JP2008098974A5 - - Google Patents

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WO2010004741A1 (ja) * 2008-07-11 2010-01-14 パナソニック株式会社 板波素子と、これを用いた電子機器
US8689426B2 (en) 2008-12-17 2014-04-08 Sand 9, Inc. Method of manufacturing a resonating structure
JP5848131B2 (ja) 2008-12-17 2016-01-27 アナログ デバイシス， インコーポレイテッド 機械共振構造体を備える機器
JP5563378B2 (ja) * 2010-06-11 2014-07-30 リバーエレテック株式会社 弾性波素子
JP6092535B2 (ja) 2012-07-04 2017-03-08 太陽誘電株式会社 ラム波デバイスおよびその製造方法
JP5835765B2 (ja) * 2013-06-28 2015-12-24 リバーエレテック株式会社 弾性波素子
US10800649B2 (en) 2016-11-28 2020-10-13 Analog Devices International Unlimited Company Planar processing of suspended microelectromechanical systems (MEMS) devices
US10843920B2 (en) 2019-03-08 2020-11-24 Analog Devices International Unlimited Company Suspended microelectromechanical system (MEMS) devices
GB2598165B (en) * 2020-08-18 2022-08-24 River Eletec Corp Acoustic wave device
WO2022102417A1 (ja) * 2020-11-11 2022-05-19 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN114301412B (zh) * 2021-12-29 2024-04-30 苏州达波新材科技有限公司 具有改良衬底结构的兰姆波声波器件及其制作方法

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