. In this case, it is not necessary to provide the metal dummy pattern 3 in the edge region 2a of the wiring board region 2 in the surface layer portion 1a on the lower surface side of the mother board 1, and the productivity and economy as a multi-piece wiring board are improved. Can do.

また、外部端子6が設けられているときに、隣り合う配線基板領域2に設けられた金属ダミーパターン3同士の距離aと外部端子6同士の距離bとが異なっている。具体的には、隣り合う配線基板領域2の間において、金属ダミーパターン3同士の距離aの方が、外部端子6同士の距離bよりも大きい。換言すれば、金属ダミーパターン3よりも外部端子6の方がスクライブラインに近い。   Further, when the external terminals 6 are provided, the distance a between the metal dummy patterns 3 provided in the adjacent wiring board regions 2 and the distance b between the external terminals 6 are different. Specifically, the distance a between the metal dummy patterns 3 is larger than the distance b between the external terminals 6 between the adjacent wiring board regions 2. In other words, the external terminal 6 is closer to the scribe line than the metal dummy pattern 3.

この場合、例えばセラミックグリーンシートの積層ずれ等に起因して、金属ダミーパターン3と外部端子6との間で互いに多少の位置ずれが生じたとしても、金属ダミーパターン3による、母基板1分割時の応力緩和の効果をより確実に得ることができる。   In this case, for example, even if a slight misalignment occurs between the metal dummy pattern 3 and the external terminal 6 due to, for example, a stacking deviation of the ceramic green sheets, when the mother substrate 1 is divided by the metal dummy pattern 3 The effect of stress relaxation can be obtained more reliably.

すなわち、母基板1の両主面にスクライブライン5が設けられるときには、その上下のスクライブライン5同士が平面透視において互いに重なり合うように位置していることが、まず前提条件として必要になる。これに対して、金属ダミーパターン3と外部端子6との間で平面透視における位置ずれが生じていると、スクライブライン5がいずれか一方の金属ダミーパターン3の方に偏って金属ダミーパターン3と重なってしまい、応力緩和の効果が得られなくなる可能性がある。このとき、金属ダミーパターン3同士の距離aが外部端子6同士の距離bよりも大きければ、スクライブライン5の位置が多少、隣り合う金属ダミーパターン3同士の中間の位置から一方の金属ダミーパターン3の方にずれたとしても、スクライブライン5が金属ダミーパターン3と重なるような可能性が低くなる。したがって、この場合には、金属ダミーパターン3による、母基板1分割時の応力緩和の効果をより確実に得ることができる。 That is, when the scribe lines 5 are provided on both main surfaces of the mother board 1, it is first necessary as a precondition that the upper and lower scribe lines 5 are positioned so as to overlap each other in a plan view. On the other hand, if there is a positional deviation in plan perspective between the metal dummy pattern 3 and the external terminal 6, the scribe line 5 is biased toward one of the metal dummy patterns 3 and the metal dummy pattern 3. There is a possibility that the effect of stress relaxation cannot be obtained. At this time, if the distance a between the metal dummy patterns 3 is greater than the distance b between the external terminals 6, the position of the scribe line 5 is somewhat slightly from the middle position between the adjacent metal dummy patterns 3 to one of the metal dummy patterns 3. Even if it deviates, the possibility that the scribe line 5 overlaps the metal dummy pattern 3 is reduced. Therefore, in this case, the effect of stress relaxation at the time of dividing the mother board 1 by the metal dummy pattern 3 can be obtained more reliably.

図5は、図1に示す多数個取り配線基板の第3の変形例における要部を示す断面図である。図5において図1と同様の部位には同様の符号を付している。この例において、多数個取り配線基板は、前述したように、セラミックスとは異なる材料から成る内層部1bを有している。このような内層部1bは、例えば上記のようにフェライト材料から成る。なお、フェライト材料もセラミック焼結体の一種であるが、この実施形態では、表層部1aを形成しているセラミックスとは異なる材料として扱い、表層部1aと内層部1bとを区別している。   FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part in a third modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 5, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. In this example, the multi-piece wiring board has the inner layer portion 1b made of a material different from ceramics as described above. Such an inner layer portion 1b is made of a ferrite material as described above, for example. The ferrite material is also a kind of ceramic sintered body, but in this embodiment, it is treated as a material different from the ceramic forming the surface layer portion 1a, and the surface layer portion 1a and the inner layer portion 1b are distinguished.

