JP6224525B2 - Wiring board and electronic device - Google Patents

Wiring board and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP6224525B2
JP6224525B2 JP2014108228A JP2014108228A JP6224525B2 JP 6224525 B2 JP6224525 B2 JP 6224525B2 JP 2014108228 A JP2014108228 A JP 2014108228A JP 2014108228 A JP2014108228 A JP 2014108228A JP 6224525 B2 JP6224525 B2 JP 6224525B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pad
conductor
insulating substrate
signal
signal pad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014108228A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2015225893A (en
Inventor
晋一郎 澤
晋一郎 澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2014108228A priority Critical patent/JP6224525B2/en
Publication of JP2015225893A publication Critical patent/JP2015225893A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6224525B2 publication Critical patent/JP6224525B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA

Description

本発明は、外部との電気的な接続用の接続パッドを有する配線基板および電子装置に関するものである。   The present invention relates to a wiring board and an electronic device having connection pads for electrical connection with the outside.

半導体素子等の電子部品が搭載される配線基板として、ガラスセラミック質焼結体等からなる絶縁基板と、絶縁基板の主面に銅または銀等の金属材料を用いて設けられた外部接続用の複数の接続パッドとを含むものが多用されている。   As a wiring board on which electronic components such as semiconductor elements are mounted, an insulating substrate made of a glass ceramic sintered body and the like, and an external connection provided on the main surface of the insulating substrate using a metal material such as copper or silver A thing including a plurality of connection pads is often used.

例えば、絶縁基板の接続パッドが設けられた主面と反対側の主面に電子部品が搭載され、接続パッドが外部電気回路の所定部位に対向して接続される。搭載部に搭載される電子部品は、搭載部から接続パッドにかけて設けられた配線導体を介して接続パッドと電気的に接続される。また、接続パッドと外部電気回路とがはんだ等によって接続されれば、接続パッドを介して電子部品と外部電気回路とが互いに電気的に接続される。   For example, an electronic component is mounted on the main surface opposite to the main surface on which the connection pads of the insulating substrate are provided, and the connection pads are connected to a predetermined portion of the external electric circuit. The electronic component mounted on the mounting portion is electrically connected to the connection pad via a wiring conductor provided from the mounting portion to the connection pad. If the connection pad and the external electric circuit are connected by solder or the like, the electronic component and the external electric circuit are electrically connected to each other through the connection pad.

接続パッドは、円形状等のパターンで、絶縁基板の主面にメタライズ層等の形態で被着された銅等の金属材料からなる。また、これらの接続パッドは、絶縁基板の主面に縦横の並びに配列されている。配列された複数の接続パッドは、電子部品の信号用の電極と電気的に接続されるもの、および接地用の電極と電気的に接続されるものを含んでいる。   The connection pads are made of a metal material such as copper, which has a circular pattern or the like and is deposited on the main surface of the insulating substrate in the form of a metallized layer or the like. In addition, these connection pads are arranged vertically and horizontally on the main surface of the insulating substrate. The plurality of connection pads arranged include those that are electrically connected to the signal electrodes of the electronic component and those that are electrically connected to the grounding electrode.

特開2001−160598号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-160598

近年、配線基板と電子部品との間で伝送される電気信号の高周波化等に伴い、例えば電磁シールドや、電源電圧の安定のために絶縁基板の内部に比較的広面積の接地導体層が配置される場合がある。この場合、信号用の接続パッドと接地導体層との間で不要な寄生容量が生じ、接続パッドにおいて特性インピーダンスの不整合が生じやすいという問題が発生するようになってきている。このような問題に対しては、例えば信号用の電極と電気的に接続される接続パッドの面積(下面視における大きさ)を、接地用の電極と電気的に接続されるものに比べて小さく抑えて、寄生容量を低減するという手段が考えられる。   In recent years, with the increase in the frequency of electrical signals transmitted between wiring boards and electronic components, for example, electromagnetic shields and relatively large ground conductor layers are placed inside insulating boards to stabilize power supply voltages. May be. In this case, an unnecessary parasitic capacitance is generated between the signal connection pad and the ground conductor layer, and there is a problem that characteristic impedance mismatch is likely to occur in the connection pad. To deal with such a problem, for example, the area (size in a bottom view) of the connection pad electrically connected to the signal electrode is smaller than that electrically connected to the ground electrode. A means of suppressing the parasitic capacitance can be considered.

しかしながら、接続パッドの面積を小さく抑えた場合には、接続パッドの絶縁基板に対する接合面積が比較的小さくなる。そのため、接続パッドと絶縁基板との接合の強度が低下しやすいという問題が新たに誘発される。また、接続パッドの面積が信号用のものと接地用のものとで異なる場合、はんだ等による外部電気回路に対する接続が難しくなるという問題も誘発される。   However, when the area of the connection pad is kept small, the bonding area of the connection pad to the insulating substrate is relatively small. For this reason, a problem that the strength of bonding between the connection pad and the insulating substrate is likely to be lowered is newly induced. Further, when the area of the connection pad is different between the signal pad and the ground pad, there is a problem that it is difficult to connect to an external electric circuit by solder or the like.

本発明の一つの態様による配線基板は、第1主面を有する絶縁基板と、該絶縁基板の前記第1主面に配列されており、少なくとも一つの信号パッド用導体と該信号パッド用導体に隣り合う少なくとも一つの接地パッド用導体とを含む複数のパッド用導体と、前記絶縁基板の前記第1主面から前記複数のパッド用導体のそれぞれの外周部にかけて被覆している被覆層とを有している。前記複数のパッド用導体のうち前記被覆層で被覆された前記外周部よりも内側の露出部分により、少なくとも一つの信号パッドと該信号パッドに隣り合
う少なくとも一つの接地パッドとを含む複数の接続パッドが形成されており、平面視において、前記信号パッド用導体よりも前記接地パッド用導体が大きく、かつ前記信号パッドと前記接地パッドとが同じ大きさである。
A wiring board according to one aspect of the present invention is arranged on an insulating substrate having a first main surface, and the first main surface of the insulating substrate, and includes at least one signal pad conductor and the signal pad conductor. A plurality of pad conductors including at least one adjacent ground pad conductor; and a covering layer covering the first main surface of the insulating substrate from the outer periphery of each of the plurality of pad conductors. doing. A plurality of connection pads including at least one signal pad and at least one ground pad adjacent to the signal pad by an exposed portion inside the outer peripheral portion covered with the coating layer among the plurality of pad conductors. In the plan view, the ground pad conductor is larger than the signal pad conductor, and the signal pad and the ground pad have the same size.

本発明の一つの態様による電子装置は、上記構成の配線基板と、前記絶縁基板の前記第1主面と反対側の第2主面に搭載された電子部品とを有している。   An electronic device according to an aspect of the present invention includes the wiring board having the above-described configuration and an electronic component mounted on a second main surface opposite to the first main surface of the insulating substrate.

