JP2014060354A - Multi-piece wiring board and wiring board - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multi-piece wiring board which inhibits the occurrence of mechanical destruction such as a chip and the like of an insulation layer at a part along an inner periphery of a through hole.SOLUTION: A multi-piece wiring board comprises: a mother board 1 on which a plurality of insulation layers are layered and a plurality of wiring board regions 2 are arranged; split grooves 3 provided on a top face of the mother board 1 and along boundaries of the wiring board regions 2; and through holes provided in the boundaries of the wiring board regions 2. An inner periphery of the through hole in one insulation layer is positioned inside the inner periphery of the through hole in another insulation layer and the inner periphery of the through hole in the one insulation layer protrudes outward. In the one insulation layer, because there is no protruding part to the inside the through hole and near the split groove 3, a chip and the like of an inner peripheral part of the insulation layer caused by a shock at the time of breaking the mother board 1 can be inhibited.

Description

本発明は、半導体素子等の電子部品を搭載するための配線基板となる複数の配線基板領域が母基板に縦横の並びに配列されてなる多数個取り配線基板、および個片の配線基板に関するものである。   The present invention relates to a multi-piece wiring board in which a plurality of wiring board regions serving as wiring boards for mounting electronic components such as semiconductor elements are arranged vertically and horizontally on a mother board, and an individual wiring board. is there.

従来、半導体素子および弾性表面波素子等の電子部品を搭載するために用いられる配線基板として、酸化アルミニウム質焼結体等からなる四角形板状の絶縁基板の上面に電子部品の搭載部が設けられ、この搭載部またはその周辺から絶縁基板の側面または下面にかけて配線導体が設けられてなるものが多用されている。   Conventionally, as a wiring board used for mounting electronic components such as semiconductor elements and surface acoustic wave elements, an electronic component mounting portion is provided on the upper surface of a rectangular plate-shaped insulating substrate made of an aluminum oxide sintered body or the like. In many cases, a wiring conductor is provided from the mounting portion or its periphery to the side surface or the lower surface of the insulating substrate.

配線基板は、一般に、1枚の広面積の母基板から複数個の配線基板を同時集約的に得るようにした、いわゆる多数個取り配線基板の形態で製作されている。多数個取り配線基板は、複数の絶縁層が積層されてなる平板状の母基板に、配線基板となる複数の配線基板領域が縦横の並びに配列形成されて形成されている。このような多数個取り配線基板は、配線基板領域の境界にあらかじめ分割溝が設けられている。この分割溝に沿って母基板が破断されることによって、多数個取り配線基板が個片の配線基板に分割される。   The wiring board is generally manufactured in the form of a so-called multi-cavity wiring board in which a plurality of wiring boards are obtained simultaneously from a single large-area mother board. The multi-cavity wiring board is formed by arranging a plurality of wiring board regions serving as wiring boards in a vertical and horizontal arrangement on a flat mother board formed by laminating a plurality of insulating layers. Such a multi-cavity wiring board is provided with a dividing groove in advance at the boundary of the wiring board region. By breaking the mother board along the dividing groove, the multi-piece wiring board is divided into individual wiring boards.

上記多数個取り配線基板および配線基板においては、絶縁基板の側面の一部に、厚み方向に延びる溝状の部分(溝部)が設けられる場合がある。溝部は、例えば電子部品実装用装置等の各種の装置に配線基板をセットする際の、配線基板の位置決め用の部分である。溝部を、装置の所定の凸部にはめ込むことによって、配線基板を装置の所定位置に位置決めしてセットすることができる。多数個取り配線基板においては、例えば隣り合う配線基板領域の境界に跨るように貫通孔が設けられる。この貫通孔が個片の配線基板における溝部となる。   In the multi-cavity wiring substrate and the wiring substrate, a groove-like portion (groove portion) extending in the thickness direction may be provided on a part of the side surface of the insulating substrate. The groove portion is a portion for positioning the wiring board when the wiring board is set in various devices such as an electronic component mounting device. By fitting the groove into a predetermined convex portion of the device, the wiring board can be positioned and set at a predetermined position of the device. In the multi-cavity wiring board, a through hole is provided so as to straddle the boundary between adjacent wiring board regions, for example. This through hole becomes a groove in the individual wiring board.

特開平8−264946号公報JP-A-8-264946 特開2003−273526号公報JP 2003-273526 A

近年、配線基板の位置決めの精度を高める必要が生じている。これに対しては、複数の絶縁層を貫通する貫通孔内において、いずれか一つの絶縁層の内周を他の絶縁層の内周よりも内側にするという手段が考えられる。この場合、複数の絶縁層の積層ずれ等に起因した、溝部の内周位置のばらつきが抑制できる。   In recent years, it has become necessary to increase the positioning accuracy of the wiring board. In order to cope with this, a means of setting the inner circumference of any one of the insulating layers inside the inner circumference of the other insulating layer in the through hole penetrating the plurality of insulating layers can be considered. In this case, it is possible to suppress variations in the inner peripheral position of the groove due to the stacking deviation of the plurality of insulating layers.

しかしながら、この場合、上記一つの絶縁層において、貫通孔内の内周部分が他の絶縁層よりも内側に突出する。そのため、この突出した部分において、分割溝に沿って母基板が破断するときの衝撃で欠け等の機械的な破壊が生じやすいという新たな問題が生じる。   However, in this case, in the one insulating layer, the inner peripheral portion in the through hole protrudes more inward than the other insulating layers. For this reason, a new problem arises in that the protruding portion is likely to be mechanically broken such as a chip due to an impact when the mother substrate is broken along the dividing groove.

本発明の一つの態様の多数個取り配線基板は、複数の絶縁層が積層されてなり、複数の配線基板領域が縦横の並びに配列された母基板を備えており、前記母基板の上面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝が設けられた多数個取り配線基板であって、前記配線基板領域の境界において、前記複数の絶縁層を連続して貫通する貫通孔が設けられており
、該貫通孔内において、前記複数の絶縁層のうちいずれか一つの絶縁層の内周が、他の絶縁層の内周よりも内側に位置しているとともに、平面視で前記母基板に前記分割溝が設けられている部分においては、前記一つの絶縁層の前記内周の一部が外側に凸状となっている。
The multi-piece wiring board according to one aspect of the present invention includes a mother board in which a plurality of insulating layers are stacked and a plurality of wiring board regions are arranged vertically and horizontally, on the upper surface of the mother board, A multi-piece wiring board provided with dividing grooves along a boundary of the wiring board region, and a through-hole penetrating the plurality of insulating layers is provided at the boundary of the wiring board region. In the through hole, an inner periphery of any one of the plurality of insulating layers is located on an inner side of an inner periphery of the other insulating layer, and the mother substrate is disposed on the mother substrate in a plan view. In the portion where the dividing groove is provided, a part of the inner periphery of the one insulating layer is convex outward.

本発明の一つの態様の配線基板は、上記構成の多数個取り配線基板が、前記分割溝に沿って分割されてなるものである。   A wiring board according to one aspect of the present invention is obtained by dividing the multi-piece wiring board having the above-described configuration along the dividing groove.

