JP5511603B2 - Multiple wiring board - Google Patents

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Description

本発明は、半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品を搭載するための搭載部を有する複数の配線基板領域が縦横の並びに配列され、それぞれの配線基板領域において搭載部の周辺に平面視でコの字状に壁部が形成された多数個取り配線基板に関するものである。   In the present invention, a plurality of wiring board regions having mounting parts for mounting electronic components such as semiconductor elements and surface acoustic wave elements are arranged vertically and horizontally, and in the respective wiring board areas, the periphery of the mounting part is viewed in a plan view. The present invention relates to a multi-cavity wiring board having a U-shaped wall portion.

従来、半導体素子や弾性表面波素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板は、酸化アルミニウム質焼結体やガラスセラミック焼結体等のセラミック焼結体からなり、上面に電子部品を搭載するための搭載部を有する四角平板状の基板部と、セラミック焼結体からなり、搭載部を取り囲むように基板部の上面に積層された四角枠状の壁部とを備えている。   Conventionally, wiring boards used for mounting electronic components such as semiconductor elements and surface acoustic wave elements are made of a ceramic sintered body such as an aluminum oxide sintered body or a glass ceramic sintered body. A square plate-like substrate part having a mounting part for mounting and a square frame-like wall part made of a ceramic sintered body and laminated on the upper surface of the substrate part so as to surround the mounting part are provided.

このような配線基板は、一般に、1枚の広面積の母基板から複数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。多数個取り配線基板は、上記のような配線基板となる配線基板領域が母基板に縦横の並びに配列されてなり、隣り合う配線基板領域の基板部同士および壁部同士は互いにつながっている。   Such a wiring board is generally manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which a plurality of wiring boards are obtained simultaneously from a single large-area mother board. In the multi-cavity wiring board, the wiring board regions to be the wiring boards as described above are arranged vertically and horizontally on the mother board, and the board portions and the wall portions of the adjacent wiring board regions are connected to each other.

上記従来の配線基板および多数個取り配線基板では、搭載部と壁部とにより電子部品を気密封止するための凹部(いわゆるキャビティ)が形成され、例えば蓋体を壁部の上面に接合して凹部を塞ぐことで、搭載部に搭載された電子部品が気密封止される。   In the conventional wiring board and the multi-cavity wiring board, a recess (so-called cavity) for hermetically sealing electronic components is formed by the mounting portion and the wall portion. For example, a lid is bonded to the upper surface of the wall portion. By closing the recess, the electronic component mounted on the mounting portion is hermetically sealed.

なお、多数個取り配線基板においては、配線基板領域の境界に沿って分割溝が形成されており、この分割溝を挟んで母基板に曲げ応力を加えて母基板を破断させることによって、個片の配線基板への分割が行なわれる。分割溝は、未焼成の母基板の上面および下面に、隣り合う配線基板領域の境界にカッター刃等を用いて所定の深さで切り込みを入れることによって形成される。   In the multi-piece wiring board, the dividing groove is formed along the boundary of the wiring board region, and the mother board is broken by applying a bending stress to the mother board across the dividing groove. Is divided into wiring boards. The dividing grooves are formed by making a cut at a predetermined depth on the upper and lower surfaces of the unfired mother board using a cutter blade or the like at the boundary between adjacent wiring board regions.

特開2009−283645号公報JP 2009-283645 A

近年、搭載部を外部に開放させるように、基板部上に積層された四角枠状の壁部を1つの辺において非形成とした(壁部をコの字状とした)配線基板が用いられるようになってきている。このような配線基板を多数個取り配線基板の形態で製作するときに、個々の配線基板となる複数の配線基板領域は、壁部が非形成とされた辺同士が隣り合うように配列され、分割溝は、母基板の上下面、つまり基板部の下面、および壁部の上面にそれぞれ形成される。この場合、通常、壁部が非形成とされた辺における基板部の露出した上面には分割溝が形成されていない。これは、母基板の上面側の分割溝を基板部の上面に達するまで深くすると、母基板の上面側の分割溝が下面側の分割溝に比べて深くなりすぎるためであり、また、製造工程における未焼成の母基板(特に壁部)の変形を抑制するためである。   In recent years, a wiring board has been used in which a square frame-shaped wall portion laminated on a substrate portion is not formed on one side so that the mounting portion is opened to the outside (the wall portion is U-shaped). It has become like this. When manufacturing a large number of such wiring boards in the form of a wiring board, a plurality of wiring board regions to be individual wiring boards are arranged so that the sides where the wall portions are not formed are adjacent to each other, The division grooves are respectively formed on the upper and lower surfaces of the mother substrate, that is, the lower surface of the substrate portion and the upper surface of the wall portion. In this case, normally, the dividing groove is not formed on the exposed upper surface of the substrate portion on the side where the wall portion is not formed. This is because if the dividing groove on the upper surface side of the mother substrate is deepened until it reaches the upper surface of the substrate portion, the dividing groove on the upper surface side of the mother substrate becomes too deep compared to the dividing groove on the lower surface side, and the manufacturing process This is to suppress deformation of the unfired mother substrate (particularly the wall).

そのため、壁部の上面の分割溝が開くように母基板に曲げ応力を加えて母基板を破断させると、必ずしも境界に沿って亀裂が進行するとは限らず、境界から外れた位置で、亀裂が基板部の露出した上面から下面にかけて進行してしまう場合がある。したがって、壁部
を非形成とした部分においては境界に沿った分割が難しく、個片の配線基板の壁部が形成されない端面側にはバリや欠けが発生しやすいという問題があった。
Therefore, if the mother board is broken by applying bending stress to the mother board so that the dividing groove on the upper surface of the wall portion is opened, the crack does not always advance along the boundary, and the crack is not removed from the boundary. In some cases, the substrate portion proceeds from the exposed upper surface to the lower surface. Accordingly, there is a problem in that it is difficult to divide along the boundary in the portion where the wall portion is not formed, and burrs and chips are likely to occur on the end surface side where the wall portion of the individual wiring board is not formed.

本発明は、このような従来の問題点に鑑みて完成されたものであり、その目的は、配線基板領域の1つの辺において壁部が形成されず、壁部がコの字状とされた複数の配線基板領域が縦横の並びに配列されてなる多数個取り配線基板であって、分割時に配線基板領域の境界に沿ってバリや欠け等が発生することを抑制できる多数個取り配線基板を提供することにある。   The present invention has been completed in view of the above-described conventional problems, and the object thereof is that a wall portion is not formed on one side of the wiring board region, and the wall portion has a U-shape. Provided is a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board areas are arranged vertically and horizontally, and can suppress the occurrence of burrs and chips along the boundary of the wiring board area when divided. There is to do.

