KR102272427B1 - 극저온 냉동기의 진동 저감 장치 - Google Patents

극저온 냉동기의 진동 저감 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 있어서, 극저온 냉동기의 케이스에 설치되는 스프링, 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부 및 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

극저온 냉동기의 진동 저감 장치{APPARATUS FOR REDUCING VIBRATION FOR CRYOGENIC REFRIGERATOR}
본 발명은 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 극저온 냉동기에서 압축 또는 팽창 과정에서 발생하는 과정에서 발생하는 진동을 저감시키는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 관한 것이다.
소형 전자제품 및 초전도체 등의 냉각을 위하여 극저온 냉동기가 사용된다. 극저온 냉동기는 냉각 방식에 따라 크게 재생식(regenerative)과 복열식(recuperative)으로 구분될 수 있다. 이 중 재생식 극저온 냉동기는 상대적으로 소형의 극저온 냉동기(저온부 온도 77K 기준, 냉동 능력 mW~kW)에 적합한 냉각 방식이며, 작동 유체(냉매)가 한 방향으로 흐르는 것이 아니고 양 방향으로 흐르는 것이 특징이다.
극저온 냉동기에 있어서 작동 유체를 이동시키며 작동 유체를 압축시키거나 팽창시키는 과정이 필요하다. 이때 실린더 상에 피스톤이 직선 왕복 운동을 하며 작동 유체를 압축 또는 팽창시키게 되는데, 이 과정에서 기계적 진동이 발생하게 된다. 이 기계적 진동은 반발력(reaction force)을 발생시켜 극저온 냉동기의 피스톤에 힘을 전달하게 된다. 이는 극저온 냉동기의 동적 특성(dynamic characteristic)에 영향을 미치게 되고, 변화된 동적 특성은 극저온 냉동기의 성능을 하락시키는 원인이 된다.
종래에는 이러한 진동을 흡수하기 위해 극저온 냉동기에서 발생하는 진동의 주파수를 파악하고, 이에 고유 진동수가 일치하도록 적정 스프링 상수를 가지는 스프링 및 적정 질량의 밸런싱 질량을 설계하여 사용하였다. 이와 같은 진동 저감 구조는 케이스에 전달되는 운전 주파수가 스프링 및 밸런싱 질량의 고유 진동수와 일치하게 되어 케이스에 전달되는 진동이 스프링 및 밸런싱 질량에 흡수되어 진동을 최소화하게 된다.
최근에는 단일의 극저온 냉동기에 대하여 넓은 범위의 저온부 온도(또는 가변 저온부 온도)에서 최적화된 성능을 가지도록 하는 것이 요구되고 있다. 이때, 저온부 온도와 같은 동작 조건이 바뀌게 되면 입력 조건(입력 전압 또는 피스톤의 동작 주파수)이 바뀌어야 하고, 이에 따라 발생하는 진동도 바뀌게 된다.
하지만, 전술한 바와 같은 종래의 진동 저감 장치는 특정 조건에서 발생하는 진동을 저감시키기 위해 최적 설계된 것으로, 변화된 조건에 대하여 능동적으로 대처할 수가 없다는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허 제2002-0009035호
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 조절부에 의해 스프링의 스프링 상수를 변화시킬 수 있도록 하여 넓은 주파수 범위에서 발생하는 진동을 효과적으로 저감시킬 수 있는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 제공함에 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 있어서, 상기 극저온 냉동기의 케이스에 설치되는 스프링; 상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및 상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 스프링은 판형 스프링이고, 상기 조절부는 상기 판형 스프링의 판면과 접촉하는 유효 길이 조절부; 및 상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 판형 스프링의 판면과의 접촉 위치를 변경시키는 모터를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 유효 길이 조절부는 상기 판형 스프링의 중앙을 중심으로 회전할 수 있다.
여기서, 상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시킬 수 있다.
여기서, 상기 밸런싱 질량은 상기 판형 스프링의 반경 방향 바깥쪽 자유단에 배치될 수 있다.