本発明の一つの態様の多数個取り配線基板によれば、貫通孔内に突出したいずれか一つの絶縁層の内周の一部が、分割溝が設けられた部分において外側に凸状であることから、分割溝に沿って母基板が分割される時に、その一つの絶縁層における、貫通孔の内周に沿った部分の欠け等の機械的な破壊が抑制され得る。   According to the multi-cavity wiring board of one aspect of the present invention, a part of the inner periphery of any one insulating layer protruding into the through hole is convex outward in the portion where the dividing groove is provided. Therefore, when the mother substrate is divided along the dividing groove, mechanical breakage such as chipping of a portion along the inner periphery of the through hole in the one insulating layer can be suppressed.

上記一つの絶縁層における分割溝が設けられた部分、つまり欠け等が発生しやすい部分において、貫通孔内に突出した部分の突出寸法が小さくなっている。または、突出した部分が存在していない。したがって、貫通孔内の内周部分における絶縁層(絶縁基板)の欠け等の発生が抑制された多数個取り配線基板を提供することができる。   In the portion where the dividing groove is provided in the one insulating layer, that is, the portion where chipping or the like is likely to occur, the protruding dimension of the portion protruding into the through hole is small. Or there is no protruding part. Therefore, it is possible to provide a multi-piece wiring substrate in which the occurrence of chipping of the insulating layer (insulating substrate) in the inner peripheral portion in the through hole is suppressed.

また、本発明の一つの態様の配線基板によれば、上記構成の多数個取り配線基板が個片に分割されてなることから、上記貫通孔が分割されてなる溝部の内周面における、絶縁層の欠け等が抑制された配線基板を提供することができる。   In addition, according to the wiring board of one aspect of the present invention, since the multi-piece wiring board having the above-described configuration is divided into pieces, the insulation on the inner peripheral surface of the groove part in which the through hole is divided is provided. It is possible to provide a wiring board in which layer chipping or the like is suppressed.

本発明の実施形態の多数個取り配線基板を示す上面図である。It is a top view which shows the multi-piece wiring board of embodiment of this invention. (a)は図1に示す多数個取り配線基板の要部を拡大して示す上面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図であり、(c)は(a)のB−B線における断面図である。(A) is an enlarged top view showing a main part of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, (b) is a sectional view taken along line AA in (a), and (c) is (a). It is sectional drawing in the BB line of FIG. 本発明の実施形態の配線基板を示す上面図である。It is a top view which shows the wiring board of embodiment of this invention. 本発明の実施形態の配線基板を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the wiring board of embodiment of this invention. (a)および(b)は、それぞれ図1に示す多数個取り配線基板が個片に分割される時の要部を示す斜視図である。(A) And (b) is a perspective view which shows the principal part when the multi-piece wiring board shown in FIG. 1 is divided | segmented into a piece, respectively. (a)は、図1に示す多数個取り配線基板の変形例における要部を示す上面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図であり、(c)は(a)のB−B線における断面図である。(A) is a top view which shows the principal part in the modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, (b) is sectional drawing in the AA of (a), (c) is ( It is sectional drawing in the BB line of a). 図6(b)に示す多数個取り配線基板の要部における変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the modification in the principal part of the multi-cavity wiring board shown in FIG.6 (b). (a)および(b)は、それぞれ図1に示す多数個取り配線基板の変形例における要部を示す上面図である。(A) And (b) is a top view which shows the principal part in the modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, respectively. 図1に示す多数個取り配線基板の他の変形例における要部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the principal part in the other modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG.

本発明の多数個取り配線基板について、添付の図面を参照して説明する。   A multi-piece wiring board according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の多数個取り配線基板の実施の形態の一例を示す上面図である。また,
図2(a)は図1に示す多数個取り配線基板の要部を拡大して示す上面図であり、図2(b)は図2(a)のA−A線における断面図であり、図2(c)は図2(a)のB−B線における断面図である。また、図3は、本発明の実施形態の配線基板を示す上面図である。配線基板に電子部品(図示せず)が搭載されて、携帯電話、センサー、照明器具および
カメラ等の各種の電子機器において用いられる電子装置が作製される。
FIG. 1 is a top view showing an example of an embodiment of a multi-piece wiring board according to the present invention. Also,
FIG. 2A is a top view showing an enlarged main part of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. FIG.2 (c) is sectional drawing in the BB line of Fig.2 (a). FIG. 3 is a top view showing the wiring board according to the embodiment of the present invention. Electronic components (not shown) are mounted on the wiring board, and electronic devices used in various electronic devices such as mobile phones, sensors, lighting fixtures, and cameras are manufactured.

図1および図2において、1は母基板、2は配線基板領域である。母基板1に複数の配線基板領域2が縦横の並びに配列され、配線基板領域2の境界に分割溝3が設けられて多数個取り配線基板9が基本的に形成されている。また、例えば図1に示す多数個取り配線基板9が分割されて、図3に示す個片の配線基板19が製作されている。母基板1が配線基板領域2の境界に沿って分割されたものが個片の配線基板19の絶縁基体11である。また、多数個取り配線基板9における貫通孔6が、個片の配線基板19の絶縁基体11の側面における溝部16となっている。   In FIG. 1 and FIG. 2, 1 is a mother board and 2 is a wiring board region. A plurality of wiring board regions 2 are arranged vertically and horizontally on the mother board 1, and a dividing groove 3 is provided at the boundary of the wiring board area 2 so that a multi-piece wiring board 9 is basically formed. Further, for example, the multi-piece wiring board 9 shown in FIG. 1 is divided to produce a piece of wiring board 19 shown in FIG. What is obtained by dividing the mother board 1 along the boundary of the wiring board region 2 is an insulating base 11 of the individual wiring board 19. Further, the through-hole 6 in the multi-piece wiring board 9 serves as a groove 16 on the side surface of the insulating base 11 of the piece of wiring board 19.

母基板1は、酸化アルミニウム質焼結体,ガラスセラミック焼結体,窒化アルミニウム質焼結体,炭化珪素質焼結体,窒化珪素質焼結体またはムライト質焼結体等のセラミック焼結体からなる複数の絶縁層1a、1b、1c(1a〜1c)が積層されて形成されている。なお、以下の説明において、特に積層位置を特定することなく、単に絶縁層(符号なし)という場合がある。   The mother substrate 1 is a ceramic sintered body such as an aluminum oxide sintered body, a glass ceramic sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide sintered body, a silicon nitride sintered body, or a mullite sintered body. A plurality of insulating layers 1a, 1b, 1c (1a to 1c) made of In the following description, there is a case where the layer is simply referred to as an insulating layer (no symbol) without particularly specifying a stacking position.

母基板1は、例えば各絶縁層1a〜1cが酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作することができる。   For example, if each of the insulating layers 1a to 1c is made of an aluminum oxide sintered body, the mother substrate 1 can be manufactured as follows.

