JP2008118007A - 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】微細化によるメモリセル間の干渉を低減し、かつ、オフ状態でのリーク電流を抑制した不揮発性半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、半導体基板10と、半導体基板に形成された複数の素子分離領域STIと、隣り合う素子分離領域間に設けられた素子形成領域AAであって、素子分離領域の隣接方向の断面において素子形成領域の側部の一部分の幅が該素子形成領域の上面の幅よりも狭い窪みCを有する素子形成領域と、素子形成領域上に設けられた第1のゲート絶縁膜20と、第1のゲート絶縁膜上に設けられたフローティングゲート電極FGと、フローティングゲート電極上に設けられた第2のゲート絶縁膜30と、第2のゲート絶縁膜上に設けられたコントロールゲート電極CGとを備え、素子分離領域の隣接方向の断面においてフローティングゲート電極の上辺の幅がフローティングゲート電極の下辺の幅よりも狭い。
【選択図】図2
【解決手段】不揮発性半導体記憶装置は、半導体基板10と、半導体基板に形成された複数の素子分離領域STIと、隣り合う素子分離領域間に設けられた素子形成領域AAであって、素子分離領域の隣接方向の断面において素子形成領域の側部の一部分の幅が該素子形成領域の上面の幅よりも狭い窪みCを有する素子形成領域と、素子形成領域上に設けられた第1のゲート絶縁膜20と、第1のゲート絶縁膜上に設けられたフローティングゲート電極FGと、フローティングゲート電極上に設けられた第2のゲート絶縁膜30と、第2のゲート絶縁膜上に設けられたコントロールゲート電極CGとを備え、素子分離領域の隣接方向の断面においてフローティングゲート電極の上辺の幅がフローティングゲート電極の下辺の幅よりも狭い。
【選択図】図2
Description
本発明は不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法に関する。
NAND型フラッシュメモリはビット線の制御を選択トランジスタで行うため、NOR型フラッシュやDRAMに比較してセル面積を小さくすることができる。従って、NAND型フラッシュメモリは低コストで製造することができる。
しかし、NAND型フラッシュメモリを微細化していくと、メモリセルのサイズの微細化と共にメモリセル間の間隔(STIの幅)も縮小される。これは、メモリセルの近接効果をもたらし、メモリセル間の干渉の原因となる。メモリセル間の干渉は、隣り合うフローティングゲート電極の互いの電位を平均化するように作用する。よって、データを書き込んだ状態とデータを消去した状態と間の閾値差(ΔVTH)が狭くなり、その結果、データの書込み不良を引き起こす。また、メモリセルのサイズの微細化により、オフ状態でのリーク電流(S−factor)の増大が問題となる。例えば、非特許文献1を参照されたい。
A novel self-aligned shallow trench isolation cell for 90 nm 4 Gbit NAND flash EEPROMs; M. Ichige, et al., VLSI Technology, 2003. Digest of Technical papers. 2003 Symposium on, 10-12 June 2003 Pages: 89-90
A novel self-aligned shallow trench isolation cell for 90 nm 4 Gbit NAND flash EEPROMs; M. Ichige, et al., VLSI Technology, 2003. Digest of Technical papers. 2003 Symposium on, 10-12 June 2003 Pages: 89-90
そこで、微細化によるメモリセル間の干渉を低減し、かつ、オフ状態でのリーク電流を抑制した不揮発性半導体記憶装置を提供する。
本発明に係る実施形態に従った不揮発性半導体記憶装置は、半導体基板と、前記半導体基板に形成された複数の素子分離領域と、隣り合う前記素子分離領域間に設けられた素子形成領域であって、前記素子分離領域の隣接方向の断面において前記素子形成領域の側部の一部分の幅が該素子形成領域の上面の幅よりも狭い窪みを有する素子形成領域と、前記素子形成領域上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜上に設けられたフローティングゲート電極と、前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に前記第2のゲート絶縁膜を介して設けられたコントロールゲート電極とを備え、前記素子分離領域の隣接方向の断面において前記フローティングゲート電極の上辺の幅が前記フローティングゲート電極の下辺の幅よりも狭いことを特徴とする。
