JP2015218836A - シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 - Google Patents
シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 Download PDFInfo
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Abstract
Description
図1は、実施形態1に係るシール構造を備えた半導体製造装置を模式的に示す断面図である。図2は、実施形態1に係るシール構造を模式的に示す断面図である。図1および図2は、回転部材3の回転中心軸Zrを含み、かつ回転中心軸Zrと平行な平面でシール構造1を切った断面を示している。なお、実施形態1において、軸方向とは、回転中心軸Zrと平行な方向であり、径方向とは、回転中心軸Zrに対して直交する方向である。図3は、図2のA−A断面図である。図4は、実施形態1に係る第1シール部材の周辺部分の拡大図である。シール構造1は、例えば、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境等の特殊環境下におかれる内部空間Vの密閉を保ちながら回転を伝達する機械要素である。内部空間Vと隔てられた外部空間Eは、内部空間Vに対して高圧である空間または大気雰囲気の空間である。シール構造1は、半導体製造または工作機械製造等の製造装置、搬送装置、回転駆動装置に適用される。ここでは、一例として、半導体製造のための製造装置において、スピンドルを回転軸として備える回転駆動装置(スピンドルユニット)にシール構造1を適用する場合を説明するが、シール構造1の適用対象はこれに限定されるものではない。
図5は、実施形態2に係るシール構造を模式的に示す断面図である。図6は、図5のB−B断面図である。上述した実施形態1と同じ構成要素には、同じ構造を付して、説明を省略する。実施形態2に係るシール構造1は、上述した実施形態1に係るハウジング2とは異なるハウジング2Aを備える。
10 筐体
11、13 Oリング
12 Oリング(第2シール部材)
15 第1隙間
16 第2隙間
2 ハウジング
21 外側部材
211 胴部
212 フランジ部
21a 位置決め部
21b、21c 貫通孔
22 内側部材
221 胴部
222 フランジ部
223 大径部
224 小径部
3 回転部材
31 シャフト
32 シール固定部材
321 小径部
322 大径部
32b シール固定凹部
32p 側面
33 可動部材(搬送テーブル、シール押え部材)
331 胴部
332 載置部
4、41、42 軸受
41a、42a 外輪
41c、42c 内輪
5 第1シール部材
51 リップ部
52 固定部
53 環状連結部
54 シールフランジ部
56 付勢部材
6 回転駆動装置
71 冷却装置
72、73 配管
74、76 貫通孔
75 冷媒導入部
8 電動機
91 制御装置
100 半導体製造装置
E 外部空間
V 内部空間
Claims (11)
- 圧力の異なる2つの空間を隔てるシール構造であって、
前記圧力の異なる2つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、
前記ハウジングに挿入されるシャフトと、
前記ハウジングに備えられ、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトとともに回転し、かつ側面が所定の大きさの隙間である第1隙間を有して前記ハウジングの内壁と対向するシール固定部材と、
前記シール固定部材に固定されて前記シール固定部材とともに回転し、前記ハウジングに接して、前記第1隙間を密封する環状の第1シール部材と、
を備えることを特徴とするシール構造。 - 前記シール固定部材の前記シャフトと固定される一端部とは異なる他端部に固定されて前記シール固定部材とともに回転するシール押え部材を備え、
前記第1シール部材は、前記シャフトの径方向内側に向かって突出し前記シール固定部材および前記シール押え部材に挟まれて固定されるシールフランジ部を備えることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。 - 前記第1シール部材は、前記シール固定部材に接する固定部と、前記ハウジングに接するリップ部と、前記固定部と前記リップ部とを連結する環状連結部と、を備えることを特徴とする請求項1または2に記載のシール構造。
- 前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間に設けられて、前記リップ部を前記ハウジングに押し付ける付勢部材を備えることを特徴とする請求項3に記載のシール構造。
- 前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間は、前記圧力の異なる2つの空間のうち、高圧側の空間に向かって開口していることを特徴とする請求項3または4に記載のシール構造。
- 前記ハウジングは、筒状の部材である外側部材と、前記外側部材の内側に配置される筒状の部材である内側部材と、前記外側部材と前記内側部材との間の隙間である第2隙間を密封する環状の第2シール部材と、を備え、
前記第1シール部材は、前記内側部材の内壁に接することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のシール構造。 - 前記ハウジングは、前記第1シール部材よりも前記シャフトの径方向外側の位置に設けられた空間であって冷媒が循環する冷媒導入部を備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のシール構造。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造を備える、工作機械。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のシール構造を備える、半導体製造装置。
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JP2018119523A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 三菱重工オートモーティブサーマルシステムズ株式会社 | スクロール型圧縮機 |
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US4586718A (en) * | 1985-09-06 | 1986-05-06 | Crane Co. | Sealing assembly with floating gland means for rotatable shafts |
JP2003222245A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Furukawa Co Ltd | ポンプの軸封装置 |
JP2006179629A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Nsk Ltd | 回転保持装置 |
JP2008115946A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Daihen Corp | 真空シール機構 |
-
2014
- 2014-05-19 JP JP2014103685A patent/JP6337608B2/ja active Active
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WO2018139501A1 (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 三菱重工サーマルシステムズ株式会社 | スクロール型圧縮機 |
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