本発明の一つの態様による配線基板によれば、上記構成を有していることから、信号パッド用導体において生じる寄生容量が従来よりも低減されている。すなわち、信号パッド用導体の外周部が被覆されてなる信号パッドにおいて寄生容量が低減されている。また、信号パッド用導体の外周部が被覆層で被覆されているため、信号パッドとしての絶縁基板に対する接合の強度も向上している。また、信号パッドと接地パッドとが互いに同じ大きさであるため、外部電気回路に対する接続も容易である。したがって、特性インピーダンスの整合および外部電気回路に対する実装信頼性の高い電子装置の製作が容易な配線基板を提供することができる。   According to the wiring board according to one aspect of the present invention, since it has the above configuration, the parasitic capacitance generated in the signal pad conductor is reduced as compared with the related art. That is, the parasitic capacitance is reduced in the signal pad formed by covering the outer periphery of the signal pad conductor. In addition, since the outer peripheral portion of the signal pad conductor is covered with the coating layer, the strength of bonding to the insulating substrate as the signal pad is also improved. In addition, since the signal pad and the ground pad are the same size, connection to an external electric circuit is easy. Therefore, it is possible to provide a wiring board that facilitates the manufacture of an electronic device with high matching reliability for characteristic impedance matching and external electric circuit.

本発明の一つの態様による電子装置によれば、上記構成の配線基板と、この配線基板に搭載された電子部品とを有していることから、特性インピーダンスの整合および外部電気回路に対する実装信頼性の高い電子装置を提供することができる。   According to the electronic device according to one aspect of the present invention, since the wiring board having the above-described configuration and the electronic component mounted on the wiring board are included, matching of characteristic impedance and mounting reliability with respect to an external electric circuit are provided. A high electronic device can be provided.

(a)は本発明の実施形態の配線基板における要部を示す平面図であり、(b)は(a)のA−A線における断面図である。(A) is a top view which shows the principal part in the wiring board of embodiment of this invention, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (a)は図1に示す配線基板、およびその配線基板を含む電子装置の全体の一例を示す平面図であり、(b)は(a)の側面図である。(A) is a top view which shows an example of the whole wiring board shown in FIG. 1, and the electronic device containing the wiring board, (b) is a side view of (a). (a)および(b)はそれぞれ図2に示す配線基板および電子装置の変形例を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the modification of the wiring board and electronic device which are respectively shown in FIG. (a)および(b)はそれぞれ図2に示す配線基板および電子装置の他の変形例を示す平面図である。(A) And (b) is a top view which shows the other modification of the wiring board and electronic device which are respectively shown in FIG.

本発明の配線基板および電子装置を添付の図面を参照して説明する。図1(a)は本発明の実施形態の配線基板における要部を示す平面図であり、図1(b)は図1(a)のA−A線における断面図である。また、図2(a)は図1に示す配線基板、およびその配線基板を含む電子装置の全体の一例を示す平面図であり、図2(b)は図2(a)の側面図である。図1に要部を示す配線基板10に電子部品21が搭載されて、例えば図2に示すような電子装置20が形成されている。この電子装置20が、例えば外部電気回路(図示せず)を含む外部基板(図示せず)に実装される。なお、図1(a)は断面図ではないが、識別しやすくるため一部にハッチングを施している。   The wiring board and electronic device of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. Fig.1 (a) is a top view which shows the principal part in the wiring board of embodiment of this invention, FIG.1 (b) is sectional drawing in the AA line of Fig.1 (a). 2A is a plan view showing an example of the entire wiring board shown in FIG. 1 and an electronic device including the wiring board, and FIG. 2B is a side view of FIG. 2A. . An electronic component 21 is mounted on a wiring board 10 whose main part is shown in FIG. 1, and for example, an electronic device 20 as shown in FIG. 2 is formed. This electronic device 20 is mounted on an external substrate (not shown) including, for example, an external electric circuit (not shown). Note that FIG. 1A is not a cross-sectional view, but is partially hatched for easy identification.

図1および図2に示す例において、配線基板10は、第1主面を有する絶縁基板1と、絶縁基板1の第1主面に設けられた複数のパッド用導体2と、絶縁基板1の第1主面から複数のパッド用導体2のそれぞれの外周部にかけて被覆している被覆層3とを有している。複数のパッド用導体2のそれぞれについて、被覆層で被覆された外周部よりも内側で露出している部分が接続パッド4になっている。   In the example shown in FIGS. 1 and 2, the wiring substrate 10 includes an insulating substrate 1 having a first main surface, a plurality of pad conductors 2 provided on the first main surface of the insulating substrate 1, and an insulating substrate 1. And a covering layer 3 that covers the outer periphery of each of the plurality of pad conductors 2 from the first main surface. For each of the plurality of pad conductors 2, a portion exposed on the inner side of the outer peripheral portion covered with the coating layer is a connection pad 4.

また、配線基板10の絶縁基板1の第1主面と反対側の第2主面に電子部品21が搭載されて電子装置20が基本的に形成される。第2主面に搭載された電子部品21は、例えば絶縁基板1の第2主面から内部を通ってパッド用導体2にかけて設けられた内部導体5によって
パッド用導体2に電気的に接続される。絶縁基板1の内部には、例えばこの内部導体5等に対する電磁的シールド、電源電圧の安定(電源インピーダンスの低減)、および特性インピーダンス調整等のために、比較的広い面積で接地導体層6が設けられている。
Further, the electronic device 21 is basically formed by mounting the electronic component 21 on the second main surface of the wiring substrate 10 opposite to the first main surface of the insulating substrate 1. The electronic component 21 mounted on the second main surface is electrically connected to the pad conductor 2 by, for example, an internal conductor 5 provided from the second main surface of the insulating substrate 1 through the inside to the pad conductor 2. . A ground conductor layer 6 is provided in a relatively wide area in the insulating substrate 1 for, for example, electromagnetic shielding with respect to the inner conductor 5 and the like, stabilization of power supply voltage (reduction of power supply impedance), and adjustment of characteristic impedance. It has been.

このパッド用導体2のうち接続パッド4の部分が外部電気回路に導電性接続材7を介して接続されて、電子部品21と外部電気回路とが互いに電気的に接続される。   Of the pad conductor 2, the portion of the connection pad 4 is connected to the external electric circuit via the conductive connecting material 7, and the electronic component 21 and the external electric circuit are electrically connected to each other.

なお、図1および図2の例において、絶縁基板1の第1主面は下面であり、第2主面は上面である。   In the example of FIGS. 1 and 2, the first main surface of the insulating substrate 1 is the lower surface, and the second main surface is the upper surface.

