JP2008119751A - ボール振込方法及びボール振込装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボール振込装置は、ボール供給部10と、基板23のバンプに対応した孔が開口しているマスク21と、ボール振込部からなる。ボール供給装置10は、ボール20を所定時間間隔で間欠的に開口が形成されたマスク21上に供給し、振込ヘッド5は、マスク21上のボール20を移動させてマスク21の開口を介して基板23の上に振込む。ボール振込途中にボール供給装置10から供給されるボール20は、振込ヘッド5の中空部を通ってマスク上に落下する。
【選択図】図1
Description
第1の目的は、高精度に計量したボールを空気に触れている時間を短くしてヘッドに送り且つボールの供給の開始と停止時にボールを損傷させないボール供給方法とボール供給装置を提供することにある。
第2の目的は、上記ボール供給装置を用いてボールをマスクの所定個所に振込むボール振込装置を提供することにある。
(1)ボールの供給、計量および排出の工程で、ボールを損傷しないボール供給方法とボール供給装置が実用化できた。
(2)ボールをボール運搬容器からヘッドに送る間において、ボールが空気と接触する時間が短いボール供給方法とボール供給装置が実用化できた。
(3)損傷のない微小ボールをマスクの開口に振込むことができるボール振込装置が実用化できた。
(4)ボール振込操作が終了したときにヘッド内に残るボール量を少なくしたボール振込装置を実用化することができた。
ボール振込部1は、ボール供給装置10と、振込ヘッド5と、マスク21と、マスク洗浄装置と、それらの駆動装置からなる。なお、半導体ウエハや電子回路等の基板23は、ローダから基板載置部24に送られ固定され、基板反り矯正部3とフラックス印刷部2の工程を経て、ボール振込部1の工程に送られてくる。基板搭載部24は、XYZθ軸の位置調節ができるようになっていて、基板23に設けられた電極やバンプ等の位置とマスク21の開口の位置を合わせることができるようになっている。
このような構造のボール計測部は、ボールの酸化や損傷を生じさせないでボールを計量・供給できるので、このボール計測部を操作させるボール供給方法と、このボール計測部の構造を盛り込んだボール供給装置は、ボール振込装置の他、真空吸着型ボール搭載装置用としても有効である。このボール供給装置に適するボールの形状は、球状に限定されず
ボール分離貯留部29内のボール20は、90°回転(ボール貯留部11が左側で水平になるまで回転させた位置)すると、大半が第3ボール通路30へ移動する。更に回転角度を大きくするとボール20は、第4ボール通路31に移動する。第4ボール通路31は、第3図の状態で水平から10°下方に傾斜しているので、この状態では、少々ではるがボール20が出口32に移動しない程度に上を向いている。このため、100°未満回転させてもボール20は、出口32からこぼれることはない。100°を超えて回転すると、ボール20は、出口32から排出され始める。ボール20の排出に対応した受口を中空の回転シャフト7に設ける。回転速度がゆっくりであると、ボール20は、回転角度に応じた量だけ、出口32から排出される。しかし、ボール20の移動速度より回転速度を速くして回転を180°で急停止すると、ボール20の全てを図4の位置に一時に排出できるようになる。第4ボール通路31を移動してきたボール20は、出口32に垂直なボール方向変更草33に当たり、減速され且つ方向を変えられながら、出口32から排出される。ボール方向変更草33は、ボール20の移動速度を減速する役割を持っている。
1・・・ボール振込部、2・・・フラックス印刷部、3・・・基板反り矯正部、4・・・ローダ・アンローダ部、5・・・振込ヘッド、6・・・ヘッド回転用モータ、7・・・回転シャフト、8・・・スキージ支持板、9・・・スキージ、10・・・ボール供給部、11・・・ボール貯留部、12・・・ボール計量部、13・・・ロータリシリンダ、13a・・・回転軸、14・・・取付治具、15・・・Z軸スライダ、16・・・Z軸レール、17・・・ガイド溝、18・・・X軸スライダ、19・・・X軸レール、20・・・ボール、20a・・・ボール集団の先端、21・・・マスク、22・・・マスク枠、23・・・基板、24・・・基板載置部、25・・・取付部、26・・・第1ボール通路、27・・・ボール計量キャビティ、28・・・第2ボール通路、29・・・ボール分離貯留キャビティ、30・・・第3ボール通路、31・・・第4ボール通路、32・・・出口、33・・・ボール方向変更草
Claims (4)
- ボールを供給するボール供給装置と、上記ボールを振込む開口が設けられたマスクと、上記ボール供給装置から上記マスク上に供給された上記ボールを上記開口に振込む振込ヘッドとからなるボール振込装置において、
上記振込ヘッドは、上記ボール供給装置から供給される上記ボールが上記マスクに落下するときに通る中空部を有することを特徴とするボール振込装置 - 前記ボール供給装置は、前記マスク上の前記ボールの量が所定の範囲になるように前記ボールをボール振込途中前記マスク上に供給することを特徴とする請求項1記載のボール振込装置。
- ボール供給装置で計量されたボールを複数の開口が設けられたマスク上に供給し、振込ヘッドを水平方向に移動させて上記ボールを上記開口に振込むボール振込方法において、
上記振込ヘッド内の中空部を通り上記マスク上に、計量された上記ボールを落下させることを特徴とするボール振込方法。 - 前記ボール供給方法は、前記ボールを間欠的に前記マスク上に供給することを特徴とする請求項3記載のボール振込方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007308512A JP4843764B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | ボール振込方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007308512A JP4843764B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | ボール振込方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004370609A Division JP2006175471A (ja) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | ボール供給方法、ボール供給装置及びボール振込装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008119751A true JP2008119751A (ja) | 2008-05-29 |
JP4843764B2 JP4843764B2 (ja) | 2011-12-21 |
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ID=39505068
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007308512A Expired - Fee Related JP4843764B2 (ja) | 2007-11-29 | 2007-11-29 | ボール振込方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4843764B2 (ja) |
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JP4843764B2 (ja) | 2011-12-21 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101029 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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