まず、酸化アルミニウムを主成分とし、酸化ケイ素や酸化マグネシウム、酸化カルシウム等の粉末を添加した原料粉末を、有機溶剤、バインダと混練するとともに、ドクターブレード法やリップコータ法等の成形方法でシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを作製する。次に、タングステンやモリブデン等の金属材料の粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して、金属ペーストを作製する。次に、配線基板領域2となる領域のそれぞれに、所定の配線導体4のパターンにスクリーン印刷法等の印刷法で金属ペーストを印刷する。そして、複数のセラミックグリーンシートを積層し、たて積層体とした後、母基板1の外形寸法に切断し、この積層体を約1300〜1500℃程度の焼成温度で焼成することによって、母基板1を製作することができる。   First, a raw material powder containing aluminum oxide as a main component and added with powders such as silicon oxide, magnesium oxide, and calcium oxide is kneaded with an organic solvent and a binder, and formed into a sheet by a molding method such as a doctor blade method or a lip coater method. Forming a plurality of ceramic green sheets. Next, a metal paste such as tungsten or molybdenum is kneaded with an organic solvent and a binder to produce a metal paste. Next, a metal paste is printed on a pattern of a predetermined wiring conductor 4 by a printing method such as a screen printing method in each region to be the wiring board region 2. Then, after laminating a plurality of ceramic green sheets to form a vertically laminated body, it is cut into the outer dimensions of the mother board 1, and this laminated body is fired at a firing temperature of about 1300-1500 ° C. 1 can be made.

図1および図2に示す例において、配線基板領域2に配線導体4が設けられている。配線導体4は、例えば配線基板領域2に電子部品(図示せず)が搭載されるときに、電子部品と電気的に接続されるパッド等の接続用の導体として機能する。   In the example shown in FIGS. 1 and 2, a wiring conductor 4 is provided in the wiring board region 2. For example, when an electronic component (not shown) is mounted on the wiring board region 2, the wiring conductor 4 functions as a connection conductor such as a pad that is electrically connected to the electronic component.

配線導体4は、例えば、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、金または白金等の金属材料によって形成されている。配線導体4は、これらの金属材料の合金で形成されていてもよい。配線導体4は、メタライズ層、めっき層または蒸着層等の薄膜層の形態で、母基板1に被着されている。配線導体4が、タングステンのメタライズ層からなる場合であれば、以下のようにして配線導体4を設けることができる。すなわち、タングステンの粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して作製した金属ペースト作製し、次に、この金属ペーストを母基板1となるセラミックグリーンシートの所定位置に印刷し、その後、セラミックグリーンシートと金属ペーストとを同時焼成することによって、母基板1に配線導体4を設けることができる。   The wiring conductor 4 is formed of a metal material such as tungsten, molybdenum, manganese, copper, silver, palladium, gold, or platinum. The wiring conductor 4 may be formed of an alloy of these metal materials. The wiring conductor 4 is attached to the mother board 1 in the form of a thin film layer such as a metallized layer, a plating layer or a vapor deposition layer. If the wiring conductor 4 is made of a metallized layer of tungsten, the wiring conductor 4 can be provided as follows. That is, a metal paste prepared by kneading tungsten powder with an organic solvent and a binder is manufactured, and then this metal paste is printed at a predetermined position on the ceramic green sheet to be the mother substrate 1, and then the ceramic green sheet and the metal By simultaneously baking the paste, the wiring conductor 4 can be provided on the mother board 1.

母基板1に配列された複数の配線基板領域2は、それぞれが個片の配線基板19となる領域である。分割溝3が設けられた部分において母基板1が破断して分割されることにより、例えば図3に示すような配線基板19が同時集約的に複数製作される。絶縁基板11に配線導体4が被着されて、個片の配線基板19が基本的に形成されている。   The plurality of wiring board regions 2 arranged on the mother board 1 are areas that each become the individual wiring board 19. For example, a plurality of wiring boards 19 as shown in FIG. 3 are produced simultaneously and collectively by breaking the mother board 1 at the portion where the dividing grooves 3 are provided. A wiring conductor 4 is attached to an insulating substrate 11 to basically form a single wiring substrate 19.

個片の配線基板19が電子部品搭載用基板として使用される場合には、配線基板領域2の上面の中央部に電子部品の搭載部(符号なし)が設けられている。搭載部は、例えば図1
および図3において配線導体4を取り囲む枠状の破線の内側である。なお、母基板1は、このような電子部品を収容する凹部(いわゆるキャビティ)を複数の配線基板領域2のそれぞれの上面等に有するものでもよい。この場合には、凹部の底面の一部または全部が、電子部品の搭載部となる。
When the individual wiring substrate 19 is used as an electronic component mounting substrate, an electronic component mounting portion (no symbol) is provided at the center of the upper surface of the wiring substrate region 2. For example, the mounting portion is shown in FIG.
And it is inside the frame-shaped broken line surrounding the wiring conductor 4 in FIG. The mother board 1 may have a recess (so-called cavity) that accommodates such electronic components on each of the upper surfaces of the plurality of wiring board regions 2. In this case, a part or all of the bottom surface of the concave portion becomes a mounting portion for the electronic component.

配線基板19(配線基板領域2)に搭載される電子部品(図示せず)としては、ICやLSI等の半導体集積回路素子、およびLED(発光ダイオード)やPD(フォトダイオード),CCD(電荷結合素子)等の光半導体素子を含む半導体素子、弾性表面波素子や水晶振動子等の圧電素子、容量素子、抵抗器、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン(いわゆるMEMS素子)等の種々の電子部品が挙げられる。   Electronic components (not shown) mounted on the wiring board 19 (wiring board region 2) include semiconductor integrated circuit elements such as IC and LSI, LED (light emitting diode), PD (photodiode), CCD (charge coupled). A semiconductor device including an optical semiconductor element such as an element), a piezoelectric element such as a surface acoustic wave element or a crystal resonator, a capacitive element, a resistor, or a micromachine (so-called MEMS) in which a minute electromechanical mechanism is formed on the surface of a semiconductor substrate. Various electronic components such as an element) can be mentioned.

電子部品は、例えばエポキシ系樹脂,ポリイミド系樹脂,アクリル系樹脂,シリコーン系樹脂,ポリエーテルアミド系樹脂等の樹脂接着剤や、Au−Sn,Sn−Ag−Cu,Sn−Cu,Sn−Pb等のはんだや、ガラス等で配線基板19の搭載部に接合される。   Electronic components include, for example, resin adhesives such as epoxy resins, polyimide resins, acrylic resins, silicone resins, polyether amide resins, Au-Sn, Sn-Ag-Cu, Sn-Cu, Sn-Pb. It is joined to the mounting portion of the wiring board 19 with solder such as glass or glass.

多数個取り配線基板9の母基板1の上面に分割溝3が設けられている。この実施の形態の例においては、複数の絶縁層1a〜1cのうち最上層の絶縁層1aに、配線基板領域2の境界に沿って分割溝3が設けられている。分割溝3が設けられた部分で母基板1に曲げ応力を加えることによって、分割溝3に沿って母基板1を破断させる。これにより、多数個取り配線基板9を分割して、複数の配線基板領域2をそれぞれ個片の配線基板19とすることができる。   A dividing groove 3 is provided on the upper surface of the mother board 1 of the multi-piece wiring board 9. In the example of this embodiment, the dividing groove 3 is provided along the boundary of the wiring board region 2 in the uppermost insulating layer 1a among the plurality of insulating layers 1a to 1c. By applying a bending stress to the mother substrate 1 at the portion where the dividing grooves 3 are provided, the mother substrate 1 is broken along the dividing grooves 3. As a result, the multi-cavity wiring board 9 can be divided into a plurality of wiring board regions 2 as individual wiring boards 19.

