JP2008116141A - パルスチューブ冷凍機の位相制御機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルスチューブ冷凍機100の位相制御機構5の構成要素であるイナータンスチューブ51のコイル部512を、圧縮機1の長手方向および膨張機3の構成要素であるパルスチューブ33の長手方向に対してそれぞれ垂直な軸と平行な中心軸まわりに巻かれる弦巻状のコイル部とした。
【選択図】図1
Description
ここに従来技術のパルスチューブ冷凍機について図を参照しつつ説明する。図7は従来技術のパルスチューブ冷凍機の構成図である。図7で示すパルスチューブ冷凍機1000は、圧縮機1、高温側熱交換器2、膨張機3および位相制御機構4を備える。
位相制御機構4は、イナータンスチューブ41、バッファタンク42を備える。イナータンスチューブ41は、内径2〜4mm程度あり、また、全長が2〜4m程度の長さの銅やステンレス等の金属管を成形して構成され、高温端部34に繋がる導入部411と、中間の大部分を円筒や楕円等のコイル状に成形されたコイル部412と、バッファタンク42に繋がる導出部413と、を有する。
バッファタンク42は、プレス加工または機械加工で製作される。イナータンスチューブ41およびバッファタンク42の両者は、溶接やろう付け等の接合や、金属シール等の機械的気密接続法により気密を確保しつつ接続される。
このパルスチューブ冷凍機1000においては、上記のような圧縮機1、高温側熱交換器2、膨張機3、位相制御機構4により冷凍回路系が形成されており、極低温を発生するための作動ガスとしてヘリウムガス等が用いられる。作動ガスは、圧縮機1から位相制御機構4までの内部空間に数MPa程度の圧力で封入され、圧縮機1によって圧縮と膨張とが繰り返される。作動ガスは、圧縮機1から位相制御部4までの間の一連の系の中で往復動流として流れる。
位相制御機構4へ流出する作動ガスの圧力は位相制御機構4の位相制御作用によって制御され、蓄冷器31から低温端部32を通ってパルスチューブ33へ流入する作動ガスが、膨張仕事を行って低温端部32を冷却する。一方、高温端部34からは、膨張仕事に相当する熱量が放熱される。
イナータンスチューブをバッファタンク内に入れて固定して隣り合うイナータンスチューブ同士の接触を抑制すると同時に、内外差圧を低減して圧縮・膨張の変形量を抑えることで、異常振動・異音を防止している。従来技術はこのようなものである。
その結果、駆動周波数の半周期の間に例えばイナータンスチューブ内を作動流体が半時計回りに流れる場合、イナータンスチューブ41,41aには右⇒上⇒左⇒下といった力が順番に働くこととなり、これがパルスチューブ冷凍機振動の大きな発生要因のひとつとなっていた。
(流体が受ける力)=(流出する運動量)−(流入する運動量)
mv=(ρ・A・v)・v=ρ・A・v2
F=2・ρ・A・v2
封入された作動ガスの圧縮機による圧縮および膨張の繰返しによって作動ガスの流路の所定部分を極低温に冷却するパルスチューブ冷凍機の位相制御機構であって、
前記位相制御機構の構成要素であるイナータンスチューブは、圧縮機の長手方向に対する垂直軸と平行な中心軸まわりに巻かれる弦巻状のコイル部を備えることを特徴とする。
封入された作動ガスの圧縮機による圧縮および膨張の繰返しによって作動ガスの流路の所定部分を極低温に冷却する機能を有し、圧縮機と膨張機とが剛体接続されるパルスチューブ冷凍機の位相制御機構であって、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、圧縮機の長手方向および膨張機の構成要素であるパルスチューブの長手方向に対してそれぞれ垂直な軸と平行な中心軸まわりに巻かれる弦巻状のコイル部であることを特徴とする。
請求項1または請求項2に記載のパルスチューブ冷凍機の位相制御機構において、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、パルスチューブの断面径に応じて算出される最小曲率半径と一致させたコイル部の巻き径を有することを特徴とする。
請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のパルスチューブ冷凍機の位相制御機構において、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、同心円状の多層巻きによるコイル部であることを特徴とする。
