JP2008112835A - Wlp(ウェハレベルパッケージ)およびその製造方法、wlpを内蔵した電子機器、ならびに気密封止方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】気密封止工程や実装工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、これにより歩留りや信頼性を向上させることの可能なウェハレベルパッケージを提供する。
【解決手段】それぞれ環状の接合パッド14,22を表面に有する2つの基板(下部基板10、上部基板20)と、接合パッド14,22の幅方向の中心領域14A,22Aを互いに接合する半田バンプ32と、接合パッド14,22の幅方向の外縁領域14B,22Bを互いに接合する樹脂バンプ31とを備える。樹脂バンプ31の融点は半田バンプ32のそれよりも低くなっている。
【選択図】図1
【解決手段】それぞれ環状の接合パッド14,22を表面に有する2つの基板(下部基板10、上部基板20)と、接合パッド14,22の幅方向の中心領域14A,22Aを互いに接合する半田バンプ32と、接合パッド14,22の幅方向の外縁領域14B,22Bを互いに接合する樹脂バンプ31とを備える。樹脂バンプ31の融点は半田バンプ32のそれよりも低くなっている。
【選択図】図1
Description
本発明は、気密封止の必要なWLPおよびその製造方法、このWLPを内蔵した電子機器、ならびに気密封止方法に関する。
近年の集積化技術の向上に伴い、電子機器の小型・軽量化、低電圧動作・低消費電力化、高周波動作化が急速に進んでおり、BGA(ボールグリッドアレイ)、LGA(ランドグリッドアレイ) 、CSP(チップスケールパッケージ)などのエリアアレイ型パッケージの需要が拡大している。加えて、最近では、究極の実装形態として、WLP(ウェハレベルパッケージ)などの先端技術も普及し初めている。このWLPは、例えば、チップ表面に形成されたIC(集積回路)を下にしてチップをプリント基板に実装し、チップ上に形成されたパッドとプリント基板のパッドとを半田ボールを介して接合することが可能であり、ボンディングワイヤやインターポーザとの接続が不要なリアルサイズパッケージである。
このように、小型・軽量化等が要請されている一方で、小型・軽量化等の妨げになり得る高機能化も求められている。このような互いに対立する課題を解決する技術の一つとして、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems;マイクロマシン)が注目されている。このMEMSは、シリコンプロセス技術により、マイクロな機械的要素と電子回路要素とを融合したシステムであり、日本では主にマイクロマシンと称されるものである。MEMSの要素技術は、その精密加工性などの優れた特徴から、高機能化に対応しつつ、小型で低価格なSoC(System on a Chip) を実現することができる。
そのため、近年、各種センサ、流体、光学、RF、ストレージ、バイオなど多岐に渡る応用分野においてMEMSの要素技術が利用されている。この技術を利用したMEMS素子として、例えば、通信回路用のミキサがある。このミキサは、基板上に機械的な共振を利用した可動部を有しており、RF信号の周波数とLO信号の周波数との差分の周波数 (中間周波数)で共振し、その中間周波数の信号をIF信号として出力するようになっている。
このように、上記のMEMSの要素技術を利用した可動部を内蔵するMEMS素子では、温度、気圧、大気中の水分、ダストなどの外部環境の影響により素子の特性が変化し、素子の信頼性が低下する虞がある。特に、MEMS素子を実装する工程では、MEMS素子は使用時よりも厳しい環境に曝されるので、素子の特性が大幅に劣化し、歩留まりが低下することがある。また、可動部の動作に機械的な共振が利用されている場合には、その特性上、減圧下で動作させることが望ましいこともある。これらの理由から、MEMS素子では、可動部の機械的な動作空間を確保しつつ、安定した環境を維持するために、可動部を気密封止することが必要となる。
従来は、例えば、図10に示したウェハレベルパッケージ100のように、可動部(図示せず)を有するMEMS素子113が溝112内に設けられると共にこのMEMS素子113を囲むように環状の接合パッド114が設けられた下部基板110の接合パッド114と、接合パッド114と対応して環状の接合パッド122が設けられた上部基板120の接合パッド122とを、バンプ131を介して接合して上部基板120と下部基板110との間に外部から分離された内部空間Sを形成し、これにより可動部を気密封止する方法が採られてきた(特許文献1参照)。
なお、図10では、上部基板120には、配線パッド123が内部空間S側の表面に設けられている。この配線パッド123は、MEMS素子113またはMEMS素子113と接続された周辺回路から引き出された配線パッド115とバンプ131を介して電気的に接続されている。上部基板120にはまた、配線パッド123と電気的に接続されたビア124が上部基板120を貫通して設けられ、ビア124と電気的に接続された引出配線パッド125が内部空間Sとは反対側に規則的に配置され、半田ボール126が引出配線パッド125の表面に形成されている。これにより、上部基板120は、気密封止用の蓋としての機能を有するだけでなく、上部基板120側を下にしてマザーボードなどのプリント基板上に直接接続することを可能にするピッチ変換機能も有している。また、MEMS素子113を囲むように形成された接合パッド114,122およびバンプ131が機能部を気密封止するシール部130Aを構成し、内部空間S内に形成された配線パッド115,123およびバンプ132が下部基板110側から上部基板120側に配線を引き回すために形成された電気接合部130Bを構成している。