絶縁基板1は、例えば平面視において四角形状(四角板状等)であり、第1主面が外部電気回路(外部基板)と対向して実装される。また、第2主面は、例えばその中央部に電子部品21が搭載される。この場合、第2主面の中央部が電子部品21の搭載部として機能する。なお、この場合には、搭載部にも電子部品21と電気的に接続するための接続パッド(図示せず)が形成されている。この接続パッドは、上記第1主面の接続パッド4と同様の形態であってもよい。   The insulating substrate 1 has, for example, a quadrangular shape (square plate shape or the like) in plan view, and the first main surface is mounted to face an external electric circuit (external substrate). In addition, the electronic component 21 is mounted on the second main surface, for example, at the center thereof. In this case, the central portion of the second main surface functions as a mounting portion for the electronic component 21. In this case, connection pads (not shown) for electrical connection with the electronic component 21 are also formed in the mounting portion. This connection pad may have the same form as the connection pad 4 on the first main surface.

電子部品21としては、ICおよびLSI等の半導体集積回路素子、ならびにLED(発光ダイオード)、PD(フォトダイオード)およびCCD(電荷結合素子)等の光半導体素子を含む半導体素子、弾性表面波素子および水晶振動子等の圧電素子、容量素子、抵抗器、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン(いわゆるMEMS素子)等が挙げられる。   Examples of the electronic component 21 include semiconductor integrated circuit elements such as IC and LSI, semiconductor elements including optical semiconductor elements such as LED (light emitting diode), PD (photodiode) and CCD (charge coupled device), surface acoustic wave elements, and the like Examples include a piezoelectric element such as a crystal resonator, a capacitive element, a resistor, and a micromachine (a so-called MEMS element) in which a minute electromechanical mechanism is formed on the surface of a semiconductor substrate.

電子部品21がLSI等の半導体集積回路素子である場合には、電子部品21の電極数が他の電子部品に比べて多い。そのため、これらと電気的に接続されるパッド用導体2の数も特に多く、絶縁基板1の第1主面に高い密度で配置される傾向がある。また、パッド用導体2および内部導体5等を通って伝送される電気信号の高周波化が進んでいる。また、半導体集積回路素子は、大型化(例えば約30mm角程度等)の傾向にある。   When the electronic component 21 is a semiconductor integrated circuit element such as an LSI, the number of electrodes of the electronic component 21 is larger than that of other electronic components. Therefore, the number of pad conductors 2 electrically connected to these is also particularly large and tends to be arranged on the first main surface of the insulating substrate 1 with a high density. In addition, the frequency of electrical signals transmitted through the pad conductor 2 and the internal conductor 5 is increasing. Further, semiconductor integrated circuit elements tend to be larger (for example, about 30 mm square).

絶縁基板1は、例えばガラスセラミック質焼結体、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体またはチッ化アルミニウム質焼結体等の絶縁材料によって、形成されている。絶縁基板1は、このような絶縁材料からなる複数の絶縁層が積層されて形成されていてもよい。絶縁基板1が、ガラスセラミック質焼結体からなる複数の絶縁層が積層されてなるものである場合には、絶縁基板1は、次のようにして製作することができる。まず、セラミックフィラー粉末を用意する。セラミックフィラー粉末としては、酸化アルミニウム、酸化クロム、酸化銅、酸化ジルコニウム、スピネルおよびクォーツ等が挙げられる。また、ガラス粉末を用意する。ガラス粉末は、例えば、SiO−B−Al−MgO−CaO−BaO−SrO系等のガラスが挙げられる。これらのセラミックフィラー粉末およびガラス粉末を含む原料粉末に適当な有機バインダおよび有機溶剤を添加混合してスラリーを作製する。次に、このスラリーをドクターブレード法やリップコーター法等のシート成形技術を採用してシート状に成形することによって複数枚のセラミックグリーンシートを作製する。その後、セラミックグリーンシートを切断加工および打ち抜き加工等から選択した加工方法によって適当な形状とするとともにこれを複数枚積層し、最後にこの積層したセラミックグリーンシートを還元雰囲気中において約900〜1000℃の温度で
焼成することによって絶縁基板1を製作することができる。
The insulating substrate 1 is formed of an insulating material such as a glass ceramic sintered body, an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, or an aluminum nitride sintered body. The insulating substrate 1 may be formed by laminating a plurality of insulating layers made of such an insulating material. When the insulating substrate 1 is formed by laminating a plurality of insulating layers made of a glass ceramic sintered body, the insulating substrate 1 can be manufactured as follows. First, ceramic filler powder is prepared. Examples of the ceramic filler powder include aluminum oxide, chromium oxide, copper oxide, zirconium oxide, spinel and quartz. Moreover, a glass powder is prepared. Examples of the glass powder include SiO 2 —B 2 O 3 —Al 2 O 3 —MgO—CaO—BaO—SrO-based glass. An appropriate organic binder and organic solvent are added to and mixed with the raw material powder containing these ceramic filler powder and glass powder to prepare a slurry. Next, a plurality of ceramic green sheets are produced by forming this slurry into a sheet by employing a sheet forming technique such as a doctor blade method or a lip coater method. Thereafter, the ceramic green sheet is made into an appropriate shape by a processing method selected from cutting and punching and the like, and a plurality of these are laminated. The insulating substrate 1 can be manufactured by baking at a temperature.

なお、絶縁基板1は、有機樹脂を含む複合材料等からなるものであってもよい。この場合には、例えば未硬化の有機樹脂材料(熱硬化性樹脂)を金型等によって所定の絶縁基板1の形状に成形して硬化させることによって絶縁基板1を製作することができる。   The insulating substrate 1 may be made of a composite material containing an organic resin. In this case, for example, the insulating substrate 1 can be manufactured by molding and curing an uncured organic resin material (thermosetting resin) into a predetermined shape of the insulating substrate 1 using a mold or the like.

パッド用導体2は、電子部品21と外部電気回路とを電気的に接続するための接続パッド4を含む部分である。パッド用導体2のうち被覆層3の開口から露出する内側部分が接続パッド4になっている。被覆層3の詳細については後述する。   The pad conductor 2 is a part including a connection pad 4 for electrically connecting the electronic component 21 and an external electric circuit. An inner portion of the pad conductor 2 exposed from the opening of the coating layer 3 is a connection pad 4. Details of the coating layer 3 will be described later.

電子部品21のうち実際にパッド用導体2と電気的に接続される部分は信号電極および接地電極を含む。そのため、パッド用導体2は、信号パッド用導体2aと、接地パッド用導体2bとを含んでいる。信号パッド用導体2aが電子部品の信号電極と電気的に接続され、接地パッド用導体2bが電子部品の接地電極と電気的に接続される。接地パッド用導体2bは、図1の例のように接地導体層6と電気的に接続されている。   The part of the electronic component 21 that is actually electrically connected to the pad conductor 2 includes a signal electrode and a ground electrode. Therefore, the pad conductor 2 includes a signal pad conductor 2a and a ground pad conductor 2b. The signal pad conductor 2a is electrically connected to the signal electrode of the electronic component, and the ground pad conductor 2b is electrically connected to the ground electrode of the electronic component. The ground pad conductor 2b is electrically connected to the ground conductor layer 6 as in the example of FIG.

