JP2008115946A - 真空シール機構 - Google Patents

Abstract

【課題】真空シール機構において、封止機能が低下した場合でも、シール材の交換作業や製造装置などの交換などを要することなく、簡単確実に封止機能をリニューアルすることができるようにする。
【解決手段】この真空シール機構Ｓは、回転軸５の軸心方向に多層状に配設された複数個の環状のシール材２０と、シール材２０に対応して回転軸５の外周面に多層状に形成された複数個のシール壁３０とを備える。シール材２０は、ハウジング７内で回転軸５の軸心方向に変位可能に組み付けられたシールホルダ４０に保持されている。シールホルダ４０をハウジング７内で変位させると、それまで封止機能を発揮していたシール材２０ａ・２０ｃとシール壁３０ａ・３０ｃとが接触状態から非接触状態となって、その役目を終えるとともに、これとは別のシール材２０ｂ・２０ｄとシール壁３０ｂ・３０ｄとが非接触状態から接触状態となって、新たな封止機能が発揮される。
【選択図】図２

Description

本発明は、真空環境と大気環境との間に配置された回転軸と、該回転軸を回転自在に軸支するハウジングとを含む動力伝達機構に適用され、これら回転軸とハウジングとの対向隙間を封止して、真空環境への大気や塵埃の流入を防ぐ真空シール機構に関する。この真空シール機構は、真空環境下で半導体ウエハや液晶基板等を取り扱うロボットや製造装置などの動力伝達機構に適用される。

この種の真空シール機構の従来例としては、例えば特許文献１や特許文献２などを挙げることができる。特許文献１には、回転軸とこれを囲むハウジングとの間に、接触式のリング形のシール材を配した真空シール機構が開示されている。特許文献２には、環状溝形のガスケットと、環状溝内に内装され回転軸に対して接圧するバネ部とを具備するシール材を用いた真空シール機構が開示されている。
特開２００４−８４９２０号公報 特開２００４−３６８９７号公報

上述のような接触式のリング形のシール材を要素とする真空シール機構では、経年劣化によって封止機能が低下することが避けられない。つまり、回転軸に接触するシール材の部分（リップ部分）が摩耗痩せしたり、回転軸が摩耗痩せしたりすることが避けられず、概ね数ヶ月から数年で封止機能（気密保持機能）が低下しやすい。このように封止機能が低下すると、真空環境を所定の真空圧に保つことが困難となり、シール材の交換が必要となるため、製造装置の稼働率や生産効率が低下する。最悪のケースでは、真空シール機構が組み込まれた製造装置自体やウエハ搬送用ロボット自体の交換が必要となる。

加えて、この種の真空シール機構では、突発的に封止機能が損なわれる場合もあり、このような場合にも、シール材の交換作業が不可避となって、稼働率や生産効率の低下を招いていた。

本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであり、封止機能が低下した場合でも、真空シール機構をシール材の交換作業や製造装置などの交換などを要することなく、簡単確実に封止機能をリニューアルすることが可能であり、したがって、メンテナンスの回数を減らして、稼働率の向上を図り、以って生産効率の向上に貢献することができる真空シール機構を提供することにある。
本発明の他の目的は、真空環境の真空圧を大きく変化させることなく、封止機能をリニューアルすることができる真空シール機構を提供することにある。

請求項１記載の本発明は、真空環境と大気環境との間に配置された回転軸と、該回転軸を回転自在に支持するハウジングとを含む動力伝達機構に適用され、これら回転軸とハウジングとの対向隙間を封止して、真空環境への大気や塵埃の流入を防ぐ真空シール機構を対象とする。この真空シール機構は、前記回転軸の軸心方向に多層状に配設された複数個の環状のシール材と、前記シール材に対応して前記回転軸の外周面に多層状に形成された複数個のシール壁とで構成されており、これらシール材とシール壁とが接触状態となることで封止機能が発揮されるようになっている。全てのシール材は、前記ハウジング内で回転軸の軸心方向に変位可能に組み付けられたシールホルダに保持されている。
そして、前記シールホルダをハウジング内で回転軸の軸心方向に変位させることにより、いずれかのシール材とシール壁とが接触状態から非接触状態となるとともに、これとは別のシール材とシール壁とが非接触状態から接触状態となって、封止機能をリニューアルできるように構成されていることを特徴とする。