ところで、上で例示したウェハレベルパッケージ100では、可動部を気密封止する際に、例えば、接合パッド114、配線パッド115およびバンプ131,132を金で構成し、これらを熱圧着により接合することが考えられる。しかし、このような金―金の熱圧着では、シール部130Aにおいて圧着の脆弱な箇所が一部でも存在すると気密封止が破壊される虞があるので、それを防止するために大きな圧力がかけられる。そのため、バンプ131,132の高さが揃っていない場合には、背の高いバンプが先に下部基板110に接触し、その接触部分に圧力が集中するので、図11に示したように、下部基板110にクラックCが生じて、周辺回路が破壊されたり、気密封止が破壊される虞がある。
そこで、シール部130Aのバンプ131を半田で構成し、リフローすることにより接合パッド114およびバンプ131を接合することが考えられる。しかし、半田をリフローにより溶融させると、溶融した半田が接合パッド114,122からはみ出して支持基体111,121の表面に接触する虞がある。このように半田が支持基体111,121の表面に接触した状態で半田を冷却すると、冷却に伴う半田の収縮によって支持基体111に応力が発生するので、支持基体111,121の表面が剥離して、周辺回路が破壊されたり、気密封止が破壊される虞がある。また、同様の問題がウェハレベルパッケージ100をプリント基板に実装する際にも生じ得る。
このように、上記の方法では、気密封止工程や実装工程に起因してデバイスが破壊されることにより歩留りや信頼性が低下するという問題がある。そして、このような問題は、MEMSの要素技術を利用したものに限らず、気密封止の必要なウェハレベルパッケージにおいて広く一般に生じるものである。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、気密封止工程や実装工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、これにより歩留りや信頼性を向上させることの可能なウェハレベルパッケージおよびその製造方法、このウェハレベルパッケージを内蔵した電子機器、ならびに気密封止方法を提供することにある。
本発明のウェハレベルパッケージは、それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの基板と、2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の中心領域を接合する半田部と、2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の外縁領域を接合する樹脂部とを備えたものである。樹脂部の融点は半田部のそれよりも低くなっている。また、本発明の電子機器は、プリント基板上に実装された上記ウェハレベルパッケージを内蔵したものである。
本発明のウェハレベルパッケージの製造方法は、それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの基板を用意し、一方の基板の接合部の幅方向の中心領域が露出する環状の溝を有する樹脂部を一方の基板の表面に形成したのち溝内に樹脂部よりも融点の高い半田部を形成し、樹脂部が溶融する温度で加熱して他方の基板の接合部および樹脂部を互いに接合したのち、樹脂部および半田部が溶融する温度で加熱して他方の基板の接合部および半田部を互いに接合する。
本発明のウェハレベルパッケージおよび電子機器、ならびにウェハレベルパッケージの製造方法では、半田部よりも融点の高い樹脂部が半田部の内周側および外周側の双方に設けられているので、半田部および樹脂部の双方が溶融したときに樹脂部は自身の粘性により半田部が接合部の外へ流れ出すのを阻止する。これにより、半田部および樹脂部の双方が溶融し得る工程、例えば、半田部を2つの基板のそれぞれの接合部に接合して2つの基板の間に外部から分離された内部空間を形成する気密封止工程や、ウェハレベルパッケージをプリント基板に実装する実装工程において、半田部が2つの基板のそれぞれの接合部からはみ出す虞がない。
本発明の気密封止方法は、それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの部材を用意し、一方の部材の接合部の幅方向の中心領域が露出する環状の溝を有する樹脂部を一方の部材の表面に形成したのち溝内に樹脂部よりも融点の高い半田部を形成し、樹脂部が溶融する温度で加熱して他方の部材の接合部および樹脂部を互いに接合したのち、樹脂部および半田部が溶融する温度で加熱して他方の部材の接合部および半田部を互いに接合する。
本発明の気密封止方法では、半田部よりも融点の高い樹脂部が半田部の内周側および外周側の双方の双方に設けられているので、半田部および樹脂部の双方が溶融したときに樹脂部は自身の粘性により半田部が接合部の外へ流れ出すのを阻止する。これにより、半田部および樹脂部の双方が溶融し得る工程、例えば、半田部を2つの基板のそれぞれの接合部に接合して2つの部材の間に外部から分離された内部空間を形成する気密封止工程や、この気密封止方法によって形成されたデバイスを他の部材に実装する実装工程において、半田部が2つの部材のそれぞれの接合部からはみ出す虞がない。