本発明の多数個取り配線基板は、セラミック焼結体からなり、上面の中央部に電子部品の搭載部を有する四角形状の複数の配線基板領域が縦横の並びに配列された平板状の下部母基板と、セラミック焼結体からなり、前記下部母基板の上面に積層された、それぞれの前記配線基板領域において前記搭載部の周辺に壁部を形成するための枠状の上部母基板とからなる母基板の上面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝が形成された多数個取り配線基板であって、前記上部母基板が前記配線基板領域の1つの辺において非形成とされて前記壁部がコの字状とされているとともに、複数の前記配線基板領域が、前記上部母基板が非形成とされた1つの辺同士が隣り合うように配置されており、前記下部母基板に、前記配線基板領域の境界において前記上部母基板が非形成とされた1つの辺に沿って露出した部位に、前記下部母基板を厚み方向に貫通するスリットが形成されているとともに、該スリットに隣接する前記上部母基板の内側面に、該内側面の上端から下端にかけて溝部が形成されていることを特徴とする。   The multi-cavity wiring board of the present invention is made of a ceramic sintered body, and is a flat lower mother board in which a plurality of rectangular wiring board regions having an electronic component mounting portion at the center of the upper surface are arranged vertically and horizontally. And a mother board made of a ceramic sintered body and laminated on the upper surface of the lower mother board and a frame-like upper mother board for forming a wall portion around the mounting portion in each wiring board region. A multi-cavity wiring board in which a dividing groove is formed on an upper surface of the board along a boundary of the wiring board area, and the upper mother board is not formed on one side of the wiring board area and the wall is formed. The portion is U-shaped, and a plurality of the wiring board regions are arranged so that one side where the upper mother board is not formed is adjacent to the lower mother board, At the boundary of the wiring board area In addition, a slit penetrating the lower mother substrate in the thickness direction is formed in a portion exposed along one side where the upper mother substrate is not formed, and the upper mother substrate adjacent to the slit is formed. A groove is formed on the inner side surface from the upper end to the lower end of the inner side surface.

また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記溝部は、前記上部母基板の前記内側面の上端から下端にかけて、漸次幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする。   The multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the groove portion is formed so that a width gradually decreases from an upper end to a lower end of the inner side surface of the upper mother board. .

また、本発明の多数個取り配線基板は、上記構成において、前記スリットが、その両端において前記上部母基板の下側に位置する前記下部母基板に延長されていることを特徴とする。   The multi-piece wiring board of the present invention is characterized in that, in the above configuration, the slits are extended to the lower mother board located at the lower side of the upper mother board at both ends thereof.

本発明の多数個取り配線基板によれば、配線基板領域が縦横の並びに配列された平板状の下部母基板と、セラミック焼結体からなり、下部母基板の上面に積層された、それぞれの配線基板領域において前記搭載部の周辺に壁部を形成するための枠状の上部母基板とからなる母基板に分割溝が形成された多数個取り配線基板について、下部母基板に、配線基板領域の境界において上部母基板が非形成とされた1つの辺に沿って露出した部位に、下部母基板を厚み方向に貫通するスリットが形成されていることから、基板部としての下部母基板の分割溝の形成が難しい部位において、下部母基板の境界がスリットによってあらかじめ分離しているため、配線基板領域の境界に沿った母基板の分割が容易である。   According to the multi-cavity wiring board of the present invention, each wiring board region is composed of a flat lower mother board arranged vertically and horizontally, and a ceramic sintered body, which are laminated on the upper surface of the lower mother board. For a multi-chip wiring board in which a dividing groove is formed in a mother board composed of a frame-like upper mother board for forming a wall portion around the mounting portion in the board area, the lower mother board is connected to the wiring board area. Since a slit that penetrates the lower mother substrate in the thickness direction is formed in a portion exposed along one side where the upper mother substrate is not formed at the boundary, a dividing groove of the lower mother substrate as a substrate portion Since the boundary of the lower mother board is separated in advance by slits in the regions where it is difficult to form, the mother board can be easily divided along the boundary of the wiring board region.

また、このスリットに隣接する枠部としての上部母基板の内側面に、上部母基板の上端から下端にかけて溝部が形成されていることから、母基板を分割するときの上部母基板の上面の分割溝の底部から進行する亀裂を、溝部に沿って、上部母基板の下端に接した下部母基板のスリット部分に容易に導くことができる。そのため、溝部からの母基板の破断(分割)位置とスリットによる分割位置とを一致させることが容易であり、母基板を個片の配線基板に分割する際のバリやカケ等の不具合を効果的に抑制することができる。   In addition, since a groove is formed from the upper end to the lower end of the upper mother board on the inner surface of the upper mother board as a frame part adjacent to the slit, the upper surface of the upper mother board is divided when dividing the mother board. A crack that proceeds from the bottom of the groove can be easily guided along the groove to the slit portion of the lower mother substrate that is in contact with the lower end of the upper mother substrate. Therefore, it is easy to match the break (divided) position of the mother board from the groove with the dividing position by the slit, and it is effective for defects such as burrs and chips when dividing the mother board into individual wiring boards. Can be suppressed.

したがって、配線基板領域の1つの辺において壁部が形成されず、壁部がコの字状とされた複数の配線基板領域が母基板に縦横の並びに配列された多数個取り配線基板において
、分割後の配線基板の端面にバリや欠け等が発生することを抑制できる多数個取り配線基板を提供することができる。
Therefore, in a multi-cavity wiring substrate in which a wall portion is not formed on one side of the wiring substrate region and a plurality of wiring substrate regions in which the wall portion is U-shaped are arranged vertically and horizontally on the mother substrate. It is possible to provide a multi-cavity wiring board that can suppress the occurrence of burrs, chips, etc. on the end face of the subsequent wiring board.

また、本発明の多数個取り配線基板によれば、溝部が、上部母基板の内側面の上端から下端にかけて、漸次幅が狭くなるように形成されている場合には、分割溝の底部から発生した亀裂を、上部母基板の上端から下端にかけて上部母基板の内側面に形成された溝部に沿って、上部母基板の下端に接する下部母基板のスリットが形成された部分(スリットの端)により確実に進行させることができ、個片の配線基板にバリや欠けが発生することをより効果的に抑制できる。   Further, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, when the groove portion is formed so that the width gradually decreases from the upper end to the lower end of the inner surface of the upper mother substrate, the groove portion is generated from the bottom portion of the dividing groove. The portion of the lower mother board that is in contact with the lower end of the upper mother board along the groove formed on the inner surface of the upper mother board from the upper end to the lower end of the upper mother board (the end of the slit) It is possible to make it proceed reliably, and it is possible to more effectively suppress the occurrence of burrs and chips on the individual wiring board.

また、本発明の多数個取り配線基板によれば、スリットが、その両端において上部母基板の下側に位置する下部母基板に延長されている場合には、スリットによって下部母基板があらかじめ分割されている範囲がより広くなり、また、下部母基板のうち溝部の下側に位置する部位もあらかじめスリットによって分離しているため、境界に沿った母基板の分割をより容易、かつ確実に行なうことができる。   Further, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, when the slit is extended to the lower mother board located below the upper mother board at both ends, the lower mother board is divided in advance by the slit. Since the portion of the lower mother board that is located below the groove is also separated by a slit in advance, the mother board can be more easily and reliably divided along the boundary. Can do.

