JP2008097044A - 紫外線または紫外線より波長の短い光を用いた材料の加工装置および加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】SR光のX線を放射するSR光源と、SR光源から放射されたX線を透過する所定の形状の透過部を有するX線マスク32と、X線マスクと材料とを相対的に移動させ、透過口を透過したX線が材料に照射される領域を振動させるために、X線マスクと材料とを相対的に振動させる露光用ステージとを備える。X線マスク32には、7つの透過口103A〜103Gが形成されている。これらはすべて、同心円でそれぞれの境界が区切られている。X線マスク32を振幅dで方向Xおよび方向Yに移動させると、単位時間当りに材料に照射されるX線に粗密差が生じ、一度の露光で部分的に加工量が異なる3次元の形状に加工する。
【選択図】図13
Description
以下、本発明の実施の形態の1つにおける加工装置について説明する。なお、図中同一符号は同一または相当する部材を示し、説明は繰返さない。
したがって、露光時間は、線量モニタ10でモニタされるSR光源1が放射するX線の強度Iと、X線マスク32の透過口の透過率Tとから、露光量が所定の値となるまでの積算時間として求められる。
次に、加工深さを異ならせた加工形状に加工する第2の実施の形態における加工装置について説明する。まず、第2の実施の形態における加工装置における加工原理について説明する。実際の露光は2次元で行なわれるが、ここでは説明を簡単にするため1次元で説明する。
この発明のある局面に従うと、材料に紫外線または紫外線より波長の短い光を照射して、材料を除去することにより、または、材料の物理的もしくは化学的な性質を変化させることにより加工する加工装置であって、紫外線または紫外線より波長が短い光を放射する光源と、光源から放射された光を透過する所定の形状の透過部を有するマスクと、材料の加工形状に基づき定められる移動パターンにしたがって、マスクと材料とを相対的に移動させる移動手段と、透過部を透過した光が材料に照射される領域を振動させるために、マスクと材料とを相対的に振動させる振動手段とを備え、振動手段による振動の速さは、移動手段による移動の速さよりも速いことを特徴とする。
Claims (2)
- 材料に紫外線または紫外線より波長の短い光を照射して、前記材料を除去することにより、または、前記材料の物理的もしくは化学的な性質を変化させることにより加工する加工装置であって、
紫外線または紫外線より波長が短い光を放射する光源と、
前記光源から放射された光を透過する複数の透過部を有するマスクと、
前記複数の透過部を透過した光が前記材料に照射される複数の領域を振動させるために、前記マスクと前記材料とを相対的に振動させる振動手段とを備え、
前記複数の透過部は、単位面積に占める透過部面積の割合が他の透過部と異なる透過部を含み、
前記振動手段は、前記複数の透過部を透過した光により前記材料の面上に露光面積の割合が異なる複数の露光部と影部とができた状態で、前記マスクと前記材料とを相対振動させることにより、露光面積の割合が高い照射領域部分で露光量が多くなり露光面積の割合が低い照射領域部分で露光量が少なくなるようにすることを特徴とする、加工装置。 - 材料に紫外線または紫外線より波長の短い光を照射して、前記材料を除去することにより、または、前記材料の物理的もしくは化学的な性質を変化させることにより加工する加工方法であって、
紫外線または紫外線より波長が短い光を、複数の照射領域に照射するステップと、
前記材料の面上で前記複数の照射領域を振動させるために、前記複数の照射領域と前記材料とを相対的に振動させるステップとを含み、
前記複数の照射領域は、単位面積に占める照射面積の割合が他の照射領域と異なる照射領域を含み、
前記振動ステップは、前記複数の照射領域に照射された光により前記材料の面上に露光面積の割合が異なる複数の露光部と影部とができた状態で、前記複数の照射領域と前記材料とを相対振動させることにより、露光面積の割合が高い照射領域部分で露光量が多くなり露光面積の割合が低い照射領域部分で露光量が少なくなるようにすることを特徴とする、加工方法。
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