本発明のウェハレベルパッケージおよび電子機器、ならびにウェハレベルパッケージの製造方法によれば、半田部よりも融点の高い樹脂部が半田部の内周側および外周側の双方の側面を覆うようにしたので、半田部および樹脂部の双方が溶融したとき半田部が2つの基板の双方の接合部からはみ出す虞がない。これにより、気密封止工程や実装工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上する。
本発明の気密封止方法によれば、半田部よりも融点の高い樹脂部が半田部の内周側および外周側の双方の側面を覆うようにしたので、半田部および樹脂部の双方が溶融したとき半田部が2つの部材の双方の接合部からはみ出す虞がない。これにより、気密封止工程や実装工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上する。
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は本発明の一実施の形態に係るウェハレベルパッケージ1の断面構成を、図2は図1のA−A矢視方向の断面構成をそれぞれ表すものである。図3は後述のシール部30Aの断面構成を拡大して表すものである。
このウェハレベルパッケージ1は、機械的に動作する可動部(図示せず)を有するMEMS素子13を2つの基板(下部基板10、上部基板20)とシール部30Aとで気密封止したものである。なお、本実施の形態では、MEMS素子13やこれに接続された周辺回路(例えばロジックLSIなど)からの配線を上部基板20へ引き出すために電気接合部30Bが設けられている。
下部基板10は、一方の表面に溝12が形成された支持基体11と、溝12内に形成されたMEMS素子13と、溝12側の表面のうち溝12の周辺領域に形成された接合パッド14(接合部)および配線パッド15(第1配線部)とを有している。
ここで、支持基体11は、MEMS素子13や上記周辺回路などを支持するためのものであり、例えば、シリコン(Si)やガリウム砒素(GaAs)などからなる半導体材料、または石英やガラスなどからなる絶縁性材料により構成されている。
MEMS素子13は、後述の内部空間S内に形成され、気密封止されている。このMEMS素子13は例えばポリシリコンからなる可動部を有している。この可動部は外部からの電気信号に応じて機械的に可動する構造となっている。例えば、後の適用例で詳述するように、RF信号の周波数とLO信号の周波数との差分の周波数(中間周波数)で機械的に共振する構造とした場合には、外部からのRF信号およびLO信号の入力に応じて中間周波数の信号をIF信号として出力する高周波回路用のミキサとして機能させることが可能となる。
接合パッド14は、MEMS素子13を気密封止するためのものであり、シール部30Aの一部を構成する。この接合パッド14は、例えばTi、CuおよびAuをこの順に積層して構成されており、MEMS素子13を取り囲むように形成され、例えば環状の形状を有している。
配線パッド15は、MEMS素子13や上記周辺回路に電気信号を入力したり、MEMS素子13または周辺回路から出力された電気信号を取り出すためのものであり、電気接合部30Bの一部を構成する。この配線パッド15は、MEMS素子13や上記周辺回路と接続されており、例えばMEMS素子13と接合パッド14との間に形成されている。この配線パッド15は、例えばTi、CuおよびAuをこの順に積層して構成されており、例えば方形の形状を有している。なお、上記周辺回路は下部基板10の代わりに上部基板20に設けられていてもよく、下部基板10だけでなく上部基板20にも設けられていてもよい。
上部基板20は、下部基板10と対向配置された支持基体21と、この支持基体21の下部基板10側の表面に形成された接合パッド22(接合部)および配線パッド23(第2配線部)と、当該上部基板20を貫通して形成されたビア24(柱状導電部)と、この支持基体21の下部基板10とは反対側の表面に形成された引出配線パッド25(引出配線部)と、引出配線パッド25の表面に形成された半田ボール26(半田端子)とを有している。
ここで、支持基体21は、MEMS素子13を気密封止するためのものであり、例えば、シリコン(Si)やガリウム砒素(GaAs)などからなる半導体材料、または石英やガラスなどからなる絶縁性材料により構成されている。
接合パッド22は、MEMS素子13を気密封止するためのものであり、シール部30Aの一部を構成する。この接合パッド22は、例えばTi、CuおよびAuをこの順に積層して構成されており、接合部14と対向する領域に形成され、例えば環状の形状を有している。
配線パッド23、ビア24および引出配線パッド25は、下部基板10の配線パッド23同士のピッチを変換(拡大)するためのものである。配線パッド23は、例えばTi、CuおよびAuをこの順に積層して構成されており、電気接合部30Bの一部を構成する。この配線パッド23の一端が金バンプ33(後述)を介して配線パッド15と電気的に接続されており、この他端がビア24と電気的に接続されている。ビア24は、例えばAlからなり、この一端が配線パッド23と電気的に接続されており、他端が引出配線パッド25と電気的に接続されている。引出配線パッド25は、例えばTi、CuおよびAuをこの順に積層して構成されており、ビア24と電気的に接続されている。