(a)は本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例における一部を示す上面図であり、(b)は(a)のX−X’線における断面図であり、(c)は(a)のY−Y’線における断面図である。(A) is a top view which shows a part in an example of embodiment of the multi-piece wiring board of this invention, (b) is sectional drawing in the XX 'line | wire of (a), (c) FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line YY ′ in FIG. 図1に示す多数個取り配線基板の要部を拡大して示す要部斜視図である。It is a principal part perspective view which expands and shows the principal part of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 図1に示す多数個取り配線基板の全体を模式的に示す平面図である。It is a top view which shows typically the whole multi-piece wiring board shown in FIG. (a)および(b)はそれぞれ本発明の多数個取り配線基板の効果を説明するための模式図(要部斜視図)である。(A) And (b) is a schematic diagram (principal part perspective view) for demonstrating the effect of the multi-piece wiring board of this invention, respectively. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の他の例における要部を示す要部斜視図である。It is a principal part perspective view which shows the principal part in the other example of embodiment of the multi-cavity wiring board of this invention. 本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の他の例における要部を示す要部斜視図である。It is a principal part perspective view which shows the principal part in the other example of embodiment of the multi-cavity wiring board of this invention.

本発明の多数個取り配線基板および配線基板について、添付の図面を参照しつつ説明する。図1(a)は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例における一部を示す上面図であり、図1(b)は、図1(a)のX−X’線における断面図であり、図1(c)は、図1(a)のY−Y’線における断面図である。また、図2は、図1に示す多数個取り配線基板の要部を示す斜視図であり、図3は、図1に示す多数個取り配線基板の全体を模式的に示す平面図である。   A multi-piece wiring board and a wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1A is a top view illustrating a part of an example of an embodiment of a multi-cavity wiring board according to the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line XX ′ in FIG. FIG. 1C is a cross-sectional view taken along line YY ′ of FIG. 2 is a perspective view showing a main part of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view schematically showing the whole multi-cavity wiring board shown in FIG.

搭載部103を有する複数の配線基板領域102が縦横の並びに配列された下部母基板108に
上部母基板109が積層されて母基板101が構成され、母基板101に、配線基板領域102の境界105に沿って分割溝106が形成されて多数個取り配線基板が基本的に構成されている。このような多数個取り配線基板の母基板101が配線基板領域102の境界105に沿って分割されて
個片の配線基板(図示せず)が作製される。作製される個片の配線基板の絶縁基板は、搭載部103を有する四角平板状の下部基板(図示せず)の上面に、下部基板の3つの辺にお
いて搭載部103の周辺に壁部を形成するコの字状の上部基板(図示せず)が積層されて基
本的に構成されている。
An upper mother board 109 is laminated on a lower mother board 108 in which a plurality of wiring board areas 102 having mounting portions 103 are arranged vertically and horizontally to form a mother board 101. The mother board 101 has a boundary 105 between the wiring board areas 102. A multi-cavity wiring board is basically configured by forming a dividing groove 106 along the line. The mother board 101 of such a multi-piece wiring board is divided along the boundary 105 of the wiring board region 102 to produce a piece of wiring board (not shown). The insulating substrate of the individual wiring board to be manufactured forms a wall portion around the mounting portion 103 on the three sides of the lower substrate on the upper surface of a rectangular flat plate-like lower substrate (not shown) having the mounting portion 103. A U-shaped upper substrate (not shown) is basically stacked and configured.

母基板101は、セラミック焼結体からなり、上面の中央部に電子部品の搭載部103を有する四角形状の複数の配線基板領域102が縦横の並びに配列された平板状の下部母基板108と、セラミック焼結体からなり、下部母基板108の上面に積層された、それぞれの配線基板
領域102において搭載部103の周辺に壁部(符号なし)を形成するための枠状の上部母基板
109とからなる。
The mother board 101 is made of a ceramic sintered body, and has a flat lower mother board 108 in which a plurality of square-shaped wiring board regions 102 having electronic component mounting parts 103 are arranged vertically and horizontally in the center of the upper surface, A frame-like upper mother board made of a ceramic sintered body and laminated on the upper surface of the lower mother board 108 to form a wall (no symbol) around the mounting part 103 in each wiring board region 102
109.

なお、上部母基板109は、1つの配線基板領域102に対してはコの字状に壁部を形成しているのみであって、搭載部103の周囲を取り囲む枠状ではないが、隣り合う2つの配線基
板領域102の搭載部103をまとめて枠状に取り囲んでおり、全体として枠状になっている。
Note that the upper mother substrate 109 has only a U-shaped wall with respect to one wiring substrate region 102, and is not a frame shape surrounding the mounting portion 103, but is adjacent to each other. The mounting portions 103 of the two wiring board regions 102 are collectively enclosed in a frame shape, and are formed in a frame shape as a whole.

下部母基板108および上部母基板109は、酸化アルミニウム質焼結体,ガラスセラミック焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体,ムライト質焼結体等のセラミック焼結体により形成されている。   The lower mother substrate 108 and the upper mother substrate 109 are an aluminum oxide sintered body, a glass ceramic sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, and a mullite sintered body. Etc. are formed of a ceramic sintered body.

なお、この実施の形態の例において、図3に示すように多数個取り配線基板である母基板101の外周には、配列された複数の配線基板領域102を取り囲むようにダミー領域(符号なし)が設けられている。ダミー領域は、多数個取り配線基板の取り扱いを容易とすること等のために設けられている。   In the example of this embodiment, as shown in FIG. 3, a dummy area (no symbol) is provided on the outer periphery of the mother board 101 which is a multi-piece wiring board so as to surround a plurality of wiring board areas 102 arranged. Is provided. The dummy area is provided to facilitate handling of the multi-piece wiring board.

母基板101は、例えば下部母基板108と上部母基板109とが一体焼成されて作製されてい
る。すなわち、酸化アルミニウムおよび酸化ケイ素等の原料粉末に適当な有機溶剤およびバインダを添加してシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを作製し、この一部のものについて打ち抜き加工を施して枠状に成形した後、打ち抜き加工を施していない平板状のセラミックグリーンシートの上に枠状のセラミックグリーンシートを積層し、この積層体を一体焼成すれば、酸化アルミニウム焼結体等からなる母基板101を作製する
ことができる。この場合、平板状のセラミックグリーンシートが下部母基板108になり、
枠状のセラミックグリーンシートが上部母基板109になる。
The mother board 101 is produced, for example, by integrally firing a lower mother board 108 and an upper mother board 109. That is, a suitable organic solvent and binder are added to raw powders such as aluminum oxide and silicon oxide and formed into a sheet shape to produce a plurality of ceramic green sheets. After forming into a frame, a frame-shaped ceramic green sheet is laminated on a flat ceramic green sheet that has not been punched, and the laminate is integrally fired to form a mother substrate 101 made of an aluminum oxide sintered body or the like. Can be produced. In this case, a flat ceramic green sheet becomes the lower mother substrate 108,
A frame-shaped ceramic green sheet becomes the upper mother substrate 109.

