JPH03125954U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH03125954U JPH03125954U JP1990035678U JP3567890U JPH03125954U JP H03125954 U JPH03125954 U JP H03125954U JP 1990035678 U JP1990035678 U JP 1990035678U JP 3567890 U JP3567890 U JP 3567890U JP H03125954 U JPH03125954 U JP H03125954U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seal
- vacuum chamber
- vacuum
- pressure
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
Description
第1図は本考案に係る真空シール構造の第1実
施例を示す図、第2図は第2実施例を示す図、第
3図は従来の真空シール構造の一例を示す図であ
る。 10……真空室、11……壁体、12……貫通
孔、13……スリーブ、14……軸体、15……
軸受、16……シール部材、17……取付部材、
18A,18B,18C,18D……シール空間
、19……給油孔、20……排気孔。
施例を示す図、第2図は第2実施例を示す図、第
3図は従来の真空シール構造の一例を示す図であ
る。 10……真空室、11……壁体、12……貫通
孔、13……スリーブ、14……軸体、15……
軸受、16……シール部材、17……取付部材、
18A,18B,18C,18D……シール空間
、19……給油孔、20……排気孔。
Claims (1)
- 真空室を形成している壁体に設けられた貫通孔
内に回転自在もしくは長手方向に摺動自在に配さ
れる軸体の回りの真空シール構造であつて、前記
貫通孔の内側に、前記軸体がその中心部に摺接し
た状態で挿通する弾性材からなる環状のシール部
材を壁体の厚み方向に所定の間隔をおいて複数装
着することにより、それら各シール部材の間に複
数のシール空間を形成し、それら複数のシール空
間のうちの大気側に位置するシール空間内に潤滑
材を注入して充填するとともに、真空室側のシー
ル空間内からは排気を行つてその内部の圧力を真
空室内の圧力と大気圧の中間に設定してなること
を特徴とする真空シール構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990035678U JPH03125954U (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1990035678U JPH03125954U (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03125954U true JPH03125954U (ja) | 1991-12-19 |
Family
ID=31541243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1990035678U Pending JPH03125954U (ja) | 1990-04-02 | 1990-04-02 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03125954U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015087925A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本精工株式会社 | シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
JP2015113892A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-22 | 日本精工株式会社 | 回転機構、回転駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
JP2015132379A (ja) * | 2013-12-10 | 2015-07-23 | 日本精工株式会社 | シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
JP2016038011A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 日本精工株式会社 | シール構造、シール構造の起動方法、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 |
CN105765277A (zh) * | 2013-12-10 | 2016-07-13 | 日本精工株式会社 | 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置 |
-
1990
- 1990-04-02 JP JP1990035678U patent/JPH03125954U/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015087925A1 (ja) * | 2013-12-10 | 2015-06-18 | 日本精工株式会社 | シール機構、シール機構の駆動装置、搬送装置及び製造装置 |
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CN105765277B (zh) * | 2013-12-10 | 2017-11-17 | 日本精工株式会社 | 密封机构、密封机构的驱动装置、输送装置和制造装置 |
US10221949B2 (en) | 2013-12-10 | 2019-03-05 | Nsk Ltd. | Sealing mechanism, drive unit of sealing mechanism, conveyance device, and manufacturing device |
JP2016038011A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | 日本精工株式会社 | シール構造、シール構造の起動方法、回転駆動装置、搬送装置、工作機械および半導体製造装置 |