JP2008122490A5

JP2008122490A5 -

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Publication number: JP2008122490A5
Application number: JP2006303647A
Authority: JP
Filing date: 2006-11-09
Publication date: 2009-12-24

Claims

支持部と、
前記支持部に対して変位可能な変位部と、
前記支持部と前記変位部とを連結する弾性変形可能な連結部と、
前記連結部を曲げ変形させるための圧電素子とを有し、
通電により前記圧電素子を伸縮させることで、前記連結部を曲げ変形させて前記変位部を変位させるように構成されたアクチュエータを製造する方法であって、
前記圧電素子の伸縮による駆動力を前記連結部に伝達する伝達点を構成する第１の突起および第２の突起のうち、前記第１の突起を前記支持部または前記連結部に形成するとともに、前記第２の突起を前記第１の突起に対して前記連結部の長手方向に間隔を隔てて前記連結部に形成する第１の工程と、
前記第１の突起および前記第２の突起を包含するように、前記圧電素子を前記第１の突起および前記第２の突起のそれぞれと固着する第２の工程とを含んでいることを特徴とするアクチュエータの製造方法。
前記第１の工程において、
前記第１の突起の形成は、前記支持部または前記連結部とは別部材を前記支持部または前記連結部に固着することにより行い、
前記第２の突起の形成は、前記連結部とは別部材を前記連結部に固着することにより行う請求項１に記載のアクチュータの製造方法。
前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層を狭持する１対の電極とを備え、
前記第１の突起および前記第２の突起のうちの少なくとも一方の突起は、導電性を有しており、
前記第２の工程では、前記１対の電極のうちの一方の電極と、前記少なくとも一方の突起とを固着する請求項１または２に記載のアクチュエータの製造方法。
前記第１の工程に先立って、前記支持部上および／または前記弾性部材上に、導電性を有する導電性膜を形成する工程を有し、
前記第１の工程では、前記導電性膜を介して前記少なくとも一方の突起を前記支持部または前記連結部に固着し、前記導電性膜と前記第１の突起とを導通させる請求項３に記載のアクチュエータの製造方法。
支持部と、
前記支持部に対して変位可能な変位部と、
前記支持部と前記変位部とを連結する弾性変形可能な連結部と、
前記連結部に設けられ、通電により伸縮して、前記変位部を変位させるように前記連結部を曲げ変形するための圧電素子と、
前記圧電素子に固着して、前記支持部または前記連結部に設けられた第１の突起と、
前記圧電素子に固着して、前記第１の突起に対して前記連結部の長手方向へ間隔を隔てて前記連結部に設けられた第２の突起と、
を有することを特徴とするアクチュエータ。
前記第１の突起は、前記支持部に設けられている請求項５に記載のアクチュエータ。
前記第１の突起および前記第２の突起のそれぞれは、点状をなし、前記連結部の幅方向での中央を通り、前記連結部の長手方向と平行な線分上に設けられている請求項６に記載のアクチュエータ。
前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層を狭持する１対の電極とを備え、
前記第１の突起および前記第２の突起のうちの少なくとも一方の突起は、導電性を有しており、
前記１対の電極のうちの一方の電極と前記少なくとも一方の突起とが固着している請求項５ないし７のいずれかに記載のアクチュエータ。
前記支持部および／または前記連結部には、導電性を有する導電性膜が形成され、
前記少なくとも一方の突起は、前記導電性膜を介して、前記支持部または前記連結部と固着している請求項８に記載のアクチュエータ。
前記連結部は、その幅方向へ並設するように１対設けられ、
前記１対の連結部を互いに反対方向へ曲げ変形させることにより前記変位部を前記支持部に対して回動させるように構成されている請求項５ないし９のいずれかに記載のアクチュエータ。
前記１対の連結部は、前記変位部をその両側で前記支持部と連結するように２組設けられている請求項１０に記載のアクチュエータ。
前記変位部は、前記１対の連結部に支持され、前記支持部に対して回動可能な可動板を備えている請求項１１に記載のアクチュエータ。
前記変位部は、前記各１対の連結部を介して前記支持部に支持され前記支持部に対して回動可能な１対の駆動部材と、前記可動板を前記１対の駆動部材に対して回動可能とするように、前記各駆動部材と前記可動板とを連結する１対の弾性部材とを備えている請求項１２に記載のアクチュエータ。
前記可動板の板面には、光反射性を有する光反射部が設けられている請求項１２または１３に記載のアクチュエータ。
支持部と、
前記支持部に対して変位可能な、光反射性を有する光反射部を備える変位部と、
前記支持部と前記変位部とを連結する弾性変形可能な連結部と、
前記連結部を曲げ変形させるための圧電素子とを有し、
通電により前記圧電素子を伸縮させることで、前記連結部を曲げ変形させて前記変位部を変位させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナであって、
前記圧電素子の伸縮による駆動力を前記連結部に伝達する伝達点を構成する第１の突起および第２の突起を備え、
前記第１の突起は、前記支持部または前記連結部に設けられ、
前記第２の突起は、前記連結部に前記第１の突起に対して前記連結部の長手方向へ間隔を隔てて設けられ、
前記圧電素子は、前記第１の突起および前記第２の突起のそれぞれと固着され、前記連結部に支持されていることを特徴とする光スキャナ。
支持部と、
前記支持部に対して変位可能な、光反射性を有する光反射部を備える変位部と、
前記支持部と前記変位部とを連結する弾性変形可能な連結部と、
前記連結部を曲げ変形させるための圧電素子とを有し、
通電により前記圧電素子を伸縮させることで、前記連結部を曲げ変形させて前記変位部を変位させ、前記光反射部で反射した光を走査するように構成された光スキャナを備える画像形成装置であって、
前記圧電素子の伸縮による駆動力を前記連結部に伝達する伝達点を構成する第１の突起および第２の突起を備え、
前記第１の突起は、前記支持部または前記連結部に設けられ、
前記第２の突起は、前記連結部に前記第１の突起に対して前記連結部の長手方向へ間隔を隔てて設けられ、
前記圧電素子は、前記第１の突起および前記第２の突起のそれぞれと固着され、前記連結部に支持されていることを特徴とする画像形成装置。