下部母基板108に配列された複数の配線基板領域102は、中央部等に電子部品の搭載部103を有しており、それぞれが個片の配線基板の下部基板となる領域である。この下部母基
板108の上に枠状の上部母基板109が積層されて母基板101が形成されている。上部母基板109は、搭載部103の周辺に壁部を形成するためのものであり、個片の配線基板の上部基板109となるものである。壁部は、搭載部103に搭載される電子部品(図示せず)を保護する
ためのものである。
The plurality of wiring board regions 102 arranged on the lower mother board 108 have electronic component mounting portions 103 in the center or the like, and each is a region that becomes a lower board of the individual wiring board. A frame-shaped upper mother substrate 109 is laminated on the lower mother substrate 108 to form a mother substrate 101. The upper mother substrate 109 is for forming a wall portion around the mounting portion 103, and serves as the upper substrate 109 of the individual wiring substrate. The wall portion is for protecting an electronic component (not shown) mounted on the mounting portion 103.

搭載部103に搭載される電子部品としては、水晶振動子等の圧電振動子,弾性表面波素
子,半導体集積回路素子(IC)等の半導体素子,容量素子,インダクタ素子,抵抗器等の種々の電子部品を挙げることができる。
Examples of electronic components mounted on the mounting unit 103 include various types of piezoelectric elements such as crystal oscillators, surface acoustic wave elements, semiconductor elements such as semiconductor integrated circuit elements (ICs), capacitive elements, inductor elements, resistors, and the like. Mention electronic components.

図1〜図3に示す例において、搭載部103に配線導体104の一部が形成されている。配線導体104は、例えば搭載部103から母基板101の内部を経て、母基板101の下面等の、個片の配線基板において外表面となる部位にかけて形成されている。配線導体104のうち母基板101の内部に形成されたものは貫通導体(いわゆるビア導体等)や内部配線層等の形態である。搭載部103に搭載される電子部品を配線導体104に電気的に接続させれば、配線導体104を介して電子部品を外部の電気回路に電気的に接続させることができる。   In the example shown in FIGS. 1 to 3, a part of the wiring conductor 104 is formed on the mounting portion 103. The wiring conductor 104 is formed, for example, from the mounting portion 103 through the inside of the mother board 101 to a portion that becomes the outer surface of the individual wiring board, such as the lower surface of the mother board 101. Of the wiring conductors 104, those formed inside the mother board 101 are in the form of through conductors (so-called via conductors) or internal wiring layers. If an electronic component mounted on the mounting portion 103 is electrically connected to the wiring conductor 104, the electronic component can be electrically connected to an external electric circuit via the wiring conductor 104.

配線導体104は、例えば銅や銀,パラジウム,金,白金,タングステン,モリブデン,
マンガン等の金属材料からなる。配線導体104は、例えば銅からなる場合であれば、銅の
粉末に有機溶剤およびバインダを添加して作製した金属ペースト(図示せず)を母基板101となるセラミックグリーンシートに所定パターンに塗布しておき、同時焼成することに
よって形成することができる。
The wiring conductor 104 is made of, for example, copper, silver, palladium, gold, platinum, tungsten, molybdenum,
Made of a metal material such as manganese. If the wiring conductor 104 is made of copper, for example, a metal paste (not shown) prepared by adding an organic solvent and a binder to copper powder is applied to a ceramic green sheet serving as the base substrate 101 in a predetermined pattern. It can be formed by simultaneous firing.

この多数個取り配線基板は、四角形状の配線基板領域102の1つの辺において上部母基
板109が非形成とされて下部母基板108が配線基板領域102の境界105まで露出している。つ
まり、この多数個取り配線基板においては、配線基板領域102の搭載部103が全周にわたって壁部で囲まれるのではなく、壁部がコの字状であり、四角形状の配線基板領域102の1
つの辺において外部に搭載部103が開放されている。
In this multi-piece wiring board, the upper mother board 109 is not formed on one side of the rectangular wiring board area 102 and the lower mother board 108 is exposed to the boundary 105 of the wiring board area 102. In other words, in this multi-cavity wiring board, the mounting portion 103 of the wiring board region 102 is not surrounded by the wall portion around the entire circumference, but the wall portion is U-shaped, and the wiring board region 102 has a rectangular shape. 1
The mounting portion 103 is open to the outside at one side.

なお、上部母基板109の非形成とされている範囲は、図1に示しているように、上記1
つの辺の全長にわたるものではなく、この1つ辺に接する(直交する)2つの辺と交わる部分には及んでいない。言い換えれば、上記2つの辺に相当する上部母基板109が配線基
板領域102の境界105まで達していて、この2つの辺の間で搭載部103が外部に開放されて
いる。複数の配線基板領域102は、上部母基板109が非形成とされた1つの辺同士が隣り合うように配列されており、上記2つの辺に相当する上部母基板109同士は互いにつながっ
ている。
The range where the upper mother substrate 109 is not formed is as shown in FIG.
It does not extend over the entire length of one side, and does not extend to a portion that intersects (perpendicular to) two sides that touch this one side. In other words, the upper mother board 109 corresponding to the two sides reaches the boundary 105 of the wiring board region 102, and the mounting portion 103 is opened to the outside between the two sides. The plurality of wiring board regions 102 are arranged so that one side where the upper mother board 109 is not formed is adjacent to each other, and the upper mother boards 109 corresponding to the two sides are connected to each other.

このような形態の多数個取り配線基板を個片に分割して作製される配線基板は、例えば、携帯電話用テレビチューナーモジュール等の用途に使用される。この用途の場合には、搭載部103に電子部品であるチューナーIC(図示せず)を搭載し、これを樹脂等の封止
材(図示せず)で被覆して封止すれば、上記モジュールが作製される。この場合、多数個取り配線基板の状態で、個々の配線基板領域102の搭載部103にチューナーICを搭載するとともに、母基板101(下部母基板108)の下面にOFDMチップ(orthogonal freqeuncy
division multiplex:直交周波数分割多重方式、図示せず)を搭載し、その後、個片の
配線基板(配線基板に電子部品が搭載されてなる個々の電子装置)に分割するようにしてもよい。なお、チューナーICの電極は半田(図示せず)を介して配線導体104と電気的
に接続され、OFDMの電極はボンディングワイヤ等(図示せず)を介して母基板101の
下面側に形成された配線導体(図示せず)と電気的に接続される。
A wiring board produced by dividing a multi-piece wiring board having such a configuration into individual pieces is used for applications such as a TV tuner module for mobile phones. In the case of this application, a tuner IC (not shown), which is an electronic component, is mounted on the mounting portion 103, and this is covered with a sealing material (not shown) such as resin and sealed. Is produced. In this case, a tuner IC is mounted on the mounting portion 103 of each wiring board region 102 in the state of a multi-piece wiring board, and an OFDM chip (orthogonal freqeuncy) is formed on the lower surface of the mother board 101 (lower mother board 108).
division multiplex: an orthogonal frequency division multiplex system (not shown) may be mounted, and then divided into individual wiring boards (individual electronic devices in which electronic components are mounted on the wiring boards). The electrodes of the tuner IC are electrically connected to the wiring conductor 104 via solder (not shown), and the OFDM electrodes are formed on the lower surface side of the mother board 101 via bonding wires or the like (not shown). It is electrically connected to a wiring conductor (not shown).