本発明に係る実施形態に従った不揮発性半導体記憶装置の製造方法は、半導体基板上に第1のゲート絶縁膜を形成し、前記第1のゲート絶縁膜上にフローティングゲート電極材料を堆積し、前記フローティングゲート電極材料および前記第1のゲート絶縁膜を貫通して前記半導体基板に達する複数のトレンチを形成するとともに、前記トレンチの配列方向の断面において、前記フローティングゲート電極材料の上辺の幅が該フローティングゲート電極材料の下辺の幅よりも狭くなるように前記フローティングゲート電極材料の側壁をエッチングしてフローティングゲート電極を形成し、尚且つ、前記トレンチの配列方向の断面において、側部の一部分の幅が上面の幅よりも狭い窪みを有する素子形成領域を形成し、前記トレンチに絶縁物を充填することによって素子分離を形成し、前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に第2のゲート絶縁膜を形成し、前記第2のゲート絶縁膜上にコントロールゲート電極材料を堆積することを具備する。
本発明による不揮発性半導体記憶装置は、微細化によるメモリセル間の干渉を低減し、かつ、オフ状態でのリーク電流を抑制することができる。
以下、図面を参照して本発明に係る実施形態を説明する。本実施形態は、本発明を限定するものではない。
(第1の実施形態)
図1に示すNAND型フラッシュメモリ100は、ビット線BLと、選択ゲート電極SGと、フローティングゲート電極FGと、コントロールゲート電極CGと、素子分離領域としてのSTI(Shallow Trench Isolation)とを備えている。選択ゲート電極SGを設けたため、ビット線BLを各メモリセルに対して設ける必要がない。その結果、NAND型フラッシュメモリ100はDRAMやNOR型フラッシュメモリよりも微細化に有利である。
図1に示すNAND型フラッシュメモリ100は、ビット線BLと、選択ゲート電極SGと、フローティングゲート電極FGと、コントロールゲート電極CGと、素子分離領域としてのSTI(Shallow Trench Isolation)とを備えている。選択ゲート電極SGを設けたため、ビット線BLを各メモリセルに対して設ける必要がない。その結果、NAND型フラッシュメモリ100はDRAMやNOR型フラッシュメモリよりも微細化に有利である。
一般に、ビット毎にビット線コンタクトを形成する必要の無いNAND型フラッシュメモリでは、素子の微細化に伴い、隣り合うフローティングゲート電極FG間の幅が狭くなる。これは、上述のように近接効果を強める原因となる。
図2(A)は、図1に示すA−A線に沿った断面図である。図2(B)は、図1に示すB−B線に沿った断面図である。メモリ100は、半導体基板10と、素子形成領域としてのアクティブエリアAAと、第1のゲート絶縁膜(トンネル絶縁膜)20と、フローティングゲート電極FGと、第2のゲート絶縁膜30と、コントロールゲート電極CGと、拡散層40とを備えている。
STIは、図1に示すようにストライプ状に半導体基板10に複数形成されており、素子分離領域として作用する。アクティブエリアAAが隣り合うSTIの間に設けられている。第1のゲート絶縁膜20はアクティブエリアAA上に設けられている。フローティングゲート電極FGは第1のゲート絶縁膜20上に設けられている。第2のゲート絶縁膜30はフローティングゲート電極FGの上面上およびその側面上に設けられている。コントロールゲート電極CGはフローティングゲート電極FGの上面上およびその側面上に、第2のゲート絶縁膜30を介して設けられている。
STIの隣接方向(以下、チャネル幅方向ともいう)Dwの断面においてアクティブエリアAAの側部の一部分の幅W1は、アクティブエリアAAの上面の幅W0よりも狭く形成されている。これにより、アクティブエリアAAの側部には、窪みCが形成されている。また、STIの隣接方向Dwの断面において、フローティングゲート電極FGは逆T字型に形成されており、その上辺の幅W2はその下辺の幅W3よりも狭い。コントロールゲート電極CGは、逆T字型のフローティングゲート電極FGの突出部の間に入り込んでいる。
図2(B)に示すように、拡散層40は、隣り合うフローティングゲート電極FG間のアクティブエリアAAの表面に形成されている。拡散層40間のチャネル長をLとする。図2(A)に示すように、チャネル幅はW0である。チャネル長方向DLは、STIの延伸方向であり、拡散層40間に電荷が流れる方向である。チャネル幅方向DWは、チャネル長方向DLに対して直行する方向である。41は、エクステンション層である。
図2(A)に示すように、フローティングゲート電極FGの上部の幅W2がその下部の幅W3よりも狭いことによって、隣接するフローティングゲート電極FG間の間隔W4が広くなる。従って、装置の微細化によって、メモリセルMC間の間隔が狭くなったとしても、間隔W4を広く維持できるので、コントロールゲート電極CGを深い位置まで導入することができる。その結果、メモリセル間の近接効果を抑制するとともに、第1および第2のゲート絶縁膜20および30の容量結合比を維持することができる。