パッド用導体2は、図1および図2の例では円形状のパターンであるが、これ以外のパターン、例えば楕円形状、外周部の一部が欠けた円形状、または多角形状であっても構わない。   The pad conductor 2 is a circular pattern in the examples of FIGS. 1 and 2, but other patterns, for example, an elliptical shape, a circular shape with a part of the outer peripheral portion missing, or a polygonal shape may be used. Absent.

パッド用導体2は、例えば、銅、銀、パラジウム、金、白金、タングステン、モリブデンまたはマンガン等の金属材料、またはこれらの金属材料を主成分とする合金材料によって形成されている。また、パッド用導体2は、これらの金属材料に加えてガラス等の無機材料を含むものであっても構わない。これらの金属材料等は、例えばメタライズ層、めっき層、蒸着層等の形態で絶縁基板1上に設けられている。   The pad conductor 2 is made of, for example, a metal material such as copper, silver, palladium, gold, platinum, tungsten, molybdenum, or manganese, or an alloy material containing these metal materials as a main component. Further, the pad conductor 2 may contain an inorganic material such as glass in addition to these metal materials. These metal materials and the like are provided on the insulating substrate 1 in the form of, for example, a metallized layer, a plating layer, a vapor deposition layer, or the like.

パッド用導体2は、例えば銅のメタライズ層からなる場合であれば、銅の粉末を有機溶剤およびバインダとともに混練して作製した金属ペーストを、絶縁基板1となるセラミックグリーンシートのうち第1主面となる表面に所定パターンに塗布して同時焼成することによって形成することができる。金属ペーストの塗布は、例えばスクリーン印刷法等の印刷法によって行なうことができる。   If the pad conductor 2 is made of, for example, a copper metallized layer, a metal paste prepared by kneading copper powder together with an organic solvent and a binder is used as the first main surface of the ceramic green sheet to be the insulating substrate 1. It can form by apply | coating to the surface used as a predetermined pattern, and baking simultaneously. The metal paste can be applied by a printing method such as a screen printing method.

また、上記のような有機樹脂材料からなる絶縁基板1の第1主面に、蒸着法、またはめっき法等の手段で銅等の金属材料が被着されて、パッド用導体2が形成されていてもよい。   Further, a metal material such as copper is deposited on the first main surface of the insulating substrate 1 made of the organic resin material as described above by means such as vapor deposition or plating to form the pad conductor 2. May be.

被覆層3は、パッド用導体2の外周部を被覆して接続パッド4を形成するためのものである。前述したように、パッド用導体2の外周部が被覆層3被覆されて、中央部が露出する。前述のように、この露出した部分が接続パッド4になっている。被覆層3によって、パッド用導体2の外周部分の絶縁基板1に対する接合の強度が向上している。また、被覆層3は、パッド用導体2のうち実際に接続パッド4として機能する部分を所望の形状および寸法に調整する機能を有するための部分とみなすこともできる。   The covering layer 3 covers the outer periphery of the pad conductor 2 to form the connection pad 4. As described above, the outer peripheral portion of the pad conductor 2 is covered with the coating layer 3, and the central portion is exposed. As described above, the exposed portion is the connection pad 4. The covering layer 3 improves the bonding strength of the outer peripheral portion of the pad conductor 2 to the insulating substrate 1. Moreover, the coating layer 3 can also be regarded as a part for having the function to adjust the part which actually functions as the connection pad 4 among the pad conductors 2 to a desired shape and size.

被覆層3は、例えば絶縁基板1と同様のセラミック材料からなる。この場合、まず、絶縁基板1と同様の組成の未焼成のセラミックペーストを準備する。次に、このセラミックペーストを、セラミックグリーンシートの表面(第1主面になる表面)から、その表面に塗布したパッド用導体2となる金属ペーストの外周部にかけて被覆するように塗布し、その後同時焼成する。以上の工程によって被覆層3を形成することができる。   The covering layer 3 is made of, for example, a ceramic material similar to that of the insulating substrate 1. In this case, first, an unfired ceramic paste having the same composition as that of the insulating substrate 1 is prepared. Next, this ceramic paste is applied so as to cover from the surface of the ceramic green sheet (the surface to be the first main surface) to the outer periphery of the metal paste to be the pad conductor 2 applied to the surface, and thereafter Bake. The coating layer 3 can be formed by the above process.

なお、被覆層3は、絶縁基板1とは異なる組成のセラミック材料、またはガラス材料等でも良く、絶縁基板1と同様の有機樹脂材料からなるものであってもよい。   The covering layer 3 may be a ceramic material having a composition different from that of the insulating substrate 1 or a glass material, or may be made of the same organic resin material as that of the insulating substrate 1.

パッド用導体2の外周部が被覆層3で被覆されてなる接続パッド4は、パッド用導体2と同様に信号パッド4aおよび接地パッド4bを含んでいる。信号パッド4aが電子部品21の信号電極と電気的に接続され、接地パッド4bが電子部品21の接地電極と電気的に接続される。   The connection pad 4 formed by covering the outer periphery of the pad conductor 2 with the coating layer 3 includes a signal pad 4 a and a ground pad 4 b, as with the pad conductor 2. The signal pad 4 a is electrically connected to the signal electrode of the electronic component 21, and the ground pad 4 b is electrically connected to the ground electrode of the electronic component 21.

接続パッド4は、前述したように外部接続用の部分であり、例えば、はんだバンプ等の導電性接続材7によって外部電気回路の所定部位に直接に接続される。この場合、はんだバンプを介して接続パッド2と外部電気回路の所定部位と互いに対向させて位置決めする。その後、はんだバンプを加熱していったん溶融させた後に冷却固化させることによって、接続パッド4と外部電気回路とが互いに接合され、電気的に接続される。   The connection pad 4 is a part for external connection as described above, and is directly connected to a predetermined portion of the external electric circuit by, for example, the conductive connection material 7 such as a solder bump. In this case, the connection pad 2 and the predetermined part of the external electric circuit are positioned to face each other via the solder bump. Thereafter, the solder bumps are heated and melted once and then cooled and solidified, whereby the connection pads 4 and the external electric circuit are joined to each other and electrically connected.

