JP2006179629A - 回転保持装置 - Google Patents
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Abstract
コンパクトであり、分解が容易でありながら、適切なシールを有する回転保持装置を提供する。
【解決手段】
軸受107,111の半径方向内方に、冷却水用シール110,真空シール109を配置しているため、それらを点検・交換することが容易であり、且つ回転保持装置100の軸線方向長を小さく抑えることができる。このような構成を有するため、回転保持装置100はXYテーブルのスライダ上に載置して用いることができ、回転保持装置100自体をスライダとすることもできる。
【選択図】 図3
Description
冷却媒体を供給される供給口及び冷却媒体を排出する排出口を備えたハウジングと、
処理対象物を保持する保持部と、保持した処理対象物を冷却する冷却部とを備えたホルダと、
前記ホルダを支持すると共に、前記ホルダの冷却部と前記ハウジングの供給部との間で冷却媒体を伝達する第1伝達通路と、前記ホルダの冷却部と前記ハウジングの排出部との間で冷却媒体を伝達する第2伝達通路とを備えた支持軸と、
前記ハウジングと前記支持軸との間に設けられ、前記支持軸を回転自在に支持する軸受と、
駆動手段と、
前記駆動手段からの動力を前記支持軸に伝達する動力伝達機構と、
前記軸受の半径方向内方に配置され、前記大気外雰囲気と、大気内雰囲気とを密封隔離する真空シールとを有することを特徴とする。
101 第1ハウジング
101b 入口通路
101c 出口通路
102 第3ハウジング
102A 第1部分
102B 第2部分
102a フランジ部
103 モータ
103a 小ギヤ
104 第2ハウジング
104a フランジ部
104b 第1貫通孔
104c 第2貫通孔
104d 凹部
106 支持軸
106a 台座
106c 第1伝達通路
106d 第2伝達通路
106e 凸部
107 アンギュラコンタクト玉軸受
109 真空シール
110 冷却水用シール
111 アンギュラコンタクト玉軸受
112 円筒部材
112a フランジ部
115 リングギヤ
115a フランジ部
116 ホルダ
116a 空間
116b 供給口
116c 排出口
118 間座
121 ブラケット
200 回転保持装置
201 第1ハウジング
201b 入口通路
201c 出口通路
202 台座
202c 第1伝達通路
202d 第2伝達通路
202e 凹部
203 モータ
203a 小ギヤ
204 第2ハウジング
204a 円筒部
204b 第1貫通孔
204c 第1貫通孔
204d 凸部
206 支持軸
207 アンギュラコンタクト玉軸受
209 真空シール
210 冷却水用シール
212 ステー
215 リングギヤ
216 ホルダ
216a 空間
216b 供給口
216c 排出口
221 軸受抑え
222 軸受抑え
B ベース
B1 ボルト
B2 ボルト
B3 ボルト
B4 ボルト
B5 ボルト
Ba 開口
H 筐体
I イオンビーム
M モータ
MF 磁性流体シール
OR O−リング
S ねじ軸
Claims (8)
- 大気外の環境で用いられる回転保持装置において、
冷却媒体を供給される供給口及び冷却媒体を排出する排出口を備えたハウジングと、
処理対象物を保持する保持部と、保持した処理対象物を冷却する冷却部とを備えたホルダと、
前記ホルダを支持すると共に、前記ホルダの冷却部と前記ハウジングの供給部との間で冷却媒体を伝達する第1伝達通路と、前記ホルダの冷却部と前記ハウジングの排出部との間で冷却媒体を伝達する第2伝達通路とを備えた支持軸と、
前記ハウジングと前記支持軸との間に設けられ、前記支持軸を回転自在に支持する軸受と、
駆動手段と、
前記駆動手段からの動力を前記支持軸に伝達する動力伝達機構と、
前記軸受の半径方向内方に配置され、前記大気外雰囲気と、大気内雰囲気とを密封隔離する真空シールとを有することを特徴とする回転保持装置。 - 前記軸受の半径方向内方であって、前記真空シールと前記第1伝達通路又は前記第2伝達通路との間に配置された冷却媒体用シールを有することを特徴とする請求項1に記載の回転保持装置。
- 前記支持軸と前記ハウジングの一方に形成された凸部が、他方に形成された凹部に非接触状態で挿入されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の回転保持装置。
- 前記軸受に予圧を付与する予圧機構を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の回転保持装置。
- 前記軸受の内輪が固定され、外輪が回転することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の回転保持装置。
- 前記軸受の外輪が固定され、内輪が回転することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の回転保持装置。
- 前記動力伝達機構は、歯車対を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の回転保持装置
- 前記ホルダと前記支持軸との間において、前記第1伝達通路及び前記第2伝達通路との間に密封手段を設けないことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の回転保持装置。
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