半田ボール26は、ウェハレベルパッケージ1を実装する部材、例えばプリント基板 (図示せず)と接続するためのものであり、引出配線パッド25と電気的に接続されている。この半田ボール26は、例えば、後述の半田バンプ32と同様の材料により構成されている。
このウェハレベルパッケージ1はまた、下部基板10と上部基板20との間に樹脂バンプ31、半田バンプ32および金バンプ33を備えている。
半田バンプ32は、MEMS素子13を気密封止するためのものであり、シール部30Aの一部を構成する。この半田バンプ32は、接合パッド14,22のぞれぞれの幅方向の中心領域14A,22Aを互いに接合している(図3参照)。つまり、半田バンプ32は、接合パッド14,22のそれぞれエッジを含む外縁領域14B,22Bに接触しておらず、例えば接合パッド14,22の幅よりも狭い幅の環状の形状を有している(図2参照)。
この半田バンプ32は、樹脂バンプ31よりも融点の高い材料、例えば融点が200℃〜260℃程度の低融点の錫系半田からなる。このような低融点の錫系半田としては、例えば、Sn3Ag0.5Cu(融点200℃)、Sn3Ag、Sn8Zn3Bi、Sn8In3.5Ag0.5Biなどがある。このような低融点の錫系半田では、溶融したときの粘性は樹脂バンプ31が溶融したときの粘性よりも一般的に低い。また、このような低融点の錫系半田は、半田バンプ32と接する接合パッド14,24中の材料(例えば金)が拡散してきた場合であっても溶融温度や粘性がほとんど変化せず、また、水分やガスなどを透過しない性質を有している。
樹脂バンプ31は、MEMS素子13を気密封止するためのものであり、シール部30Aの一部を構成する。この樹脂バンプ31は、接合パッド14,22のぞれぞれの幅方向の外縁領域14B,22Bを互いに接合すると共に、下部基板10および上部基板20のそれぞれの表面のうち接合パッド14,22のごく近傍とを互いに接合している。つまり、この樹脂バンプ31は、接合パッド14,22のぞれぞれの幅方向の中心領域14A,22Aを互いに接合している半田バンプ32の内周側および外周側の双方に接して設けられており、例えば同心円状の環状の形状を有している(図2参照)。これにより、樹脂バンプ31は、半田バンプ32が外部から圧力や衝撃を受けた際にそれらを緩和して半田バンプ32の接合パッド14,22との接合が脆弱になるのを防止し、仮に半田バンプ32において接合の脆弱な箇所が存在している場合にはその脆弱な箇所において剥離が生じるのを防止する。つまり、樹脂バンプ31は、半田バンプ32の接合パッド14,22との接合を補強している。
この樹脂バンプ31は、半田バンプ32よりも融点の低い材料、例えば感光性接着剤からなる。ここで、感光性接着剤は、紫外線の照射により硬化するが、硬化時の融点以上の温度に加熱されると溶融し、溶融した後に硬化時の融点を下回る温度に冷却されると硬化すると共にこのときに接触している部材同士を接合する作用を有するものであり、このような感光性接着剤として、例えば、ビスマレイドおよびトリアジンからなるBTレジン 、ポリイミド、またはエポキシを含有する変性ポリイミドなどが挙げられる。このような感光性接着剤では、溶融したときの粘性は半田バンプ32が溶融したときの粘性よりも一般的に高い。
これら樹脂バンプ31、半田バンプ32および金バンプ33は、製造工程において下部基板10と上部基板20とを互いに接合する際に、上部基板20側に設けられていることが好ましい。上部基板20にはMEMS素子13が設けられておらず、樹脂バンプ31を形成し易いからである。
金バンプ33は、配線パッド15,23を互いに接続するためのものであり、電気接合部30Bの一部を構成する。この金バンプ33は、製造工程において樹脂バンプ31および半田バンプ32を溶融して下部基板10側の接合パッド14と上部基板20側の接合パッド22とを互いに接合する際にスペーサとしても機能する。
ところで、接合パッド14,22、樹脂バンプ31および半田バンプ32は、上記したようにシール部30Aを構成しており、2つの基板(下部基板10、上部基板20)と共に内部空間Sを形成している。従って、この内部空間Sは外部から分離されており、この内部空間S内に形成されているMEMS素子13は、下部基板10、上部基板20およびシール部30Aによって気密封止されている。
このような構成のウェハレベルパッケージ1の製造方法の一例について説明する。なお、以下において、ウェハ11Aはダイシングにより支持基体11を切り出す前のものであり、ウェハ21Aについても同様に、ダイシングにより支持基体21を切り出す前のものである。
まず、ウェハ21A上に、環状の接合パッド22を形成する(図4(A)参照)。次に、例えば印刷法またはフォトリソグラフィー法により、接合パッド22の幅方向の中心領域22Aが露出する環状の溝31Aを有する樹脂バンプ31を接合パッド22の外縁領域22Bおよびそのごく近傍のウェハ21Aの表面に形成する(図4(B)参照)。次に、例えば印刷法により、溝31Aに樹脂バンプ31よりも融点の高い半田材料を塗布したのち、リフローにより半田材料を溶融させて接合パッド22に濡らし、半田バンプ32を形成する(図4(C)参照)。次に、例えばCMP法により、樹脂バンプ31および半田バンプ32を研磨して、これらの高さをほぼ均一化する(図4(D)参照)。その後、配線パッド15上に、半田バンプ32と同程度の高さの金バンプ33を形成する(図示せず)。