具体的には、請求項２記載の本発明のように、前記シール材は、初期状態において封止機能を発揮する第１シールグループと、リニューアル時に封止機能を発揮する第２シールグループとで構成されており、前記シール壁は、初期状態において第１シールグループを構成するシール材と接触状態となる第１シールセグメントと、リニューアル時において第２シールグループを構成するシール材と接触状態となる第２シールセグメントとで構成されており、前記シールホルダは、第１シールグループと第１シールセグメントに由来する封止機能が発揮される第１シール位置と、第２シールグループと第２シールセグメントに由来する封止機能が発揮される第２シール位置との間で、前記回転軸の軸心方向に沿ってハウジング内で変位可能に構成されている形態を採ることができる。

請求項３記載の本発明のように、前記シールホルダには、第１シールグループを構成するシール材と、第２シールグループを構成するシール材とが、回転軸の軸心方向に交互に多層状に配設されており、前記回転軸の外周面には、第１シールセグメントを構成するシール壁と、第２シールセグメントを構成するシール壁とが、その軸心方向に交互に形成されており、これら第１および第２シールセグメントを構成するシール壁の間には、凹溝が刻設されており、前記シールホルダが第１シール位置にあるとき、第２シールグループを構成するシール材は、前記凹溝に対峙する位置にあって、前記回転軸の外周面と非接触状態にあり、前記シールホルダを第１シール位置から第２シール位置に変位させたとき、第１シールグループを構成するシール材が、前記凹溝に対峙する位置に移動するように構成することができる。

請求項１記載の本発明においては、シールホルダをハウジング内で回転軸の軸心方向に変位させると、それまで封止機能を発揮していたシール材とシール壁とが接触状態から非接触状態となって、その役目を終えるとともに、これとは別のシール材とシール壁とが非接触状態から接触状態となって、新たな封止機能が発揮されるようにした。つまり、シールホルダをハウジング内で回転軸の軸心方向に変位させると、それまで非接触状態にあったシール材とシール壁とが接触状態となって、封止機能がリニューアルされるようにした。
このように本発明に係る真空シール機構によれば、シール材の交換作業や、当該真空シール機構が適用された製造装置などの交換作業などを要することなく、簡単確実に封止機能をリニューアルすることができるため、シール材の交換作業、すなわちメンテナンスの作業回数を減らして、製造装置等の稼働率の向上を図り、生産効率の向上に貢献することができる。
また、何らかの原因により突発的に封止機能が損なわれた場合でも、シールホルダをハウジング内で回転軸の軸心方向に変位させるだけで、封止機能を直ちにリニューアルすることができ、したがって、この点でも稼働率の低下を抑えて、生産効率の向上に貢献できる。

請求項２記載の本発明のように、シール材を、第１と第２の二種のシールグループで構成し、これに応じてシール壁を第１と第２の二種のシールセグメントで構成していると、真空シール機能の寿命を倍増することができる。これにより、メンテナンスの回数を半減化することができるので、製造装置等の稼働率の向上に貢献できる。

請求項３記載の本発明においては、第１および第２シールセグメントを構成するシール壁の間に凹溝を刻設して、シールホルダが第１シール位置にあるときには、第２シールグループを構成するシール材が凹溝に対峙する位置にあるようにした。これによれば、初期状態においては、当該第２シールグループを構成するシール材は回転軸と非接触状態にあるため、摩耗痩せなどの形状変化は生じず、したがってリニューアル時における封止機能が良好に発揮される。また、リニューアル時においては、第１シールグループを構成するシール材が、凹溝に対峙する位置に存するように、つまり、使用済みのシール材は凹溝内内に位置するようにしたので、使用済みのシール材から塵埃が撒き散らされる不具合も生じない。