このような内層部1bが設けられている場合に、表層部1aと内層部1bとの間における複数の配線基板領域2のそれぞれの縁領域2aに、第2の金属ダミーパターン8がさらに設けられていてもよい。この場合には、母基板1の分割時の応力が、互いに異なる材料から成る表層部1aと内層部1bとの間に集中したときに、その応力をより効果的に緩和することができる。したがって、この場合には、表層部1aおよび内層部1bにおける欠け等の不具合がより効果的に抑制された多数個取り配線基板を提供することができる。   When such an inner layer portion 1b is provided, a second metal dummy pattern 8 is further provided in each edge region 2a of the plurality of wiring board regions 2 between the surface layer portion 1a and the inner layer portion 1b. It may be. In this case, when the stress at the time of dividing the mother substrate 1 is concentrated between the surface layer portion 1a and the inner layer portion 1b made of different materials, the stress can be more effectively reduced. Therefore, in this case, it is possible to provide a multi-piece wiring board in which defects such as chipping in the surface layer portion 1a and the inner layer portion 1b are more effectively suppressed.

第2の金属ダミーパターン8は、例えば金属ダミーパターン3と同様の材料を用い、同様の方法で形成することができる。第2の金属ダミーパターン8についても、配線基板領域2の境界から離間していてもよい。この場合には、多数個取り配線基板を個片の配線基板に分割するとき、つまり母基板1を厚み方向に破断させるときに、表層部1aおよび内層部1bに比べて破断しにくい金属材料からなる第2の金属ダミーパターン8が、その破断を妨げるというような可能性が、より低減される。   The second metal dummy pattern 8 can be formed by the same method using the same material as that of the metal dummy pattern 3, for example. The second metal dummy pattern 8 may also be separated from the boundary of the wiring board region 2. In this case, when the multi-piece wiring board is divided into individual wiring boards, that is, when the mother board 1 is broken in the thickness direction, it is made of a metal material that is hard to break compared to the surface layer portion 1a and the inner layer portion 1b. The possibility that the second metal dummy pattern 8 is prevented from breaking is further reduced.

なお、本発明の多数個取り配線基板は、上記実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更は可能である。例えば、母基板1となるセラミックグリーンシートの段階で配線基板領域2の境界に分割溝(図示せず)が設けられて成る、分割溝を有する多数個取り配線基板であってもよい。この場合には、分割溝に沿って複数の配線基板領域2が個片の配線基板に分割される。この分割の際にも、金属ダミーパターン3で応力が緩和され、表層部1a等において欠けが発生することが抑制される。   Note that the multi-piece wiring board of the present invention is not limited to the example of the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, it may be a multi-piece wiring board having divided grooves, in which divided grooves (not shown) are provided at the boundary of the wiring board region 2 at the stage of the ceramic green sheet to be the mother board 1. In this case, the plurality of wiring board regions 2 are divided into individual wiring boards along the dividing grooves. Also during this division, the stress is relieved by the metal dummy pattern 3, and the occurrence of chipping in the surface layer portion 1a and the like is suppressed.

また、金属ダミーパターン、配線導体4および外部端子6の露出表面に、酸化の抑制の向上等のためにニッケルおよび金等のめっき層が被着されていてもよい。また、母基板1の外周部に、例えば図2に示すように、複数の配線基板領域2を囲むダミー領域(符号なし)が設けられて、多数個取り配線基板としての取り扱いがより容易なものとされたり、上記めっき用の接続線(図示せず)の引き回しがより容易なものとされたりしていてもよい。   Further, a plating layer such as nickel and gold may be applied to the exposed surfaces of the metal dummy pattern, the wiring conductor 4 and the external terminal 6 in order to improve the suppression of oxidation. In addition, as shown in FIG. 2, for example, a dummy area (no reference numeral) surrounding a plurality of wiring board areas 2 is provided on the outer peripheral portion of the mother board 1 so that it is easier to handle as a multi-piece wiring board. Or the wiring line for plating (not shown) may be more easily routed.