母基板101の分割のために、配線基板領域102の境界105に沿って、上部母基板109の上面および下部母基板108の下面に分割溝106が形成されている。分割溝106が形成されている
部分(配線基板領域102の境界105)で母基板101に応力を加えて母基板101を厚み方向に破断させることによって、母基板101が個片の配線基板に分割される。
In order to divide the mother board 101, dividing grooves 106 are formed on the upper surface of the upper mother board 109 and the lower surface of the lower mother board 108 along the boundary 105 of the wiring board region 102. The mother board 101 is divided into individual wiring boards by applying stress to the mother board 101 at the portion where the dividing groove 106 is formed (the boundary 105 of the wiring board region 102) and breaking the mother board 101 in the thickness direction. Is done.

これらの分割溝106は、母基板101となるセラミックグリーンシートの積層体に、下部母基板108となるセラミックグリーンシートの下面、および上部母基板109となるセラミックグリーンシートの上面に、配線基板領域102の境界105に沿ってカッター刃等で切り込みを入れることによって形成されている。   These dividing grooves 106 are formed on the laminated body of ceramic green sheets to be the mother board 101, on the lower surface of the ceramic green sheet to be the lower mother board 108, and on the upper surface of the ceramic green sheet to be the upper mother board 109. It is formed by making a cut along the boundary 105 with a cutter blade or the like.

本発明の多数個取り配線基板において、配線基板領域102の境界105において上部母基板109が非形成とされた1つの辺に沿って露出した部位に、下部母基板108を厚み方向に貫通するスリット110が形成されているとともに、スリット110に隣接する上部母基板109の内
側面に、上部母基板109の上端から下端にかけて溝部111が形成されている。
In the multi-cavity wiring board of the present invention, a slit that penetrates the lower mother board 108 in the thickness direction at a portion exposed along one side where the upper mother board 109 is not formed at the boundary 105 of the wiring board region 102. 110 is formed, and a groove 111 is formed on the inner surface of the upper mother substrate 109 adjacent to the slit 110 from the upper end to the lower end of the upper mother substrate 109.

スリット110は、平面視で帯状であり、下部母基板108を厚み方向に貫通している。スリット110は、母基板101の分割を容易とするためのものである。また、溝部111は、母基板101を分割する際に、上部母基板109の上面の分割溝106から生じた亀裂をスリット110が形
成されている位置、つまり配線基板領域102の境界105に導くためのものである。
The slit 110 has a band shape in plan view and penetrates the lower mother substrate 108 in the thickness direction. The slit 110 is for facilitating the division of the mother board 101. Further, when dividing the mother substrate 101, the groove portion 111 guides a crack generated from the dividing groove 106 on the upper surface of the upper mother substrate 109 to the position where the slit 110 is formed, that is, the boundary 105 of the wiring substrate region 102. belongs to.

すなわち、本発明の多数個取り配線基板によれば、上記構成を備えることから、基板部としての下部母基板108の分割溝106の形成が難しい部位において、下部母基板108がスリ
ット110によってあらかじめ分離しているため、配線基板領域102の境界105に沿った母基
板101の分割が容易である。
That is, according to the multi-cavity wiring board of the present invention, since the above-described configuration is provided, the lower mother board 108 is separated in advance by the slit 110 in a portion where it is difficult to form the dividing groove 106 of the lower mother board 108 as the board part. Therefore, it is easy to divide the mother board 101 along the boundary 105 of the wiring board region 102.

また、このスリット110に隣接する枠部としての上部母基板109の内側面に、上部母基板
109の上端から下端にかけて溝部111が形成されていることから、母基板101を分割すると
きの上部母基板109の上面の分割溝106から発生した亀裂を、溝部111に沿って下部母基板108のスリット110の部分に容易に導くことができる。そのため、溝部111からの母基板101
の破断(分割)位置とスリット110による分割位置とを一致させることが容易であり、母
基板101を個片の配線基板に分割する際のバリやカケ等の不具合を効果的に抑制すること
ができる。
Further, on the inner side surface of the upper mother substrate 109 as a frame portion adjacent to the slit 110, the upper mother substrate
Since the groove portion 111 is formed from the upper end to the lower end of 109, cracks generated from the dividing groove 106 on the upper surface of the upper mother substrate 109 when the mother substrate 101 is divided are formed along the groove portion 111 in the lower mother substrate 108. It can be easily guided to the slit 110 portion. Therefore, the mother substrate 101 from the groove 111
It is easy to match the break (split) position of the slit and the split position by the slit 110, and it is possible to effectively suppress defects such as burrs and chips when the mother board 101 is divided into individual wiring boards. it can.

したがって、配線基板領域102の1つの辺において壁部が形成されず、壁部がコの字状
とされた配線基板領域102を複数配列した多数個取り配線基板において、分割後の配線基
板の端面側にバリや欠け等が発生することを抑制できる多数個取り配線基板を提供することができる。
Therefore, in a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board regions 102 in which a wall portion is not formed on one side of the wiring board region 102 and the wall portions are U-shaped are arranged, the end face of the divided wiring board Thus, it is possible to provide a multi-cavity wiring board capable of suppressing the occurrence of burrs and chips on the side.

なお、この場合、単にスリット110を形成しただけでは、例えば図4(a)に示すよう
に、母基板101を上部母基板109の上面の分割溝106が形成された部分で発生した亀裂がス
リット110に対して外れて進行する可能性がある。また、母基板101のスリット110に隣接
する部分、つまりスリット110に接する下部母基板108の一部に、上部母基板109から下部
母基板108にかけて亀裂が進行する際の機械的な衝撃でカケ等の機械的な破壊が生じる可
能性がある。これに対して、上記のように溝部111を形成しておけば、例えば図4(b)
に示すように、溝部111に沿って亀裂を進行させてスリット110が形成されている位置に導くことができる。また、溝部111が形成されている分、上部母基板109が破断しやすく、上部母基板109から下部母基板108にかけて亀裂が進行する際の機械的な衝撃を低く抑えることができる。そのため、母基板101を個片の配線基板に分割する際のバリやカケ等の不具
合を効果的に抑制することができる。なお、図4(a)および(b)は、それぞれ本発明の多数個取り配線基板の効果を示すための模式図(要部斜視図)である。図4において図1〜図3と同様の部位には同様の符号を付している。
In this case, if the slit 110 is simply formed, for example, as shown in FIG. 4A, a crack generated in the portion where the dividing groove 106 is formed on the upper surface of the upper mother substrate 109 is slit into the mother substrate 101. May deviate from 110. Further, a part of the mother board 101 adjacent to the slit 110, that is, a part of the lower mother board 108 in contact with the slit 110, is broken by a mechanical shock when a crack progresses from the upper mother board 109 to the lower mother board 108. May cause mechanical destruction. On the other hand, if the groove 111 is formed as described above, for example, FIG.
As shown, the crack can be advanced along the groove 111 to be led to the position where the slit 110 is formed. In addition, since the groove 111 is formed, the upper mother substrate 109 is easily broken, and the mechanical shock when the crack progresses from the upper mother substrate 109 to the lower mother substrate 108 can be suppressed low. For this reason, it is possible to effectively suppress defects such as burrs and burrs when the mother board 101 is divided into individual wiring boards. 4 (a) and 4 (b) are schematic views (perspective views of essential parts) for illustrating the effect of the multi-piece wiring board of the present invention. 4, parts similar to those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals.