次に、ウェハ11A,21Aを真空チャンバ内に入れたのち,ウェハ21Aをウェハ11Aに押し当てて(図5、図6参照)、樹脂バンプ31および半田バンプ32を接合パッド14に接触させると共に、金バンプ33を配線パッド15に接触させる。続いて、樹脂バンプ31が溶融する温度以上樹脂バンプ31が溶融しない温度で樹脂バンプ31を加熱して溶融させる。これにより、樹脂バンプ31が接合パッド14の外縁領域14Bとそのごく近傍のウェハ11Aの表面に隙間無く接着するので、半田バンプ32が外部から気密封止される。その後、樹脂バンプ31および半田バンプ32の双方が溶融する温度で半田バンプ32を加熱して溶融させる。これにより、半田バンプ32は表面張力によって接合パッド14側に突出して接合パッド14の中央領域14Aにだけ濡れる。続いて、樹脂バンプ31および半田バンプ32の双方を冷却して硬化させる。これにより、樹脂バンプ31および半田バンプ32が接合パッド14,22に接合され、外部から分離された内部空間Sが形成される。その後、ウェハ11A,21Aを真空チャンバから取り出す。
次に、ウェハ11A,21Aをダイシングにより切断して、チップ状にする。このようにして、本実施の形態のウェハレベルパッケージ1が製造される。
本実施の形態では、半田バンプ32よりも融点の高い樹脂バンプ31を半田バンプ32の内周側および外周側の双方に設けるようにしたので、内部空間Sを形成する気密封止工程において半田バンプ32および樹脂バンプ31の双方を溶融させたときに、樹脂バンプ31は自身の粘性により半田バンプ32を内周側および外周側の双方から挟み込んで気密状態を保持する。これにより、樹脂バンプ31は半田バンプ32が接合パッド14,22の外へ流れ出すのを阻止することができるので、気密封止工程において半田バンプ32が接合パッド14,22からはみ出す虞がない。従って、気密封止工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上する。
また、本実施の形態では、樹脂バンプ31を半田バンプ32の内周側および外周側の双方に設けるようにしたので、半田バンプ32で水分やガスが内部空間Sに入り込むのを防止し、樹脂バンプ31で半田バンプ32の接合パッド14,22との接合を補強することができる。これにより、MEMS素子13を外部環境から強固に保護することができるので、歩留まりや信頼性が向上する。
また、本実施の形態では、シール部30Aに半田バンプ32および樹脂バンプ31を用いるようにしたので、シール部30Aに金バンプを用いて金−金熱圧着を行う場合のような大きな圧力をかけなくても、半田バンプ32および樹脂バンプ31と、接合パッド14,22とを隙間なく接合することができる。これにより、耐圧の低い回路を下部基板10または上部基板20に設けた場合であっても、その回路が破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上する。
また、本実施の形態では、シール部30Aに半田バンプ32および樹脂バンプ31を用いるようにしたので、シール部30Aにパンチングにより成型された金錫シートを用いる場合のような微細化処理の限界がない。これにより、ウェハレベルパッケージ1をコンパクトにすることができるので、様々な電子機器に適用することができる。
また、本実施の形態では、気密封止工程を真空中で行うようにしたので、半田バンプ32および樹脂バンプ31を破壊することなく、真空の内部空間Sを形成することができる。
[変形例]
上記実施の形態では、樹脂バンプ31を接合パッド14,22の外縁領域14B,22Bおよびそのごく近傍の支持基体11,21の表面にだけ設けていたが、図7に示したように、ダイシングにより切断される箇所にまで設けるようにしてもよい。これにより、ダイシング時にウェハ11A,21Aに与えるダメージを低減することが可能となる。
上記実施の形態では、樹脂バンプ31を接合パッド14,22の外縁領域14B,22Bおよびそのごく近傍の支持基体11,21の表面にだけ設けていたが、図7に示したように、ダイシングにより切断される箇所にまで設けるようにしてもよい。これにより、ダイシング時にウェハ11A,21Aに与えるダメージを低減することが可能となる。
また、上記実施の形態では、内部空間Sを真空にしていたが、MEMS素子13の可動部が真空中に設けられていなくても問題がない場合には大気圧にしてもよい。
また、上記実施の形態では、電気接合部30Bに金バンプ33を用いていたが、シール部30Aと同様に、樹脂バンプ31および半田バンプ32を用いるようにしてもよい。
また、上記実施の形態では、上部基板20側に引出配線パッド25や半田ボール26を設けていたが、下部基板10側にこれらを設けるようにしてもよい。
また、上記実施の形態では、ウェハ11A,21Aをダイシングによりチップ状に切断していたが、ダイシングせずにウェハ状のままとしてもよい。
また、上記実施の形態では、2枚のウェハ11A,21Aを接合していたが、3枚以上のウェハを同様の方法を用いて接合してもよい。
[実施例]
次に、上記実施の形態のウェハレベルパッケージ1の実施例について説明する。
次に、上記実施の形態のウェハレベルパッケージ1の実施例について説明する。
