JP2008096207A - 塗膜判定装置及び塗膜判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる塗膜判定装置及び塗膜判定方法を提供する。
【解決手段】塗膜判定装置は、第１及び第２光学センサーと、各光学センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、該解析装置では、塗布処理前後での第１または第２光学センサーの反射光強度の差Ａ１またはＡ２が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ１と、塗布処理後での第１光学センサーと第２光学センサーとの反射光強度の差Ｂ２とを比較して、金型の表面に塗膜が形成されたか否かを判定するので、金型の表面粗さが悪化した場合でも、表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる。
【選択図】図４

Description

本発明は、被塗布物、例えば金型の表面に、塗布剤、例えば離型剤を塗布処理した後、金型の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定装置及び塗膜判定方法に関するものである。

一般に、鋳造成形する際には、金型の表面に離型剤を塗布して、その表面に所定厚みの塗膜を形成するようにしている。
そこで、従来、鋳造工程において、金型の表面に離型剤を塗布した後、その表面に正常に塗膜が形成されているか否かが判定されており、その従来の塗膜判定方法を説明する。
従来の塗膜判定方法は、膜厚センサーとして光学センサーが１台用意されて、まず、離型剤の塗布処理前に、光学センサーの発光素子から光を金型の表面に向かって投射し、その反射光強度を測定する。次に、離型剤の塗布処理後に、光学センサーの発光素子から光を金型の表面に向かって投射し、その反射光強度を測定する。
そして、塗布処理前後における光学センサーの反射光強度の差を演算することにより、金型の表面に塗膜が形成された否かを判定していた。すなわち、この反射光強度の差が所定の基準値を上回っていれば、正常に塗膜が形成されたと判定し、反射光強度の差が基準値以下であれば、塗膜が形成されていないと判定していた。

しかしながら、金型の使用回数が少ない場合には、金型の表面粗さが良いために、図５の左側の棒グラフから解るように、塗布処理前における光学センサーの投射光が散乱せずに反射することから、正常に塗膜が形成されていると、塗布処理前後での反射光強度の差が明白となり、簡単に塗膜の有無を判定することができた。
ところが、金型の使用回数が増加して、金型の表面粗さが悪くなると、図５の右側の棒グラフから解るように、塗布処理前での光学センサーの投射光が散乱して反射するために、塗布処理前での光学センサーの反射光強度が金型の使用回数の増加に伴って小さくなる。その結果、金型の表面に正常に塗膜が形成されているにもかかわらず、塗布処理前後の反射光強度の差が小さく所定の基準値を下回ってしまい、表面に塗膜が形成されていないと誤った判定をするおそれがあり、正確に塗膜の有無を判定することができなかった。

そこで、被塗布物の表面に形成された塗膜の計測に関連する従来技術として、特許文献１には、被塗布物の表面に形成された塗膜表面までの距離を測定する光学式距離センサーと、被塗布物の表面までの距離を測定する電磁式距離センサーと、これら光学式距離センサーと電磁式センサーとの測定値の差を演算して表示する演算表示装置とを有する塗膜厚測定装置が開示されている。
特開昭６３−１６９５１３号公報

しかしながら、上述した特許文献１の発明では、塗膜の表面までの距離を測定する光学式距離センサーと、被塗装物の表面までの距離を測定する電磁式距離センサーとの測定値の差から膜厚を算出しているが、これら光学式距離センサーと電磁式距離センサーはそれぞれ距離を測定する手法が異なるために、それぞれ測定した距離を減算して求めた膜厚に誤差が生じる虞があり、この特許文献１の発明では上述した問題を解決することはできない。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる塗膜判定装置及び塗膜判定方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の塗膜判定装置では、その解析装置が、塗布処理前後での第１膜厚センサーまたは第２膜厚センサーの反射強度の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較して、被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定していることを特徴としている。
また、本発明の塗膜判定方法は、第１及び第２膜厚センサーを備え、塗布処理前後での第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーそれぞれの反射強度の差が、その内いずれか一方でも所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算すると共に、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算する第２演算工程と、該第２演算工程において演算されたそれぞれの反射強度の差を比較することにより、被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する判定工程とからなることを特徴としている。
これにより、被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することができる。
なお、本発明の塗膜判定装置及び塗膜判定方法の各種態様およびそれらの作用については、以下の（発明の態様）の項において詳しく説明する。