スリット110は、下部母基板108となるセラミックグリーンシートについて、後の工程で枠状のセラミックグリーンシートを積層したときに配線基板領域102の境界105のうち露出する部分となる部分に、金型等を用いた機械的な打ち抜き加工やレーザ加工等の方法で厚み方向に貫通する部分を、平面視で所定のスリット110の形状および寸法で(焼成収縮を
考慮して)設けておくことによって形成することができる。この場合、積層ずれ等を考慮して、スリット110の長さを所定の長さよりも若干長くしておいてもよい。
The slit 110 is formed on a portion of the boundary 105 of the wiring board region 102 that is exposed when a frame-shaped ceramic green sheet is laminated in a later step on the ceramic green sheet that becomes the lower mother substrate 108, a mold, or the like. A portion that penetrates in the thickness direction by a method such as mechanical punching using a laser or laser processing is formed by providing a predetermined shape and size of the slit 110 in plan view (considering firing shrinkage). be able to. In this case, the length of the slit 110 may be slightly longer than a predetermined length in consideration of stacking deviation and the like.

溝部111は、上部母基板109となるセラミックグリーンシートについて、上記のように枠状に打ち抜き加工をする際に、配線基板領域102の境界105において非形成となる1つの辺に接する(直交する)2つの辺の内側面に、配線基板領域102の境界105に相当する部位において、上端から下端にかけて、金型等を用いて溝を形成する加工を施せばよい。この形成した溝が溝部111になる。   The groove 111 contacts (is orthogonal to) one side that is not formed at the boundary 105 of the wiring board region 102 when the ceramic green sheet to be the upper mother board 109 is punched into a frame shape as described above. The inner side surfaces of the two sides may be processed to form grooves using a mold or the like from the upper end to the lower end at a portion corresponding to the boundary 105 of the wiring board region 102. The formed groove becomes the groove 111.

下部母基板108に形成されるスリット110の幅は、例えば上部母基板109および下部母基
板108がともに酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、0.2〜0.5mm程度であ
る。例えば、配線基板領域102が1辺の長さが約3〜10mm程度の四角形状であり、搭載
部103の面積を約5〜80mm程度確保する場合であれば、壁部の幅は約0.25〜0.5mm程
度に設定し、さらに上部母基板109に形成される溝部111の幅は、スリット110の幅よりも
やや狭くなるような幅、つまり0.15〜0.4mm程度で形成すればよい。これにより、上面
の分割溝106から進行した亀裂を上部母基板109の内側面に形成された溝部111に沿って壁
部の上側から基板部(下部母基板108)の下面の分割溝106の端部にかけて正確に進行させることができるとともに、スリット110の幅の範囲内に亀裂が進行することとなる。
The width of the slit 110 formed in the lower mother substrate 108 is, for example, about 0.2 to 0.5 mm when both the upper mother substrate 109 and the lower mother substrate 108 are made of an aluminum oxide sintered body. For example, if the wiring board region 102 has a square shape with a side length of about 3 to 10 mm and the area of the mounting portion 103 is about 5 to 80 mm 2 , the width of the wall portion is about 0.25. The width of the groove 111 formed on the upper mother substrate 109 may be set to be slightly narrower than the width of the slit 110, that is, about 0.15 to 0.4 mm. As a result, cracks that have progressed from the dividing groove 106 on the upper surface follow the groove 111 formed on the inner surface of the upper mother substrate 109 from the upper side of the wall portion to the end of the dividing groove 106 on the lower surface of the substrate portion (lower mother substrate 108). In addition to being able to advance accurately over the portion, the crack progresses within the range of the width of the slit 110.

ここで、溝部111の平面視における形状は、図1では半円状としている。これは、上面
の分割溝106から進行した亀裂が上部母基板109の内側面に形成された溝部111に沿って進
行する際に、境界105から亀裂が外れることを抑制するためである。溝部111の形状が半円状となっているため、半円状の溝部111の底部、つまり壁部の最も狭い幅となる部分に亀
裂が誘導されるため、境界105から亀裂が外れることを抑制する効果がある。平面視にお
ける溝部111の形状は、このように壁部の最も狭い幅となる部分が形成されるような形状
であれば、同様の効果を有する。溝部111の平面視における形状を、例えば、V字状やU
字状としてもよい。
Here, the shape of the groove 111 in plan view is a semicircular shape in FIG. This is to prevent the cracks from coming off the boundary 105 when the cracks proceeding from the upper split grooves 106 travel along the grooves 111 formed on the inner side surface of the upper mother substrate 109. Since the shape of the groove 111 is semicircular, cracks are induced at the bottom of the semicircular groove 111, that is, the narrowest part of the wall, thus preventing cracks from coming off the boundary 105. There is an effect to. As long as the shape of the groove 111 in plan view is such that the portion having the narrowest width of the wall is formed, the same effect is obtained. The shape of the groove 111 in plan view is, for example, V-shaped or U
It may be a letter shape.

なお、このような本発明の多数個取り配線基板によれば、上部母基板109を非形成とし
て配線基板領域102のスリット110まで下部母基板108の上面を露出させているので、下部
母基板108の上面、つまり電子部品が搭載される搭載部103の面積を広く確保する上で有利である。また、この場合には、コの字状に壁部が形成されているので、母基板101が平板
状の多数個取り配線基板に比べて、電子部品をより確実に保護することができ、気密封止も容易である。たとえば、個片の配線基板の搭載部(図示せず)に電子部品を搭載した後、開放された搭載部の1つの辺を金具やガラス等の部材(図示せず)で塞げば、枠状の壁部の場合と同様に蓋体等による気密封止ができる。このような部材に光ファイバや電気配線等を通して、電子部品と外部の電気回路等との間で光や電気等の信号の送受信を行なわせることもできる。
According to such a multi-cavity wiring board of the present invention, since the upper mother board 109 is not formed and the upper surface of the lower mother board 108 is exposed up to the slit 110 in the wiring board region 102, the lower mother board 108 is exposed. This is advantageous in ensuring a large area of the mounting portion 103 on which the electronic component is mounted. Further, in this case, since the wall portion is formed in a U-shape, the electronic component can be more reliably protected than the multi-layer wiring substrate in which the mother substrate 101 is a flat plate. Sealing is easy. For example, after mounting an electronic component on a mounting portion (not shown) of an individual wiring board, if one side of the opened mounting portion is closed with a member (not shown) such as a metal fitting or glass, a frame shape As in the case of the wall portion, hermetic sealing with a lid or the like can be performed. Such a member can be made to transmit and receive signals such as light and electricity between an electronic component and an external electric circuit through an optical fiber, electric wiring, or the like.