これは、円柱状の圧縮機1についての圧縮機長手軸周りの慣性モーメントと中心軸周りの慣性モーメントとを比較した場合、圧縮機長手軸周りの慣性モーメントが最小で、中心軸周りの慣性モーメントは大きいことからも理解できる。
これは、略凸字状の圧縮機1についての圧縮機長手軸周りの慣性モーメントと中心軸周りの慣性モーメントとを比較した場合、圧縮機長手軸周りの慣性モーメントが最小で、中心軸周りの慣性モーメントは大きいことからも理解できる。
また、膨張機3の形式や圧縮機1の駆動形式には、無関係に成り立つため、適宜最適な膨張機や圧縮機を選択することができる。
また、圧縮機1と膨張機2とが剛体接続されており、圧縮機1において圧縮機長手軸方向に対して垂直軸と平行な中心軸の軸まわり(好ましくは圧縮機1において圧縮機長手軸方向およびパルスチューブ長手軸方向に対して垂直な中心軸の軸まわり)に巻かれたイナータンスチューブ51のコイル部512とする(請求項2)ことで、より振動振幅を低減させることができる。
また、イナータンスチューブ511のコイル部512では、内周から外周まで多層に巻く(請求項4)ことで、イナータンスチューブ51の占有スペースを最小限に抑制し、小型化することができる。
図4は本発明によるイナータンスチューブの振動抑制効果の検証試験装置の模式図、図5は従来技術によるイナータンスチューブの振動抑制効果の検証試験装置の模式図、図6は検証試験結果を示すセンサ位置−振動加速度線図である。
パルスチューブ冷凍機100は検証試験装置200の支持フランジ上に設置されて、試験が行われる。圧縮機1は真空容器201を介在させて支持フランジ202上に配置されており、実環境に近い状態になっている。なお、図4,図5中では圧縮機1、イナータンスチューブ51のみ図示し、他の構成の図示を省略している。
また、イナータンスチューブを多段に巻くことで、イナータンスチューブの占有スペースを最小限に抑制し、小型化することができる。
また、特別な部品や部品点数が増加することが無いため、大型化やコストアップを招くことも無い。
1:圧縮機
11:リニアモータ
12:ピストン
13:シリンダ
14:ケース
2:高温側熱交換器
3:膨張機
31:蓄冷器
32:低温端部
33:パルスチューブ
34:高温端部
5:位相制御機構
51:イナータンスチューブ
511:導入部
512:コイル部
513:導出部
52:バッファタンク
Claims (4)
- 封入された作動ガスの圧縮機による圧縮および膨張の繰返しによって作動ガスの流路の所定部分を極低温に冷却するパルスチューブ冷凍機の位相制御機構であって、
前記位相制御機構の構成要素であるイナータンスチューブは、圧縮機の長手方向に対する垂直軸と平行な中心軸まわりに巻かれる弦巻状のコイル部を備えることを特徴とするパルスチューブ冷凍機の位相制御機構。 - 封入された作動ガスの圧縮機による圧縮および膨張の繰返しによって作動ガスの流路の所定部分を極低温に冷却する機能を有し、圧縮機と膨張機とが剛体接続されるパルスチューブ冷凍機の位相制御機構であって、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、圧縮機の長手方向および膨張機の構成要素であるパルスチューブの長手方向に対してそれぞれ垂直な軸と平行な中心軸まわりに巻かれる弦巻状のコイル部であることを特徴とするパルスチューブ冷凍機の位相制御機構。 - 請求項1または請求項2に記載のパルスチューブ冷凍機の位相制御機構において、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、パルスチューブの断面径に応じて算出される最小曲率半径と一致させたコイル部の巻き径を有することを特徴とするパルスチューブ冷凍機の位相制御機構。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載のパルスチューブ冷凍機の位相制御機構において、
前記イナータンスチューブの前記コイル部は、同心円状の多層巻きによるコイル部であることを特徴とするパルスチューブ冷凍機の位相制御機構。
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Citations (5)
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- 2006-11-06 JP JP2006300226A patent/JP2008116141A/ja active Pending
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