（発明の態様）
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。なお、各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付して、必要に応じて他の項を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載、実施の形態等に参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要件を付加した態様も、また、各項の態様から構成要件を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。

（１）被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定装置において、該塗膜判定装置は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する第１及び第２膜厚センサーと、これら第１及び第２膜厚センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、該解析装置は、塗布処理前後での第１膜厚センサーまたは第２膜厚センサーの反射強度の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較して、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定することを特徴とする塗膜判定装置。（請求項１に相当）

従って、（１）項に記載した塗膜判定装置では、解析装置において、第１及び第２膜厚センサーの測定結果に基いて、塗布処理前後での第１膜厚センサーまたは第２膜厚センサーの反射強度の差が所定の基準値以下である場合には、被塗布物の表面粗さが悪いか、あるいは塗膜が形成されていないかいずれかの要因であると判断されるため、この段階では塗膜の有無についての判定はされず、次のステップに進む。そして、次のステップにおいて、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較して、前者の強度差の方が大であれば、被塗布物の表面に塗膜が形成されたと判定し、後者の強度差の方が大であれば、塗膜は形成されていないと判定している。
また、本項の態様において、膜厚センサーは、特に限定されるものではなく、光学センサー等を採用することが可能である。

（２）被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定装置において、該塗膜判定装置は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する、第１及び第２グループに分けられた複数の膜厚センサーと、これら第１及び第２グループの各膜厚センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、該解析装置は、塗布処理前後での第１グループまたは第２グループの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差と、塗布処理後での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差とを比較して、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定することを特徴とする塗膜判定装置。（請求項２に相当）

従って、（２）項に記載した塗膜判定装置では、解析装置において、各膜厚センサーの測定結果に基いて、塗布処理前後での第１グループまたは第２グループの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差が所定の基準値以下である場合には、被塗布物の表面粗さが悪いか、あるいは塗膜が形成されていないかいずれかの要因であると判断されるため、この段階では塗膜の有無は判定されず、次のステップに進む。そして、次のステップにおいて、塗布処理前での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差と、塗布処理後での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差とを比較して、前者の強度差の方が大であれば、被塗布物の表面に塗膜が形成されたと判定し、後者の強度差の方が大であれば、塗膜は形成されていないと判定している。

（３）前記各膜厚センサーは、前記被塗布物の表面の離間する複数の点に投射可能に配置されることを特徴とする（１）または（２）項に記載の塗膜判定装置。（請求項３に相当）

従って、（３）項に記載した塗膜判定装置では、各膜厚センサーから被塗布物の表面の離間する複数の点に投射されるように、各膜厚センサーは、その本体が、被塗布物の表面と略平行に近接して配置される。

（４）前記各膜厚センサーは、前記被塗布物の表面の略同一点に投射可能に配置されることを特徴とする（１）または（２）項に記載の塗膜判定装置。（請求項４に相当）

従って、（４）項に記載した塗膜判定装置では、各膜厚センサーから被塗布物の表面の略同一点に投射されるように、各膜厚センサーは、その本体が、被塗布物の表面に対して放射状に配置される。

（５）前記被塗布物は金型であり、前記塗布剤は離型剤であること特徴とする（１）〜（４）項のいずれかに記載の塗膜判定装置。

従って、（５）項に記載した塗膜判定装置では、鋳造成形等で使用する金型の表面に離型剤を塗布した後、その表面に塗膜されているか否かを正確に判定することが可能となる。

（６）被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定方法において、該塗膜判定方法は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する第１及び第２膜厚センサーを備え、これら第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーにより塗布処理前後の反射強度をそれぞれ測定する測定工程と、該測定工程での測定結果に基いて、塗布処理前後での第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーそれぞれの反射強度の差を演算する第１演算工程と、該第１演算工程において演算された各反射強度の差が、その内いずれか一方でも所定の基準値以下である場合には、前記測定工程での測定結果に基いて、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算すると共に、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算する第２演算工程と、該第２演算工程において演算された、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較することにより、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する判定工程と、からなることを特徴とする塗膜判定方法。（請求項５に相当）