複数の接続パッド4のうち接地パッド4bは、信号パッド4aに伝送される信号に対する電磁的なシールド、および信号パッド4a等における特性インピーダンス整合等のために、信号パッド4aに隣り合うように配置されている。言い換えれば、少なくとも一つの接地パッド4b(接地パッド用導体2b)が信号パッド4aに隣り合って配置されていることによって、信号パッド4a(信号パッド用導体2a)等に対する電磁的シールドの効果、および特性インピーダンス整合の効果が得られている。   Among the plurality of connection pads 4, the ground pad 4b is disposed adjacent to the signal pad 4a for electromagnetic shielding against a signal transmitted to the signal pad 4a and characteristic impedance matching in the signal pad 4a and the like. ing. In other words, since at least one ground pad 4b (ground pad conductor 2b) is disposed adjacent to the signal pad 4a, the effect of electromagnetic shielding on the signal pad 4a (signal pad conductor 2a) and the like, and The effect of characteristic impedance matching is obtained.

また、平面視(第1主面側から透視したとき)において、信号パッド用導体2aよりも接地パッド用導体2bが大きく、かつ信号パッド4aと接地パッド4bとが同じ大きさである(以下、平面視等を省略して単に大きさ等という場合がある)。信号パッド用導体2aの大きさが比較的小さいため、信号パッド用導体2aと接地導体層6とが絶縁基板1の一部を間に挟んで対向し合う面積が小さく抑制されている。そのため、信号パッド用導体2aと接地導体層6との間に生じる寄生容量が比較的小さい。したがって、不要な寄生容量に起因した特性インピーダンスの不整合が抑制されている。言い換えれば、信号パッド用導体2aにおける特性インピーダンスの整合が容易である。また、信号用パッド用導体2aと接地パッド用導体2bとの距離が比較的小さくなるため、信号パッド用導体2aと接地パッド用導体2bとの間に生じる寄生容量が比較的小さくなる。   Further, in a plan view (when seen through from the first main surface side), the ground pad conductor 2b is larger than the signal pad conductor 2a, and the signal pad 4a and the ground pad 4b have the same size (hereinafter, referred to as the following). In some cases, the size may be simply referred to by omitting the plan view). Since the size of the signal pad conductor 2a is relatively small, the area where the signal pad conductor 2a and the ground conductor layer 6 face each other with a part of the insulating substrate 1 therebetween is suppressed to be small. For this reason, the parasitic capacitance generated between the signal pad conductor 2a and the ground conductor layer 6 is relatively small. Therefore, characteristic impedance mismatch due to unnecessary parasitic capacitance is suppressed. In other words, it is easy to match the characteristic impedance of the signal pad conductor 2a. Further, since the distance between the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b is relatively small, the parasitic capacitance generated between the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b is relatively small.

また、信号パッド用導体2aの外周部が被覆層3で被覆されているため、信号パッド4aとしての絶縁基板1に対する接合の強度も向上している。また、信号パッド4aと接地パッド4bとが互いに同じ大きさであるため、信号パッド4aおよび接地パッド4bのそれぞれと外部電気回路との接合に適した導電性接続材7の量もほぼ同じ程度になる。そのため、外部電気回路に対する接続も容易である。したがって、特性インピーダンスの整合および外部電気回路に対する実装信頼性の高い電子装置20の製作が容易な配線基板10を提供することができる。   Further, since the outer peripheral portion of the signal pad conductor 2a is covered with the covering layer 3, the strength of bonding to the insulating substrate 1 as the signal pad 4a is also improved. Further, since the signal pad 4a and the ground pad 4b have the same size, the amount of the conductive connecting material 7 suitable for joining each of the signal pad 4a and the ground pad 4b to the external electric circuit is approximately the same. Become. Therefore, connection to an external electric circuit is easy. Therefore, it is possible to provide the wiring board 10 that facilitates the manufacture of the electronic device 20 with high matching of characteristic impedance and high mounting reliability with respect to the external electric circuit.

信号パッド4aと接地パッド4bとが互いに同じ大きさであるとは、平面視(第1主面側から見たとき)信号パッド4aおよび接地パッド4bの形状および面積が互いに同じであることを意味する。   The signal pad 4a and the ground pad 4b having the same size means that the shape and area of the signal pad 4a and the ground pad 4b are the same in plan view (when viewed from the first main surface side). To do.

また、上記実施形態の電子装置20によれば、上記構成の配線基板10と、この配線基板10に搭載された電子部品21とを有していることから、特性インピーダンスの整合および外部電気回路に対する実装信頼性の高い電子装置20を提供することができる。電子部品21が半導体集積回路素子の場合であれば、電子部品21の作動の信頼性、およびプリント回路基板等の外部基板に対する実装(いわゆる2次実装)の信頼性の高い電子装置(半導体装置)20が提供される。   Further, according to the electronic device 20 of the above-described embodiment, since the wiring board 10 having the above-described configuration and the electronic component 21 mounted on the wiring board 10 are provided, matching of characteristic impedance and the external electric circuit are performed. The electronic device 20 with high mounting reliability can be provided. If the electronic component 21 is a semiconductor integrated circuit element, an electronic device (semiconductor device) with high reliability of operation of the electronic component 21 and high reliability of mounting on an external substrate such as a printed circuit board (so-called secondary mounting) 20 will be provided.

なお、上記実施形態の配線基板10および電子装置20において、信号パッド4aと接地パッド4bとは、必ずしも厳密に互いに同じ形状および面積である必要はなく、パッド用導体となる金属ペースト、または被覆層3となるセラミックペーストの印刷精度等の、製作時の加工精度等に起因したずれ(厳密に同じである状態からのずれ)等は許容される。このずれとしては、例えば、信号パッド4aと接地パッド4bとが互いに円形状であるときに、両者の面積の差が5%程度以下の状態が挙げられる。   In the wiring board 10 and the electronic device 20 of the above embodiment, the signal pad 4a and the ground pad 4b do not necessarily have exactly the same shape and area as each other, and are a metal paste or a coating layer serving as a pad conductor 3. A deviation (deviation from a state that is exactly the same) or the like caused by processing accuracy at the time of manufacture, such as printing accuracy of the ceramic paste No. 3 is allowed. As this deviation, for example, when the signal pad 4a and the ground pad 4b are circular with respect to each other, the difference in area between the two is about 5% or less.

また、図1の例では、一つの信号パッド用導体2aが、複数の接地パッド用導体2bに囲まれている。この場合には、信号用パッド2aの特性インピーダンスの調整がより容易である。   Further, in the example of FIG. 1, one signal pad conductor 2a is surrounded by a plurality of ground pad conductors 2b. In this case, it is easier to adjust the characteristic impedance of the signal pad 2a.

また、信号パッド用導体2aを囲む複数の接地パッド用導体2bについて、信号パッド用導体2aと接地パッド用導体2bとの隣接間隔が互いに同じである場合には、信号パッド用導体2aの特性インピーダンスの調整がさらに容易である。   In addition, when a plurality of ground pad conductors 2b surrounding the signal pad conductor 2a have the same distance between the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b, the characteristic impedance of the signal pad conductor 2a is as follows. Is easier to adjust.