また、第１シールグループを構成するシール材と、第２シールグループを構成するシール材とを回転軸の軸心方向に交互に配設するとともに、第１シールセグメントを構成するシール壁と、第２シールセグメントを構成するシール壁とを、回転軸の軸心方向に交互に形成したので、シールホルダの変位操作時において、第１シールグループを構成するシール材と第１シールセグメントを構成するシール壁との接触状態を保ちつつ、第２シールグループを構成するシール材と第２シールセグメントを構成するシール壁とを接触させて、封止機能をリニューアルすることができる。したがって、真空環境の真空圧を大きく変化させることなく、封止機能をリニューアルすることができる。

以下に、本発明に係る真空シール機構を、半導体ウエハを搬送対象とする搬送用ロボットの動力伝達機構に適用した実施形態について、図面を参照して説明する。図１は動力伝達機構の断面図、図２は要部の拡大図であって、初期状態における真空シール機構の状態を示している。図３は要部の拡大図であって、リニューアル時における真空シール機構の状態を示している。

図１において、真空環境（Ｖ）側を上方、大気環境（Ａ）側を下方として説明する。符号２は真空チャンバーのベース壁を示す。このベース壁２は、前記上方の真空環境（Ｖ）と下方の大気環境（Ａ）とを仕切る隔壁であり、これら二つの環境（Ｖ）（Ａ）の間を跨ぐように動力伝達機構１が設置されている。動力伝達機構１は、大気環境（Ａ）側に設置されたモータ３の動力を真空環境（Ｖ）側の駆動軸４に伝達するものであり、真空環境（Ｖ）と大気環境（Ａ）との間に跨って配置された回転軸５と、この回転軸５を回転自在に支持するハウジング７とを備える。

ハウジング７は、中空円筒状の本体部８と、該本体部８の外周面から外方向に張り出し形成されたフランジ壁９とを備える厚肉の金属成形品であり、本体部８がベース壁２に開設された通孔２ａに上方より差込み装着されるとともに、フランジ壁９の下面がベース壁２の開口縁に受け止められた抜け止め姿勢で、不図示のねじによりベース壁２に締結固定されている。両者７・２の対向隙間は、ベース壁２の開口上縁に埋設されたＯリング状のシール体１０で封止されている。

ハウジング７の下端には、その下方開口を塞ぐように底板１１が固定されており、この底板１１にモータ３が装着されている。モータ３は、所謂減速装置１２付きのモータであり、モータ３の出力は、その上部に装着された減速装置１２を介して、ハウジング７内の回転軸５に伝達される。図１において、符号１３は、ハウジング７の上方開口を塞ぐための天板を示しており、回転軸５の上端に装着された駆動軸４は、この天板１３の開口縁に形成された環状溝１３ａに筒状のリブ４ａが係合することで、常に回転軸５と同心位置で回転する。

ハウジング７の本体部８と回転軸５との間には、該本体部８の内壁面と回転軸５の外周面との対向隙間を封止して、真空環境（Ｖ）への大気や塵埃の流入を防ぐための真空シール機構Ｓが設けられている。この真空シール機構Ｓは、回転軸５の軸心方向、すなわち上下方向に積層状に配設された複数個（本実施形態では４個）のシール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）と、これらシール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）に対応して回転軸５の外周面に形成された複数個（本実施形態では４個）のシール壁３０（３０ａ・３０ｂ・３０ｃ・３０ｄ）と、これら四つのシール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）を保持するシールホルダ４０と、シールホルダ４０を上下方向（回転軸５の軸心方向）に移動させるための操作部材４５とで構成される。そして、シール材２０とシール壁３０とが接触状態となることで、より詳しくは、シール材２０がシール壁３０に圧接状態となることで、封止機能が発揮される。