分割溝3は、母基板1となるセラミックグリーンシートの積層体の上面等の主面に、配線基板領域2の境界に沿ってカッター刃等で切り込みを入れることによって設けることができる。   The dividing groove 3 can be provided by making a cut with a cutter blade or the like along the boundary of the wiring board region 2 in the main surface such as the upper surface of the laminate of ceramic green sheets to be the mother substrate 1.

なお、分割溝3の深さは、最上層の絶縁層1aを超えて上から2層目の絶縁層1bに達するような深さであっても構わない。ただし、近年の電子装置における薄型化に伴い、母基板1の厚みが、例えば約0.3mm程度以下と薄くなる傾向にあるため、分割溝3が深す
ぎると、母基板1の機械的な強度が低下する可能性がある。この場合、母基板1における不用意な割れ等の不具合を生じやすくなる可能性がある。母基板1の薄型化にともない、絶縁層の積層数が少なくなる。したがって、特に母基板1の薄型化が図られているような場合には、最上層の絶縁層1aのみに分割溝3が設けられていることが好ましい。
The depth of the dividing groove 3 may be such that it reaches the second insulating layer 1b from the top beyond the uppermost insulating layer 1a. However, with the recent thinning of electronic devices, the thickness of the mother board 1 tends to be as thin as about 0.3 mm or less, so that if the dividing groove 3 is too deep, the mechanical strength of the mother board 1 is increased. May be reduced. In this case, there is a possibility that problems such as inadvertent cracking in the mother board 1 are likely to occur. As the mother substrate 1 becomes thinner, the number of insulating layers is reduced. Therefore, especially when the mother substrate 1 is made thin, it is preferable that the dividing groove 3 is provided only in the uppermost insulating layer 1a.

図1に示す例において、母基板1の外周部にダミー領域5が設けられている。ダミー領域5は、多数個取り配線基板9の取り扱いを容易とすること等のために設けられている。分割溝3が設けられている配線基板領域2の境界は、配線基板領域2同士の境界、および配線基板領域2とダミー領域5との境界である。   In the example shown in FIG. 1, a dummy region 5 is provided on the outer peripheral portion of the mother board 1. The dummy area 5 is provided to facilitate handling of the multi-piece wiring board 9. The boundary between the wiring board regions 2 provided with the dividing grooves 3 is a boundary between the wiring board regions 2 and a boundary between the wiring substrate region 2 and the dummy region 5.

配線基板領域2の境界において、複数の絶縁層1a〜1cを連続して貫通する貫通孔6が設けられている。図1に示す例においては、配線基板領域2とダミー領域5との境界にも貫通孔6が設けられている。   At the boundary of the wiring board region 2, a through hole 6 that continuously penetrates the plurality of insulating layers 1 a to 1 c is provided. In the example shown in FIG. 1, a through hole 6 is also provided at the boundary between the wiring board region 2 and the dummy region 5.

貫通孔6は、多数個取り配線基板9または個片の配線基板19を、各種の加工用等の機器に位置決めしてセットするときの位置合わせ用の部位である。個片の配線基板19においては、貫通孔6が分割されてなる溝部16が、絶縁基板11の側面に設けられている。   The through-hole 6 is a part for positioning when the multi-piece wiring board 9 or the individual wiring board 19 is positioned and set on various processing devices. In the individual wiring substrate 19, a groove 16 formed by dividing the through hole 6 is provided on the side surface of the insulating substrate 11.

上記機器は、例えば電子部品実装用の実装機、研磨機または電気特性等の各種の加工用、検査用等の機器またはジグ等である。この貫通孔6(溝部16)を、例えば図4に示すよ
うに、機器またはジグの凸状部にはめ込めば、機器またはジグ等に対して配線基板19を所定位置に位置決めセットすることができる。
The apparatus is, for example, a mounting machine for mounting electronic components, a polishing machine, or a machine for various processing such as electrical characteristics, an inspection tool, or a jig. For example, as shown in FIG. 4, if the through hole 6 (groove portion 16) is fitted into the convex portion of the device or jig, the wiring board 19 can be positioned and set at a predetermined position with respect to the device or jig.

貫通孔6は、例えば以下のようにして設けることができる。すなわち、母基板1となる複数のセラミックグリーンシートのそれぞれに、配線基板領域2の境界の所定部位に貫通孔6(部分貫通孔)を設ける。次に、それぞれのセラミックグリーンシートに設けた部分貫通孔同士が上下につながるようにして複数のセラミックグリーンシートを積層し、焼成することによって、母基板1に貫通孔6を設けることができる。セラミックグリーンシートに部分貫通孔を設ける方法としては、金属ピン等を含む打ち抜き加工用の金型を用いた機械的な打ち抜き加工およびレーザ加工等が挙げられる。   The through hole 6 can be provided as follows, for example. That is, a through hole 6 (partial through hole) is provided in a predetermined portion of the boundary of the wiring board region 2 in each of the plurality of ceramic green sheets serving as the mother board 1. Next, the plurality of ceramic green sheets are stacked and fired so that the partial through holes provided in the respective ceramic green sheets are connected to each other vertically, whereby the through holes 6 can be provided in the mother substrate 1. Examples of the method of providing the partial through hole in the ceramic green sheet include mechanical punching using a punching die including a metal pin and the like, laser processing, and the like.

複数の絶縁層1a〜1cは、貫通孔6内において、いずれか一つの絶縁層の内周が、他の絶縁層の内周よりも内側に位置している。図1に示す例においては、その一つの絶縁層が最上層の絶縁層1aである。つまり、貫通孔6内において、最上層の絶縁層1aの内周が、他の絶縁層1b、1cの内周よりも内側に位置している。言い換えれば、貫通孔6内において、いずれか一つの絶縁層の内周、例えば最上層の絶縁層1aの内周が最も内側に位置している。   In the plurality of insulating layers 1 a to 1 c, the inner periphery of any one of the insulating layers is located inside the inner periphery of the other insulating layer in the through hole 6. In the example shown in FIG. 1, the one insulating layer is the uppermost insulating layer 1a. That is, in the through hole 6, the inner circumference of the uppermost insulating layer 1a is located inside the inner circumference of the other insulating layers 1b and 1c. In other words, in the through hole 6, the inner circumference of any one of the insulating layers, for example, the inner circumference of the uppermost insulating layer 1a is located on the innermost side.