一般に、アクティブエリアAAおよびSTIの幅のトータルがW5とすると、この幅W5は、リソグラフィ技術の観点から狭くすることが困難である。従って、幅W5の中でライン幅/スペース幅の比を変更する必要がある。本実施形態は、一定のライン・アンド・スペース幅W5の中で、フローティングゲート電極FGの上部の幅W2を狭く形成することによって、スペース幅を広くしている。これにより、本発明の発明者は、既存のリソグラフィ技術を用いながら、メモリセル間の近接効果を低下させることに成功した。
本実施形態において、フローティングゲート電極FGは、2種類の材料で構成されている。即ち、フローティングゲート電極FGの破線より上部(突出部)は、シリコン・ゲルマニウムから成り、その破線より下部(土台部)は、ポリシリコンから成る。これにより、後述するように、この2種類の材料のエッチング速度差を用いて、フローティングゲート電極FGを容易に逆T字型に成形することができる。
本実施形態では、方向Dwの断面において、フローティングゲート電極FGの上辺の幅が下辺の幅よりも狭い。このため、隣接するフローティングゲート電極FG間の充分に深い位置までコントロールゲート電極CGを隙間無く充填することができる。これにより、隣接するメモリセルMC間の近接効果を抑制することができる。
本実施形態のチャネル幅方向DWの断面において、アクティブエリアAAの側壁に窪みCが設けられている。この窪みCによって、方向DWの断面において、アクティブエリアAAの側部の一部分の幅W1は、このアクティブエリアAAの上面の幅W0よりも狭くなっている。この窪みCは、アクティブエリアAA内でオフリーク電流が流れる位置と同じ深さに設けられている。具体的には、ソース・ドレイン拡散層40の深さと同等かそれより深い位置が理想的である。これにより、後述のように、オフリーク電流を低減させることができる。
また、アクティブエリアAAのゲルマニウム含有率は、アクティブエリアAAのうち窪みCが形成された深さにおいて最大である。アクティブエリアAAの上記の深さにゲルマニウム層を導入することによって、後述のように窪みCを容易に形成することができる。ゲルマニウムは、エッチング速度比を調節するために導入されているものであるので、エッチングガスを変更した場合、エッチング速度比を維持するために、それに対応してゲルマニウムを他の元素と置き換えてもよい。
メモリ100の製造方法を説明する。まず、図3に示す半導体基板10を準備する。半導体基板10は、半導体バルク11と、シリコン・ゲルマニウム(SiGe)層16と、半導体層17とを備えている。半導体層17は、シリコン・ゲルマニウム層16上に設けられている。半導体バルク11および半導体層17は、例えば、シリコン単結晶から成り、シリコン・ゲルマニウム層16は、ゲルマニウムとシリコンの混合層である。半導体基板10は、シリコン基板へゲルマニウムをイオン注入し、熱処理することによって形成され得る。あるいは、半導体基板10は、半導体バルク11上にゲルマニウムを混ぜながらエピタキシャル成長させ、さらに、ゲルマニウムを含有しないシリコン単結晶をエピタキシャル成長させることによって形成してもよい。シリコン・ゲルマニウムは、シリコン基板のエッチングガス(例えば、SF6およびC4F8)との反応性がシリコンよりも高い。ゲルマニウムは、ソース・ドレイン拡散層40の深さと一致するように導入される。シリコン・ゲルマニウム層16とソース・ドレイン拡散層40の深さが一致すればよく、ゲルマニウムの注入と拡散層の形成とは、どちらが先であってもかまわない。シリコン・ゲルマニウム層16の厚みは、10〜20nmである。シリコン・ゲルマニウム層16の厚みが厚すぎると表面に近くなりすぎ、オン電流の邪魔となる。逆に、シリコン・ゲルマニウム層16の厚みが薄すぎるとオフリークを低減する効果が小さくなる。
次に、半導体基板10上に、第1のゲート絶縁膜20、フローティングゲート電極FGおよびマスク材料15のそれぞれの材料をこの順番に形成する。フローティングゲート電極FGの材料は、2種類の材料で構成されている。即ち、フローティングゲート電極FGの破線より上層部(突出部)は、シリコン・ゲルマニウム層26から成り、その破線より下層部(土台部)は、ポリシリコン層25から成る。
続いて、図4に示すように、複数のトレンチ12が、フローティングゲート電極FG、第1のゲート絶縁膜20、半導体層17およびシリコン・ゲルマニウム層16を貫通して、半導体バルク11に達するように形成される。トレンチ12は、マスク材料15をマスクとして用いて、例えば、RIE法によって形成される。エッチングガスは、例えば、SF6およびC4F8である。