また、図1(b)の例では、パッド用導体2において、被覆層3で被覆された外周部が絶縁基板1の内部に入り込んでいる。パッド用導体2のうち絶縁基板1の内部に入り込んでいる部分は、パッド用導体2の外周に近い程絶縁基板1の内部により深く入り込んでいる。すなわち、パッド用導体2の外周部が絶縁基板1の内部の方向に傾斜していて、この傾斜した部分が絶縁基板1の内部に位置している。これにより、パッド用導体2のうち熱応力による絶縁基板1からの剥がれ等の起点になりやすい外周部がアンカー効果等によって、より強固に絶縁基板1に接合されている。そのため、外部電気回路に対する接続信頼性が向上している。   In the example of FIG. 1B, the outer periphery of the pad conductor 2 covered with the coating layer 3 enters the inside of the insulating substrate 1. The portion of the pad conductor 2 that enters the inside of the insulating substrate 1 penetrates deeper into the inside of the insulating substrate 1 as it is closer to the outer periphery of the pad conductor 2. That is, the outer periphery of the pad conductor 2 is inclined toward the inside of the insulating substrate 1, and the inclined portion is located inside the insulating substrate 1. As a result, the outer peripheral portion of the pad conductor 2 that tends to be a starting point of peeling from the insulating substrate 1 due to thermal stress is more firmly bonded to the insulating substrate 1 by the anchor effect or the like. Therefore, the connection reliability with respect to the external electric circuit is improved.

パッド用導体のうち外周部を絶縁基板1の内部に入り込ませるには、例えば次のようにすればよい。すなわち、絶縁基板1となるセラミックグリーンシート上にパッド用導体2となる金属ペーストおよび被覆層3となるセラミックペーストを順次印刷した後に、そのセラミックペーストを印刷した部分をセラミックグリーンシート等の厚み方向に加圧する。加圧によって金属ペーストの外周部がセラミックグリーンシート内に入り込む。   In order to allow the outer peripheral portion of the pad conductor to enter the inside of the insulating substrate 1, for example, the following may be performed. That is, after sequentially printing the metal paste to be the pad conductor 2 and the ceramic paste to be the coating layer 3 on the ceramic green sheet to be the insulating substrate 1, the printed portion of the ceramic paste is placed in the thickness direction of the ceramic green sheet or the like. Pressurize. The outer periphery of the metal paste enters the ceramic green sheet by pressurization.

なお、この場合には、パッド用導体2の外周部が傾斜しているため、互いに隣り合う信号用パッド用導体2aと接地パッド用導体2bについて、それぞれの傾斜した外周部同士が、絶縁基板1(および被覆層3)の厚み方向の一部を間に挟んで対向し合う面積がより大きくなる。そのため、互いに隣り合う信号パッド用導体2aと接地パッド用導体2bとの間で寄生容量が大きくなりやすい。これに対して、信号パッド用導体2aが上記のように比較的小さくされているため、寄生容量の増加を抑制する効果が大きい。   In this case, since the outer peripheral portion of the pad conductor 2 is inclined, the inclined outer peripheral portions of the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b adjacent to each other are separated from each other by the insulating substrate 1. The areas facing each other with a part in the thickness direction of (and coating layer 3) interposed therebetween are further increased. Therefore, the parasitic capacitance tends to increase between the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b adjacent to each other. On the other hand, since the signal pad conductor 2a is relatively small as described above, the effect of suppressing an increase in parasitic capacitance is great.

信号パッド用導体2aおよび接地パッド用導体2bがともに円形状であるとき、信号パッド用導体2aの面積に対する接地パッド用導体2bの面積は、例えば110〜130%程度に設定される。   When both the signal pad conductor 2a and the ground pad conductor 2b are circular, the area of the ground pad conductor 2b with respect to the area of the signal pad conductor 2a is set to about 110 to 130%, for example.

また、接続パッド4(信号パッド4aおよび接地パッド4b)は、はんだバンプのような導電性接続材7を介した外部電気回路との接続の信頼性および接続時の作業性等を考慮すれば、円形状であることが好ましい。接続パッド4が円形状である場合には、例えば円形状のパッド用導体2の外周部が、その全周にわたって同じ幅で、被覆層3によって被覆されている。   In addition, the connection pad 4 (signal pad 4a and ground pad 4b) has a reliability of connection with an external electric circuit through the conductive connection material 7 such as a solder bump, and workability at the time of connection. A circular shape is preferred. When the connection pad 4 has a circular shape, for example, the outer peripheral portion of the circular pad conductor 2 is covered with the coating layer 3 with the same width over the entire periphery.

図3(a)および(b)はそれぞれ図2に示す配線基板および電子装置の変形例を示す平面図である。図3において図2と同様の部位には同様の符号を付している。   3A and 3B are plan views showing modifications of the wiring board and the electronic device shown in FIG. 2, respectively. 3, parts similar to those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

図3(a)の例では、縦横の並びに配列された接続パッド4のうち信号パッド4aは、その並びの最外周を避けて、中央部側に配置されている。接続パッド4の並びのうち最外周のものにおいては、絶縁基板1と外部基板との熱膨張率の差に起因した熱応力が特に大きくなる。この熱応力が大きい部分に、パッド用導体2と絶縁基板1との接合面積が比較的小さい信号パッド用導体2a(つまり信号パッド4a)が配置されていない。言い換えれば、熱応力が大きい部分では絶縁基板1との接合面積が比較的大きいパッド用導体2の
みが配置されている。そのため、配線基板10および電子装置20としての外部接続の信頼性を向上させる上でより有効な配線基板10および電子装置20を提供することができる。
In the example of FIG. 3A, the signal pads 4a among the connection pads 4 arranged in the vertical and horizontal directions are arranged on the center side, avoiding the outermost periphery of the arrangement. In the outermost array of the connection pads 4, the thermal stress due to the difference in thermal expansion coefficient between the insulating substrate 1 and the external substrate is particularly large. The signal pad conductor 2a (that is, the signal pad 4a) having a relatively small bonding area between the pad conductor 2 and the insulating substrate 1 is not disposed in the portion where the thermal stress is large. In other words, only the pad conductor 2 having a relatively large bonding area with the insulating substrate 1 is disposed in a portion where the thermal stress is large. Therefore, it is possible to provide the wiring substrate 10 and the electronic device 20 that are more effective in improving the reliability of external connection as the wiring substrate 10 and the electronic device 20.

また、この例では、信号パッド用導体2a(信号パッド4a)同士は、配列の縦または横方向には互いに隣り合わないように配置されている。そのため、信号パッド4a同士の間の隣接間隔を比較的大きくすることができる。したがって、信号パッド4aを通って伝送される電気信号間の電磁的な干渉の抑制についても有効である。   In this example, the signal pad conductors 2a (signal pads 4a) are arranged so as not to be adjacent to each other in the vertical or horizontal direction of the arrangement. Therefore, the adjacent interval between the signal pads 4a can be made relatively large. Therefore, suppression of electromagnetic interference between electrical signals transmitted through the signal pad 4a is also effective.

