JP2008122079A - 信号測定装置及び半導体試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】信号測定装置10は、DUT20から出力されるアナログ信号S10をディジタル信号S11a〜S11nに変換する変換特性が互いに異なる複数のA/D変換器11a〜11nと、A/D変換器11a〜11nの各々に対応して設けられ、対応するA/D変換器11a〜11nの変換特性に応じた所定の処理を行う複数のディジタル回路12a〜12nとを備える。
【選択図】図1
Description
この発明によると、アナログ信号は変換特性が互いに異なる複数の変換器に入力されてディジタル信号に変換され、変換された各々のディジタル信号は変換器に対応して設けられた処理部で対応する変換器の変換特性に応じた所定の処理が施される。
また、本発明の第1の観点による信号測定装置は、前記変換器が、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能のうちの何れか1つが他の変換器よりも高いことを特徴としている。
また、本発明の第1の観点による信号測定装置は、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能は、DC性能、ノイズ性能、歪み性能、及びスプリアス性能の少なくとも1つを含むことを特徴としている。
更に、本発明の第1の観点による信号測定装置は、前記処理部が、対応する前記変換器から出力されるディジタル信号を周波数解析し、他の変換器よりも高い性能に関する測定結果を求める処理を行うことを特徴としている。
上記課題を解決するために、本発明の第2の観点による信号測定装置は、アナログ信号をディジタル信号に変換して測定する信号測定装置(30)において、アナログ信号(S10)をディジタル信号(S31a、S31b)に変換する変換特性が互いに異なる複数の変換器(31a、31b)と、前記変換器の各々から出力されるディジタル信号を合成し、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能に関する測定結果を求める処理を行う信号処理部(32)とを備えることを特徴としている。
この発明によると、アナログ信号は変換特性が互いに異なる複数の変換器に入力されてディジタル信号に変換され、変換された各々のディジタル信号は信号処理部で合成されて変換器の変換特性を評価する際に用いられる複数の性能に関する測定結果を求める処理が行われる。
また、本発明の第2の観点による信号測定装置は、前記信号処理部が、前記変換器の各々から出力されるディジタル信号を周波数解析する周波数解析部(41a、41b)と、前記周波数解析部の解析結果から、前記変換器の変換特性に応じた所定の周波数成分を抽出する抽出部(42a、42b)と、前記抽出部で抽出された周波数成分を合成する合成部(43)とを備えることを特徴としている。
また、本発明の第2の観点による信号測定装置は、前記変換器が、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能のうちの何れか1つが他の変換器よりも高いことを特徴としている。
更に、本発明の第2の観点による信号測定装置は、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能は、DC性能、ノイズ性能、歪み性能、及びスプリアス性能の少なくとも1つを含むことを特徴としている。
本発明の半導体試験装置は、被試験デバイス(20)の試験を行う半導体試験装置において、上記の何れかに記載の信号測定装置を備え、当該信号測定装置を用いて前記被試験デバイスから出力されるアナログ信号の測定を行うことを特徴としている。
図1は、本発明の第1実施形態による信号測定装置の要部構成を示すブロック図である。図1に示す通り、本実施形態の信号測定装置10は、並列に設けられた複数のA/D変換器11a〜11n(変換器)と、A/D変換器11a〜11nに対応して設けられた複数のディジタル回路12a〜12n(処理部)とを備えており、被試験デバイス(以下、DUT(Device Under Test)という)20から出力されるアナログ信号S10を測定する。
図2は、本発明の第2実施形態による信号測定装置の要部構成を示すブロック図である。図2に示す通り、本実施形態の信号測定装置30は、並列に設けられた2つのA/D変換器31a,31b(変換器)とディジタル回路32(信号処理部)とを備えており、DUT20から出力されるアナログ信号S10を測定する。
11a〜11n A/D変換器
12a〜12n ディジタル回路
20 DUT
30 信号測定装置
31a,31b A/D変換器
32 ディジタル回路
41a,41b FFT部
42a,42b 周波数成分抽出部
43 合成部
S10 アナログ信号
S11a〜S11n ディジタル信号
S31a,S31b ディジタル信号
Claims (9)
- アナログ信号をディジタル信号に変換して測定する信号測定装置において、
アナログ信号をディジタル信号に変換する変換特性が互いに異なる複数の変換器と、
前記変換器の各々に対応して設けられ、対応する前記変換器の変換特性に応じた所定の処理を行う複数の処理部と
を備えることを特徴とする信号測定装置。 - 前記変換器は、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能のうちの何れか1つが他の変換器よりも高いことを特徴とする請求項1記載の信号測定装置。
- 前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能は、DC性能、ノイズ性能、歪み性能、及びスプリアス性能の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項2記載の信号測定装置。
- 前記処理部は、対応する前記変換器から出力されるディジタル信号を周波数解析し、他の変換器よりも高い性能に関する測定結果を求める処理を行うことを特徴とする請求項2又は請求項3記載の信号測定装置。
- アナログ信号をディジタル信号に変換して測定する信号測定装置において、
アナログ信号をディジタル信号に変換する変換特性が互いに異なる複数の変換器と、
前記変換器の各々から出力されるディジタル信号を合成し、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能に関する測定結果を求める処理を行う信号処理部と
を備えることを特徴とする信号測定装置。 - 前記信号処理部は、前記変換器の各々から出力されるディジタル信号を周波数解析する周波数解析部と、
前記周波数解析部の解析結果から、前記変換器の変換特性に応じた所定の周波数成分を抽出する抽出部と、
前記抽出部で抽出された周波数成分を合成する合成部と
を備えることを特徴とする請求項5記載の信号測定装置。 - 前記変換器は、前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能のうちの何れか1つが他の変換器よりも高いことを特徴とする請求項5又は請求項6記載の信号測定装置。
- 前記変換特性を評価する際に用いられる複数の性能は、DC性能、ノイズ性能、歪み性能、及びスプリアス性能の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項7記載の信号測定装置。
- 被試験デバイスの試験を行う半導体試験装置において、
請求項1から請求項8の何れか一項に記載の信号測定装置を備え、当該信号測定装置を用いて前記被試験デバイスから出力されるアナログ信号の測定を行うことを特徴とする半導体試験装置。
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