여기서, 상기 스프링은 코일스프링이고, 상기 조절부는 상기 코일 스프링의 코일이 삽입되는 나선의 홈이 형성되는 유효 길이 조절부; 및 상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 나선의 홈에 삽입되는 상기 코일의 길이를 변경시키는 모터를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 유효 길이 조절부는 상기 코일스프링 내부에 삽입되고, 상기 나선의 홈은 상기 유효 길이 조절부의 외주면에 형성될 수 있다.
여기서, 상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시킬 수 있다.
여기서, 상기 극저온 냉동기의 진동을 측정하는 센서; 및 상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 실린더 내부에 피스톤의 왕복 운동에 의해 주기적으로 발생하는 진동을 저감하기 위한 진동 저감 장치로서, 상기 실린더 및 상기 피스톤을 내부에 수용하는 케이스에 설치되는 스프링; 상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및 상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함할 수 있다.
여기서, 진동을 측정하는 센서; 및 상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같은 본 발명의 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 따르면 조절부에 의해 스프링의 상수를 변화시킬 수 있도록 하여 넓은 주파수 범위에서 발생하는 진동을 효과적으로 상쇄시킬 수 있다는 장점이 있다.
또한, 진동 센서에서 측정되는 값에 따라서 실시간으로 스프링의 상수를 조절하며 진동을 효과적으로 상쇄시킬 수 있다는 장점도 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 도시하는 도면이다.
도 2 및 도 3은 유효 길이 조절부가 회전하여 판형 스프링의 스프링 상수가 변화되는 것을 설명하는 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 도시하는 도면이다.
실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
본 발명은 극저온 냉동기에서 발생하는 진동 저감 장치이다. 극저온 냉동기로는 스터링 냉동기(stirling refrigerator), 지엠 냉동기(GM refrigerator), 맥동관 냉동기(pulse tube refrigerator) 등 다양한 종류의 극저온 냉동기가 알려져 있다. 상기 극저온 냉동기에는 피스톤을 직선 왕복 이동시키며 작동 유체를 압축 또는 팽창시키게 되는데, 본 발명은 상기와 같이 피스톤의 직선 왕복 이동과 함께 작동 유체의 압축 및 팽창 과정에서 발생하는 진동을 저감시키기 위한 것이다.
본 발명은 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 관한 것이나, 피스톤이 직선 왕복 운동을 이용하는 다른 장치에서도 피스톤의 주기적인 운동에 의해 발생하는 진동을 저감시키기 위해 사용될 수가 있다.
본 발명의 진동 저감 장치는 밸런싱 질량 및 스프링으로 구성된다. 스프링의 스프링 상수(k)와 밸런싱 질량의 질량(m)에 따라서 고유 진동수(wn = (k/m)1/2)를 가지게 되고, 상기 고유 진동수에 근접한 범위(약 1Hz 내외)의 주파수를 가지는 진동을 상쇄시킬 수 있다.
이때, 본 발명에서는 조절부에 의해 기 설치된 스프링에 대하여 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시킬 수가 있다. 여기서, 스프링 변형을 위한 유효 길이의 변화라고 하면 스프링 상수를 변화시키는 것을 의미할 수가 있는데, 이와 관련해서는 도 1 내지 도 5를 참조로 후술하기로 한다.
따라서, 본 발명은 조절부에 의해 스프링의 스프링 상수를 변화시킬 수가 있기 때문에, 운전 조건의 변화(극저온 냉동기의 입력 전압 또는 피스톤의 동작 주파수 변화 등)가 있거나 예측되지 않은 진동이 발생하는 경우에도, 조절부에 의해 스프링 상수를 변화시켜 진동 저감 장치의 고유 주파수를 바꿀 수가 있어서, 폭넓은 주파수 범위의 진동을 효과적으로 상쇄시킬 수가 있다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조로 본 발명에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치의 상세 구조에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 도시하는 도면이고, 도 2 및 도 3은 유효 길이 조절부가 회전하여 판형 스프링의 스프링 상수가 변화되는 것을 설명하는 도면이다.
