JP2008124325A - 薄膜光電変換装置とその製造方法 - Google Patents
薄膜光電変換装置とその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008124325A JP2008124325A JP2006308040A JP2006308040A JP2008124325A JP 2008124325 A JP2008124325 A JP 2008124325A JP 2006308040 A JP2006308040 A JP 2006308040A JP 2006308040 A JP2006308040 A JP 2006308040A JP 2008124325 A JP2008124325 A JP 2008124325A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- type
- photoelectric conversion
- crystalline semiconductor
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】酸化亜鉛の透明導電膜(3)上に、p型半導体層(41−43)、i型半導体層(44)、およびn型半導体層(45)が順次積層された薄膜光電変換ユニット(4)の少なくとも1つを含む薄膜光電変換装置(1)の製造方法において、透明導電膜に接する薄膜光電変換ユニット中のp型半導体層は透明導電膜上に第1のp型結晶質半導体層(41)、第2のp型結晶質半導体層(42)、及びp型非晶質半導体層(43)をプラズマCVDによって順次積層することによって形成され、第1p型結晶質半導体層の形成と第2p型結晶質半導体層の形成との間においてプラズマCVDの放電が所定時間だけ停止されることを特徴としている。
【選択図】図1
Description
図1を参照して説明された本発明の実施形態に対応して、実施例1として単接合シリコン系薄膜光電変換装置1を形成した。まず、白板ガラスの透明絶縁基板2の一主面上に、微細な表面凹凸を有するZnO透明導電膜3を熱CVD法により形成した。透明導電膜3の表面面積比は55%であった。
本発明の実施例2は、実施例1に比べて、第1p型結晶質半導体層41の形成時にシラン:水素:ジボランのガス流量比が1:230:1.25に変更されていることのみにおいて異なっていた。表1において、実施例2による第1p型結晶質半導体層41と第2p型結晶質半導体層42に関するガス流量比と膜厚を示している。
本発明の実施例3は、実施例1に比べて、第1p型結晶質半導体層41の形成時にシラン:水素:ジボランのガス流量比が1:230:0.5に変更されていることのみにおいて異なっていた。表1において、実施例3による第1p型結晶質半導体層41と第2p型結晶質半導体層42に関するガス流量比と膜厚を示している。
比較例1は、実施例1に比べて、第1p型結晶質半導体層41の厚さが10nmに変更されて、第2p型結晶質半導体層42が省略されたことのみにおいて異なっていた。表1において、比較例1による第1p型結晶質半導体層41と第2p型結晶質半導体層42に関するガス流量比と膜厚を示している。
比較例2は、実施例2に比べて、第1p型結晶質半導体層41の厚さが10nmに変更されて、第2p型結晶質半導体層42が省略されたことのみにおいて異なっていた。表1において、比較例2による第1p型結晶質半導体層41と第2p型結晶質半導体層42に関するガス流量比と膜厚を示している。
Claims (3)
- 酸化亜鉛の透明導電膜上に、p型半導体層、i型半導体層、およびn型半導体層が順次積層された薄膜光電変換ユニットの少なくとも1つを含む薄膜光電変換装置の製造方法であって、
前記透明導電膜に接する前記薄膜光電変換ユニット中の前記p型半導体層は、前記透明導電膜上に第1のp型結晶質半導体層、第2のp型結晶質半導体層、及びp型非晶質半導体層をプラズマCVDによって順次積層することによって形成され、
前記第1p型結晶質半導体層の形成と前記第2p型結晶質半導体層の形成との間において、前記プラズマCVDの放電が所定時間だけ停止されることを特徴とする薄膜光電変換装置の製造方法。 - 前記第1p型結晶質半導体層を前記プラズマCVDで形成する際に導入される反応ガスに含まれるp導電型決定不純物の濃度は、前記第2p型結晶質半導体層を形成する際に比べて小さいことを特徴とする請求項1記載の薄膜光電変換装置の製造方法。
- 酸化亜鉛の透明導電膜上に、p型半導体層、i型半導体層、n型半導体層が順次積層された薄膜光電変換ユニットを少なくとも1つを含む薄膜光電変換装置であって、
前記透明導電膜に接する前記薄膜光電変換ユニット中の前記p型半導体層は、前記透明導電膜上に順次積層された第1のp型結晶質半導体層、第2のp型結晶質半導体層、及びp型非晶質半導体層を含み、前記第1p型結晶質半導体層は第2p型結晶質半導体層に比べて少ないp型導電型決定不純物濃度を有することを特徴とする薄膜光電変換装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006308040A JP4971755B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | 薄膜光電変換装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006308040A JP4971755B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | 薄膜光電変換装置とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008124325A true JP2008124325A (ja) | 2008-05-29 |
JP4971755B2 JP4971755B2 (ja) | 2012-07-11 |
Family
ID=39508742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006308040A Active JP4971755B2 (ja) | 2006-11-14 | 2006-11-14 | 薄膜光電変換装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4971755B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014051078A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社カネカ | 薄膜光電変換装置およびその製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63234516A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-29 | Canon Inc | 薄膜多層構造の形成方法 |
JPH11340485A (ja) * | 1991-04-08 | 1999-12-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置及びその製造方法 |
JP2002141528A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |
JP2003188400A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 結晶性SiC膜の製造方法、結晶性SiC膜及び太陽電池 |
JP2004087932A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 光起電力素子の製造方法及び光起電力素子 |
JP2005277303A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Kaneka Corp | 積層型光電変換装置の製造方法 |
WO2005109526A1 (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Kaneka Corporation | 薄膜光電変換装置 |
JP2006121011A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Kaneka Corp | 透明電極層の加工方法およびそれを用いた薄膜光電変換装置 |