シリコン・ゲルマニウム層26のエッチングレートはポリシリコン層25のそれよりも速い。つまり、シリコン・ゲルマニウム層26は、上記エッチングガスとの反応性がポリシリコン層25よりも高い。その結果、トレンチ12の配列方向Dwの断面において、シリコン・ゲルマニウム層26が横方向へサイドエッチングされ、シリコン・ゲルマニウム層26の幅はポリシリコン層25の幅よりも狭く形成される。これにより、フローティングゲート電極FGの上部の幅が下部の幅よりも狭くなるように形成される。
さらに、シリコン・ゲルマニウム層16のエッチングレートは半導体層17および半導体バルク11のそれよりも速い。その結果、方向Dwの断面において、シリコン・ゲルマニウム層16が横方向へエッチングされ、アクティブエリアAAの側部の一部に窪みCが形成される。
このように、フローティングゲート電極FGおよびアクティブエリアAAは、トレンチを形成する際の同一エッチング工程で形成され得る。
次に、図5に示すようにトレンチ12内に絶縁物17を堆積する。絶縁物17は、例えば、シリコン酸化膜から成る。このとき、絶縁物17は、フローティングゲート電極FGの上面まで堆積され、その後、フローティングゲート電極FGの側壁の途中(例えば、ポリシリコン層25の上面レベル)までエッチバックされる。このエッチバックにより、図6に示したマスク材料15も除去される。
続いて、第2のゲート絶縁膜30をフローティングゲート電極FGの上面上および側面上に形成する。次に、コントロールゲート電極CGの材料を第2のゲート電極30上に堆積する。絶縁物17がフローティングゲート電極FGの側壁の途中までエッチバックされているので、コントロールゲート電極CGの材料は、隣り合うフローティングゲート電極FGの側面間に自己整合的に入り込む。
さらに、図6に示すように、フォトリソグラフィ技術およびRIE法を用いてコントロールゲート電極CGおよびフローティングゲート電極FGをエッチングする。ここで、図6は、チャネル長方向DLの素子断面を示している。この工程で、フローティングゲート電極FGは、メモリセルMCごとに個別化される。次に、不純物をアクティブエリアAAにイオン注入した後アニールすることによってエクステンション層41およびソース・ドレイン拡散層40を形成する。さらに、保護膜19を堆積する。その後、公知の方法を用いてコンタクトや配線等を形成し、メモリ100が完成する。
RIEに用いるガスは、ハロゲン系元素を含むものから選択され、一般に半導体製造に用いられているものから適宜選択される。また、フローティングゲート電極FGがメモリセルMCごとに個別化される工程において、Dw方向のエッチングと同様に、シリコンゲルマニウムのエッチングレートが速いエッチングガスを用いた場合、フローティングゲートFGは図6Bのように形成される。
本実施形態では、シリコンに対するゲルマニウムの含有率を変化させ、シリコンとシリコン・ゲルマニウムとのエッチング選択比を利用してフローティングゲート電極FGおよび窪みCの両方を形成する。従って、STIを形成するRIE工程において、逆T字型のフローティングゲート電極FGおよび窪みCの両方を形成することができる。即ち、本実施形態による製造方法は、一回のRIE工程によって、STI、逆T字型のフローティングゲート電極FGおよびアクティブエリアAAの窪みCを同時に形成することができる。このように、本実施形態によるメモリの製造方法は、従来のメモリの製造方法と整合しており、既存のプロセスを応用して簡単に立ち上げることができる。
本実施形態では、方向Dwの断面において、フローティングゲート電極FGの上辺の幅が下辺の幅よりも狭い。このため、フローティングゲート電極FGに対してカバレージ良く膜を形成することができる。その結果、隣接するフローティングゲート電極FG間の充分に深い位置までコントロールゲート電極CGを充填することが容易である。
図7に示すように、一般に、オフリーク電流は、アクティブエリアAAの表面から或る深さDcの位置を流れる。オフリーク電流の深さDcは、アクティブエリアAAの不純物プロファイルによるが、概ね、ソース・ドレイン領域に形成されるソース・ドレイン拡散層40の深さと同等かそれよりやや深い位置であることが分かっている。本実施形態によれば、窪みCは、アクティブエリアAA内でオフリーク電流が流れる位置と同じ深さに設けられている。その結果、アクティブエリアAAの側壁近傍を流れるオフリーク電流を除去することができる。
より詳細には、窪みCは、アクティブエリアAAの表面から10nm以上の深さに形成される。好ましくは、窪みCは、アクティブエリアAAの表面から20nm〜30nmの深さに形成される。ソース・ドレイン拡散層40の深さがアクティブエリアAAの表面から約20nmであるので、窪みCは、ソース・ドレイン拡散層40の深さと同じ深さに形成されている。窪みCの開口幅、および、奥行きは、それぞれ約9nmである。ここで注目されたいのは、アクティブエリアAAの表面から10nm以上(20nm〜30nm)の深さに窪みCを形成しても、アクティブエリアAAの表面を流れるオン電流には何ら影響を与えないことである。オン電流は、アクティブエリアAAの表面から10nm未満の浅い位置に流れる。このため、窪みCがそれよりも深い位置に形成されていれば、オン電流を上昇させることはない。