また、本発明の多数個取り配線基板によれば、上記構成において、例えば図5に示すように、溝部111が、上部母基板109の内側面の上端から下端にかけて、漸次幅が狭くなるように形成されている場合には、分割溝106の底部から進行する亀裂を、上部母基板109の内側面に形成された溝部111に沿って、上部母基板109の下端に接する下部母基板108のスリ
ット110が形成された部分により正確に進行させることができ、個片の配線基板にバリや
欠けが発生することをより効果的に抑制できる。
Further, according to the multi-piece wiring board of the present invention, in the above configuration, for example, as shown in FIG. 5, the groove portion 111 gradually decreases in width from the upper end to the lower end of the inner side surface of the upper mother substrate 109. If formed, a crack that proceeds from the bottom of the dividing groove 106 is slit along the groove 111 formed on the inner surface of the upper mother substrate 109 so as to contact the lower end of the upper mother substrate 109. It is possible to proceed more accurately by the portion where 110 is formed, and it is possible to more effectively suppress the occurrence of burrs and chips on the individual wiring board.

すなわち、この場合には、上部母基板109の上端側では溝部111の幅が比較的広いため溝部111の位置において上部母基板109に亀裂を生じさせることが容易であり、この上端側から下端側に向かって、亀裂が進行する方向を次第に絞って、より確実に、上部母基板109
のうちスリット110が形成された部分に亀裂を進行させることができる。
That is, in this case, since the width of the groove 111 is relatively wide on the upper end side of the upper mother substrate 109, it is easy to cause cracks in the upper mother substrate 109 at the position of the groove 111. The direction in which the crack progresses is gradually narrowed toward the upper mother substrate 109 more securely.
Among them, a crack can be caused to progress in a portion where the slit 110 is formed.

下部母基板108に形成されるスリット110の幅を0.2〜0.5mm程度とした場合であれば、例えば、上部母基板109に形成される溝部111の下側の幅を、スリット110の幅よりもやや
狭くなるような幅、つまり0.15〜0.4mm程度で形成すればよい。また、上部母基板109に形成される溝部111の上側の幅は、スリット110の幅よりもやや広くなるような幅、つまり0.3〜0.7mm程度で形成すればよい。これにより、上面の分割溝106から進行する亀裂を
溝部111の幅の範囲内で進行するように誘導して、上部母基板109から下部母基板108の下
面の分割溝106にかけて亀裂を正確に進行させることができる。
If the width of the slit 110 formed in the lower mother substrate 108 is about 0.2 to 0.5 mm, for example, the lower width of the groove 111 formed in the upper mother substrate 109 is smaller than the width of the slit 110. What is necessary is just to form in the width | variety which becomes a little narrow, ie, about 0.15-0.4 mm. Further, the upper width of the groove 111 formed in the upper mother substrate 109 may be formed so as to be slightly wider than the width of the slit 110, that is, about 0.3 to 0.7 mm. As a result, the crack progressing from the split groove 106 on the upper surface is guided to progress within the width of the groove 111, and the crack progresses accurately from the upper mother substrate 109 to the split groove 106 on the lower surface of the lower mother substrate 108. Can be made.

また、本発明の多数個取り配線基板によれば、上記構成において、例えば図6に示すように、スリット110が、その両端において上部母基板109の下側に位置する下部母基板108
に延長されている場合には、スリット110によって下部母基板108があらかじめ分割されている範囲がより広くなり、また、下部母基板108のうち溝部111の下側に位置する部位もあらかじめスリット110によって分離しているため、境界105に沿った母基板101の分割をよ
り容易、かつ確実に行なうことができる。この場合、溝部111が母基板101の下面まで延長されているとみなすこともできる。
Further, according to the multi-piece wiring board of the present invention, in the above configuration, as shown in FIG. 6, for example, the slit 110 has the lower mother board 108 positioned at the lower side of the upper mother board 109 at both ends thereof.
The lower mother substrate 108 is preliminarily divided by the slit 110, and the portion of the lower mother substrate 108 located below the groove 111 is also previously formed by the slit 110. Due to the separation, the mother substrate 101 can be more easily and reliably divided along the boundary 105. In this case, it can be considered that the groove 111 extends to the lower surface of the mother substrate 101.

分割溝106は、母基板101をこの分割溝106に沿って破断させ、個片の配線基板に分割す
るためのものである。前述したように、分割溝106には、上部母基板109の上面に形成されているものと、下部母基板108の上面に形成されているものとがある。これらの分割溝106
は、配線基板領域102の同じ一続きの境界105上にあるもの同士は、平面視で一直線上に続いている。また、上部母基板109に形成される分割溝106のうち、隣接する配線基板領域の壁部同士を跨いで形成される分割溝106については比較的母基板101の剛性が保持される構造となるため、その深さを深く形成しておき(上部母基板109の厚みの50〜70%程度)、
スリット110が形成される境界105に形成される分割溝106については、スリット110が形成されている分だけ母基板101の剛性が保持されにくい構造となるため、他の部分よりも浅
く形成(上部母基板109の厚みの30〜50%程度)することが好ましい。このような構造と
することにより、母基板101の製造工程での取り扱い性と分割時の分割性の両方を満足す
る多数個取り配線基板を実現できる。
The dividing groove 106 is for breaking the mother substrate 101 along the dividing groove 106 and dividing it into individual wiring boards. As described above, the division grooves 106 include those formed on the upper surface of the upper mother substrate 109 and those formed on the upper surface of the lower mother substrate 108. These dividing grooves 106
Are on the same boundary 105 of the wiring board region 102 and continue in a straight line in plan view. Further, among the divided grooves 106 formed in the upper mother board 109, the divided grooves 106 formed across the walls of the adjacent wiring board regions have a structure in which the rigidity of the mother board 101 is relatively maintained. Therefore, the depth is formed deeply (about 50 to 70% of the thickness of the upper mother substrate 109),
The split groove 106 formed at the boundary 105 where the slit 110 is formed has a structure in which the rigidity of the mother substrate 101 is less likely to be maintained by the amount of the slit 110 formed, and thus is formed shallower than the other parts (upper part) It is preferable that the thickness of the base substrate 109 is about 30 to 50%. By adopting such a structure, it is possible to realize a multi-piece wiring board that satisfies both the handleability in the manufacturing process of the mother board 101 and the division ability at the time of division.

ここで、本発明の多数個取り配線基板101の効果を、酸化アルミニウム質焼結体からな
る厚みが約0.3mmの下部母基板108に厚みが約0.4mmの上部母基板109を積層して形成した母基板101に、個々の配線基板となる複数の配線基板領域102が、壁部が非形成とされた辺同士が隣り合うように配列された多数個取り配線基板を例に挙げて具体的に説明する。この多数個取り配線基板において、配線基板領域102は、長辺(スリット110が形成される側)の長さが10mm、短辺の長さが8mmの長方形状とした。
Here, the effect of the multi-piece wiring board 101 of the present invention is formed by laminating an upper mother board 109 having a thickness of about 0.4 mm on a lower mother board 108 made of an aluminum oxide sintered body and having a thickness of about 0.3 mm. A specific example is given by taking a multi-chip wiring board as an example in which a plurality of wiring board regions 102 to be individual wiring boards are arranged on the mother board 101 so that the sides where the wall portions are not formed are adjacent to each other. Explained. In this multi-piece wiring board, the wiring board region 102 has a rectangular shape with a long side (side on which the slit 110 is formed) having a length of 10 mm and a short side having a length of 8 mm.