一つの絶縁層として最上層の絶縁層1aの内周が最も内側に位置していることから、貫通孔6の内周面の位置は、常に貫通孔6内における最上層の絶縁層1aの内周位置になる。そのため、例えば複数の絶縁層1a〜1cの間で積層位置のずれ(積層ずれ)等が生じたとしても、この積層ずれに起因して貫通孔6の内周の位置がばらつくようなことが防止され得る。したがって、貫通孔6の内周位置がばらつくようなことが防止され、個片の配線基板19における溝部16の内周の位置精度が高い。これにより、個片の配線基板19の溝部16の内周位置も個片の配線基板19の機器等に対する位置決めの精度が高く確保できる。   Since the inner circumference of the uppermost insulating layer 1 a as one insulating layer is located on the innermost side, the position of the inner circumferential surface of the through hole 6 is always within the innermost insulating layer 1 a in the through hole 6. It becomes a circumferential position. Therefore, for example, even if a stacking position shift (stacking shift) or the like occurs between the plurality of insulating layers 1a to 1c, the inner peripheral position of the through-hole 6 is prevented from varying due to the stacking shift. Can be done. Therefore, the inner peripheral position of the through hole 6 is prevented from varying, and the positional accuracy of the inner periphery of the groove 16 in the individual wiring board 19 is high. As a result, the inner peripheral position of the groove portion 16 of the individual wiring board 19 can also ensure high positioning accuracy of the individual wiring board 19 with respect to the device or the like.

なお、一つの絶縁層を最上層の絶縁層1aとしたことによる上記位置決めに関する効果は、最上層の絶縁層1a以外の他の絶縁層1b、1cを上記一つの絶縁層とした場合であっても同様に得ることができる。   Note that the effect on the positioning due to the fact that one insulating layer is the uppermost insulating layer 1a is the case where the other insulating layers 1b and 1c other than the uppermost insulating layer 1a are the one insulating layer. Can be obtained as well.

上記のような複数の絶縁層1a〜1cの内周位置の差に応じて、貫通孔6内の最上層の絶縁層1aの内周が、貫通孔6内に凸状に突出している。また、平面視で母基板1に分割溝3が設けられた部分において、最上層の絶縁層1aにおける上記内周の一部が、平面視で外側に凸状である。   The inner periphery of the uppermost insulating layer 1a in the through hole 6 protrudes into the through hole 6 in a convex shape according to the difference in the inner peripheral positions of the plurality of insulating layers 1a to 1c as described above. Further, in the portion where the dividing groove 3 is provided in the mother substrate 1 in a plan view, a part of the inner circumference in the uppermost insulating layer 1a is convex outward in the plan view.

平面視で母基板1に分割溝3が設けられた部分において、最上層の絶縁層1aの内周の一部が、外側に凸状であることから、分割溝3に沿って母基板1が分割される時に、貫通孔6内に突出した、最上層の絶縁層1aの貫通孔6内に突出した部分1aaにおける欠け等の機械的な破壊が抑制され得る。   In a portion where the dividing groove 3 is provided in the mother substrate 1 in a plan view, a part of the inner periphery of the uppermost insulating layer 1 a is convex outward, so that the mother substrate 1 is formed along the dividing groove 3. When divided, mechanical breakage such as chipping in the portion 1aa protruding into the through hole 6 of the uppermost insulating layer 1a protruding into the through hole 6 can be suppressed.

つまり、最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の内周において突出した部分1aaは、分割溝3が設けられた部分、つまり欠け等が発生しやすい部分では、例えば図5(a)に示すように、突出した部分1aaの突出の寸法が小さくなっているか、または、突出した部分1aaが存在していない。したがって、例えば図5(b)に示すように母基板1を破断させたとしても、欠け等が発生しにくい。したがって、このような機械的な破壊の発生が抑制された多数個取り配線基板9を提供することができる。なお、図5(a)および(b)は、それぞれ図1に示す多数個取り配線基板9が個片に分割される時の要部を示す斜視図である。図5において図1〜図3と同様の部位には同様の符号を付している。   That is, the portion 1aa protruding from the inner periphery of the through hole 6 in the uppermost insulating layer 1a is a portion where the dividing groove 3 is provided, that is, a portion where chipping or the like is likely to occur, as shown in FIG. In addition, the protruding dimension of the protruding part 1aa is small or the protruding part 1aa does not exist. Therefore, for example, even if the mother substrate 1 is broken as shown in FIG. Therefore, it is possible to provide the multi-piece wiring board 9 in which the occurrence of such mechanical destruction is suppressed. FIGS. 5A and 5B are perspective views showing the main part when the multi-piece wiring board 9 shown in FIG. 1 is divided into pieces. In FIG. 5, parts similar to those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals.

なお、最上層の絶縁層1aを含むそれぞれの絶縁層の厚みは、例えば約50〜500μm程
度である。電子装置としての薄型化に応じた配線基板19の薄型化の例として、絶縁基板11(母基板1)の厚みが約0.5mm(500μm)以下とされる場合がある。この場合、例えば絶縁層の積層数が約3〜10層程度であるときには、各絶縁層の厚みが約50〜100μm程度
の範囲に設定される。このような薄型化された配線基板19を作製する多数個取り配線基板19における母基板1は、分割溝3が深すぎると、分割溝3が設けられた部分、およびその周囲の部分における機械的な強度の低下により、不用意な割れ等が生じやすくなる可能性がある。例えばこのような場合に、分割溝3の深さが、最上層の絶縁層1aの厚み方向の途中までの深さに設定される。
The thickness of each insulating layer including the uppermost insulating layer 1a is, for example, about 50 to 500 μm. As an example of the thinning of the wiring board 19 corresponding to the thinning as an electronic device, the thickness of the insulating substrate 11 (mother board 1) may be about 0.5 mm (500 μm) or less. In this case, for example, when the number of laminated insulating layers is about 3 to 10, the thickness of each insulating layer is set to a range of about 50 to 100 μm. When the dividing groove 3 is too deep, the mother board 1 in the multi-piece wiring board 19 for producing such a thinned wiring board 19 is mechanical in the portion where the dividing groove 3 is provided and in the surrounding portion. There is a possibility that inadvertent cracking or the like is likely to occur due to a significant decrease in strength. For example, in such a case, the depth of the dividing groove 3 is set to a depth halfway in the thickness direction of the uppermost insulating layer 1a.

特に、分割溝3の深さが、最上層の絶縁層1aの途中までの深さである場合に、分割溝3が設けられた部分において、最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の内周の一部が、平面視で外側に凸状であることによる効果が大きい。すなわち、このような場合には、最上層の絶縁層1aの突出した部分1aaのうち分割溝3の直下の薄い部分が破断する時に、この薄い部分において欠け等の不具合が発生しやすい。これに対して、上記のように、分割溝3が設けられた部分では突出した部分1aaが短くなるか、または存在しないようにされていることによって、欠け等の発生が有効に抑制される。   In particular, when the depth of the dividing groove 3 is a depth halfway through the uppermost insulating layer 1a, the inner periphery of the through hole 6 in the uppermost insulating layer 1a is provided in the portion where the dividing groove 3 is provided. There is a great effect that a part of is convex outward in plan view. That is, in such a case, when the thin portion immediately below the dividing groove 3 of the protruding portion 1aa of the uppermost insulating layer 1a breaks, a defect such as a chip is likely to occur in the thin portion. In contrast, as described above, in the portion where the dividing groove 3 is provided, the protruding portion 1aa is shortened or does not exist, so that occurrence of chipping or the like is effectively suppressed.

