JP2008096891A - フォトマスクブランクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のターゲットを用いて透明基板上に位相シフト膜をスパッタリング成膜するに先立ち、これら複数のターゲットの表面を、ターゲットと実質的に反応しないガス(例えばアルゴン)を用いてスパッタ処理することとした。このスパッタ処理により、他のターゲットからスパッタリングされた粒子がターゲット上に飛来して形成された堆積物が除去され、位相シフト膜のスパッタリング成膜時の異常放電が抑制される。その結果、位相シフト膜の透過率調整が簡便で、得られた膜が薬品耐性に優れ、しかも低欠陥の高品質な位相シフト膜を備えたフォトマスクブランクを提供することが可能になる。
【選択図】図3
Description
〔実施例〕
〔比較例〕
2 位相シフト膜
101 チャンバ
102a 第1のターゲット
102b 第2のターゲット
103 スパッタガス導入口
104 ガス排気口
105 基板回転台
106a、106 電源
Claims (11)
- 複数のターゲットを用いて反応性スパッタリングにより位相シフト膜を成膜する工程と、前記成膜工程に先立ち前記複数のターゲット表面から光学膜のスパッタ成膜中に堆積した付着膜を除去するスパッタ処理工程を備えることを特徴とするフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程を前記位相シフト膜の成膜工程毎に実行する請求項1に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程が、前記複数のターゲットと実質的に反応しないガスを用いて実行される請求項1又は2に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程のスパッタリング用ガスがアルゴンである請求項1乃至3の何れか1項に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程のスパッタガス圧が前記位相シフト膜成膜時のスパッタガス圧よりも低圧である請求項1乃至4の何れか1項に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程での前記複数のターゲットへの投入電力が前記位相シフト膜成膜時のターゲット投入電力よりも高い請求項1乃至5の何れか1項に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記スパッタ処理工程後かつ前記位相シフト膜成膜工程前に、前記複数のターゲットの表面にダミーのスパッタ処理を施す第2のスパッタ処理工程を備え、前記ダミーのスパッタ処理が反応性ガスを含有する雰囲気中で実行される請求項1乃至6の何れか1項に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記反応性ガスは窒素または酸素の少なくとも一方を含む化合物を含有するガスである請求項7記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記ダミーのスパッタ処理を実行する雰囲気は前記位相シフト膜の成膜開始時の雰囲気と同一である請求項7又は8に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記位相シフト膜は遷移金属と珪素を含有する膜であり、前記複数のターゲットは何れも珪素または遷移金属の少なくとも一方を含有するものである請求項1乃至9の何れか1項に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
- 前記複数のターゲットは、遷移金属および珪素を含有するターゲットと珪素を含有するターゲット、遷移金属と珪素を含有する複数のターゲット、または、遷移金属からなるターゲットと珪素からなるターゲットの組み合わせの何れかである請求項10に記載のフォトマスクブランクの製造方法。
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