본 실시예에서는 스프링으로 판형 스프링(110)을 사용한다. 극저온 냉동기의 케이스(100)의 외벽으로부터 돌출된 판형 스프링 고정부(102)가 형성되고, 상기 판형 스프링 고정부(102)에 판형 스프링(110)의 중앙에 형성된 홀을 삽입시켜 판형 스프링 고정부(102) 상에 판형 스프링(110)을 고정시킨다. 이때, 복수의 판형 스프링(110)을 적층 또는 이격 배치시킬 수가 있다.
본 발명에서 극저온 냉동기의 케이스(100)라고 하면, 직선 왕복 운동을 하는 피스톤(미도시)을 내부에 수용하는 케이스(100)를 의미한다. 극저온 냉동기의 종류에 따라서 극저온 냉동기를 구성하는 압축기의 케이스 또는 팽창기의 케이스를 의미할 수도 있다.
조절부(120)는 판형 스프링(110)의 변형을 위한 유효 길이를 변화시켜 판형 스프링(110)의 스프링 상수를 변화시킨다. 조절부(120)는 유효 길이 조절부(122) 및 모터(124)로 구성될 수 있다.
케이스(100) 내부에 모터(124)가 배치되고, 판형 스프링 고정부(102)의 축방향 홀을 통해 모터(124)의 축이 관통하여 케이스(100) 바깥으로 연장되고, 상기 모터(124)의 축 단부에는 유효 길이 조절부(122)가 결합되어, 유효 길이 조절부(122)는 모터(124)의 동작에 따라서 회전한다.
이때, 유효 길이 조절부(122)는 판형 스프링(110)의 판면과 접촉한다. 판형 스프링(110)은 판형 스프링(110)의 중앙을 중심으로 나선의 암(112)이 대칭 형성되는데, 유효 길이 조절부(122)는 나선의 암(112)과 접촉을 한다. 도 1에 도시되어 있는 것과 같이 유효 길이 조절부(122)는 막대 형상의 양단이 절곡되어 절곡된 끝단면이 나선의 암(112)과 접촉하도록 할 수가 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 판형 스프링이 판형 스프링 고정부(102)의 끝단에 위치하도록 하고, 유효 길이 조절부는 수평의 막대 형상으로 형성할 수도 있다.
모터(124)에 의해 유효 길이 조절부(122)를 회전시키면 판형 스프링(110)의 판면과의 접촉 위치가 변하게 된다. 본 발명에서는 판형 스프링(110)의 중앙은 판형 스프링 고정부(102)에 결착되어 고정단을 형성하게 되고 판형 스프링(110)의 반경 방향 바깥쪽은 자유단을 형성하게 되는데, 고정단과 자유단을 연결하는 암(112)에 의해 판형 스프링(110)이 축 방향으로 변형될 수가 있다. 이때, 유효 길이 조절부(122)를 회전시켜 변형되는 유효 길이 조절부(122)와 암(112) 사이의 접촉 위치가 바뀌어서 암(112)의 유효 길이를 변화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 모터(124)를 동작시켜 판형 스프링(110)의 강성, 즉 판형 스프링(110)의 스프링 상수를 바꿀 수 있다.
예를 들어, 유효 길이 조절부(122)의 회전으로 도 2와 비교하여 도 3의 경우에 변형될 수 있는 암(112)의 유효 길이가 짧아지므로 스프링 상수 값이 커지게 된다. 따라서, 모터(124)에 의해 유효 길이 조절부(122)를 회전시켜 판형 스프링(110)의 스프링 상수 값을 조절하며 판형 스프링(110)과 밸런싱 질량(130)이 형성하는 진동 상쇄를 위한 고유 주파수를 바꿀 수가 있어서, 폭넓은 주파수에 대하여 진동 저감 장치를 설계할 수가 있다.
