JP2008111726A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
   前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する過程と、
   前記差画像から絶対値演算を行うことによって絶対値画像を形成する過程と、
   前記絶対値画像の各画素に対しすべて焦点位置での絶対値画像の強度を比較し、最大値を与える画素の焦点位置座標を検出する過程を有する観察物体各点の３次元情報を求める３次元計測方法。
2. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
   前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する過程と、
   前記差画像から絶対値演算を行うことによって絶対値画像を形成する過程と、
   前記絶対値画像の各画素に対しすべて焦点位置での絶対値画像の強度を比較し、最大値を与える画素によってマスク画像を形成する過程と、
   前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成する過程と、
   前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する過程を有する３次元計測方法。
3. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
   前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する過程と、
   前記差画像を小領域に分割し、小領域内の最大値と最小値を検出し、最大値から最小値を引いた値を小領域コントラストとする過程と、
   前記差画像の各小領域に対しすべて焦点位置での小領域コントラストを比較し、最大値を与える小領域の焦点位置を検出する過程を有する３次元計測方法。
4. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
   前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
   前記２枚の画像から差演算を行い、差画像を形成する過程と、
   前記差画像を小領域に分割し、小領域内の最大値と最小値を検出し、最大値から最小値を引いた値を小領域コントラストとする過程と、
   前記差画像の各小領域に対しすべて焦点位置での小領域コントラストを比較し、最大値を与える小領域によってマスク画像を形成する過程と、
   前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成する過程と、
   前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する過程を有する３次元計測方法。
5. 前記走査間隔は前記微分干渉顕微鏡の焦点深度以下であることを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の３次元計測方法。
6. 前記リタデーション量は９０度であることを特徴とする請求項１から請求項５の何れかに記載の３次元計測方法。
7. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
   それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
   前記差画像から絶対値演算を行うことによって絶対値画像を形成する絶対値手段と、
   すべて焦点位置での前記絶対値画像の各画素を比較することによって最大値を与える画素によって各画素の焦点位置座標を検出する手段を備える微分干渉顕微鏡。
8. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
   それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
   前記差画像から絶対値演算を行うことによって絶対値画像を形成する絶対値手段と、
   前記絶対値画像の各画素に対しすべて焦点位置での絶対値画像の強度を比較し、最大値を与える画素によってマスク画像を形成する最大値検出手段と、
   前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成するデコンボリューション手段と、
   前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する抽出手段を備える微分干渉顕微鏡。
9. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
   それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
   それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、
   前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
   前記差画像を小領域に分割し、小領域内の最大値と最小値を検出し、最大値から最小値を引いた値を小領域コントラストとするエリアコントラスト手段と、
   前記差画像の各小領域に対しすべて焦点位置での小領域コントラストを比較し、最大値を与える小領域の焦点位置座標を検出する最大値検出手段を備える微分干渉顕微鏡。
10. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
    それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
    それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
    前記差画像を小領域に分割し、小領域内の最大値と最小値を検出し、最大値から最小値を引いた値を小領域コントラストとするエリアコントラスト手段と、
    前記差画像の各小領域に対しすべて焦点位置での小領域コントラストを比較し、最大値を与える小領域の焦点位置座標を検出する最大値検出手段を使ってマスク画像を形成するマスク画像手段と、
    前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成するデコンボリューション手段と、
    前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する抽出手段を備える微分干渉顕微鏡。
11. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
    前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
    それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
    前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する過程と、
    前記差画像の各画素に対しすべて焦点位置での差画像のコントラストを比較し、最大値を与える画素の焦点位置座標を検出する過程を有する観察物体各点の３次元情報を求める３次元計測方法。
12. リタデーション変化装置、撮像装置、演算装置、焦点駆動装置を備えた微分干渉顕微鏡において、
    前記焦点駆動装置により焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する過程と、
    それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させた２枚の画像を撮像する過程と、
    前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する過程と、
    前記差画像の各画素に対しすべて焦点位置での差画像のコントラストを比較し、最大値を与える画素によってマスク画像を形成する過程と、
    前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成する過程と、
    前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する過程を有する３次元計測方法。
13. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
    それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
    それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、
    前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
    すべて焦点位置での前記差画像の各画素を比較することによって最大値を与える画素によって各画素の焦点位置座標を検出する手段を備える微分干渉顕微鏡。
14. 焦点位置をある範囲内で一定の間隔で走査する焦点駆動装置と、
    それぞれの前記焦点位置でリタデーション量を反転させるリタデーション変化装置と、
    それぞれの前記焦点位置で前記リタデーション量を反転させた２枚の画像を取り込む撮像装置と、
    前記２枚の画像から差演算を行うことによって差画像を形成する差演算手段と、
    前記差画像の各画素に対しすべて焦点位置での差画像のコントラストを比較し、最大値を与える画素によってマスク画像を形成する最大値検出手段と、
    前記差画像を光学的応答関数によってデコンボリューションすることによって前記焦点位置での位相分布画像を形成するデコンボリューション手段と、
    前記位相分布画像から前記マスク画像を使ってその焦点位置での位相分布情報を抽出する抽出手段を備える微分干渉顕微鏡。