本実施例では、5インチのウェハ21A上に、耐圧の低い回路と、Ti,CuおよびAuをこの順に積層してなる幅100μmの環状の接合パッド22とを形成した。続いて、印刷法により、幅50μmの環状の溝31Aを有する幅120μmのBTレンジ(融点200℃)を接合パッド22およびそのごく近傍のウェハ21Aの表面に塗布したのち、200℃で30分加熱して乾燥させることにより樹脂バンプ31を形成した。次に、印刷法により、溝31AにSn3Ag0.5Cu(融点260℃)のクリーム半田を塗布したのち、260℃でリフローを実施してクリーム半田を接合パッド22に濡らし、半田バンプ32を形成した。次に、CMP法により、樹脂バンプ31および半田バンプ32を研磨して、これらの高さを均一化した。その後、ウェハ21A上に、Ti,CuおよびAuをこの順に積層してなる方形の配線パッド15上に金バンプ33を形成した。
次に、5インチのウェハ11A,21Aを1Torrの真空チャンバ内に入れたのち,荷重5kg/cm2(総荷重90kgf)でウェハ21Aをウェハ11Aに押し当てて、樹脂バンプ31および半田バンプ32を接合パッド14に接触させると共に、金バンプ33を配線パッド15に接触させた。続いて、200℃、30分で樹脂バンプ31を加熱して溶融し、接合パッド14の外縁領域とそのごく近傍のウェハ11Aの表面に接着したのち、260℃に温度を上げて10秒間、半田バンプ32を加熱して溶融し、接合パッド14の中央領域14Aに接着した。冷却したのち、ウェハ11A,21Aを真空チャンバから取り出し、ウェハ11A,21Aをダイシングにより切断して、チップ状にした。このようにして、ウェハレベルパッケージ1の実施例を製造した。
ところで、本実施例では、半田バンプ32および樹脂バンプ31の双方を溶融させたときに、半田バンプ32が接合パッド14,22の外へ流れ出すことはなく、樹脂バンプ31によって半田バンプ32が接合パッド14,22の中央領域14A,22Aに保持されていた。従って、気密封止工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上した。
また、本実施例では、半田バンプ32によって水分やガスが内部空間Sに入り込むのを阻止することができた。また、樹脂バンプ31によって半田バンプ32の接合パッド14,22との接合を補強することもできた。これにより、MEMS素子13を外部環境から強固に保護することができたので、歩留まりや信頼性が向上した。
また、本実施例では、シール部30Aに金バンプを用いて金−金熱圧着を行う場合には不可能であった低荷重(総荷重90kgf)で半田バンプ32と接合パッド14,22とを隙間なく接合することができた。これにより、耐圧の低い回路が破壊される虞がなくなったので、歩留りや信頼性が向上した。
[適用例]
次に、図8、図9を参照して、上記実施の形態のウェハレベルパッケージ1を搭載した通信装置について説明する。図8は電子機器としての通信装置のブロック構成を表しており、図9はウェハレベルパッケージ1が電子機器内のマザーボード4(プリント基板)上に上部基板20側を下にして実装されている様子を断面構成で表したものである。
次に、図8、図9を参照して、上記実施の形態のウェハレベルパッケージ1を搭載した通信装置について説明する。図8は電子機器としての通信装置のブロック構成を表しており、図9はウェハレベルパッケージ1が電子機器内のマザーボード4(プリント基板)上に上部基板20側を下にして実装されている様子を断面構成で表したものである。
本適用例では、図示していないが、ウェハレベルパッケージ1だけでなく、他の電子部品もマザーボード4上に実装されている。ここで、マザーボード4は、支持基体41の表面および内部に各電子部品を接合する配線層および配線パッド等が形成されたものであり、図9ではウェハレベルパッケージ1に接続された配線パッド42だけが例示されている。
本適用例では、半田ボール26を配線パッド42に接触させたのち、リフローにより半田ボール26を溶融し、半田ボール26と配線パッド42とを接合することにより、ウェハレベルパッケージ1がマザーボード4上に実装されている。ここで、リフローにより半田ボール26を溶融すると、ウェハレベルパッケージ1内の樹脂バンプ31および半田バンプ32も共に溶融し得る。しかし、そのような場合であっても、樹脂バンプ31は自身の粘性により半田バンプ32を内周側および外周側の双方から挟み込んで気密状態を保持するので、樹脂バンプ31は半田バンプ32が接合パッド14,22の外へ流れ出すのを阻止することができる。これにより、気密封止工程において半田バンプ32が接合パッド14,22からはみ出す虞がない。従って、実装工程に起因してデバイスが破壊される虞がなく、その結果、歩留りや信頼性が向上する。
なお、ウェハレベルパッケージ1内の樹脂バンプ31および半田バンプ32が共に溶融した場合であっても、半田バンプ32は樹脂バンプ31に挟み込まれているので、接合パッド14,22と隙間なく接している。これにより、実装工程において水分やガスが内部空間Sに入り込むことがない。したがって、MEMS素子13を外部環境から強固に保護することができるので、歩留まりや信頼性が向上する。
次に、図8に示した通信装置の構成について説明する。この通信装置は、ウェハレベルパッケージ1をミキサ322I,322Q,333,362I,362Qとして搭載したものであり、例えば、携帯電話器、情報携帯端末(PDA)、無線LAN機器などである。この通信装置は、例えば、図8に示したように、送信系回路300Aと、受信系回路300Bと、送受信経路を切り替える送受信切換器301と、高周波フィルタ302と、送受信用のアンテナ303とを備えている。