図１乃至図３に示すように、各シール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）は、全体がＯリング状に形成され、軟性合成樹脂製で断面が略Ｕ字溝状に構成され、内側に弾性材が嵌入される。該弾性材は、Ｕ字を構成する軸心側のリップ２１ａ（図３参照）を軸心方向の付勢力、すなわちシール壁３０に圧接する方向の付勢力を与える。これら四つのシール材（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）は、Ｕ字の開放側の溝が、大気環境（Ａ）の方向（下方）に向くような横臥姿勢でシールホルダ４５に固定される。

ハウジング７の内部には、内径寸法の大きな段差部１５が形成されており、この段差部１５にシールホルダ４０が上下動可能に装着されている。シールホルダ４０は、底壁４２に回転軸５の挿通を許す大きな開口を有する円筒状の金属成形品であり、円筒４１の内部に、四つのシール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）が多層状（上下直列状）に組み付けられている。
より詳しくは、大気環境側の最下部に位置するシール材２０ｄは、底壁４２の内壁面に固定されている。他の３つのシール材（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ）は、シールホルダ４０の円筒４１の内部に内嵌状に装着された円リング状の装着片４３に保持された状態で、円筒４１の内部に積み重ねられている。

図１において、符号１７は金属製のフレキベローズを示す。このベローズ１７は、ハウジング７の段差部１５の上向きに指向する下端面１５ａと、シールホルダ４０の下面４０ａとの間に配設されて、シールホルダ４０の外周面とハウジング７の段差部１５の内壁面との対向間隙を封止して、その密封性を確保する。図２および図３に示すように、ベローズ１７は、シールホルダ４０の上下移動に追従して伸縮変形する。

図２に示すように、操作部材４５は、底板１１を貫通するとともにハウジング７の内部を通って、上下方向に真っ直ぐに伸びる長棒状の操作片４６と、該操作片４６の上端から内方向に折り曲げられてシールホルダ４０に連結されるリンク片４７とからなるＬ字状の棒体であり、操作片４６の下端には操作用の把持片４８が装着されている。なお、把持片４８は上昇端位置または下降端位置で固定できる構成としている。また、操作部材４５とハウジング７の間、および、シールホルダ４０とハウジング７との間には図示しないシール材が適宜配置される。そして、図２に示すような初期状態から把持片４８を掴んで操作片４５を引き下げることで、図３に示すようにハウジング７内でシールホルダ４０を下方に変位移動させることができる。
以下においては、図２に示すように、ハウジング７内でシールホルダ４０が上方に存する初期状態を第１シール位置、図３に示すように、操作部材４５を引き下げることにより、ハウジング７内でシールホルダ４０が下方に移動した状態を第２シール位置とする。

図２および図３に示すように、これらシール材２０に対応して、回転軸５の外周面には、シール壁３０と凹溝３１とが形成されている。詳しくは、真空環境（Ａ）側となる最上部から順に、シール材２０（２０ａ・２０ｂ・２０ｃ・２０ｄ）に対応してシール壁３０（３０ａ・３０ｂ・３０ｃ・３０ｄ）が形成されている。シール壁３０ａとシール壁３０ｂとの間、およびシール壁３０ｃとシール壁３０ｄとの間には、環状の凹溝３１（３１ａ・３０ｂ）が刻設されている。

これらシール材２０およびシール壁３０は、図２に示すような初期状態において、つまりシールホルダ４０が第１シール位置にあるときに封止機能を発揮する第１シールグループおよび第１シールセグメントと、図３に示すようにシールホルダ４０が第２シール位置にあるときに封止機能を発揮する第２シールグループおよび第２シールセグメントとで構成される。
具体的には、シール材２０ａ・２０ｃが第１シールグループに属し、シール壁３０ａ・３０ｃが第１シールセグメントに属している。そして、図２に示すように、これらシール材２０ａとシール壁３０ａ、およびシール材２０ｃとシール壁３０ｃとが接触状態となることで、初期状態において封止機能が発揮される。
また、シール材２０ｂ・２０ｄが第２シールグループに属し、シール壁３０ｂ・３０ｄが第２シールセグメントに属している。そして、これらシール材２０ｂとシール壁３０ｂ、およびシール材２０ｄとシール壁３０ｄとが、操作部材４５の下方への操作後に接触状態となることで、新たな封止機能が発揮されるようになっている。つまり、ハウジング７内でシールホルダ４０が、第１シール位置（図２）から第２シール位置（図３）に変位することで、封止機能がリニューアルされるようになっている。