이때, 밸런싱 질량(130)은 판형 스프링(110)의 자유단인 반경 방향 바깥쪽에 배치될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 극저온 냉동기의 케이스(100)에 극저온 냉동기의 진동을 측정하는 센서(140)가 배치될 수 있다. 제어부(150)는 센서(140)에 의해 측정되는 진동 값을 수신하여 진동 값에 따라서 모터(124)를 회전시켜 판형 스프링(110)의 스프링 상수를 실시간으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 센서(140) 및 센서(140)의 신호에 따라 모터(124)의 동작을 제어하는 제어부(150)의 구성에 의해 변화하는 진동에 대하여서도 효과적으로 진동을 상쇄시킬 수가 있다.
다음, 도 4 내지 도 5를 참조로 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 대해서 설명하기로 한다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 극저온 냉동기의 진동 저감 장치를 도시하는 도면이다.
본 실시예에서는 스프링으로 코일 스프링(210)을 사용한다. 본 실시예에서 조절부(220)는 코일 스프링(210)의 변형을 위한 유효 길이를 변화시켜 스프링 상수를 변화시킨다. 본 실시예에서 조절부(220)는 유효 길이 조절부(222) 및 모터(224)로 구성된다.
도 4에 도시되어 있는 것과 같이 케이스(200)의 내부에 모터(224)가 배치되고, 케이스(200) 외부로 돌출되는 모터(224)의 축 단부에 유효 길이 조절부(222)가 결합되어, 유효 길이 조절부(222)는 모터(224)의 동작에 따라서 회전한다.
이때, 유효 길이 조절부(222)의 원통형 몸체의 외주면에는 코일 스프링(210)의 코일이 삽입되는 나선의 홈(223)이 형성된다. 상기 유효 길이 조절부(222)는 코일 스프링(210)이 형성하는 축방향 홀에 삽입되는데, 모터(224)의 회전에 의해 유효 길이 조절부(222)가 회전함에 따라서 코일 스프링(210)의 코일이 나선의 홈(223)을 따라 상하 이동하여 위치가 변하게 된다.
이때, 유효 길이 조절부(222)의 나선의 홈(223)에 위치하는 코일은 변형되지 않아 고정단을 형성하게 되고, 유효 길이 조절부(222)의 끝단 아래에 위치하는 코일은 자유단을 형성하게 된다. 따라서, 모터(224)에 의해 유효 길이 조절부(222)를 회전시키면 유효 길이 조절부(222) 상의 코일 스프링(210)의 위치를 이동시켜 변형되는 코일 스프링(210)의 유효 길이를 변화시킬 수 있다. 따라서, 모터(224)를 동작시켜 코일 스프링(210)의 강성, 즉 코일 스프링(210)의 스프링 상수를 바꿀 수 있다.
예를 들어, 유효 길이 조절부(222)의 회전으로 도 4와 도 5에서 코일 스프링(210)의 위치는 변하게 된다. 이때, 도 4와 비교하여 도 5의 경우에 변형될 수 있는 코일 스프링(210)의 유효 길이가 짧아지므로 스프링 상수 값이 커지게 된다. 따라서, 모터(224)에 의해 유효 길이 조절부(222)를 회전시켜 코일 스프링(210)의 스프링 상수 값을 조절하며 코일 스프링(210)과 밸런싱 질량(230)이 형성하는 진동 상쇄를 위한 고유 주파수를 바꿀 수 있어서, 폭넓은 주파수에 대하여 진동 저감 장치를 설계할 수가 있다.
이때, 밸런싱 질량(230)은 코일 스프링(210)의 자유단 끝단에 배치될 수 있다.
또한, 본 실시예에서도 극저온 냉동기의 케이스(200)에 극저온 냉동기의 진동을 측정하는 센서(240)가 배치될 수 있다. 제어부(250)는 센서(240)에 의해 측정되는 진동 값을 수신하여 진동 값에 따라서 모터(224)를 회전시켜 코일 스프링(210)의 유효 길이를 변화시켜 스프링 상수를 실시간으로 변화시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 센서(240) 및 센서(240)의 신호에 따라 모터(224)의 동작을 제어하는 제어부(250)의 구성에 의해 변화하는 진동에 대하여서도 효과적으로 진동을 상쇄시킬 수가 있다.