送信系回路300Aは、Iチャンネルの送信データおよびQチャンネルの送信データに対応した2つのデジタル/アナログ変換器(DAC;Digital/Analogue Converter)311I,311Qおよび2つのバンドパスフィルタ312I,312Qと、変調器320および送信用PLL(Phase-Locked Loop )回路313と、電力増幅器314とを備えている。この変調器320は、上記した2つのバンドパスフィルタ312I,312Qに対応した2つのバッファアンプ321I,321Qおよび2つのミキサ322I,322Qと、移相器323と、加算器324と、バッファアンプ325とを含んで構成されている。
受信系回路300Bは、高周波部330、バンドパスフィルタ341およびチャンネル選択用PLL回路342と、中間周波回路350およびバンドパスフィルタ343と、復調器360および中間周波用PLL回路344と、Iチャンネルの受信データおよびQチャンネルの受信データに対応した2つのバンドパスフィルタ345I,345Qおよび2つのアナログ/デジタル変換器(ADC;Analogue/Digital Converter)346I,346Qとを備えている。高周波部330は、低ノイズアンプ331と、バッファアンプ332,334と、ミキサ333とを含んで構成されており、中間周波回路350は、バッファアンプ351,353と、自動ゲイン調整(AGC;Auto Gain Controller)回路352とを含んで構成されている。復調器360は、バッファアンプ361と、上記した2つのバンドパスフィルタ345I,345Qに対応した2つのミキサ362I,362Qおよび2つのバッファアンプ363I,363Qと、移相器364とを含んで構成されている。
この通信装置では、送信系回路300AにIチャンネルの送信データおよびQチャンネルの送信データが入力されると、それぞれの送信データを以下の手順で処理する。すなわち、まず、DAC311I、311Qにおいてアナログ信号に変換し、引き続きバンドパスフィルタ312I,312Qにおいて送信信号の帯域以外の信号成分を除去したのち、変調器320に供給する。続いて、変調器320において、バッファアンプ321I,321Qを介してミキサ322I,322Qに供給し、引き続き送信用PLL回路313から供給される送信周波数に対応した周波数信号を混合して変調したのち、両混合信号を加算器324において加算することにより1系統の送信信号とする。この際、ミキサ322Iに供給する周波数信号に関しては、移相器323において信号移相を90°シフトさせることにより、Iチャンネルの信号とQチャンネルの信号とが互いに直交変調されるようにする。最後に、バッファアンプ325を介して電力増幅器314に供給することにより、所定の送信電力となるように増幅する。この電力増幅器314において増幅された信号は、送受信切換器301および高周波フィルタ302を介してアンテナ303に供給されることにより、そのアンテナ303を介して無線送信される。この高周波フィルタ302は、通信装置において送信または受信する信号のうちの周波数帯域以外の信号成分を除去するバンドパスフィルタとして機能する。
一方、アンテナ303から高周波フィルタ302および送受信切換器301を介して受信系回路300Bに信号が受信されると、その信号を以下の手順で処理する。すなわち、まず、高周波部330において、受信信号を低ノイズアンプ331で増幅し、引き続きバンドパスフィルタ341で受信周波数帯域以外の信号成分を除去したのち、バッファアンプ332を介してミキサ333に供給する。続いて、チャンネル選択用PPL回路342から供給される周波数信号を混合し、所定の送信チャンネルの信号を中間周波信号とすることにより、バッファアンプ334を介して中間周波回路350に供給する。続いて、中間周波回路350において、バッファアンプ351を介してバンドパスフィルタ343に供給することにより中間周波信号の帯域以外の信号成分を除去し、引き続きAGC回路352でほぼ一定のゲイン信号としたのち、バッファアンプ353を介して復調器360に供給する。続いて、復調器360において、バッファアンプ361を介してミキサ362I,362Qに供給したのち、中間周波用PPL回路344から供給される周波数信号を混合し、Iチャンネルの信号成分とQチャンネルの信号成分とを復調する。この際、ミキサ362Iに供給する周波数信号に関しては、移相器364において信号移相を90°シフトさせることにより、互いに直交変調されたIチャンネルの信号成分とQチャンネルの信号成分とを復調する。最後に、Iチャンネルの信号およびQチャンネルの信号をそれぞれバンドパスフィルタ345I,345Qに供給することによりIチャンネルの信号およびQチャンネルの信号以外の信号成分を除去したのち、ADC346I,346Qに供給してデジタルデータとする。これにより、Iチャンネルの受信データおよびQチャンネルの受信データが得られる。
この通信装置は、ウェハレベルパッケージ1をミキサ322I,322Q,333,362I,362Qとして搭載しているので、外部環境の影響を受けて個々のMEMS素子13の高周波特性がばらつくことがないので、個々の通信装置において高周波特性が安定しており、信頼性が高い。
なお、図6に示した通信装置では、ウェハレベルパッケージ1をミキサ322I,322Q,333,362I,362Qに適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、ウェハレベルパッケージ1を送受信切替器301や、バンドパスフィルタ312I,312Q,341,343,346I,346Q、または、高周波フィルタ302に適用してもよい。この場合においても、上記と同様の効果を得ることができる。