フローティングゲート電極FGの底部の幅W3をアクティブエリアAAの上面の幅W0とほぼ等しくするか、W3をW0より大きくすれば、即ち、フローティングゲート電極FGとアクティブエリアAAとの対向面積を低減させなければ、オフリークは増大しない。従って、窪みCを設けることによって、オフリーク電流を実質的に低下させることができる。換言すると、逆T字型のフローティングゲート電極FGおよび窪みCを組み合わせることによって、S−factorを改善することができる。
(第2の実施形態)
図8に示す第2の実施形態のNAND型フラッシュメモリ200は、フローティングゲート電極FGが、方向Dwの断面において台形型に成形されている。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。
図8に示す第2の実施形態のNAND型フラッシュメモリ200は、フローティングゲート電極FGが、方向Dwの断面において台形型に成形されている。第2の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。
フローティングゲート電極FGは、その上辺と下辺とが平行であり、下辺の幅W3が上辺の幅W2よりも狭い。下辺の幅W3をアクティブエリアAAの上面の幅W0とほぼ等しくするか、W3をW0より大きくすることによって、オフリークは増大しない。従って、第1の実施形態と同様に、窪みCを設けることによって、オフリークパスが狭くなる。その結果、オフリーク電流を低下させることができる。
通常、エッチング条件を調節することにより、フローティングゲート電極FGの側壁は、順テーパー状になる。即ち、フローティングゲート電極FGの側部の幅は、その上部から底部に向かって太くなる。
また、順テーパーの傾斜θを調節する別の方法として、他の元素(例えば、ゲルマニウム)を導入してもよい。例えば、フローティングゲート電極材料の堆積工程の初期において堆積ガスに含まれるゲルマニウムの混合率を低くし、その後、ゲルマニウムの混合率を徐々に高くする。これにより、ゲルマニウム濃度は、フローティングゲート電極FGの底部で低く、上部に行くに従って高くなる。エッチングガスは、シリコンよりもゲルマニウムとの反応性が高いものを選択する。これにより、順テーパーの傾斜θが大きくなる。
第2の実施形態のその他の製造方法については、第1の実施形態による製造方法と同様でよい。これにより、第2の実施形態は、第1の実施形態の効果を得られる。
(第3の実施形態)
図9に示す第3の実施形態に従ったNAND型フラッシュメモリ300では、フローティングゲート電極FGの下部(土台部分)が、方向Dwの断面において順テーパーに成形されている。第3の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。
図9に示す第3の実施形態に従ったNAND型フラッシュメモリ300では、フローティングゲート電極FGの下部(土台部分)が、方向Dwの断面において順テーパーに成形されている。第3の実施形態のその他の構成は、第1の実施形態の構成と同様でよい。
フローティングゲート電極FGは、下辺の幅W3が上辺の幅W2よりも広い。下辺の幅W3をアクティブエリアAAの上面の幅W0とほぼ等しくするか、W3をW0より大きくすることによって、オフリークは増大しない。従って、第1の実施形態と同様に、窪みCを設けることによって、オフリーク電流を低下させることができる。
フローティングゲート電極FGの土台部分における順テーパーの傾斜θを調節するために、フローティングゲート電極材料の堆積工程の初期において堆積ガスに含まれるゲルマニウムの混合率を低くし、その後、ゲルマニウムの混合率を徐々に高くする。堆積工程の途中で、ゲルマニウムの混合率を一定にする。これにより、ゲルマニウム濃度は、フローティングゲート電極FGの土台部分の底部で低く、土台部分の上部に行くに従って高くなる。さらに、フローティングゲート電極FGの突出部のゲルマニウム濃度は、一定である。これにより、図4のトレンチ12の形成時に、土台部分の側部のみが順テーパーにエッチングされる。
第3の実施形態のその他の製造方法については、第1の実施形態による製造方法と同様でよい。これにより、第3の実施形態は、第1の実施形態の効果を得られる。
図10は、フローティングゲート電極FGの自己電位VFGと拡散層40間に流れるドレイン電流Idとの関係を示す。図10は、図7に示した窪みCを有するメモリセルMCを用いた結果である。このグラフで、ゲート電圧VFGが約−0.75VのときにメモリセルMCがオフ状態になることがわかる。