また、外部端子6が設けられていないときに、母基板1の両主面(上下両面)におけるそれぞれの表層部1aについて、縁領域2aに金属ダミーパターン3(下面側は図示せず)が設けられていてもよい。これにより母基板1の両主面において縁領域2aにおける欠け等の発生が低減される。なお、この場合の外部端子6の位置は、例えば貫通孔7の内側面、または母基板1の下面における配線基板領域2のそれぞれの中央部等に設定される。   Further, when the external terminal 6 is not provided, the metal dummy pattern 3 (the lower surface side is not shown) is provided in the edge region 2a for each surface layer portion 1a on both main surfaces (upper and lower surfaces) of the mother board 1. It may be done. As a result, the occurrence of chipping or the like in the edge region 2a is reduced on both main surfaces of the mother substrate 1. Note that the position of the external terminal 6 in this case is set, for example, at the center of each of the wiring board regions 2 on the inner surface of the through hole 7 or the lower surface of the mother board 1.

1・・・母基板
1a・・・表層部
2・・・配線基板領域
2a・・・縁領域
3・・・金属ダミーパターン
4・・・配線導体
5・・・スクライブライン
6・・・外部端子
7・・・貫通孔
8・・・第2の金属ダミーパターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mother board 1a ... Surface layer part 2 ... Wiring board area | region 2a ... Edge area | region 3 ... Metal dummy pattern 4 ... Wiring conductor 5 ... Scribe line 6 ... External terminal 7 ... through hole 8 ... second metal dummy pattern

Claims (3)

セラミックスから成る表層部と、
該表層部よりも内側の内層部と、
前記表層部の、電子部品搭載用基板またはコイル部品として用いられる配線基板となる複数の配線基板領域のそれぞれの縁領域に前記複数の配線基板領域の境界から離間して設けられた金属ダミーパターンと、
前記複数の配線基板領域の前記金属ダミーパターンが設けられた主面である上面とは反対側の主面である下面において前記複数の配線基板領域のそれぞれに設けられた外部端子と
前記複数の配線基板領域の境界に沿って前記下面の前記外部端子間に設けられたスクライブラインおよびこれと平面透視において互いに重なり合うように前記上面に設けられたスクライブラインとを備えており、
隣り合う前記配線基板領域に設けられた前記金属ダミーパターン同士の距離が、隣り合う前記配線基板領域に設けられた前記外部端子同士の距離よりも大きいことを特徴とする多数個取り配線基板。
A surface layer made of ceramics;
An inner layer part inside the surface layer part,
Of the surface layer portion, and a plurality of said plurality of metal dummy pattern provided at a distance from the boundary of the wiring substrate regions in each of the edge region of the wiring substrate region serving as a wiring substrate used as an electronic component carrier or the coil component ,
External terminals provided in each of the plurality of wiring board regions on the lower surface, which is the main surface opposite to the upper surface that is the main surface provided with the metal dummy pattern of the plurality of wiring board regions ,
A scribe line provided between the external terminals on the lower surface along boundaries of the plurality of wiring board regions, and a scribe line provided on the upper surface so as to overlap with each other in a plan perspective .
The multi-piece wiring board, wherein a distance between the metal dummy patterns provided in the adjacent wiring board regions is larger than a distance between the external terminals provided in the adjacent wiring board regions.
前記金属ダミーパターンは、前記複数の配線基板領域のそれぞれの角領域に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。 The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the metal dummy pattern is provided in each corner area of the plurality of wiring board areas. セラミックスとは異なる材料から成る内層部と、
前記表層部と前記内層部との間における前記複数の配線基板領域のそれぞれの縁領域に設けられた第2の金属ダミーパターンとをさらに備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の多数個取り配線基板。
An inner layer made of a material different from ceramics,
The second metal dummy pattern provided in each edge region of the plurality of wiring board regions between the surface layer part and the inner layer part is further provided. The multi-cavity wiring board described in 1.
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