最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の内周を上記形態とするには、最上層の絶縁層1aとなるセラミックグリーンシートに部分貫通孔(符号なし)を設ける時に、その部分貫通孔の形状を、上記のような最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の形状とすればよい。この場合、例えば金型を用いた加工で貫通孔6を設けるときには、金型による打ち抜き形状を、この最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6(部分貫通孔)の形状とする。   In order to make the inner periphery of the through-hole 6 in the uppermost insulating layer 1a into the above-described form, when a partial through-hole (not indicated) is provided in the ceramic green sheet to be the uppermost insulating layer 1a, the shape of the partial through-hole May be the shape of the through hole 6 in the uppermost insulating layer 1a as described above. In this case, for example, when the through-hole 6 is provided by processing using a mold, the punched shape by the mold is the shape of the through-hole 6 (partial through-hole) in the uppermost insulating layer 1a.

図6(a)〜(c)は、図1に示す多数個取り配線基板9の変形例における要部を示す上面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図であり、(c)は(a)のB−B線における断面図である。図6において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。図6(a)〜(c)は、それぞれ図2(a)〜(c)と対応していて、多数個取配線基板9における同様の部位を拡大して示している。   6 (a) to 6 (c) are top views showing a main part in a modification of the multi-cavity wiring board 9 shown in FIG. 1, and FIG. 6 (b) is a sectional view taken along the line AA in FIG. (C) is a sectional view taken along line BB in (a). 6, parts similar to those in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals. FIGS. 6A to 6C correspond to FIGS. 2A to 2C, respectively, and show the same parts in the multi-piece wiring board 9 in an enlarged manner.

図6に示す例においては、母基板1の厚み方向の中央部に位置する絶縁層1bの内周が、他の絶縁層1a、1cの内周よりも内側に位置している。このような場合でも、前述したように、個片の配線基板19等の位置決め精度を高めることが可能である。   In the example shown in FIG. 6, the inner periphery of the insulating layer 1b located in the central portion of the mother substrate 1 in the thickness direction is located inside the inner periphery of the other insulating layers 1a and 1c. Even in such a case, as described above, it is possible to increase the positioning accuracy of the individual wiring board 19 and the like.

また、いずれか一つの絶縁層としての中央部の絶縁層1bの貫通孔6内の内周の一部が、平面視で母基板1に分割溝3が設けられた部分において外側に凸状であることから、分割溝3に沿って母基板1が分割される時に、その中央部の絶縁層1bにおける、貫通孔6内に突出した部分1bbにおける欠け等の機械的な破壊が抑制され得る。   Further, a part of the inner periphery in the through hole 6 of the central insulating layer 1b as any one insulating layer is convex outward in a portion where the dividing groove 3 is provided in the mother substrate 1 in a plan view. For this reason, when the mother substrate 1 is divided along the dividing groove 3, mechanical breakage such as chipping in the portion 1bb protruding into the through hole 6 in the insulating layer 1b in the center can be suppressed.

なお、上記中央部の絶縁層1b等の、最上層の絶縁層1a以外の絶縁層の内周が上記のように貫通孔6内に突出している場合には、その中央部の絶縁層1b等まで達する深さで分割溝3が設けられていることが望ましい。   When the inner periphery of the insulating layer other than the uppermost insulating layer 1a such as the central insulating layer 1b protrudes into the through hole 6 as described above, the central insulating layer 1b or the like It is desirable that the dividing groove 3 is provided at a depth reaching up to.

すなわち、例えば図7に示すように分割溝3が最上層の絶縁層1aのみに設けられているときに、中央部の絶縁層1bの内周が、他の絶縁層1a、1cの内周よりも内側であると、その中央部の絶縁層1bの内周の一部を上記のように外側に凸状としたとしても、中央部の絶縁層1bbの突出した部分1bbにおける欠け等を抑制する効果が低くなる可能性がある。これは、分割溝3の底部を起点として進む母基板1の破断の進行が突出した部分に向かう可能性があることによる。なお、図7は、図6(b)の変形例(図1に示す多数個取り配線基板の他の変形例における要部)を示す断面図である。   That is, for example, as shown in FIG. 7, when the dividing groove 3 is provided only in the uppermost insulating layer 1a, the inner periphery of the insulating layer 1b at the center is more than the inner periphery of the other insulating layers 1a and 1c. If it is also inside, even if a part of the inner periphery of the insulating layer 1b at the center is convex outward as described above, chipping or the like at the protruding portion 1bb of the insulating layer 1bb at the center is suppressed. May be less effective. This is because there is a possibility that the progress of the breakage of the mother substrate 1 proceeding from the bottom of the dividing groove 3 is directed to the protruding portion. FIG. 7 is a cross-sectional view showing the modification of FIG. 6B (the main part of another modification of the multi-cavity wiring board shown in FIG. 1).

最上層の絶縁層1aを上記一つの絶縁層とした麗において、最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の内周のうち、外側に凸状とされた一部の先端(突出した部分1aaのうち最も外側に位置する部位)は、他の絶縁層1b、1cにおける貫通孔6の内周と同じ位置であることが好ましい。この場合には、分割溝3が設けられた部分において、突出した部分1aaが存在しないものとなる。したがって、上記のように、最上層の絶縁層1aにおける欠け等の不具合が、より効果的に抑制される。なお、この場合、分割溝3が、凸状の部分の先端を通ることが前提になる。   In the case where the uppermost insulating layer 1a is the one insulating layer described above, a part of the inner periphery of the through hole 6 in the uppermost insulating layer 1a that is convex outwardly (the protruding portion 1aa Of these, the outermost part) is preferably at the same position as the inner periphery of the through hole 6 in the other insulating layers 1b and 1c. In this case, the protruding portion 1aa does not exist in the portion where the dividing groove 3 is provided. Therefore, as described above, defects such as chipping in the uppermost insulating layer 1a are more effectively suppressed. In this case, it is assumed that the dividing groove 3 passes through the tip of the convex portion.

最上層の絶縁層1aの貫通孔6内の内周が外側に凸状とされた一部において、他の絶縁層1b、1cにおける貫通孔6の内周と同じ位置であるというのは、正確に同じ位置である場合の他に、両者の位置に若干のずれがある場合も含む。最上層の絶縁層1aの内周が、他の絶縁層1b、1cの内周よりも外側に位置していてもよい。両者の位置のずれが、例えば平面視において20μm程度以下であれば、突出した部分1aaが存在しないものとみなすことは可能であり、上記欠け等を抑制する効果を得ることができる。   It is accurate that the inner periphery of the through hole 6 of the uppermost insulating layer 1a is located at the same position as the inner periphery of the through hole 6 in the other insulating layers 1b and 1c in a part where the inner periphery is convex outward. In addition to the case where the positions are the same, the case where there is a slight deviation between the positions of the two is also included. The inner periphery of the uppermost insulating layer 1a may be located outside the inner periphery of the other insulating layers 1b and 1c. If the positional deviation between the two is, for example, about 20 μm or less in plan view, it can be considered that the protruding portion 1aa does not exist, and an effect of suppressing the above-described chipping or the like can be obtained.