従って、（６）項に記載した塗膜判定方法では、第１演算工程において、塗布処理前後での第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーそれぞれの反射強度の差を演算し、各反射強度の差が、その内いずれか一方でも所定の基準値以下である場合には、被塗布物の表面粗さが悪いか、あるいは塗膜が形成されていないかいずれかの要因であると判断されるため、次の第２演算工程及び判定工程に進む。そして、第２演算工程及び判定工程において、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とが比較されて、前者の強度差の方が大であれば、被塗布物の表面に塗膜が形成されたと判定し、後者の強度差の方が大であれば、塗膜は形成されていないと判定している。

本発明によれば、被塗布物の表面粗さが悪化しても、その表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することのできる塗膜判定装置及び塗膜判定方法を提供することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を図１〜図４に基いて詳細に説明する。
本発明の実施の形態に係る塗膜判定装置１は、図１に示すように、被塗布物（本実施の形態では図２に示す金型５）の表面に塗布剤（本実施の形態では離型剤）を塗布処理した後、金型５の表面に塗膜が形成されているか否かを判定するものであり、本塗膜判定装置１は、金型５の表面に向かって光を投射してその反射光強度を測定する第１及び第２光学センサー（膜厚センサー）２、３と、該第１光学センサー２及び第２光学センサー３の測定結果に基いて、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置４とを備えている。

第１光学センサー２及び第２光学センサー３は、発光素子から光を投射して、計測すべき表面に反射させて受光しその反射光強度を測定可能なものである。
また、これら第１光学センサー２及び第２光学センサー３は、図２（ａ）に示すように、その本体が、金型５の表面と略平行に近接して配置され、金型５の表面の離間する二点を投射可能とする配置、または図２（ｂ）に示すように、その本体が、金型５の表面に対して放射状に配置され、金型５の表面の略同一点を投射可能とする配置が適宜選択されて採用される。

解析装置４は、第１光学センサー２及び第２光学センサー３の測定結果に基いて、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定するものであり、離型剤の塗布処理前後での第１光学センサー２または第２光学センサー３の反射光強度の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差と、塗布処理後での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差とを比較して、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する機能を有している。

この解析装置４は、次に説明する、金型５の表面粗さの良い場合と悪い場合とにおいて、塗布処理前後における第１光学センサー２及び第２光学センサー３の反射光強度の大きさに表れるある傾向に着目して、上述した機能を採用したものである。なお、図３（ａ）は、金型５の表面粗さの良い場合における、塗布処理前後（塗布処理前：白抜き，塗布処理後：斑点模様）での第１光学センサー２（図３（ａ）の左側の棒グラフ）及び第２光学センサー３（図３（ａ）の右側の棒グラフ）それぞれの反射光強度の大きさを示したものである。また、図３（ｂ）は、金型５の表面粗さの悪い場合における、塗布処理前後（塗布処理前：白抜き，塗布処理後：斑点模様）での第１光学センサー２（図３（ｂ）の左側の棒グラフ）及び第２光学センサー３（図３（ｂ）の右側の棒グラフ）それぞれの反射光強度の大きさを示したものである。

図３（ａ）に示すように、金型５の表面粗さが良い場合には、塗布処理前では第１光学センサー２及び第２光学センサー３の投射光が散乱せずに反射することから、正常に金型５の表面に塗膜が形成されていると、塗布処理前後での第１光学センサー２の反射光強度の差Ａ１及び第２光学センサー３の反射光強度の差Ａ２が歴然として明白になる。

一方、図３（ｂ）に示すように、金型５の表面粗さが悪い場合には、塗布処理前では第１光学センサー２及び第２光学センサー３の投射光が散乱して反射することから、塗布処理前での第１光学センサー２及び第２光学センサー３の反射光強度が共に金型５の表面粗さが良い場合の時に比べて小さくなり、塗膜が形成されているにもかかわらず、第１光学センサー２または第２光学センサー３の塗布処理前後での反射光強度の差が小さくなってしまう。しかしながら、金型５の表面粗さが悪い場合には、塗布処理前での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ１が、金型５の表面粗さが良い場合の時に比べて大きく、しかも、塗布処理後、正常に金型５の表面に塗膜が形成されていると、塗布処理後での第１光学センサー２及び第２光学センサー３の反射光強度が略同一となりそれらの反射光強度の差Ｂ２がほとんど無いという傾向にある。なお、図３（ｂ）では、塗布処理後での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ２の記載を省略している。
このような、特に、金型５の表面粗さが悪い場合での、塗布処理前後における第１光学センサー２及び第２光学センサー３の反射光強度の大きさの傾向を基にして、解析装置４に上述した機能が採用されている。