このグラフを参照すると、第1〜第3の実施形態におけるIdは、従来例におけるIdよりも低いことが分かる。これは、第1〜第3の実施形態のオフリーク電流が従来例に比べて小さいことを意味する。
第1〜第3の実施形態では、アクティブエリアAAの側壁近傍のうちオフリーク電流の流れる位置に窪みCが形成されている。これにより、オフリーク電流の増大を防止することができる。
一方、これらの実施形態では、方向Dwの断面において、フローティングゲート電極FGの底辺の幅W3がアクティブエリアAAの上辺の幅W0と等しいか、それよりも大きい。従って、フローティングゲート電極FGの底面がアクティブエリアAAの上面の全体と対向するので、オフリーク電流が増加しない。このように、底部の広いフローティングゲート電極FGとアクティブエリアAAの窪みCとを組み合わせることによって、メモリセルMCのS−factorを小さくすることができる。その結果、メモリセルMCの読出し特性が改善される。
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
100…NANDフラッシュメモリ
10…半導体基板
20…第1のゲート絶縁膜
30…第2のゲート絶縁膜
STI…素子分離領域
AA…素子形成領域
C…窪み
FG…フローティングゲート電極
CG…コントロールゲート電極
MC…メモリセル
10…半導体基板
20…第1のゲート絶縁膜
30…第2のゲート絶縁膜
STI…素子分離領域
AA…素子形成領域
C…窪み
FG…フローティングゲート電極
CG…コントロールゲート電極
MC…メモリセル
Claims (19)
- 半導体基板と、
前記半導体基板に形成された複数の素子分離領域と、
隣り合う前記素子分離領域間に設けられた素子形成領域であって、前記素子分離領域の隣接方向の断面において前記素子形成領域の側部の一部分の幅が該素子形成領域の上面の幅よりも狭い窪みを有する素子形成領域と、
前記素子形成領域上に設けられた第1のゲート絶縁膜と、
前記第1のゲート絶縁膜上に設けられたフローティングゲート電極と、
前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に設けられた第2のゲート絶縁膜と、
前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に前記第2のゲート絶縁膜を介して設けられたコントロールゲート電極とを備え、
前記素子分離領域の隣接方向の断面において前記フローティングゲート電極の上辺の幅が前記フローティングゲート電極の下辺の幅よりも狭いことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記フローティングゲート電極は、第1及び第2の元素を有し、前記フローティングゲート電極の第1の元素の含有率は、前記フローティングゲート電極の底部より上部で高くなることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1の元素がゲルマニウムであり、前記第2の元素がシリコンであることを特徴とする請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記フローティングゲート電極は、逆T字型に成形されていることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 逆T字型の前記フローティングゲート電極のうち上部の突出部はシリコンゲルマニウムから成り、下部の土台部分はポリシリコンから成ることを特徴とする請求項4に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記フローティングゲート電極は、前記上辺と前記下辺とが平行である台形型であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記素子形成領域は第1の元素および第2の元素を含有し、
前記素子分離領域の隣接方向の断面において、前記第1の元素の含有率は、前記窪みが形成されている深さにおいて最大であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記第1の元素がゲルマニウムであり、前記第2の元素がシリコンであることを特徴とする請求項7記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記フローティングゲート電極の両側に設けられた拡散層をさらに備え、
前記素子分離領域の隣接方向の断面において、前記窪みが形成されている位置は、前記フローティングゲート電極の端における前記拡散層の深さと同じか、或いは、それより深い位置であることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記不揮発性半導体記憶装置はNAND型フラッシュメモリであることを特徴とする請求項1から請求項9に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 半導体基板上に第1のゲート絶縁膜を形成し、