JP2006216624A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 太陽電池及び太陽電池の製造方法 |
JP2006310694A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Kaneka Corp | 集積化多接合薄膜光電変換装置 |
-
2006
- 2006-11-14 JP JP2006308040A patent/JP4971755B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63234516A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-29 | Canon Inc | 薄膜多層構造の形成方法 |
JPH11340485A (ja) * | 1991-04-08 | 1999-12-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 光起電力装置及びその製造方法 |
JP2002141528A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 光電変換装置 |
JP2003188400A (ja) * | 2001-12-20 | 2003-07-04 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 結晶性SiC膜の製造方法、結晶性SiC膜及び太陽電池 |
JP2004087932A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 光起電力素子の製造方法及び光起電力素子 |
JP2005277303A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Kaneka Corp | 積層型光電変換装置の製造方法 |
WO2005109526A1 (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-17 | Kaneka Corporation | 薄膜光電変換装置 |
JP2006121011A (ja) * | 2004-10-25 | 2006-05-11 | Kaneka Corp | 透明電極層の加工方法およびそれを用いた薄膜光電変換装置 |
JP2006216624A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 太陽電池及び太陽電池の製造方法 |
JP2006310694A (ja) * | 2005-05-02 | 2006-11-09 | Kaneka Corp | 集積化多接合薄膜光電変換装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014051078A1 (ja) | 2012-09-28 | 2014-04-03 | 株式会社カネカ | 薄膜光電変換装置およびその製造方法 |
US20150221802A1 (en) * | 2012-09-28 | 2015-08-06 | Kaneka Corporation | Thin-film photoelectric conversion device and method for manufacturing same |
EP2903032A4 (en) * | 2012-09-28 | 2016-06-08 | Kaneka Corp | PHOTOVOLTAIC THIN-LAYER DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
JPWO2014051078A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-25 | 株式会社カネカ | 薄膜光電変換装置およびその製造方法 |
US9865762B2 (en) | 2012-09-28 | 2018-01-09 | Kaneka Corporation | Thin-film photoelectric conversion device and method for manufacturing same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4971755B2 (ja) | 2012-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4257332B2 (ja) | シリコン系薄膜太陽電池 | |
JP5069791B2 (ja) | 薄膜光電変換装置とその製造方法 | |
WO2006057160A1 (ja) | 薄膜光電変換装置 | |
KR20080050449A (ko) | 실리콘계 박막 광전 변환 장치, 및 그의 제조 방법 | |
JPWO2007074683A1 (ja) | 積層型光電変換装置 | |
JP4902779B2 (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
JP2010283161A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP2007305826A (ja) | シリコン系薄膜太陽電池 | |
JP4902767B2 (ja) | 光電変換装置 | |
JP2009117463A (ja) | 薄膜光電変換装置 | |
JP4864077B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4971755B2 (ja) | 薄膜光電変換装置とその製造方法 | |
JP2006216624A (ja) | 太陽電池及び太陽電池の製造方法 | |
JP4441377B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP2011014618A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP4283849B2 (ja) | 薄膜光電変換装置およびその製造方法 | |
JP4441298B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法 | |
JP2009111183A (ja) | 光電変換装置用透明導電膜、及びその製造方法 | |
JPWO2006049003A1 (ja) | 薄膜光電変換装置の製造方法 | |
JP2008235687A (ja) | 薄膜光電変換装置用基板とそれを含む薄膜光電変換装置 | |
JP5763411B2 (ja) | 積層型光電変換装置 | |
JP2010283162A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JP2011216586A (ja) | 積層型光電変換装置および積層型光電変換装置の製造方法 | |
JP2010080672A (ja) | 光電変換装置及び光電変換装置の製造方法 | |
JP5613296B2 (ja) | 光電変換装置用透明導電膜、光電変換装置、およびそれらの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090924 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110315 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110421 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110519 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110720 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120406 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4971755 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |