JP2008105065A - 電子ビーム照射表面改質装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子ビームのパルスを発生照射するカソード電極を近傍に磁石を併置した状態として改質装置の主軸突端に取り付け、該主軸突端を取り付けてあるカソード電極の外側面が、被照射体の改質すべき孔内側面相対向するように孔内に挿入した状態として電子ビームのパルスを発生させる。
【選択図】図1
Description
1はベースで、装置全体を載せた基台であり、下部に図示しない排気真空装置、電離気体のボンベ、各種電源類等を収容している。
2はハウジングで、装置全体を内包して気密を保ち、内部には電離気体(Ar)を所定の低圧に維持するようにベースに気密に取り付けられる。
3は架台で、ベース上に取り付けられて、その上部に被照射体を固定する被照射体の孔が貫通している場合に、カソード電極が通過できるように中央に空間3aを設け、併せてプラズマ生成電極も収容することができる。
後述する図5が非円形の場合の実施例であって、ベース1と被照射体4の間にXYテーブル1aを備え、孔の内側面とカソードとを相対移動させて目的を達成する。
また、14は吸気口で、電離気体(Ar)を吸入する管ジョイントにより電離気体のボンベに接続される。
18は主軸移動装置(M)で、主軸の直線移動と旋回を駆動する装置で、図9に図示される。円盤m8と歯車m9が一体となったシフタm10を操作桿に取り付け、ブラッケットm3のシフタヨークm4が円盤m8の両端面を挟む。ブラケットm3がコラムm1のガイドm2に案内され、モータm7、ねじm5、ナットm6により上下移動すると、シフタヨークm4が円盤m8の両端面を挟んで連結しているから、主軸6が上下に移動する。またブラケットm3に取り付けられたモータm11、軸m12により割り出し旋回する歯車m13は、前記歯車m9と噛合っているから主軸6の上下位置に関係なく、主軸6は所要の角度に割り出される。コラムm1はハウジング2に固定されている
また、19は外部ソレノイドで、従来例[0005]で述べたソレノイドと同じく、プラズマ保持時間の前後を通じてハウジング2内に磁場をつくるためのものである。
外部ソレノイド19は前述したように従来装置と同様に作動して、プラズマのハウジング内側面での消失を防いでいる。
イ)一個の磁石を付加する。
ロ)さらに一個を追加して一対にし磁石の配置をS−Nにする。
ハ)一対の磁石の配置をS−Sにする。
などの実験を行って電子ビームの発射が可能になったが、最適磁場条件を特定すには至っていない。これは前記の相互関係が複雑なためと考えられ最適な構成は実験によって決定することになる。
2、ハウジング
3、架台
4、被照射体
5、カソード電極
6、主軸
7、操作桿
8、主軸受け
9、プラズマ生成電極
10、プラズマ生成電極
11、磁石
12、気体状態管理装置(V)
13、排気口
14、吸気口
15、プラズマ電源(P)
16、ビーム電源(B)
17、統括装置(C)
18、主軸移動装置(M)
19、外部ソレノイド
Claims (4)
- 低圧電離気体をプラズマ化する手段とカソード電極と被照射体の間に、高圧の直流電圧パルスを印加する手段とを備える電子ビーム照射表面改質装置において、前記被照射体には内部に一様な軸直角断面を有する孔を有し、前記カソード電極と近傍に磁界を作るようにほぼ同形の磁石とが一体に併置された主軸が前記孔に挿入され、改質されるべき前記孔の内側面に前記カソード電極の放射面が対向して配置されるようにされることを特徴とする電子ビーム照射表面改質装置。
- 主軸に取り付けられた前記カソード電極と磁石を、前記被照射体の孔の内側面に沿って相対移動させる手段を備える請求項1に記載の電子ビーム照射表面改質装置。
- 板状の前記カソード電極とほぼ同形の磁石を重ねて主軸に取り付け、改質されるべき前記孔の内側面に対向しない端面を絶縁材で被覆して使用する請求項1に記載の電子ビーム照射表面改質装置。
- 前記低圧気体をプラズマ化するためコンデンサ充放電回路の陽極をハウジング内に設置する場合に、被照射体を載置する架台に窪みを設け、該窪みと被照射体の孔とを連通せしめるとともに、
前記陽極を該窪みのなかに設置する請求項1に記載の電子ビーム照射表面改質装置。
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