JP2008117509A - 曲げ導波路、その製造方法、曲げ導波路を利用した光伝送モジュール及び曲げ導波路を採用した熱補助磁気記録ヘッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】入射される光のエネルギー分布を変えて、強化された近接場光を放出する近接場光強化開口構造の出力端を有するコアと、コアを取り囲む金属クラッドと、を備え、コアは、曲線に曲がっており、曲線の曲率半径は、入射される光の波長に対する透光度がピークとなる共振半径であることを特徴とする曲げ導波路である。これにより、別途の光学要素なしに、既存の近接場光強化開口が有するフィールド強化特性をそのまま維持しつつ、入射された光を所定角度に方向転換しうる。
【選択図】図8A
Description
21 金属クラッド
22 曲げコア
22a 入力端
22b 出力端
23 リッジ部
Claims (31)
- 光が入射される入力端と、入射される光のエネルギー分布を変えて、強化された近接場光を放出する近接場光強化開口構造の出力端とを有するコアと、
前記コアを取り囲む金属クラッドと、を備え、
前記コアは、曲線に曲がっており、前記曲線の曲率半径は、前記入射される光の波長に対する透光度がピークとなる共振半径であることを特徴とする導波路。 - 前記コアの出力端は、前記金属クラッドの一部が前記コアの中心部側に突出して形成されたリッジ部を有するC型開口構造であることを特徴とする請求項1に記載の導波路。
- 前記コアの横断面は、前記コアの全領域にわたってC型開口構造であることを特徴とする請求項2に記載の導波路。
- 前記リッジ部の幅は、前記入力端から前記出力端に行くほど狭くなることを特徴とする請求項3に記載の導波路。
- 前記コアは、前記コアの全領域にわたって同じ横断面サイズを有することを特徴とする請求項1に記載の導波路。
- 前記コアは、前記入力端側の横断面サイズと前記出力端側の横断面サイズとが異なることを特徴とする請求項1に記載の導波路。
- 前記コアは、その横断面のサイズが前記入力端から前記出力端に行くほど小さくなるテーパ状であることを特徴とする請求項6に記載の導波路。
- 前記コアの厚さは、一定であり、前記コアの幅は、前記入力端から前記出力端に行くほど狭くなることを特徴とする請求項7に記載の導波路。
- 前記コアは、曲率半径の原点を基準に、前記入力端と前記出力端との角度がθ(0<θ<180°)である円形の曲線に曲がっていることを特徴とする請求項1に記載の導波路。
- 前記コアは、曲線に曲がった構造であり、前記曲線は、一つ以上の曲率半径で定義されることを特徴とする請求項1に記載の導波路。
- 基板上に金属を積層して下部クラッド層を形成する工程と、
前記下部クラッド層上に所定の曲率半径を有する曲線にパターン化されたコア層を積層するが、前記コア層の幅及び厚さは、入射される光の波長より小さいか、または同一であり、前記曲率半径は、入射される光の波長に対する透光度がピークとなるように形成する工程と、
前記コア層上に金属を積層して上部クラッド層を形成する工程と、を含むことを特徴とする導波路の製造方法。 - 前記下部クラッド層を積層する工程は、
基板上に金属を積層し、前記積層された金属の一部をエッチングしてリッジ部を形成する工程を含むことを特徴とする請求項11に記載の導波路の製造方法。 - 前記コア層を積層する工程は、
前記下部クラッド層上にレジンを積層する工程と、
前記レジンにパターンを転写する工程と、
前記レジンに紫外線を照射して前記パターンのオープンされた領域を硬化させる工程と、
前記硬化した領域を除外した残りのレジンを除去する工程と、を含むことを特徴とする請求項11に記載の導波路の製造方法。 - 光が入射される入力端と、入射される光のエネルギー分布を変えて、強化された近接場光を放出する近接場光強化開口構造の出力端とを有するコアと;前記コアを取り囲む金属クラッドとを含む第1導波路を備え、
前記第1導波路は、前記コアが曲線に曲がっており、前記曲線の曲率半径は、前記入射される光の波長に対する透光度がピークとなる共振半径となる曲げ導波路であることを特徴とする光伝送モジュール。 - 前記第1導波路に光を伝送する第2導波路をさらに備えることを特徴とする請求項14に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路と第2導波路とは、バットカップリングされていることを特徴とする請求項15に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアの出力端は、前記金属クラッドの一部が前記コアの中心部側に突出して形成されたリッジ部を有するC型開口構造であることを特徴とする請求項14に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアの横断面は、前記コアの全領域にわたってC型開口構造であることを特徴とする請求項17に記載の光伝送モジュール。
- 前記リッジ部の幅は、前記入力端から前記出力端に行くほど狭くなるテーパ状であることを特徴とする請求項18に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアは、その横断面のサイズが前記入力端から前記出力端に行くほど小さくなるテーパ状であることを特徴とする請求項15に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアは、曲率半径の原点を基準に、前記入力端と前記出力端との角度がθ(0<θ<180°)である円形の曲線に曲がっていることを特徴とする請求項14に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアは、曲線に曲がった構造であり、前記曲線は、一つ以上の曲率半径で定義されることを特徴とする請求項14に記載の光伝送モジュール。
- 磁気記録媒体に情報を記録するための磁場を形成する磁気記録部と、前記磁気記録媒体の記録予定領域を加熱するために光を照射する光伝送モジュールとを備える熱補助磁気記録ヘッドにおいて、
前記光伝送モジュールは、
光が入射される入力端と、入射される光のエネルギー分布を変えて、強化された近接場光を放出する近接場光強化開口構造の出力端とを有するコアと;前記コアを取り囲む金属クラッドとを含む第1導波路と、
前記第1導波路に光を伝送する第2導波路と、を備え、
前記第1導波路は、前記コアが曲線に曲がっており、前記コアの曲率半径が、前記入射される光の波長に対する透光度がピークとなるような共振半径となる曲げ導波路であることを特徴とする熱補助磁気記録ヘッド。 - 前記磁気記録媒体と対面する熱補助磁気記録ヘッドの一面を底面とすれば、前記第2導波路の入力端は、前記熱補助磁気記録ヘッドの側面に設けられることを特徴とする請求項23に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
- 前記第1導波路は、その入力端が前記第2導波路の出力端とカップリングされ、その出力端は、前記熱補助磁気記録ヘッドの底面に向けて曲がっていることを特徴とする請求項24に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
- 前記第1導波路のコアの出力端は、前記金属クラッドの一部が前記コアの中心部側に突出して形成されたリッジ部を有するC型開口構造であることを特徴とする請求項23に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
- 前記第1導波路のコアの横断面は、前記コアの全領域にわたって同じ形状であることを特徴とする請求項26に記載の磁気記録ヘッド。
- 前記リッジ部の幅は、前記第1導波路の入力端から出力端に行くほど狭くなるテーパ状であることを特徴とする請求項27に記載の光伝送モジュール。
- 前記第1導波路のコアは、その横断面のサイズが前記第1導波路の入力端から出力端に行くほど小さくなるテーパ状であることを特徴とする請求項23に記載の熱補助磁気記録ヘッド。
- 前記曲率半径は、それぞれ共振半径に対応することを特徴とする請求項10に記載の導波路。
- 前記曲率半径は、それぞれ共振半径に対応することを特徴とする請求項22に記載の光伝送モジュール。
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