JP6772440B2 - シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 - Google Patents
シール構造、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 Download PDFInfo
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Description
図1は、実施形態1に係るシール構造を備えた半導体製造装置を模式的に示す断面図である。図2は、実施形態1に係るシール構造を模式的に示す断面図である。図1および図2は、回転部材3の回転中心軸Zrを含み、かつ回転中心軸Zrと平行な平面でシール構造1を切った断面を示している。なお、実施形態1において、軸方向とは、回転中心軸Zrと平行な方向であり、径方向とは、回転中心軸Zrに対して直交する方向である。図3は、実施形態1に係る第1シール部材の周辺部分の拡大図である。シール構造1は、例えば、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境等の特殊環境下におかれる内部空間Vの密閉を保ちながら回転を伝達する機械要素である。内部空間Vと隔てられた外部空間Eは、内部空間Vに対して高圧である空間または大気雰囲気の空間である。シール構造1は、半導体製造または工作機械製造等の製造装置、搬送装置、回転駆動装置に適用される。ここでは、一例として、半導体製造のための製造装置において、スピンドルを回転軸として備える回転駆動装置(スピンドルユニット)にシール構造1を適用する場合を説明するが、シール構造1の適用対象はこれに限定されるものではない。
図4は、実施形態2に係るシール構造を模式的に示す断面図である。上述した実施形態1と同じ構成要素には、同じ構造を付して、説明を省略する。実施形態2に係るシール構造1は、シール部材5を軸方向に2つ備える点が上述した実施形態1とは異なる。
本実施例では、第2シール部材50は、第1シール部材5と同一のものを用いているが、同様の構成であれば、形状や大きさは異なっていても良い。例えば、シャフト81に対して、可動部材33の外径を大きく、又は小さく形成し、それに合わせて第1シール部材5に対して大きい、又は小さい第2シール部材50を使用しても良い。
図5は、実施形態3に係るシール構造を模式的に示す断面図である。上述した実施形態2とは、ハウジング2の軸方向中間に形成された気体通路22bから、シャフト81、貫通孔22の内壁、第1シール部材5、及び、第2シール部材50で囲まれた空間Sの気体を排気する点が異なる。
筒状部21Aの貫通孔22の内壁には環状溝22aが形成され、環状溝22aの底部に気体通路22bが開口している。環状溝22aは、シャフト81のハウジング2に対する軸方向移動の範囲において、常に第1シール部材5と、第2シール部材50との間に位置する様な位置に形成される。
10 筐体
11 Oリング
15 第1隙間
2 ハウジング
21A 筒状部
21Bフランジ部
22 貫通孔
22a 環状溝
22b 貫通孔
3 回転部材
32 シール固定部材
32b シール固定凹部
33 可動部材(搬送テーブル、シール押え部材)
331 胴部
332 載置部
5 第1シール部材
51 リップ部
52 固定部
53 環状連結部
54 シールフランジ部
56 付勢部材
6 回転−直動駆動装置
7 直動機構
8 電動機
91 制御装置
100 半導体製造装置
E 外部空間
V 内部空間
Claims (10)
- 圧力の異なる2つの空間を隔てるシール構造であって、前記圧力の異なる2つの空間のうち高圧側の空間に配置される筒状のハウジングと、前記ハウジングに挿入されるシャフトと、前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトの回転とともに回転し、かつ前記シャフトの軸方向の移動とともに移動し、前記ハウジングに接して、前記シャフトの外径面と前記シャフトが挿入される前記ハウジングの貫通穴との間の隙間である第1隙間を密封する環状の第1シール部材と、を備え、
前記第1シール部材は、前記シャフトの径方向内側に向かって突出し、前記シャフトの一端部と、前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトとともに回転する回転部材との間に挟まれて固定されるシールフランジ部を備えることを特徴とするシール構造。 - 前記第1シール部材は、前記シャフトに接する固定部と、前記ハウジングに接するリップ部と、前記固定部と前記リップ部とを連結する環状連結部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間に設けられて、前記リップ部を前記ハウジングに押し付ける付勢部材を備えることを特徴とする請求項2に記載のシール構造。
- 前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲まれる空間は、前記圧力の異なる2つの空間のうち、高圧側の空間に向かって開口していることを特徴とする請求項2または3に記載のシール構造。
- 前記第1シール部材と軸方向に所定の間隔を有して前記シャフトに固定されて前記シャフトとともに回転し、かつ側面が所定の大きさの隙間である前記第1隙間を有して前記ハウジングの内壁と対向するシール固定部材と、前記シール固定部材に固定されて前記シール固定部材とともに回転し、前記ハウジングに接して、前記第1隙間を密封する環状の第2シール部材を、さらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のシール構造。
- 前記ハウジング内周面と、前記第1シール部材と、前記第2シール部材と、前記シャフト外周面とで囲まれる空間を排気するための排気孔が前記ハウジングに形成されることを特徴とする請求項5に記載のシール構造。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のシール構造と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のシール構造と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のシール構造を備える、工作機械。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のシール構造を備える、半導体製造装置。
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- 2015-08-31 JP JP2015170851A patent/JP6772440B2/ja active Active
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