より詳しく見てみると、シールホルダ４０には、第１シールグループを構成するシール材（２０ａ・２０ｃ）と、第２シールグループを構成するシール材（２０ｂ・２０ｄ）とが、回転軸５の軸心方向に交互に多層状に配設されている。また、回転軸５の外周面には、第１シールセグメントを構成するシール壁（３０ａ・３０ｃ）と、第２シールセグメントを構成するシール壁（３０ｂ・３０ｄ）とが、その軸心方向に交互に多層状に形成されている。そして、これら第１および第２シールセグメントを構成するシール壁（３０ａ・３０ｂ）、（３０ｃ・３０ｄ）の間には、凹溝３１（３１ａ・３１ｂ）が刻設されている。

次に、以上のような構成からなる真空シール機構Ｓの封止機能のリニューアル操作について説明する。
図１および図２に示す初期状態においては、シールホルダ４０は第１シール位置にあり、第１シールグループに属するシール材２０ａ・２０ｃと、第１シールセグメントに属するシール壁３０ａ・３０ｃとが接触状態にあり、これらにより真空シール機構Ｓの封止機能が発揮される。つまり、シール材２０ａ・２０ｃのリップ２１ａ（図３参照）が弾性材の付勢力を受けて、対向するシール壁３０ａ・３０ｃに圧接することで、真空シール機構Ｓの封止機能が発揮される。

また、図１および図２の初期状態では、第２シールグループに属するシール材２０ｂ・２０ｄは、凹溝３１ａ・３１ｂに対峙する位置にあって、回転軸５の外周面と非接触状態にある。このため、初期状態において、第２シールグループ・セグメントに属するシール材２０ｂ・２０ｄやシール壁３０ｂ・３０ｄが摩耗痩せすることはない。

以上のような初期状態において、第１シールグループ・セグメントに属するシール材２０ａ・２０ｃやシール壁３０ａ・３０ｃが経年劣化（摩耗）することにより、真空シール機構Ｓの封止機能が低下すると、図３に示すように、操作部材４５を下方に引き下げて、シールホルダ４０を第１シール位置から第２シール位置に変位させて、封止機能をリニューアルする。尤も、何らかの突発的な事故により、封止機能が低下した場合にも、シールホルダ４０を第２シール位置に変位させて、封止機能をリニューアルすることができる。

つまり、シールホルダ４０を第２シール位置に変位させると、初期状態において封止機能を発揮していた第１シールグループ・セグメントに属するシール材２０ａ・２０ｃとシール壁３０ａ・３０ｃとが接触状態から非接触状態となって、その役目を終えるとともに、図３に示すように、第２シールグループ・セグメントに属するシール材２０ｂ・２０ｄとシール壁３０ｂ・３０ｄが非接触状態から接触状態となって、新たな封止機能が発揮される。このとき、第１シールグループに属しているシール材２０ａが凹溝３１ａに対峙する位置に移動し、シール材２０ｃが凹溝３１ｂに対峙する位置に移動する。
なお、シールホルダ４０の下方への移動操作に伴って、ベローズ１７は、その上下の長さ寸法が小さくなる方向に圧縮状に変形される。