次に、本発明の実施の形態に係る塗膜判定装置１を使用した塗膜判定方法を説明する。
まず、第１光学センサー２及び第２光学センサー３を所定位置に配置し、離型剤の塗布処理前に、第１光学センサー２及び第２光学センサー３それぞれの発光素子から光を金型５の表面に向かって投射して、反射光強度をそれぞれ測定する。
次に、離型剤が金型５に塗布された後、再び、第１光学センサー２及び第２光学センサー３それぞれの発光素子から光を金型５の表面に向かって投射して、反射光強度をそれぞれ測定する。

そして、解析装置４では、第１光学センサー２及び第２光学センサー３それぞれの塗布処理前後の反射光強度の測定結果に基いて、図４に示すように、まず、ステップＳ１では、塗布処理前後での第１光学センサー２の反射光強度の差Ａ１が演算される。続いて、ステップＳ２では、塗布処理前後での第２光学センサー３の反射光強度の差Ａ２が演算される。

次に、ステップＳ３では、塗布処理前後での第１光学センサー２の反射光強度の差Ａ１及び塗布処理前後での第２光学センサー３の反射光強度の差Ａ２と、所定の基準値とが比較されて、反射光強度の差Ａ１及びＡ２が共に所定の基準値を上回っていれば、ステップＳ４に進み、金型５の表面に塗膜が形成されたと判定される。一方、反射光強度の差Ａ１またはＡ２が、そのいずれか一方でも所定の基準値以下であればステップＳ５に進む。

次に、ステップＳ５では、塗布処理前での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ１が演算される。続いて、ステップＳ６では、塗布処理後での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ２が演算される。
そして、ステップＳ７では、塗布処理前での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ１と、塗布処理後での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ２とが比較されて、反射光強度の差Ｂ１がＢ２よりも上回っていれば、ステップＳ８に進み、金型５の表面に塗膜が形成されたと判定される。一方、反射光強度の差Ｂ１がＢ２以下であれば、ステップＳ９に進み、金型５の表面に塗膜が形成されていないと判定される。

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、解析装置４により、金型５の表面粗さが悪く、塗布処理前後での第１光学センサー２または第２光学センサー３の反射光強度の差Ａ１またはＡ２によって、塗膜の有無が正確に判定できない場合でも、塗布処理前での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ１と、塗布処理後での第１光学センサー２と第２光学センサー３との反射光強度の差Ｂ２とを比較することで、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定することができるので、金型５の表面粗さに関係なく、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを正確に判定することが可能となった。

なお、本発明の実施の形態では、光学センサーを第１光学センサー２及び第２光学センサー３の２台用意して、これら第１及び第２光学センサー２、３の測定結果に基いて、解析装置４により、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定しているが、他の実施の形態として、第１及び第２グループに分けられた３台以上の光学センサーを備え、これらの第１及び第２グループに分けられた各光学センサーの測定結果を基に、解析装置にて、金型５の表面に塗膜が形成されたか否かを判定させる。

そして、他の実施の形態に係る解析装置では、次のような解析が成される。
まず、塗布処理前の第１グループの各光学センサーの反射光強度の平均値Ｃ１が演算されると共に、塗布処理後の第１グループの各光学センサーの反射光強度の平均値Ｃ２が演算されて、塗布処理前後での第１グループの反射光強度の平均値の差Ｃ３（図４のステップＳ１に相当）が演算される。続いて、塗布処理前の第２グループの各光学センサーの反射光強度の平均値Ｄ１が演算されると共に、塗布処理後の第２グループの各光学センサーの反射光強度の平均値Ｄ２が演算されて、塗布処理前後での第２グループの反射光強度の平均値の差Ｄ３が演算される（図４のステップＳ２に相当）。
続いて、これら平均値の差Ｃ３及びＤ３が共に所定の基準値を上回った場合には、塗膜が正常に形成されたと判定する（図４のステップＳ３及びＳ４に相当）と共に、平均値の差Ｃ３またはＤ３のいずれか一方でも所定の基準値以下であった場合には、次のステップ（図４のステップＳ５に相当）に進む。