前記第1のゲート絶縁膜上にフローティングゲート電極材料を堆積し、
前記フローティングゲート電極材料および前記第1のゲート絶縁膜を貫通して前記半導体基板に達する複数のトレンチを形成するとともに、前記トレンチの配列方向の断面において、前記フローティングゲート電極材料の上辺の幅が該フローティングゲート電極材料の下辺の幅よりも狭くなるように前記フローティングゲート電極材料の側壁をエッチングしてフローティングゲート電極を形成し、尚且つ、前記トレンチの配列方向の断面において、側部の一部分の幅が上面の幅よりも狭い窪みを有する素子形成領域を形成し、
前記トレンチに絶縁物を充填することによって素子分離を形成し、
前記フローティングゲート電極の上面上およびその側面上に第2のゲート絶縁膜を形成し、
前記第2のゲート絶縁膜上にコントロールゲート電極材料を堆積することを具備した不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記フローティングゲート電極材料の堆積時に、前記第1のゲート絶縁膜上に下層材料を堆積し、次に、前記フローティングゲート電極材料のエッチングガスとの反応性が該下層材料よりも高い上層材料を前記下層材料上に堆積し、
前記トレンチの形成時に、前記上層材料および前記下層材料をエッチングすることによって、前記トレンチの配列方向の断面において、前記フローティングゲート電極材料の上辺の幅が該フローティングゲート電極材料の下辺の幅よりも狭くなるように前記フローティングゲート電極材料の側壁をエッチングすることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記フローティングゲート電極材料の堆積時に、第1の元素の含有率が前記フローティングゲート電極材料の底面近傍よりも上面近傍において高くなるように、前記フローティングゲート電極材料の堆積工程の初期において堆積ガスに含まれる前記第1の元素の混合率を低くし、かつ、前記フローティングゲート電極材料のエッチングガスとの反応性が前記第1の元素よりも低い第2の元素の混合率を高くし、その後、前記第1の元素の混合率を徐々に高くし、かつ、前記第2の元素の混合率を徐々に低くし、
前記トレンチの形成時に、前記トレンチの配列方向の断面において、前記フローティングゲート電極材料の上辺の幅が該フローティングゲート電極材料の下辺の幅よりも狭くなるように前記フローティングゲート電極材料の側壁をエッチングすることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記第1の元素がゲルマニウムであり、前記第2の元素がシリコンであることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の不揮発性半導体製造装置の製造方法。
- 前記半導体基板のエッチングガスとの反応性が該半導体基板よりも高い第3の元素を該半導体基板に注入し、前記第3の元素が導入された混合層を前記半導体基板中に形成し、
前記トレンチの形成時に、前記フローティングゲート電極材料、前記第1のゲート絶縁膜、前記半導体基板および前記混合層を貫通し、前記混合層の下の半導体基板に達するように形成され、前記トレンチの配列方向の断面において、前記素子形成領域の側部の幅は、前記混合層の部分において前記素子形成領域の上面の幅よりも狭く形成されることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記半導体基板はシリコン基板であり、前記第3の元素がゲルマニウムであることを特徴とする請求項15記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記フローティングゲート電極の形成後、該フローティングゲート電極の両側の前記素子形成領域に拡散層を形成し、
前記素子形成領域の側壁に設けられた窪みは、前記フローティングゲート電極の端の拡散層の深さと同じか、或いはより深い位置に設けられることを特徴とする請求項10に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 前記不揮発性半導体記憶装置はNAND型フラッシュメモリであることを特徴とする請求項11から請求項17に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 前記素子形成領域の形成および前記フローティングゲート電極の形成は、同一エッチング工程で行われることを特徴とする請求項11に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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