以上のように、本実施形態の真空シール機構Ｓによれば、シールホルダ４０をハウジング７内で下方に変位させると、それまで封止機能を発揮していたシール材２０ａ・２０ｃとシール壁３０ａ・３０ｃとが接触状態から非接触状態となって、その役目を終えるとともに、これとは別のシール材２０ｂ・２０ｄとシール壁３０ｂ・３０ｄとが非接触状態から接触状態となって、新たな封止機能が発揮されるようにした。したがって、この真空シール機構Ｓによれば、シール材２０の交換作業や、動力伝達機構１などの交換作業など要することなく、大気環境（Ａ）側から操作部材４５を操作するだけで、簡単確実に封止機能をリニューアルすることができるため、シール材２０の交換作業、すなわちメンテナンスの作業回数を減らして、半導体製造装置の稼働率の向上を図り、以って生産効率の向上に貢献することができる。
また、何らかの原因により突発的に封止機能が損なわれた場合でも、シールホルダ４０をハウジング７内で下方に変位させるだけで、封止機能をリニューアルすることができ、したがって、この点でもメンテナンスの回数を減らして、生産効率の向上に貢献できる。

シール材２０を、第１と第２の二種のシールグループ（２０ａ・２０ｃ）（２０ｂ・２０ｄ）で構成し、これに応じてシール壁３０を第１と第２の二種のシールセグメント（３０ａ・３０ｃ）（３０ｂ・３０ｄ）で構成していると、真空シール機能Ｓの寿命を倍増することができる。これにより、メンテナンスの回数を半減化することができるので、半導体製造装置の稼働率の向上を図ることができる。

また、本実施形態においては、シール壁（３０ａ・３０ｂ）の間に凹溝（３１ａ）を刻設し、シール壁（３０ｃ・３０ｄ）の間に凹溝（３１ｂ）を刻設し、図２に示すように、シールホルダ４０が第１シール位置にあるときには、第２シールグループを構成するシール材（２０ｂ・２０ｄ）が凹溝（３１ａ・３１ｂ）に対峙する位置にあるようにした。これによれば、初期状態においては、当該第２シールグループを構成するシール材（２０ｂ・２０ｄ）は回転軸５と非接触状態にあるため、摩耗痩せなどの形状変化は生じず、したがってリニューアル時における封止機能が良好に発揮される。また、リニューアル時においては、第１シールグループを構成するシール材（２０ａ・２０ｃ）が、凹溝（３１ａ・３１ｂ）に対峙する位置に存するように、つまり、使用済みのシール材（２０ａ・２０ｃ）は凹溝（３１ａ・３１ｂ）内に位置するので、使用済みのシール材（２０ａ・２０ｃ）から塵埃が撒き散らされる不具合も生じない。

第１シールグループを構成するシール材（２０ａ・２０ｃ）と、第２シールグループを構成するシール材（２０ｂ・２０ｄ）とを回転軸５の軸心方向に交互に配設するとともに、第１シールセグメントを構成するシール壁（３０ａ・３０ｃ）と、第２シールセグメントを構成するシール壁（３０ｂ・３０ｄ）とを、回転軸５の軸心方向に交互に形成したので、シールホルダ４０の変位操作時において、第１シールグループを構成するシール材（２０ａ・２０ｃ）と第１シールセグメントを構成するシール壁（３０ａ・３０ｃ）との接触状態を保ちつつ、第２シール部ループを構成するシール材（２０ｂ・２０ｄ）と第２シールセグメントを構成するシール壁（３０ｂ・３０ｄ）とを接触させて、封止機能をリニューアルすることができる。したがって、真空環境（Ｖ）の真空圧を大きく変化させることなく、封止機能をリニューアルすることができる。