図3(b)の例では、配列の最外周に位置している信号パッド用導体2aについては、絶縁基板1の下面の外周に面した部分において比較的広い幅で被覆層3によって被覆されている。すなわち、配列の最外周の信号パッド用導体は、絶縁基板1の下面の外周側において外辺が部分的に外側に突出した円形状になっている。この信号パッド用導体2aは、円周方向の途中で半径が変わる円形状のパターンとみなすこともできる。   In the example of FIG. 3B, the signal pad conductor 2 a located at the outermost periphery of the array is covered with the covering layer 3 with a relatively wide width at the portion facing the outer periphery of the lower surface of the insulating substrate 1. Yes. That is, the outermost signal pad conductor in the array has a circular shape with the outer side partially protruding outward on the outer peripheral side of the lower surface of the insulating substrate 1. The signal pad conductor 2a can be regarded as a circular pattern whose radius changes midway in the circumferential direction.

このような場合には、上記熱応力が比較的大きく作用する絶縁基板1の下面の外周側で、信号パッド用導体2aと絶縁基板1との接合面積がより大きく確保される。そのため、この場合にも、配線基板10および電子装置20としての外部接続の信頼性を向上させる上でより有効な配線基板10および電子装置20を提供することができる。   In such a case, a larger bonding area between the signal pad conductor 2a and the insulating substrate 1 is secured on the outer peripheral side of the lower surface of the insulating substrate 1 where the thermal stress acts relatively large. Therefore, also in this case, it is possible to provide the wiring substrate 10 and the electronic device 20 that are more effective in improving the reliability of the external connection as the wiring substrate 10 and the electronic device 20.

また、信号パッド用導体2aは、接地パッド用導体2bに比べれば小さいため、信号パッド用導体2aと接地導体層6との間の寄生容量も比較的小さく抑えられている。そのため、特性インピーダンスの整合についても、上記の各例と同様の効果が得られる。   Further, since the signal pad conductor 2a is smaller than the ground pad conductor 2b, the parasitic capacitance between the signal pad conductor 2a and the ground conductor layer 6 is also relatively small. For this reason, the same effects as in the above examples can be obtained with respect to matching of characteristic impedance.

図3(b)の例は、例えば電子部品21または外部電気回路の設計の都合等によって配列の最外周に信号パッド4aが配置される必要があるような場合でも、実施することができる。   The example of FIG. 3B can be implemented even when the signal pad 4a needs to be disposed on the outermost periphery of the array due to, for example, the design of the electronic component 21 or the external electric circuit.

図4(a)および(b)はそれぞれ図2に示す配線基板および電子装置の他の変形例を示す平面図である。図4において図2と同様の部位には同様の符号を付している。   4A and 4B are plan views showing other variations of the wiring board and the electronic device shown in FIG. 2, respectively. 4, parts similar to those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals.

図4(a)の例では、信号パッド4aのうち接続パッド4の縦横の配列の最外周に位置しているものは、絶縁基板1の下面の中央側にシフトして配置されている。すなわち、接続パッド4と外部電気回路との接続における熱応力が低減される方向に信号パッド4aがシフトしている。そのため、配線基板10および電子装置20としての外部接続の信頼性を向上させる上でより有効な配線基板10および電子装置20を提供することができる。   In the example of FIG. 4A, among the signal pads 4 a, those located on the outermost periphery of the vertical and horizontal arrangement of the connection pads 4 are shifted to the center side of the lower surface of the insulating substrate 1. That is, the signal pad 4a is shifted in the direction in which the thermal stress in the connection between the connection pad 4 and the external electric circuit is reduced. Therefore, it is possible to provide the wiring substrate 10 and the electronic device 20 that are more effective in improving the reliability of external connection as the wiring substrate 10 and the electronic device 20.

なお、この例では、最外周の信号パッド4aに加えて、そのすぐ内側の信号パッド4aも絶縁基板1の下面の中央側にシフトして配置されている。この場合、内側の信号パッド4aについても熱応力が低減され、配線基板10および電子装置20としての外部接続の信頼性が向上する。また、互いに隣り合う信号パッド4a間の隣接間隔が小さくなり過ぎることが抑制され、両者の電磁的な干渉も抑制される。   In this example, in addition to the outermost signal pad 4a, the signal pad 4a immediately inside the signal pad 4a is also shifted to the center of the lower surface of the insulating substrate 1. In this case, thermal stress is also reduced for the inner signal pad 4a, and the reliability of external connection as the wiring board 10 and the electronic device 20 is improved. Moreover, it is suppressed that the adjacent space | interval between the mutually adjacent signal pads 4a becomes too small, and electromagnetic interference of both is also suppressed.

図4(b)の例では、縦または横方向に互いに隣り合って配置された信号パッド4a同士の間に接続導体8が配置されている。接続導体8は、これらの信号パッド4aが含まれている信号パッド用導体2a同士を電気的に接続している。接続導体8は、例えば絶縁基板1の第1主面に設けられ、被覆層3によって被覆されている。この例では、接続導体8は、信号パッド用導体2aとの電気絶縁性の確保のため、互いに隣り合う信号パッド用導体2aの間の中間部分を通過している。接続導体8は、例えば電子装置としての作動時(通電時)において接地電位になる。   In the example of FIG. 4B, the connection conductor 8 is arranged between the signal pads 4a arranged adjacent to each other in the vertical or horizontal direction. The connection conductor 8 electrically connects the signal pad conductors 2a including the signal pads 4a. The connection conductor 8 is provided, for example, on the first main surface of the insulating substrate 1 and is covered with the coating layer 3. In this example, the connection conductor 8 passes through an intermediate portion between the signal pad conductors 2a adjacent to each other in order to ensure electrical insulation with the signal pad conductor 2a. The connection conductor 8 becomes a ground potential when the electronic device is operated (when energized), for example.

このような接続導体8が配置されている場合には、互いに隣り合う接続パッド用導体2a(接続パッド4a)同士の間の電磁的な干渉が、接地電位の接続導体8によってより効果的に低減され得る。   When such a connection conductor 8 is arranged, electromagnetic interference between adjacent connection pad conductors 2a (connection pads 4a) is more effectively reduced by the connection conductor 8 having the ground potential. Can be done.

本発明の配線基板および電子装置は、上記実施の形態の例に限らず、本発明の要旨の範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、パッド用導体2および接続パッド4は、上記各例では概略縦横の並びに配列されているが、直線状(縦または横の一方向)に配列されているものであってもよい。また、信号パッド用導体2aのすべての大きさを接地パッド用導体よりも小さく形成する必要はなく、高周波信号が伝播し、特性インピーダンスの整合が困難な信号パッド用導体2aのみに適用しても構わない。   The wiring board and electronic device of the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope of the gist of the present invention. For example, the pad conductors 2 and the connection pads 4 are arranged substantially vertically and horizontally in each of the above examples, but may be arranged linearly (in one direction, vertically or horizontally). Further, it is not necessary to make all the size of the signal pad conductor 2a smaller than that of the ground pad conductor, and even when applied to only the signal pad conductor 2a in which high-frequency signals propagate and characteristic impedance matching is difficult. I do not care.