図1および図2に示す例において、最上層の絶縁層1aにおける貫通孔6の内周の凸状とされた一部は、平面視において台形状である。このような場合には、貫通孔6の内周を凸状とする加工が容易である。また、最上層の絶縁層1aのうち貫通孔6内に突出した部分1aaは、分割溝3に沿って母基板1が破断するときにより大きな衝撃が加わりやすい内周に近い部位ほど、隣り合う絶縁層間の距離が大きい。そのため、最上層の絶縁層1aにおける欠け等の不具合がより効果的に抑制され得る。   In the example shown in FIGS. 1 and 2, a part of the uppermost insulating layer 1 a that is the convex shape on the inner periphery of the through hole 6 has a trapezoidal shape in plan view. In such a case, the process which makes the inner periphery of the through-hole 6 convex is easy. Further, the portion 1aa that protrudes into the through hole 6 in the uppermost insulating layer 1a is adjacent to the inner peripheral portion where a larger impact is more likely to be applied when the mother substrate 1 breaks along the dividing groove 3. The distance between the layers is large. Therefore, defects such as chipping in the uppermost insulating layer 1a can be more effectively suppressed.

なお、最上層の絶縁層1aの貫通孔6の内において凸状とされた一部は、平面視において、必ずしも台形状である必要はなく、長方形状、円弧状(扇形状)または楕円弧状等の他の形状、またはこれらの形状を組み合わせた形状等であっても構わない。   Note that a part of the through hole 6 of the uppermost insulating layer 1a that is convex does not necessarily have a trapezoidal shape in plan view, but a rectangular shape, an arc shape (fan shape), an elliptical arc shape, or the like. Other shapes or a combination of these shapes may also be used.

また、図1および図2に示す例において、貫通孔6の平面視における形状は、四角形状である。また、貫通孔6の互いに対向し合う二つの辺の中央を通る位置に分割溝3が設けられている。また、貫通孔6の角部分が円弧状に成形されている。平面視における貫通孔6の形状が上記形状である場合には、例えば、貫通孔6を設けることが容易であること、貫通孔6に隣接した部分における母基板1のクラック等の破壊がより効果的に防止され得ること等の効果が得られる。また、個片の配線基板19の側面に設けられる溝部16の幅が広く確保されやすいため、溝部16に機器等の凸状部をはめ込んで位置決めする作業も容易である。つまり、電子部品の搭載時の作業性がより高い配線基板19を作製することが可能な多数個取り配線基板9となる。   Moreover, in the example shown in FIG. 1 and FIG. 2, the shape of the through hole 6 in plan view is a quadrangular shape. Further, the dividing groove 3 is provided at a position passing through the center of two sides of the through hole 6 facing each other. Moreover, the corner | angular part of the through-hole 6 is shape | molded in circular arc shape. When the shape of the through-hole 6 in plan view is the above shape, for example, it is easy to provide the through-hole 6, and destruction of the mother substrate 1 in a portion adjacent to the through-hole 6 is more effective. The effect that it can be prevented automatically is acquired. Further, since the width of the groove portion 16 provided on the side surface of the individual wiring board 19 is easily secured, it is easy to position the groove portion 16 by fitting a convex portion such as a device. In other words, the multi-piece wiring board 9 is capable of producing the wiring board 19 having higher workability when mounting electronic components.

この場合、それぞれの配線基板19における溝部16の寸法、形状および位置を同じように揃えるために、貫通孔6の互いに対向し合う二つの辺の中央を通る位置に分割溝3が設けられている。   In this case, in order to make the dimensions, shapes, and positions of the groove portions 16 in the respective wiring boards 19 the same, the dividing grooves 3 are provided at positions passing through the centers of the two opposite sides of the through hole 6. .

前述したように、上記いずれかの構成の多数個取り配線基板9が、分割溝3に沿って分割されて、本発明の実施形態の配線基板である、個片の配線基板19が作製される。配線基板19は、絶縁基板11の上面に配線導体4が設けられ、絶縁基板11の側面に溝部16が設けられている。   As described above, the multi-piece wiring board 9 having any one of the above-described configurations is divided along the dividing groove 3 to produce a piece of wiring board 19 which is the wiring board according to the embodiment of the present invention. . The wiring substrate 19 is provided with the wiring conductor 4 on the upper surface of the insulating substrate 11 and the groove 16 on the side surface of the insulating substrate 11.

このような実施形態の配線基板19によれば、上記構成の多数個取り配線基板9が個片に分割されてなることから、上記貫通孔6が分割されてなる溝部16の内周面における、絶縁層1aの欠け等が抑制された配線基板19を提供することができる。   According to the wiring board 19 of such an embodiment, since the multi-piece wiring board 9 having the above-described configuration is divided into pieces, the inner peripheral surface of the groove portion 16 in which the through hole 6 is divided, It is possible to provide the wiring board 19 in which the chipping of the insulating layer 1a is suppressed.

配線基板19は、上面に電子部品が搭載される電子部品搭載用の基板として使用される。
搭載される電子部品は、例えば前述した半導体素子等を含む各種の電子部品である。配線基板19に電子部品が搭載され、電子部品と配線導体4とがボンディングワイヤまたははんだ等の導電性接続際を介して電気的に接続される。必要に応じてこの電子部品が蓋体または封止用樹脂等で気密封止されて、半導体装置、センサー装置または撮像装置等の電子装置が作製される。作製された電子装置は、上記各種電子機器に部品として実装される。
The wiring board 19 is used as an electronic component mounting board on which electronic parts are mounted.
The electronic components to be mounted are various electronic components including, for example, the semiconductor elements described above. An electronic component is mounted on the wiring board 19, and the electronic component and the wiring conductor 4 are electrically connected via a conductive connection such as a bonding wire or solder. If necessary, this electronic component is hermetically sealed with a lid or a sealing resin to produce an electronic device such as a semiconductor device, a sensor device, or an imaging device. The manufactured electronic device is mounted as a component on the various electronic devices.

これらの、配線基板19に対する電子部品の搭載、搭載した電子部品の気密封止、または電子装置の実装等の際に、溝部16が、位置決め用の部位として使用される。溝部16に、前述したように加工用の機器またはジグの凸状部がはめ込まれて、配線基板19または電子装置の位置決めが行なわれる。この場合、溝部16が平面視で四角形状(長辺が絶縁基板11の外辺の長さ方向に沿う長方形状)であれば、溝部16の幅が広いので、凸状部のはめ込みが容易である。また、平面視で四角形状の溝部16の角部分が円弧状であれば、この角部分から絶縁基板11の内部に向かってクラック等の機械的な破壊が生じる可能性が低減される。   The groove portion 16 is used as a positioning portion when mounting an electronic component on the wiring board 19, hermetically sealing the mounted electronic component, or mounting an electronic device. As described above, the processing device or the convex portion of the jig is fitted into the groove portion 16, and the wiring board 19 or the electronic device is positioned. In this case, if the groove 16 has a quadrangular shape in plan view (the long side is a rectangular shape along the length direction of the outer side of the insulating substrate 11), the groove 16 is wide so that the convex portion can be easily fitted. is there. Further, when the corner portion of the rectangular groove portion 16 is arcuate in plan view, the possibility of mechanical breakage such as a crack from the corner portion toward the inside of the insulating substrate 11 is reduced.