次のステップでは、塗布処理前の第１グループの反射光強度の平均値Ｃ１と、塗布処理前の第２グループの反射光強度の平均値Ｄ１との差Ｅ１が演算される（図４のステップＳ５に相当）と共に、塗布処理後の第１グループの反射光強度の平均値Ｃ２と、塗布処理後の第２グループの反射光強度の平均値Ｄ２との差Ｆ１が演算される（図４のステップＳ６に相当）。そして、これらの差Ｅ１がＦ１よりも上回っていれば、金型５の表面に塗膜が形成されたと判定する（図４のステップＳ７及びＳ８に相当）。一方、差Ｅ１が差Ｆ１以下であれば、金型５の表面に塗膜が形成されていないと判定している（図４のステップＳ７及びＳ９に相当）。
以上、他に実施の形態によれば、光学センサーの数量を増加させてその測定結果を解析することにより、金型５の表面の塗膜の有無をさらに高精度に判定することが可能となる。

図１は、本発明の実施の形態に係る塗膜判定装置を示す図である。 図２の（ａ）は第１及び第２光学センサーの本体を金型表面と平行に近接して配置した図で、（ｂ）は第１及び第２光学センサーの本体を金型表面に対して放射状に配置した図である。 図３の（ａ）は金型の表面粗さの良い場合における、塗布処理前後での第１及び第２光学センサーそれぞれの反射光強度の大きさを示したもので、（ｂ）は金型の表面粗さの悪い場合における、塗布処理前後での第１及び第２光学センサーそれぞれの反射光強度の大きさを示したものである。 図４は、解析装置の解析フロー図である。 図５は、従来の塗膜判定方法で、金型の表面粗さの良い場合と悪い場合とにおける塗布処理前後の光学センサーの反射光強度の大きさを示したものである。

符号の説明

１ 塗膜判定装置，２ 第１光学センサー（膜厚センサー），３ 第２光学センサー（膜厚センサー），４ 解析装置

Claims (5)

1. 被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定装置において、
   該塗膜判定装置は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する第１及び第２膜厚センサーと、これら第１及び第２膜厚センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、
   該解析装置は、塗布処理前後での第１膜厚センサーまたは第２膜厚センサーの反射強度の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較して、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定することを特徴とする塗膜判定装置。
2. 被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定装置において、
   該塗膜判定装置は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する、第１及び第２グループに分けられた複数の膜厚センサーと、これら第１及び第２グループの各膜厚センサーの測定結果に基いて、塗膜が形成されたか否かを判定する解析装置とを備え、
   該解析装置は、塗布処理前後での第１グループまたは第２グループの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差が所定の基準値以下である場合には、塗布処理前での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差と、塗布処理後での第１グループと第２グループとの各膜厚センサーの反射強度の平均値の差とを比較して、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定することを特徴とする塗膜判定装置。
3. 前記各膜厚センサーは、前記被塗布物の表面の離間する複数の点に投射可能に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の塗膜判定装置。
4. 前記各膜厚センサーは、前記被塗布物の表面の略同一点に投射可能に配置されることを特徴とする請求項１または２に記載の塗膜判定装置。
5. 被塗布物の表面に塗布剤を塗布処理した後、表面に塗膜が形成されたか否かを判定する塗膜判定方法において、
   該塗膜判定方法は、前記被塗布物の表面に向かって投射してその反射強度を測定する第１及び第２膜厚センサーを備え、これら第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーにより塗布処理前後の反射強度をそれぞれ測定する測定工程と、
   該測定工程での測定結果に基いて、塗布処理前後での第１膜厚センサー及び第２膜厚センサーそれぞれの反射強度の差を演算する第１演算工程と、
   該第１演算工程において演算された各反射強度の差が、その内いずれか一方でも所定の基準値以下である場合には、前記測定工程での測定結果に基いて、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算すると共に、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差を演算する第２演算工程と、
   該第２演算工程において演算された、塗布処理前での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差と、塗布処理後での第１膜厚センサーと第２膜厚センサーとの反射強度の差とを比較することにより、前記被塗布物の表面に塗膜が形成されたか否かを判定する判定工程と、
   からなることを特徴とする塗膜判定方法。
   
   

Images