JP2008127267A - 導電性粉体及びその焼結体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム元素、インジウム元素及びスズ元素を含む酸化物原料を不活性ガス雰囲気中で焼成して得られ、BET比表面積測定法により測定した平均粒径が200nm以下である導電性粉体。
【選択図】なし
Description
さらに、ICパッケージ回路形成、クリーンルーム内装材、各種ガラスやフィルム等の帯電防止やほこりの付着防止、塗布型透明電極又は赤外線遮蔽材料等の用途に利用もしくは検討が行われており、今後の需要の伸びが期待されている。
しかし、上記製造方法は、プロセスが複雑であり廃水処理等にもコストがかかるという大きな問題点があった。
本発明によれば、以下の導電性粉体及びその焼結体が提供される。
1.アルミニウム元素、インジウム元素及びスズ元素を含む酸化物原料を不活性ガス雰囲気中で焼成して得られ、BET比表面積測定法により測定した平均粒径が200nm以下である導電性粉体。
2.酸素を除く全原子に占める前記アルミニウム元素の含有率が10mol%<アルミニウム元素<90mol%である1に記載の導電性粉体。
3.酸素を除く全原子に占めるインジウム元素及びスズ元素の含有率がそれぞれ、10mol%<インジウム元素≦85mol%、1mol%≦スズ元素<30mol%である2に記載の導電性粉体。
4.100kg/cm2の圧力印加時の電気伝導度が0.001S/cm以上である1〜3のいずれかに記載の導電性粉体。
5.1〜4のいずれかに記載の導電性粉体を焼結してなる焼結体。
上記BET比表面積測定法とは、粉体粒子表面に吸着占有面積が既知の分子を液体窒素の温度で吸着させ、その量から試料の比表面積を求める方法である。
インジウム元素が10mol%以下の場合、導電性が非常に低くなるおそれがある。一方、インジウム元素が85mol%を超える場合、高価なインジウムの含有率が高くなり、コストが高くなるおそれがある。
スズ元素が1mol%未満及び30mol%以上の場合、導電性が非常に低くなるおそれがある。
尚、酸化物粉体中の各元素の含有率は、ICP発光分析により測定した値であるが、出発原料における各原子の含有率と焼成後の含有率は、ほぼ同じ値である。
尚、上記混合の際に分散剤等を添加した水、アルコール等の少量の溶媒を用いてもよい。
機械的混合としては、例えば各種ミキサーを用いた混合が挙げられる。
加熱処理温度は、通常、1000℃以下が好ましい。1000℃を超える温度の場合、粒成長が激しく微粒子を作製するのが難しい。また、加熱時間は、加熱温度に依存し、加熱温度が高温であれば数秒程度、低温であれば1時間程度以下で十分である。例えば、加熱温度が1000℃を超える場合、加熱時間は好ましくは10分以下であり、加熱温度が500〜1000℃である場合、加熱時間は好ましくは30分以下であり、加熱温度が500℃未満の場合、加熱時間は好ましくは数時間程度である。
尚、電気伝導度について上限を特に規定する必要はないが、本発明の導電性粉体の電気伝導度の上限値としては、例えば103S/cm程度の値が考えられる。
また、導電性粉体自体の持つ機能を利用して、本発明の導電性粉体は帯電防止剤、熱線遮蔽材等、各種用途に用いられる。
この分散液をアクリル樹脂、エポキシ樹脂、ビニル樹脂等のバインダー、リン酸エステル、フタル酸エステル、脂肪族塩基酸エステル等の可塑剤等と混合することにより導電性塗料とすることもできる。
具体的には、本発明の導電性粉体にバインダーを混合して所定の形状に成型し、不活性ガス雰囲気中で900℃から1700℃で1分から100時間焼結を行うことで焼結体を得ることができる。バインダーとしては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリブチラール、ポリアクリル酸等が挙げられる。
尚、電気伝導度について上限を特に規定する必要はないが、本発明の焼結体の電気伝導度の上限値としては、例えば104S/cm程度の値が考えられる。
活性アルミナ(広島和光株式会社製、BET表面積139m2/g)4.545g、酸化インジウム粉末(フルウチ化学株式会社製、純度99.99%(BET表面積35.6m2))3.536g、及び遊星ボールミルにてあらかじめ微粉砕した酸化第二スズ(フルウチ化学株式会社製、純度99.99%(BET表面積15m2))1.919gを秤量し、メノウ乳鉢で混合した後、ボールミルで24時間混合した。混合した粉体から1gを採取してアルミナボートに載せ、石英管にいれて管状炉に挿入した。窒素(99.999%)を0.5L/分の流量で流しながら、焼成した。焼成条件は、室温から900℃まで約10分で昇温させた後、900℃で5分間保持した後、1時間かけて冷却した。得られた粉体は薄青味色であった。
平均粒径(μm)=6/(密度×比表面積)
尚、上記密度はX線解析測定の結果から格子定数を計算し、それから計算される格子体積と格子内に存在する原子の重量から計算した。
得られた粉体のICP発光分析装置により元素比を測定した結果、電気伝導度及び粒径を表1に示す。尚、金属元素の組成割合(mol比)は酸素を除く全原子に対する割合を示す。
表1に示す配合量及び焼成条件に従って実施例1と同様にして導電性粉体を得た。得られた結果を表1に示す。
また、実施例2で作製した導電性粉体のSEM(走査型電子顕微鏡)写真を図1に示す。実施例2の導電性粉体は、BET比表面積から求めた平均粒径と同等の粒径が確認され、また角が明瞭になっており結晶性が良好な粉体であることが確認された。
熱処理条件を大気雰囲気中にした以外は実施例2と同じにして導電性粉体を得た。得られた結果を表1に示す。
実施例2で得られた導電性粉体をCIP成型により圧縮成型体を作製した。この圧縮成型体をアルミナボートに乗せ、石英管に入れて管状炉に挿入した。窒素ガスを0.5L/分の流量で流しながら、1100℃にまで昇温して、1100℃で6時間保持し、焼結体を得た。得られた焼結体を四端子法により電気伝導度を測定したところ、1200S/cmと非常に高い電気伝導度を示した。
また、本発明の焼結体は透明導電性薄膜を形成するためのスパッタリングターゲット等に使用できる。
Claims (5)
- アルミニウム元素、インジウム元素及びスズ元素を含む酸化物原料を不活性ガス雰囲気中で焼成して得られ、
BET比表面積測定法により測定した平均粒径が200nm以下である導電性粉体。 - 酸素を除く全原子に占める前記アルミニウム元素の含有率が10mol%<アルミニウム元素<90mol%である請求項1に記載の導電性粉体。
- 酸素を除く全原子に占めるインジウム元素及びスズ元素の含有率がそれぞれ、10mol%<インジウム元素≦85mol%、1mol%≦スズ元素<30mol%である請求項2に記載の導電性粉体。
- 100kg/cm2の圧力印加時の電気伝導度が0.001S/cm以上である請求項1〜3のいずれかに記載の導電性粉体。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の導電性粉体を焼結してなる焼結体。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017048073A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | 国立大学法人 香川大学 | セラミックス焼結体及びその製造方法、並びにそのセラミックス焼結体からなる部材 |
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JP2004143022A (ja) * | 2001-11-16 | 2004-05-20 | Hitachi Maxell Ltd | スズ含有酸化インジウム粒子とその製造方法、ならびに導電性塗膜と導電性シート |
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