1・・・絶縁基板
2・・・パッド用導体
2a・・・信号パッド用導体
2b・・・接地パッド用導体
3・・・被覆層
4・・・接続パッド
4a・・・信号パッド
4b・・・接地パッド
5・・・配線導体
6・・・接地導体層
7・・・導電性接続材
8・・・接続導体
10・・・配線基板
20・・・電子装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 2 ... Pad conductor 2a ... Signal pad conductor 2b ... Ground pad conductor 3 ... Covering layer 4 ... Connection pad 4a ... Signal pad 4b ... -Grounding pad 5 ... Wiring conductor 6 ... Grounding conductor layer 7 ... Conductive connecting material 8 ... Connecting conductor
10 ... wiring board
20 ... Electronic device

Claims (5)

第1主面を有する絶縁基板と、
該絶縁基板の前記第1主面に配列されており、少なくとも一つの信号パッド用導体と該信号パッド用導体に隣り合う少なくとも一つの接地パッド用導体とを含む複数のパッド用導体と、
前記絶縁基板の前記第1主面から前記複数のパッド用導体のそれぞれの外周部にかけて被覆している被覆層とを備えており、
前記複数のパッド用導体のうち前記被覆層で被覆された前記外周部よりも内側の露出部分により、少なくとも一つの信号パッドと該信号パッドに隣り合う少なくとも一つの接地パッドとを含む複数の接続パッドが形成されており、
平面視において、前記信号パッド用導体よりも前記接地パッド用導体が大きく、かつ前記信号パッドと前記接地パッドとが同じ大きさであることを特徴とする配線基板。
An insulating substrate having a first main surface;
A plurality of pad conductors arranged on the first main surface of the insulating substrate and including at least one signal pad conductor and at least one ground pad conductor adjacent to the signal pad conductor;
A coating layer covering from the first main surface of the insulating substrate to the outer periphery of each of the plurality of pad conductors,
A plurality of connection pads including at least one signal pad and at least one ground pad adjacent to the signal pad by an exposed portion inside the outer peripheral portion covered with the coating layer among the plurality of pad conductors. Is formed,
A wiring board, wherein the ground pad conductor is larger than the signal pad conductor in plan view, and the signal pad and the ground pad are the same size.
前記複数のパッド用導体が縦横の並びに配列されており、
一つの前記信号パッド用導体が、複数の前記接地パッド用導体に囲まれている
ことを特徴とする請求項1に記載の配線基板。
The plurality of pad conductors are arranged vertically and horizontally,
The wiring board according to claim 1, wherein one signal pad conductor is surrounded by a plurality of ground pad conductors.
前記信号パッド用導体を囲む複数の前記接地パッド用導体において、前記信号パッド用導体と前記接地パッド用導体との隣接間隔が互いに同じであることを特徴とする請求項2に記載の配線基板。 3. The wiring board according to claim 2, wherein in the plurality of ground pad conductors surrounding the signal pad conductors, adjacent intervals between the signal pad conductors and the ground pad conductors are the same. 前記複数のパッド用導体において、前記被覆層で被覆された前記外周部が前記絶縁基板の内部に入り込んでいることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の配線基板。 4. The wiring board according to claim 1, wherein, in the plurality of pad conductors, the outer peripheral portion covered with the coating layer enters the inside of the insulating substrate. 5. 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の配線基板と、
前記絶縁基板の前記第1主面と反対側の第2主面に搭載された電子部品とを備えることを特徴とする電子装置。
The wiring board according to any one of claims 1 to 4,
An electronic device comprising: an electronic component mounted on a second main surface opposite to the first main surface of the insulating substrate.
JP2014108228A 2014-05-26 2014-05-26 Wiring board and electronic device Active JP6224525B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014108228A JP6224525B2 (en) 2014-05-26 2014-05-26 Wiring board and electronic device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014108228A JP6224525B2 (en) 2014-05-26 2014-05-26 Wiring board and electronic device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015225893A JP2015225893A (en) 2015-12-14
JP6224525B2 true JP6224525B2 (en) 2017-11-01

Family

ID=54842463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014108228A Active JP6224525B2 (en) 2014-05-26 2014-05-26 Wiring board and electronic device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6224525B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7142604B2 (en) 2019-05-15 2022-09-27 日本特殊陶業株式会社 Wiring board and its manufacturing method
WO2023243017A1 (en) * 2022-06-15 2023-12-21 日本電信電話株式会社 Electronic component package

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3368870B2 (en) * 1999-06-25 2003-01-20 日本電気株式会社 Package substrate and semiconductor device having the same
JP2005286303A (en) * 2004-03-05 2005-10-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd Laminated ceramic substrate and method of manufacturing same
JP2010129572A (en) * 2008-11-25 2010-06-10 Elpida Memory Inc Electronic device and semiconductor device
JP5977180B2 (en) * 2012-03-05 2016-08-24 京セラ株式会社 Wiring board

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015225893A (en) 2015-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9609754B2 (en) Package for mounting electronic element, electronic device, and imaging module
JP5823043B2 (en) Electronic device mounting substrate, electronic device, and imaging module
WO2016042819A1 (en) Substrate for mounting electronic element, and electronic device
JP2014027151A (en) Wiring board and electronic apparatus
JP6224525B2 (en) Wiring board and electronic device
JP2018032704A (en) Substrate for electronic element mounting, electronic device and electronic module
JP2014232851A (en) Electronic element mounting substrate and electronic device
JP5627391B2 (en) Multiple wiring board
JP6408423B2 (en) Package and electronic equipment
JP2017152433A (en) Substrate for mounting electronic component, electronic device, and electronic module
JP6250943B2 (en) Wiring board
JP2005019900A (en) Electronic device
JP6181455B2 (en) Wiring board
JP6114102B2 (en) Multi-wiring board
JP2016122978A (en) Electronic element mounting board and electronic device
JP6193702B2 (en) Multiple wiring board
JP3847190B2 (en) Wiring board
JP3878878B2 (en) Wiring board
JP2015103745A (en) Wiring board
JP2006310433A (en) Electronic component receiving container
JP2006185977A (en) Wiring board
JP6001464B2 (en) Wiring board and electronic device
JP4953684B2 (en) WIRING BOARD AND ELECTRONIC DEVICE USING THE SAME
JP2014060354A (en) Multi-piece wiring board and wiring board
JP2009111428A (en) Electronic device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161017

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170810

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170905

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171005

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6224525

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150