JP6020435B2 - 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る回転機構を備えた製造装置を模式的に示す断面図である。図2は、実施形態1に係る回転機構を模式的に示す断面図である。図1及び図2は、回転機構1の回転中心軸Zrを含み、かつ回転中心軸Zrと平行な平面で回転機構1を切った断面を示している。なお、実施形態1において、軸方向とは、回転中心軸Zrと平行な方向である。図3は、図2のA−A矢視図である。図4は、実施形態1に係る回転機構の隙間の拡大図である。回転機構1は、回転を伝達する機械要素であり、例えば、真空環境、減圧環境、プロセスガス充填環境等の特殊環境下で使用される。回転機構1は、半導体製造又は工作機械製造等の製造装置、搬送装置、回転駆動装置に適用される。ここでは、一例として、回転機構1が、半導体製造のための製造装置において、スピンドルを回転軸として備える回転駆動装置(スピンドルユニット)である場合を説明するが、回転機構1の適用対象はこれに限定されるものではない。
図5は、実施形態2に係る回転機構を模式的に示す断面図である。上述した実施形態1と同じ構成要素には、同じ構造を付して、説明を省略する。実施形態2に係る回転機構1は、回転部32の内部の中空部にシャフト31の一端31cが挿入可能な凹部の内壁32uを備えておらず、中実構造体である。回転部32の一端32tにある凸部32Tは、平面視で円形であり、直径が回転部32の径方向外側表面32pよりも小さく、内輪42cの内周側が囲む空間に挿入されて内輪42cと嵌め合う。回転部32の一端32tは、シャフト31の一端31cに当接している。凸部32Tは、環状に凹む環状溝にはめ込まれたOリング(第2環状シール部材)37を備えている。Oリング(第2環状シール部材)37は、貫通孔32h1を介して漏れる気体を抑制し、回転機構1の密封性を高めることができる。なお、環状溝をシャフト31の一端31cに設け、Oリング(第2環状シール部材)37は、シャフト31側に備えられるようにしてもよい。
2 ハウジング
3 回転部材
4、41、42 軸受
5A、5B 環状シール部材
8 電動機
21 胴部
22 ハウジングフランジ部
23 蓋部
23f 径方向内径側面
24 外輪止め部材
25 シール固定用スペーサ
25a スペーサ位置決め部
25b シール固定凹部
25c 径方向内周部
25d 径方向外周部
32 回転部
33 搬送テーブル(可動部材)
41a、42a 外輪
41c、42c 内輪
51 リップ部
51a 内周側先端
51d 内周側基部
52 固定部
54 シールフランジ部
55 隙間
56 付勢部材
56c 屈曲部
91 制御装置
100 製造装置
E 外部空間
V 内部空間
Claims (13)
- 圧力の異なる2つの空間を隔てる回転機構であって、
ハウジングと、
前記ハウジングに挿入されるシャフトと、
前記ハウジングに備えられ、前記シャフトを回転可能に支持する軸受と、
前記シャフトの一端部に固定されて前記シャフトとともに回転し、かつ前記シャフトの径方向外側表面よりも硬い径方向外側表面が前記ハウジングと所定の大きさの隙間を有して対向する回転部と、
前記回転部の径方向外側表面に接して、前記隙間を密封する第1環状シール部材と、
前記回転部を軸方向に貫通し、前記シャフトのねじ穴と締結されたボルトと、
前記シャフト又は前記回転部に設けられた環状に凹む環状溝に、はめ込まれた第2環状シール部材と、
を含む、回転機構。 - 前記シャフトの外周において前記軸受が嵌合される部位の外径よりも前記回転部の外周の外径が大きく、前記回転部の内部に前記シャフトの一端が挿入可能な凹部の内壁を備え、
前記環状溝が前記内壁にある請求項1に記載の回転機構。 - 前記回転部は、前記シャフトの一端部側に、直径が前記回転部の径方向外側表面よりも小さい前記シャフトとの当接面を有し、
前記環状溝が、前記シャフトとの当接面にある請求項1に記載の回転機構。 - 前記軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する軸受であり、
前記回転部の一端は、前記内輪が囲む空間に挿入されて前記内輪と嵌め合う、請求項1又は3に記載の回転機構。 - 前記軸受は、外輪、前記外輪の径方向内側に配置される内輪及び前記外輪と前記内輪との間に配置される転動体を有する軸受であり、
前記回転部は、前記内輪を固定する内輪押さえである、請求項1から4のいずれか1項に記載の回転機構。 - 前記シャフトの外周における前記軸受が嵌合される部位の外径よりも前記回転部の外周の外径が大きく、前記回転部の一端の少なくとも一部を前記内輪に当接させている請求項4又は5に記載の回転機構。
- 前記第1環状シール部材は、前記ハウジングに接する固定部と、前記回転部の径方向外側表面に接するリップ部と、前記固定部と前記リップ部とを連結する環状連結部とを備える請求項1から6のいずれか1項に記載の回転機構。
- 前記リップ部の押圧力を回転部側へ付勢する付勢部材をさらに備え、
前記付勢部材は、前記リップ部と、前記環状連結部と、前記固定部とで囲む空間に備えられている、請求項7に記載の回転機構。 - 前記第1環状シール部材が複数備えられ、前記第1環状シール部材のそれぞれは、前記シャフトの回転中心軸と平行な軸方向の異なる位置に配置され、前記回転部の径方向外側表面に接している、請求項1から8のいずれか1項に記載の回転機構。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構と、前記シャフトを回転させる電動機とを備える、回転駆動装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構と、被搬送物を移動させる可動部材を備え、前記シャフトの回転と、前記可動部材とが連動する、搬送装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構を備える、製造装置。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の回転機構を分解し、前記回転部を前記シャフトからとりはずした後、新しい回転部を固定して組み立てる、回転機構の組み付け方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013255488A JP6020435B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
EP14868916.9A EP3088775A4 (en) | 2013-12-10 | 2014-12-10 | Seal mechanism, drive device for seal mechanism, transport device, and manufacturing device |
CN201480064689.2A CN105765277B (zh) | 2013-12-10 | 2014-12-10 | 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置 |
US15/036,188 US10221949B2 (en) | 2013-12-10 | 2014-12-10 | Sealing mechanism, drive unit of sealing mechanism, conveyance device, and manufacturing device |
PCT/JP2014/082723 WO2015087925A1 (ja) | 2013-12-10 | 2014-12-10 | シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013255488A JP6020435B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015113892A JP2015113892A (ja) | 2015-06-22 |
JP6020435B2 true JP6020435B2 (ja) | 2016-11-02 |
Family
ID=53527896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013255488A Expired - Fee Related JP6020435B2 (ja) | 2013-12-10 | 2013-12-10 | 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6020435B2 (ja) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03125954U (ja) * | 1990-04-02 | 1991-12-19 | ||
JP2002228010A (ja) * | 2000-10-25 | 2002-08-14 | Teijin Seiki Co Ltd | 真空シール機構および真空シール装置 |
JP4595793B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2010-12-08 | 株式会社豊田自動織機 | 軸シール構造 |
JP2013204792A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 緩衝器 |
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2013
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JP2015113892A (ja) | 2015-06-22 |
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