以上、実施の形態、変形例および適用例を挙げて本発明について説明したが、本発明は上記実施の形態等に限定されるものではなく、本発明のウェハレベルパッケージ1および通信装置の構成やその製造方法に関する手順などは、上記実施の形態等と同様の効果を得ることが可能な限りにおいて自由に変形可能である。
また、上記適用例では、本発明のウェハレベルパッケージを携帯電話機などの通信装置に代表される電子機器に適用する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、通信装置以外の電子機器に適用することも可能である。これらのいずれの場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
1…ウェハレベルパッケージ、4…マザーボード、10…下部基板、11,21,41…支持基体、12…溝、13…MEMS素子、14,22…接合パッド、15,23,42…配線パッド、20…上部基板、24…ビア、25…引出配線パッド、26…半田ボール、30A…シール部、30B…電気接合部、S…内部空間。
Claims (8)
- それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの基板と、
前記2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の中心領域を接合する半田部と、
前記2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の外縁領域を接合する樹脂部と
を備え、
前記樹脂部の融点は前記半田部のそれよりも低くなっている
ことを特徴とするウェハレベルパッケージ。 - 前記樹脂部は、前記2つの基板のそれぞれの接合部の周辺領域を接合している
ことを特徴とする請求項1に記載のウェハレベルパッケージ。 - 前記樹脂部は感光性接着剤からなる
ことを特徴とする請求項1に記載のウェハレベルパッケージ。 - 前記2つの基板は共にチップまたはウェハである
ことを特徴とする請求項1に記載のウェハレベルパッケージ。 - 前記半田部および樹脂部で囲まれた内部空間は真空となっている
ことを特徴とする請求項1に記載のウェハレベルパッケージ。 - プリント基板上に実装されたウェハレベルパッケージを内蔵する電子機器であって、
前記ウェハレベルパッケージは、
それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの基板と、
前記2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の中心領域を接合する半田部と、
前記2つの基板のそれぞれの接合部の幅方向の外縁領域を接合する樹脂部と
を備え、
前記樹脂部の融点は前記半田部のそれよりも低くなっている
ことを特徴とする電子機器。 - それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの基板を用意し、
一方の基板の接合部の幅方向の中心領域が露出する環状の溝を有する樹脂部を前記一方の基板の表面に形成したのち前記溝内に前記樹脂部よりも融点の高い半田部を形成し、
前記樹脂部が溶融する温度で加熱して他方の基板の接合部および前記樹脂部を互いに接合したのち、前記樹脂部および半田部が溶融する温度で加熱して前記他方の基板の接合部および前記半田部を互いに接合する
ことを特徴とするウェハレベルパッケージの製造方法。 - それぞれ環状の接合部を表面に有する2つの部材を用意し、
一方の部材の接合部の幅方向の中心領域が露出する環状の溝を有する樹脂部を前記一方の部材の表面に形成したのち前記溝内に前記樹脂部よりも融点の高い半田部を形成し、
前記樹脂部が溶融する温度で加熱して他方の部材の接合部および前記樹脂部を互いに接合したのち、前記樹脂部および半田部が溶融する温度で加熱して前記他方の部材の接合部および前記半田部を互いに接合する
ことを特徴とする気密封止方法。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013138239A (ja) * | 2008-08-15 | 2013-07-11 | Qualcomm Inc | 積層型集積回路の腐食制御 |
US8530979B2 (en) | 2008-04-04 | 2013-09-10 | Fujikura Ltd. | Semiconductor package and method for manufacturing the same |
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CN115579300A (zh) * | 2022-11-24 | 2023-01-06 | 河北北芯半导体科技有限公司 | 一种倒装芯片封装堆叠方法 |
-
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- 2006-10-30 JP JP2006294424A patent/JP2008112835A/ja active Pending
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