上記実施形態においては、操作部材４５を引き下げ操作することで、シールホルダ４０を下方に移動させて、封止機能をリニューアルできるようにしていたが、本発明はこれに限らず、例えば、操作部材４５にアクチュエーターで構成した移動機構と連結し、該アクチュエーターを操作手段と接続して、該移動機構をハウジング７内または外に組み付けて、操作ボタン等の操作手段により遠隔操作で移動機構を駆動させることにより、ハウジング７内でシールホルダ４０を下方に移動させる構成としてもよい。このように構成することで、別の場所からリニューアルが簡単に行える。また、アクチュエーターを制御手段と接続することで、定期交換の時期がきたときに自動的にリニューアルさせることも可能となる。また、本実施例では４つのシール材を用いたが５つ以上で構成して、２つのシールグループに構成してもよい。こうすることで、シール作用をさらに高めることができる。また、３つ以上のシールグループと３つ以上のシール壁を構成して、３段以上に切り換える構成としてもよい。こうすることで、シールの交換時期をさらに延ばすことが可能となる。また、本実施例ではシール材を交互に配置したが、２つのシールグループを上下に分けて、操作部材４５を上方または下方に移動させて切り換える構成であってもよい。

本発明に係る真空シール機構が組み込まれた動力伝達機構の断面図である。 本発明に係る真空シール機構の要部の拡大図であって、初期状態における真空シール機構の状態を示している。 本発明に係る真空シール機構の要部の拡大図であって、リニューアル時における真空シール機構の状態を示している。

符号の説明

１ 動力伝達機構
５ 回転軸
７ ハウジング
２０（２０ａ〜２０ｄ） シール材
３０（３０ａ〜３０ｄ） シール壁
３１（３１ａ・３１ｂ） 凹溝
４０ ハウジング
Ｓ 真空シール機構
Ｖ 真空環境
Ａ 大気環境

Claims (3)

1. 真空環境と大気環境との間に配置された回転軸と、該回転軸を回転自在に支持するハウジングとを含む動力伝達機構に適用され、これら回転軸とハウジングとの対向隙間を封止して、真空環境への大気や塵埃の流入を防ぐ真空シール機構であって、
   前記真空シール機構は、前記回転軸の軸心方向に多層状に配設された複数個の環状のシール材と、前記シール材に対応して前記回転軸の外周面に多層状に形成された複数個のシール壁とで構成されており、これらシール材とシール壁とが接触状態となることで封止機能が発揮されるようになっており、
   全てのシール材は、前記ハウジング内で回転軸の軸心方向に変位可能に組み付けられたシールホルダに保持されており、
   前記シールホルダをハウジング内で回転軸の軸心方向に変位させることにより、いずれかのシール材とシール壁とが接触状態から非接触状態となるとともに、これとは別のシール材とシール壁とが非接触状態から接触状態となって、封止機能をリニューアルできるように構成されていることを特徴とする真空シール機構。
2. 前記シール材は、初期状態において封止機能を発揮する第１シールグループと、リニューアル時に封止機能を発揮する第２シールグループとで構成されており、
   前記シール壁は、初期状態において第１シールグループを構成するシール材と接触状態となる第１シールセグメントと、リニューアル時において第２シールグループを構成するシール材と接触状態となる第２シールセグメントとで構成されており、
   前記シールホルダは、第１シールグループと第１シールセグメントに由来する封止機能が発揮される第１シール位置と、第２シールグループと第２シールセグメントに由来する封止機能が発揮される第２シール位置との間で、前記回転軸の軸心方向に沿ってハウジング内で変位可能に構成されていることを特徴とする請求項１記載の真空シール機構。
3. 前記シールホルダには、第１シールグループを構成するシール材と、第２シールグループを構成するシール材とが、回転軸の軸心方向に交互に多層状に配設されており、
   前記回転軸の外周面には、第１シールセグメントを構成するシール壁と、第２シールセグメントを構成するシール壁とが、その軸心方向に交互に形成されており、これら第１および第２シールセグメントを構成するシール壁の間には、凹溝が刻設されており、
   前記シールホルダが第１シール位置にあるとき、第２シールグループを構成するシール材は、前記凹溝に対峙する位置にあって、前記回転軸の外周面と非接触状態にあり、
   前記シールホルダを第１シール位置から第２シール位置に変位させたとき、第１シールグループを構成するシール材が、前記凹溝に対峙する位置に移動するようになっている請求項２記載の真空シール機構。

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