JP2008096595A - プリント基板製造装置及びプリント基板製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 かゝる本発明は、管理槽100の薬液を使用部位に供給すると共に、現像チャンバー部などでの使用済みの薬液を管理槽100に戻す薬液循環型のプリント基板製造装置において、管理槽100が、オーバーフロー式の薬液貯留部110と、薬液を戻すための連通管120と、薬液を一部オーバーフローさせるための漏洩口130と、マイクロバブルを発生させることにより薬液中のスカムを液面上に浮遊させる泡発生ノズル140と、浮遊されたスカムを漏洩口側に誘導させる泡押出スプレー150とからなるプリント基板製造装置にあり、泡発生ノズル140によるマイクロバブルの発生と、泡押出スプレー150によるマイクロバブルの押し出しにより、効果的にスカムを除去することができる。
【選択図】 図2
Description
この現像工程では、この現像を現像槽で行う一方、現像後の残存薬液などを水洗槽で水洗いしている。現像槽では、コンベアなどの自動搬送機構により搬送されてきた、プリント基板の表面(片面や両面)に現像液をスプレーなどで吹き付けることにより、非露光部分のレジスト材料を溶かして除去している。この現像槽部分には、現像液を噴出させるスプレー機構を備えた現像チャンバー部やプリント基板の保持機構などの他に、現像液を循環させて再利用するため、現像チャンバー部から得られる噴出済みの現像液を回収して、一旦貯留するための管理槽(貯留タンク)が備えられている。
前記管理槽が、オーバーフロー式の薬液貯留部と、当該薬液貯留部に前記使用部位からの薬液を戻すための連通管と、前記薬液貯留部から表面側の薬液を一部オーバーフローさせるための漏洩口と、前記薬液貯留部の薬液中に設置されてマイクロバブルを発生させることにより薬液中のスカムを液面上に浮遊させる泡発生ノズルと、前記薬液貯留部の薬液の液面近傍に設置されて前記浮遊されたスカムを前記漏洩口側に誘導させる泡押出スプレーとからなることを特徴とするプリント基板製造装置にある。
前記管理槽のオーバーフロー式の薬液貯留部に、前記使用部位からの薬液を戻す一方、前記薬液貯留部の表面側の薬液を、当該薬液貯留部の漏洩口から一部オーバーフローさせ、かつ、前記薬液貯留部の薬液中にマイクロバブルを発生させて薬液中のスカムを液面上に浮遊させると共に、前記薬液貯留部の薬液上に泡押出流を発生させて前記浮遊されたスカムを前記漏洩口側に誘導させることを特徴とするプリント基板製造方法にある。
次に、このスカムの付着した泡を、泡押出スプレーにより、オーバーフロー式の漏洩口側に誘導させて廃棄させる。これにより、薬液表面側に浮いているスカムは勿論のこと、薬液中のスカムにあっても、効果的に除去することができる。
この泡誘導カバー160の倒立状の左右の両側壁部161、161は、その途中まで薬液中に浸漬(挿入)させる一方、その底面部162と薬液面上には、適宜高さのスペースSを設けてある。つまり、この泡誘導カバー160により、薬液貯留部110の連通管側から漏洩口側に掛けて、カバー幅に規制された狭い形のスカムの廃棄流路としてある。これにより、スカムを広範に拡散させることなく、効果的に除去することが可能となる。
この泡押出スプレー150による廃棄流路も、泡誘導カバー160の左右の両側壁部161、161の幅に規制されるため、スカムが泡や一部の薬液と共に効果的に除去される。また、泡押出スプレー150による薬液の押出作用は、泡発生ノズル140側の薬液貯留部110から見ると、吸引作用として働くことになる。この吸引作用と泡発生ノズル140によるバブル浮上の勢いのある盛り上り作用が相まって(相乗効果により)、泡発生ノズル140側のスカム付着の泡は、スムーズに泡押出スプレー150側に流れることになる。つまり、極めて効果的なスカムの廃棄が行われることになる。
また、薬液貯留部110には、図示しないが、オーバーフロー式の漏洩口130から廃棄される分や現像チャンバー部での消費分(使用量)に対応した新液を補給する機構と、現像チャンバー部側にポンプなどで循環される機構を設けてある。
Claims (6)
- 管理槽の薬液を使用部位に供給すると共に、前記使用部位での使用済みの薬液を前記管理槽に戻す薬液循環型のプリント基板製造装置において、
前記管理槽が、オーバーフロー式の薬液貯留部と、当該薬液貯留部に前記使用部位からの薬液を戻すための連通管と、前記薬液貯留部から表面側の薬液を一部オーバーフローさせるための漏洩口と、前記薬液貯留部の薬液中に設置されてマイクロバブルを発生させることにより薬液中のスカムを液面上に浮遊させる泡発生ノズルと、前記薬液貯留部の薬液の液面近傍に設置されて前記浮遊されたスカムを前記漏洩口側に誘導させる泡押出スプレーとからなることを特徴とするプリント基板製造装置。 - 前記薬液貯留部の前記連通管側寄りに前記泡発生ノズルを設置する一方、前記漏洩口側寄りに前記泡押出スプレーを設置させることを特徴とする請求項1記載のプリント基板製造装置。
- 前記薬液貯留部の連通管側寄りに設置された泡発生ノズルと前記漏洩口側寄りに設置された前記泡押出スプレーとを直線方向に配列させることを特徴とする請求項2記載のプリント基板製造装置。
- 前記薬液貯留部の連通管側から漏洩口側に至ると共に、その底面を開放させた倒樋型の泡誘導カバーを設けることを特徴とする請求項1、2又は3記載のプリント基板製造装置。
- 前記泡誘導カバーの薬液貯留部の連通管側と漏洩口側との間に、少なくともその上面をほぼ液面と同一高さとした隔壁板を設けると共に、当該隔壁板と前記薬液貯留部の連通管側の間に前記泡発生ノズルを設置することを特徴とする請求項4記載のプリント基板製造装置。
- 管理槽の薬液を使用部位に供給すると共に、前記使用部位での使用済みの薬液を前記管理槽に戻す薬液循環型のプリント基板製造方法において、
前記管理槽のオーバーフロー式の薬液貯留部に、前記使用部位からの薬液を戻す一方、前記薬液貯留部の表面側の薬液を、当該薬液貯留部の漏洩口から一部オーバーフローさせ、かつ、前記薬液貯留部の薬液中にマイクロバブルを発生させて薬液中のスカムを液面上に浮遊させると共に、前記薬液貯留部の薬液上に泡押出流を発生させて前記浮遊されたスカムを前記漏洩口側に誘導させることを特徴とするプリント基板製造方法。
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CN107422616A (zh) * | 2017-09-27 | 2017-12-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 显影液承载装置及显影设备 |
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JPS63162088A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-05 | Nikko Eng Kk | 廃水の浮上・濾過・濃縮装置 |
JPH11104651A (ja) * | 1997-10-02 | 1999-04-20 | Toray Ind Inc | 感光性樹脂含有廃水の浄化方法、印刷版の製造方法および印刷版現像装置 |
JP2006251278A (ja) * | 2005-03-10 | 2006-09-21 | Toray Ind Inc | 現像液清澄装置 |
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2006
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