上記の例において、配線基板領域102の1つの辺において、上部母基板109を非形成として露出させた下部母基板108の下面に分割溝106を約0.2mmの深さで形成し、上部母基板109の上面に約0.15mmの深さで分割溝106を形成して、これを分割溝106に沿って分割して、バリやクラックの発生の有無を目視(倍率約20倍)により確認した。   In the above example, on one side of the wiring board region 102, the dividing groove 106 is formed at a depth of about 0.2 mm on the lower surface of the lower mother board 108 exposed without forming the upper mother board 109, and the upper mother board is formed. A dividing groove 106 was formed at a depth of about 0.15 mm on the upper surface of 109, and this was divided along the dividing groove 106, and the presence or absence of burrs and cracks was visually confirmed (magnification about 20 times).

なお、母基板101は、長辺の長さが110mm、短辺の長さが94mmの長方形状(ダミー領域の幅が縦横それぞれ15mm)であり、配線基板領域102を8×8個の並びに縦横に配列
した。また、比較例として、従来技術の多数個取り配線基板、すなわち、配線基板領域102の搭載部103を開放させる辺においてスリット110および溝部111が形成されない形状の多数個取り配線基板を準備し、同様に分割溝に沿って分割してバリやクラックの発生の有無を確認した。本発明の具体例の多数個取り配線基板、および比較例の多数個取り配線基板ともに、試験した母基板(101)の枚数は10枚(個片の配線基板が約640個)とした。
The mother board 101 has a rectangular shape with a long side length of 110 mm and a short side length of 94 mm (the width of the dummy area is 15 mm in both vertical and horizontal directions). Arranged. Also, as a comparative example, a multi-cavity wiring board of the prior art, that is, a multi-cavity wiring board having a shape in which the slit 110 and the groove 111 are not formed on the side where the mounting portion 103 of the wiring board region 102 is opened, is prepared. It was divided along the dividing groove to confirm the presence or absence of burrs and cracks. In both the multi-cavity wiring board of the specific example of the present invention and the multi-cavity wiring board of the comparative example, the number of mother boards (101) tested was 10 (about 640 individual wiring boards).

その結果、本発明の多数個取り配線基板では、バリやクラックの発生が見られなかったのに対し、比較例の多数個取り配線基板では13個の配線基板においてバリの発生が見られた。これにより、本発明の多数個取り配線基板におけるバリやクラックの発生を抑制する効果を確認することができた。   As a result, burrs and cracks were not observed in the multi-cavity wiring board of the present invention, whereas burrs were observed in 13 wiring boards of the multi-cavity wiring board of the comparative example. Thereby, the effect which suppresses generation | occurrence | production of the burr | flash and crack in the multi-cavity wiring board of this invention was able to be confirmed.

なお、本発明の多数個取り配線基板は、以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えても何ら差し支えない。例えば、母基板101を構成する絶縁層を2層ではなく3層構造として、壁部を2層の絶縁層で構成
するようにしてもよい。さらに、壁部を2層の絶縁層で構成した場合、上側の絶縁層では溝部111の幅を広く形成するとともに下側の絶縁層では溝部111の幅を狭く形成して、各溝部111の中心を合わすように積層することにより、分割時のバリや欠けを抑制できるよう
にしてもよい。
Note that the multi-piece wiring board of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the gist of the present invention. For example, the insulating layer constituting the mother substrate 101 may have a three-layer structure instead of two layers, and the wall portion may be composed of two insulating layers. Further, when the wall portion is composed of two insulating layers, the width of the groove 111 is formed wider in the upper insulating layer and the width of the groove 111 is narrowed in the lower insulating layer, and the center of each groove 111 is formed. It is also possible to suppress burrs and chipping at the time of division by stacking so as to match.

101・・・母基板
102・・・配線基板領域
103・・・搭載部
104・・・配線導体
105・・・境界
106・・・分割溝
108・・・下部母基板
109・・・上部母基板
110・・・スリット
111・・・溝部
101 ... Mother board
102 ・ ・ ・ Wiring board area
103 ・ ・ ・ Mounting part
104 ... Wiring conductor
105 ... Boundary
106 ・ ・ ・ Dividing groove
108 ・ ・ ・ Lower mother board
109 ... Upper mother board
110 ... Slit
111 ・ ・ ・ Groove

Claims (3)

セラミック焼結体からなり、上面の中央部に電子部品の搭載部を有する四角形状の複数の配線基板領域が縦横の並びに配列された平板状の下部母基板と、セラミック焼結体からなり、前記下部母基板の上面に積層された、それぞれの前記配線基板領域において前記搭載部の周辺に壁部を形成するための枠状の上部母基板とからなる母基板の上面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝が形成された多数個取り配線基板であって、前記上部母基板が前記配線基板領域の1つの辺において非形成とされて前記壁部がコの字状とされているとともに、複数の前記配線基板領域が、前記上部母基板が非形成とされた1つの辺同士が隣り合うように配置されており、前記下部母基板に、前記配線基板領域の境界において前記上部母基板が非形成とされた1つの辺に沿って露出した部位に、前記下部母基板を厚み方向に貫通するスリットが形成されているとともに、該スリットに隣接する前記上部母基板の内側面に、該内側面の上端から下端にかけて溝部が形成されていることを特徴とする多数個取り配線基板。 A ceramic sintered body, and a plurality of square-shaped wiring board regions having an electronic component mounting portion in the center of the upper surface, and a plate-like lower mother board arranged vertically and horizontally, and a ceramic sintered body, On the upper surface of the mother board, which is stacked on the upper surface of the lower mother board and is formed of a frame-like upper mother board for forming a wall portion around the mounting portion in each of the wiring board areas, A multi-piece wiring board in which dividing grooves are formed along a boundary, wherein the upper mother board is not formed on one side of the wiring board region, and the wall portion has a U-shape. In addition, a plurality of the wiring board regions are arranged so that one side where the upper mother board is not formed is adjacent to each other, and the lower mother board is arranged at the boundary of the wiring board area with the upper mother board. The substrate is not formed A slit that penetrates the lower mother substrate in the thickness direction is formed in a portion exposed along one side, and an inner surface of the upper mother substrate adjacent to the slit is formed from an upper end of the inner surface. A multi-cavity wiring board characterized in that a groove is formed at the lower end. 前記溝部は、前記上部母基板の前記内側面の上端から下端にかけて、漸次幅が狭くなるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。 2. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the groove is formed so that a width gradually decreases from an upper end to a lower end of the inner side surface of the upper mother board. 前記スリットが、その両端において前記上部母基板の下側に位置する前記下部母基板に延長されていることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。 2. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the slit is extended to the lower mother board located below the upper mother board at both ends thereof.
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