본 실시예에서는 유효 길이 조절부(222)의 외주면에 나선의 홈(223)이 형성되고 코일 스프링(210)의 축방향 홀에 유효 길이 조절부(222)가 삽입되는 구조를 예를 들어 설명을 하였으나, 유효 길이 조절부의 축 방향으로 홀이 형성되고 홀의 내주면에 나선의 홈이 형성되고 상기 유효 길이 조절부의 축 방향 홀에 코일 스프링(210)이 삽입되는 형태로 형성될 수도 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
100: 케이스
102: 판형 스프링 고정부
110: 판형 스프링
112: 암
120: 조절부
122: 유효 길이 조절부
124: 모터
130: 밸런싱 질량
140: 센서
150: 제어부
200: 케이스
210: 코일 스프링
220: 조절부
222: 유효 길이 조절부
223: 홈
224: 모터
230: 밸런싱 질량
240: 센서
250: 제어부

Claims (12)

  1. 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 있어서,
    상기 극저온 냉동기의 케이스에 설치되는 스프링;
    상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및
    상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는데,
    상기 스프링은 판형 스프링이고,
    상기 조절부는
    상기 판형 스프링의 판면과 접촉하는 유효 길이 조절부; 및
    상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 판형 스프링의 판면과의 접촉 위치를 변경시키는 모터를 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 유효 길이 조절부는 상기 판형 스프링의 중앙을 중심으로 회전하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시키는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 밸런싱 질량은 상기 판형 스프링의 반경 방향 바깥쪽 자유단에 배치되는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  6. 극저온 냉동기의 진동 저감 장치에 있어서,
    상기 극저온 냉동기의 케이스에 설치되는 스프링;
    상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및
    상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는데,
    상기 스프링은 코일스프링이고,
    상기 조절부는
    상기 코일 스프링의 코일이 삽입되는 나선의 홈이 형성되는 유효 길이 조절부; 및
    상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 나선의 홈에 삽입되는 상기 코일의 길이를 변경시키는 모터를 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 유효 길이 조절부는 상기 코일스프링 내부에 삽입되고, 상기 나선의 홈은 상기 유효 길이 조절부의 외주면에 형성되는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 모터는 상기 케이스 내부에 배치되어 상기 케이스 외부에 위치하는 상기 유효 길이 조절부를 회전시키는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  9. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 극저온 냉동기의 진동을 측정하는 센서; 및
    상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함하는 극저온 냉동기의 진동 저감 장치.
  10. 실린더 내 피스톤의 왕복 운동에 의해 주기적으로 발생하는 진동을 저감하기 위한 진동 저감 장치로서,
    상기 실린더 및 상기 피스톤을 내부에 수용하는 케이스에 설치되는 스프링;
    상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및
    상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는데,
    상기 스프링은 판형 스프링이고,
    상기 조절부는
    상기 판형 스프링의 판면과 접촉하는 유효 길이 조절부; 및
    상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 판형 스프링의 판면과의 접촉 위치를 변경시키는 모터를 포함하는 진동 저감 장치.
  11. 실린더 내 피스톤의 왕복 운동에 의해 주기적으로 발생하는 진동을 저감하기 위한 진동 저감 장치로서,
    상기 실린더 및 상기 피스톤을 내부에 수용하는 케이스에 설치되는 스프링;
    상기 스프링의 변형을 위한 유효 길이를 변화시키는 조절부; 및
    상기 스프링에 결착되는 밸런싱 질량을 포함하는데,
    상기 스프링은 코일스프링이고,
    상기 조절부는
    상기 코일 스프링의 코일이 삽입되는 나선의 홈이 형성되는 유효 길이 조절부; 및
    상기 유효 길이 조절부를 회전시켜 상기 나선의 홈에 삽입되는 상기 코일의 길이를 변경시키는 모터를 포함하는 진동 저감 장치.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    진동을 측정하는 센서; 및
    상기 센서로부터 측정된 값에 따라서 상기 조절부를 실시간으로 제어하는 제어부를 더 포함하는 진동 저감 장치.
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