JP2015113893A - 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態1に係る回転機構を備えた製造装置を模式的に示す断面図である。図2は、実施形態1に係る回転機構を模式的に示す断面図である。図1及び図2は、回転機構1の回転中心軸Zrを含み、かつ回転中心軸Zrと平行な平面で回転機構1を切った断面を示している。なお、実施形態1において、軸方向とは、回転中心軸Zrと平行な方向である。図3は、図2のA−A矢視図である。図4は、実施形態1に係る回転機構の隙間の拡大図である。回転機構1は、回転を伝達する機械要素であり、例えば、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境等の特殊環境下で使用される。回転機構1は、半導体製造又は工作機械製造等の製造装置、搬送装置、回転駆動装置に適用される。ここでは、一例として、回転機構1が、半導体製造のための製造装置において、スピンドルを回転軸として備える回転駆動装置(スピンドルユニット)である場合を説明するが、回転機構1の適用対象はこれに限定されるものではない。
図5は、実施形態1の変形例1に係る回転機構の隙間の拡大図である。上述した構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。図5に示すように、付勢部材56は、例えばステンレス鋼などで、いずれも平板状の板状部56a及び板状部56bを屈曲部56cで折り曲げた、断面視でU字状となる弾性体である。実施形態1の変形例1において、屈曲部56cが所定の曲率を有するように折り曲げている。そして、付勢部材56は、板状部56a及び板状部56bの先端同士が広がるように付勢されている。
図6は、実施形態1の変形例2に係る回転機構の隙間の拡大図である。上述した構成要素と同一の構成要素には、同一の符号を付し、その説明を省略する。図6に示すように、付勢部材56は、例えばステンレス鋼などの線状部材であり、コイルばねとして円筒スパイラル状に巻回されている。図6に示すように、固定部52、環状連結部53及びリップ部51が囲む空間の内部であって、リップ部51の径方向外側には、付勢部材56が配置される。そして、付勢部材56のコイルばねの直径よりも回転部32及びリップ部51で規定される直径を大きくする。これにより、付勢部材56は、リップ部51の押圧力を回転部32側へ付勢することができる。
図7は、実施形態2に係る回転機構を模式的に示す断面図である。図7は、実施形態2に係る回転機構を模式的に示す断面図である。実施形態2に係る回転機構1は、環状シール部材5は、シールフランジ部54を備えていない。このため、シール固定用スペーサ25にもシール固定凹部25bがない。
2 ハウジング
3 回転部材
4、41、42 軸受
5 環状シール部材
8 電動機
21 胴部
22 ハウジングフランジ部
23 蓋部
23f 径方向内径側面
24 外輪止め部材
25 シール固定用スペーサ
25a スペーサ位置決め部
25b シール固定凹部
25c 径方向内周部
25d 径方向外周部
32 回転部
33 搬送テーブル(可動部材)
41a、42a 外輪
41c、42c 内輪
51 リップ部
51a 内周側先端
51d 内周側基部
52 固定部
54 シールフランジ部
55 隙間
56 付勢部材
56c 屈曲部
91 制御装置
100 製造装置
E 外部空間
V 内部空間
Claims (12)
- 圧力の異なる二つの空間を隔てる回転機構であって、
ハウジングと、
前記ハウジングに挿入されるシャフトと、
前記ハウジングに備えられ、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
前記シャフトの一端部に設けられて前記シャフトとともに回転し、かつ径方向外側表面が前記ハウジングと所定の大きさの隙間を有して対向する回転部と、
前記ハウジングに接する固定部と、前記回転部の径方向外側表面に接するリップ部と、前記固定部と前記リップ部とを連結する環状連結部とを備え、前記隙間を密封する環状シール部材と、
前記リップ部の押圧力を回転部側へ付勢する付勢部材と、
を含むことを特徴とする回転機構。 - 前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲む空間は、前記圧力の異なる二つの空間のうち、高圧側に開口している、請求項1に記載の回転機構。
- 前記付勢部材は、前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲む空間に備えられている、請求項2に記載の回転機構。
- 前記環状シール部材は、前記軸受よりも前記圧力の異なる二つの空間のうち、低圧側に配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の回転機構。
- 前記軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する軸受であり、
前記回転部は、前記内輪を固定する内輪押さえである、請求項4に記載の回転機構。 - 前記ハウジング部は、ハウジング本体と、前記隙間の大きさを規定するとともに、環状シール部材を固定するシール固定用スペーサを備える、請求項1から5のいずれか1項に記載の回転機構。
- 前記ハウジングは、前記ハウジング本体に対して固定されることで、前記シール固定用スペーサを固定する蓋部と、
前記ハウジング本体と、前記シール固定用スペーサと、前記蓋部とでできる空間を密封する第2環状シール部材とを備え、
第2環状シール部材は、前記環状シール部材よりも直径が大きい、請求項6に記載の回転機構。 - 前記環状シール部材は、前記固定部の径方向外側にシールフランジ部を備え、前記シールフランジ部は、前記シール固定用スペーサにより固定されている、請求項6又は7に記載の回転機構。
- 前記環状シール部材は、前記シール固定用スペーサと前記回転部との間に生じる反発力で固定されている、請求項6又は7に記載の回転機構。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構を備える、製造装置。
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JP2013255490A JP6024647B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002228010A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-08-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空シール機構および真空シール装置 |
JP2006179629A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Nsk Ltd | 回転保持装置 |
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2013
- 2013-12-10 JP JP2013255490A patent/JP6024647B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2006179629A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Nsk Ltd | 回転保持装置 |
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