なお、本発明の多数個取り配線基板および配線基板は、上記実施の形態の多数個取り配線基板9および配線基板19に限定されるものではなく、種々の変形は可能である。例えば図8(a)および(b)に示すように、貫通孔6は、平面視で円形状または楕円形状等の形状であってもよい。なお、図8(a)および(b)は、それぞれ図1に示す多数個取り配線基板9の変形例における要部を示す平面図である。図8において図1と同様の部位には同様の符号を付している。貫通孔6が円形状または楕円形状であれば、母基板1におけるクラック等の機械的な破壊の起点になりやすい角部分が無いので、このようなクラック等の可能性を低減する上で有効である。   The multi-cavity wiring board and the wiring board of the present invention are not limited to the multi-cavity wiring board 9 and the wiring board 19 of the above-described embodiment, and various modifications are possible. For example, as shown in FIGS. 8A and 8B, the through hole 6 may have a circular shape or an elliptical shape in plan view. 8 (a) and 8 (b) are plan views showing a main part in a modification of the multi-piece wiring board 9 shown in FIG. In FIG. 8, the same parts as those in FIG. If the through-hole 6 is circular or elliptical, there is no corner portion that is likely to be a starting point for mechanical breakage such as cracks in the mother substrate 1, which is effective in reducing the possibility of such cracks. is there.

また、例えば図9に示すように、最上層の絶縁層1aの内周が貫通孔3内に突出した形態において、分割溝3の深さが、最上層の絶縁層1aの厚みよりも大きくてもよい。つまり、分割溝3が、上から2層目の絶縁層1bまたはそれよりも下側まで入り込んでいてもよい。母基板1の厚みが厚い場合に、このような深さで分割溝3を設けることは、母基板1の分割性を確保する上では有効である。この場合にも、貫通孔6内に突出している最上層の絶縁層1aの貫通孔6内に突出した部分1aaにおける欠け等の機械的な破壊を抑制できる。なお、図9は、図1に示す多数個取り配線基板9の他の変形例における要部を示す斜視図である。図9において図1と同様の部位には同様の符号を付している。   For example, as shown in FIG. 9, in the form in which the inner periphery of the uppermost insulating layer 1a protrudes into the through hole 3, the depth of the dividing groove 3 is larger than the thickness of the uppermost insulating layer 1a. Also good. That is, the dividing groove 3 may enter the second insulating layer 1b from the top or the lower side. When the mother substrate 1 is thick, providing the dividing grooves 3 with such a depth is effective in securing the dividing property of the mother substrate 1. Also in this case, mechanical destruction such as chipping in the portion 1aa protruding into the through hole 6 of the uppermost insulating layer 1a protruding into the through hole 6 can be suppressed. FIG. 9 is a perspective view showing a main part in another modification of the multi-cavity wiring board 9 shown in FIG. 9, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.

1・・・母基板
1a〜1c・・絶縁層
1aa・突出した部分
1bb・突出した部分
2・・・配線基板領域
3・・・分割溝
4・・・配線導体
5・・・ダミー領域
6・・・貫通孔
9・・・多数個取り配線基板
11・・・絶縁基板
16・・・溝部
19・・・配線基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mother board | substrates 1a-1c .. Insulating layer 1aa. Protruding part 1bb. Protruding part 2 ... Wiring board area | region 3 ... Dividing groove 4 ... Wiring conductor 5 ... Dummy area | region 6. ..Through hole 9 ... Multiple wiring board
11 ... Insulated substrate
16 ... groove
19 ... wiring board

Claims (6)

複数の絶縁層が積層されてなり、複数の配線基板領域が縦横の並びに配列された母基板を備えており、前記母基板の上面に、前記配線基板領域の境界に沿って分割溝が設けられた多数個取り配線基板であって、
前記配線基板領域の境界において、前記複数の絶縁層を連続して貫通する貫通孔が設けられており、
該貫通孔内において、前記複数の絶縁層のうちいずれか一つの絶縁層の内周が、他の絶縁層の内周よりも内側に位置しているとともに、
平面視で前記母基板に前記分割溝が設けられている部分においては、前記一つの絶縁層の前記内周の一部が外側に凸状となっていることを特徴とする多数個取り配線基板。
A plurality of insulating layers are stacked, and a plurality of wiring board regions are provided with a mother board arranged vertically and horizontally, and a dividing groove is provided on the upper surface of the mother board along a boundary of the wiring board regions. A large number of wiring boards,
At the boundary of the wiring board region, a through-hole that continuously penetrates the plurality of insulating layers is provided,
In the through-hole, the inner circumference of any one of the plurality of insulating layers is located inside the inner circumference of the other insulating layer, and
A multi-piece wiring board, wherein a part of the inner periphery of the one insulating layer is convex outward in a portion where the dividing groove is provided in the mother board in plan view .
前記一つの絶縁層の前記内周のうち外側に凸状となっている前記一部の先端は、前記他の絶縁層の前記内周と同じ位置であることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。 2. The tip of the part of the inner periphery of the one insulating layer that is convex outward is at the same position as the inner periphery of the other insulating layer. Multi-cavity wiring board. 前記一つの絶縁層の前記内周のうち外側に凸状となっている前記一部は、平面視において台形状であることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。 2. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the part of the inner periphery of the one insulating layer that is convex outward has a trapezoidal shape in plan view. 平面視において、前記貫通孔が四角形状であるとともに、該四角形状の貫通孔の角部分が円弧状であり、
前記四角形状の貫通孔の互いに対向し合う二つの辺の中央を通る位置に前記分割溝が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の多数個取り配線基板。
In plan view, the through hole has a quadrangular shape, and the corner portion of the quadrangular through hole has an arc shape,
2. The multi-piece wiring board according to claim 1, wherein the dividing groove is provided at a position passing through the center of two opposing sides of the rectangular through hole.
前記一つの絶縁層が、最上層の絶縁層であることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の多数個取り配線基板。 The multi-piece wiring board according to any one of claims 1 to 4, wherein the one insulating layer is an uppermost insulating layer. 請求項1に記載の多数個取り配線基板が、前記分割溝に沿って分割されてなる配線基板。 A wiring board obtained by dividing the multi-cavity wiring board according to claim 1 along the dividing groove.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016134538A (en) * 2015-01-21 2016-07-25 株式会社デンソー Multilayer substrate

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005136172A (en) * 2003-10-30 2005-05-26 Kyocera Corp Wiring substrate capable of being divided into a multitude of pieces
JP2008109063A (en) * 2006-09-27 2008-05-08 Kyocera Corp Ceramic multilayer substrate
JP2010258189A (en) * 2009-04-24 2010-11-11 Kyocera Corp Manufacturing method of electronic component mounting substrate, and manufacturing method of electronic component mounting motherboard
JP2011071368A (en) * 2009-09-28 2011-04-07 Kyocera Corp Multiple-pattern wiring board

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005136172A (en) * 2003-10-30 2005-05-26 Kyocera Corp Wiring substrate capable of being divided into a multitude of pieces
JP2008109063A (en) * 2006-09-27 2008-05-08 Kyocera Corp Ceramic multilayer substrate
JP2010258189A (en) * 2009-04-24 2010-11-11 Kyocera Corp Manufacturing method of electronic component mounting substrate, and manufacturing method of electronic component mounting motherboard
JP2011071368A (en) * 2009-09-28 2011-04-07 Kyocera Corp Multiple-pattern wiring board

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016134538A (en) * 2015-01-21 2016-07-25 株式会社デンソー Multilayer substrate

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